曝光的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種曝光機(jī)，其機(jī)箱具有控制器，可動(dòng)發(fā)光機(jī)臺(tái)具有發(fā)光源及移動(dòng)裝置，第一感光基板升降機(jī)臺(tái)位于兩底片固定機(jī)臺(tái)之間，兩感光基板搬移機(jī)臺(tái)分別在感光基板接收機(jī)臺(tái)及第一感光基板升降機(jī)臺(tái)之間搬移感光基板，及在第一感光基板升降機(jī)臺(tái)及感光基板退出機(jī)臺(tái)之間搬移感光基板，發(fā)光源設(shè)于移動(dòng)裝置并借由反射鏡反射光線至第一感光基板升降機(jī)臺(tái)上的感光基板。借此，本實(shí)用新型的曝光機(jī)可自動(dòng)對(duì)感光基板的正面與反面曝光且可連續(xù)放置感光基板以進(jìn)行曝光。
【專利說(shuō)明】曝光機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種曝光機(jī)，尤其涉及一種可自動(dòng)對(duì)感光基板的正面與反面曝光且可連續(xù)放置感光基板以進(jìn)行曝光的曝光機(jī)。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)今的印刷電路板被廣泛地應(yīng)用于電子設(shè)備或電子裝置，且為制成印刷電路板上的電路，曝光機(jī)因此被開(kāi)發(fā)而加入制程的行列。然而，一般的曝光機(jī)大多僅能單次對(duì)感光基板的單面進(jìn)行曝光，另外，當(dāng)一感光基板在一般的曝光機(jī)內(nèi)進(jìn)行曝光時(shí)，下一感光基板往往需于前一感光基板完成曝光且從一般的曝光機(jī)內(nèi)取出后，下一感光基板才可置入一般的曝光機(jī)內(nèi)進(jìn)行曝光，故一般的曝光機(jī)的生產(chǎn)效率低。因此，如何研發(fā)一種曝光機(jī)，以使其可自動(dòng)對(duì)感光基板的正面與反面曝光且可連續(xù)放置感光基板以進(jìn)行曝光，將是本實(shí)用新型所欲積極揭露之處。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]有鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)之缺憾，發(fā)明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克月艮，進(jìn)而研發(fā)出一種曝光機(jī)，以期達(dá)到可自動(dòng)對(duì)感光基板的正面與反面曝光且可連續(xù)放置感光基板以進(jìn)行曝光的目的。
[0004]為達(dá)上述目的及其他目的，本實(shí)用新型提供一種曝光機(jī)，其包含:機(jī)箱，其具有一控制器；感光基板接收機(jī)臺(tái)，其設(shè)置于該機(jī)箱且電連接該控制器；感光基板退出機(jī)臺(tái)，其設(shè)置于該機(jī)箱且電連接該控制器；兩底片固定機(jī)臺(tái)，皆設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)；第一感光基板升降機(jī)臺(tái)，其設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)且電連接該控制器，該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)位于這些底片固定機(jī)臺(tái)之間；兩感光基板搬移機(jī)臺(tái)，皆設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)且電連接該控制器，這些感光基板搬移機(jī)臺(tái)分別用以于該感光基板接收機(jī)臺(tái)及該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)之間搬移一感光基板，及于該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)及該感光基板退出機(jī)臺(tái)之間搬移一感光基板；兩反射鏡，皆設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)且分別位于這些底片固定機(jī)臺(tái)的兩側(cè)；以及可動(dòng)發(fā)光機(jī)臺(tái)，其設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)且電連接該控制器，該可動(dòng)發(fā)光機(jī)臺(tái)具有至少一發(fā)光源及一移動(dòng)裝置，該發(fā)光源設(shè)置于該移動(dòng)裝置并用以借由該反射鏡反射光線至該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)上的感光基板。
[0005]上述的曝光機(jī)中，還包含第二感光基板升降機(jī)臺(tái)，其設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)且電連接該控制器，這些感光基板搬移機(jī)臺(tái)分別具有至少一吸盤，該第二感光基板升降機(jī)臺(tái)位于該感光基板接收機(jī)臺(tái)的下側(cè)，用以將一感光基板上推至該感光基板搬移機(jī)臺(tái)的吸盤。
[0006]上述的曝光機(jī)中，這些底片固定機(jī)臺(tái)分別具有多個(gè)感光基板位置校正器。
[0007]上述的曝光機(jī)中，該發(fā)光源具有多個(gè)發(fā)光體于同一平面。
[0008]上述的曝光機(jī)中，還包含監(jiān)視器、冷卻器、抽真空器、工作門窗或其任意組合，該監(jiān)視器設(shè)置于該機(jī)箱外且電連接該控制器，該冷卻器設(shè)置于該機(jī)箱且電連接該控制器，該抽真空器設(shè)置于該機(jī)箱且電連接該控制器，該工作門窗設(shè)置于該機(jī)箱。
[0009]借此，本實(shí)用新型的曝光機(jī)可自動(dòng)對(duì)感光基板的正面與反面曝光且可連續(xù)放置感光基板以進(jìn)打曝光。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的立體示意圖。
[0011]圖2為圖1內(nèi)部的前側(cè)示意圖。
[0012]圖3為圖1內(nèi)部的左側(cè)示意圖。
[0013]圖4為圖1內(nèi)部的右側(cè)示意圖。
[0014]圖5為圖1內(nèi)部的上側(cè)示意圖。
[0015]主要部件附圖標(biāo)記:
[0016]1 機(jī)箱
[0017]11控制器
[0018]12監(jiān)視器
[0019]13冷卻器
[0020]14抽真空器
[0021]16感光基板
[0022]17工作門窗
[0023]2 感光基板接收機(jī)臺(tái)
[0024]3 感光基板退出機(jī)臺(tái)
[0025]4 底片固定機(jī)臺(tái)
[0026]41感光基板位置校正器
[0027]5 第一感光基板升降機(jī)臺(tái)
[0028]6 感光基板搬移機(jī)臺(tái)
[0029]61 吸盤
[0030]7 反射鏡
[0031]71調(diào)整裝置
[0032]8 可動(dòng)發(fā)光機(jī)臺(tái)
[0033]81發(fā)光源
[0034]811發(fā)光體
[0035]82移動(dòng)裝置
[0036]9 第二感光基板升降機(jī)臺(tái)
[0037]91升降裝置
[0038]92承載平板

【具體實(shí)施方式】
[0039]為充分了解本實(shí)用新型的目的、特征及技術(shù)效果，茲由下述具體實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型做詳細(xì)說(shuō)明，說(shuō)明如下:
[0040]圖1至圖5分別為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的立體示意圖、圖1內(nèi)部的前側(cè)示意圖、左側(cè)示意圖、右側(cè)示意圖及上側(cè)示意圖，如圖所示，本實(shí)用新型提供一種曝光機(jī)，其包含機(jī)箱1、感光基板接收機(jī)臺(tái)2、感光基板退出機(jī)臺(tái)3、兩底片固定機(jī)臺(tái)4、第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5、兩感光基板搬移機(jī)臺(tái)6、兩反射鏡7及可動(dòng)發(fā)光機(jī)臺(tái)8。其中，感光基板16用于制作電路板或觸控面板，該機(jī)箱1具有控制器11，該控制器11可為計(jì)算機(jī)，以控制電子裝置；該感光基板接收機(jī)臺(tái)2設(shè)置于該機(jī)箱1且電連接該控制器11，該感光基板接收機(jī)臺(tái)2用以接收準(zhǔn)備曝光的感光基板16，該感光基板接收機(jī)臺(tái)2可具有相互連接的承載框架(圖未示)及平移裝置(圖未示)，該承載框架用以承載該感光基板16的周緣，該平移裝置電連接該控制器11以將該承載框架伸出該機(jī)箱1外以接收該感光基板16，及將該承載框架收回該機(jī)箱1內(nèi)以準(zhǔn)備使該感光基板16進(jìn)行曝光；該感光基板退出機(jī)臺(tái)3設(shè)置于該機(jī)箱1且電連接該控制器11，該感光基板退出機(jī)臺(tái)3用以退出曝光過(guò)的感光基板16，該感光基板退出機(jī)臺(tái)3可具有相互連接的承載框架(圖未示)及平移裝置(圖未示)，該承載框架用以承載該感光基板16的周緣，該平移裝置電連接該控制器11以將該承載框架伸出該機(jī)箱1外以退出該感光基板16，及將該承載框架收回該機(jī)箱1內(nèi)以準(zhǔn)備承載下一曝光過(guò)的感光基板16 ;這些底片固定機(jī)臺(tái)4設(shè)置于該機(jī)箱1內(nèi)，上方的底片固定機(jī)臺(tái)4可用以固定曝光該感光基板16的正面的底片，下方的底片固定機(jī)臺(tái)4可用以固定曝光該感光基板16的反面的底片；該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5設(shè)置于該機(jī)箱1內(nèi)且電連接該控制器11，該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5位于這些底片固定機(jī)臺(tái)4之間，該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5可具有相互連接的承載框架(圖未示)及升降裝置(圖未示)，該承載框架用以承載該感光基板16的周緣，該升降裝置電連接該控制器11以將該承載框架上升以使該感光基板16的正面貼合上方的底片并進(jìn)行曝光，及將該承載框架下降以使該感光基板16的反面貼合下方的底片并進(jìn)行曝光；這些感光基板搬移機(jī)臺(tái)6設(shè)置于該機(jī)箱1內(nèi)且電連接該控制器11，這些感光基板搬移機(jī)臺(tái)6分別用以將準(zhǔn)備曝光的感光基板16由該感光基板接收機(jī)臺(tái)2搬移至該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5，及將曝光過(guò)的感光基板16由該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5搬移至該感光基板退出機(jī)臺(tái)3 ；這些反射鏡7可為平面鏡，這些反射鏡7設(shè)置于該機(jī)箱1內(nèi)且分別位于這些底片固定機(jī)臺(tái)4的兩側(cè)，該反射鏡7可設(shè)置于調(diào)整裝置71上，該調(diào)整裝置71可電連接該控制器11以使該反射鏡7可設(shè)置為適當(dāng)?shù)姆瓷浣嵌?例如45度)；該可動(dòng)發(fā)光機(jī)臺(tái)8設(shè)置于該機(jī)箱1內(nèi)且電連接該控制器11，該可動(dòng)發(fā)光機(jī)臺(tái)8具有至少一發(fā)光源81及一移動(dòng)裝置82，該發(fā)光源81可發(fā)射紫外光且設(shè)置于該移動(dòng)裝置82，并用以借由該反射鏡7反射光線至該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5上的感光基板16，該移動(dòng)裝置82可為馬達(dá)帶動(dòng)的輸送帶或鏈條，請(qǐng)參考圖4，如圖所示，當(dāng)該發(fā)光源81的數(shù)量為一時(shí)，該移動(dòng)裝置82可先將該發(fā)光源81移動(dòng)至上方的反射鏡7并校正位置以使該感光基板16的正面可被精確地曝光，之后該移動(dòng)裝置82可再將該發(fā)光源81移動(dòng)至下方的反射鏡7并校正位置以使該感光基板16的反面可被精確地曝光，當(dāng)該發(fā)光源81的數(shù)量為二時(shí)，這些發(fā)光源81可分別對(duì)應(yīng)這些反射鏡7，該移動(dòng)裝置82可先將上方的發(fā)光源81校正位置以使該感光基板16的正面可被精確地曝光，之后該移動(dòng)裝置82可再將下方的發(fā)光源81校正位置以使該感光基板16的反面可被精確地曝光。
[0041]請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D1至圖5，如圖所示，本實(shí)用新型的曝光機(jī)運(yùn)作時(shí)，操作員可先將準(zhǔn)備曝光的感光基板16置入該感光基板接收機(jī)臺(tái)2并收回至該機(jī)箱1內(nèi)，之后下方的感光基板搬移機(jī)臺(tái)6將該感光基板16由該感光基板接收機(jī)臺(tái)2搬移至該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5，接著該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5將該感光基板16上升貼合上方的底片固定機(jī)臺(tái)4所固定的底片(圖未示)，與此同時(shí)，另一準(zhǔn)備曝光的感光基板16可再置入該感光基板接收機(jī)臺(tái)2,而前一曝光過(guò)的感光基板16則可由該感光基板退出機(jī)臺(tái)3中取出，接著上方的底片固定機(jī)臺(tái)4的感光基板位置校正器41 (例如電連接該控制器的CCD)可協(xié)助對(duì)準(zhǔn)該底片及該感光基板16的正面的曝光位置，之后上方的發(fā)光源81便可發(fā)射紫外光并經(jīng)由該反射鏡7的反射將該紫外光投射至上方的底片及該感光基板16的正面，以使該感光基板16的正面曝光，接著該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5將該感光基板16下降貼合下方的底片固定機(jī)臺(tái)4所固定的底片(圖未示)，之后下方的底片固定機(jī)臺(tái)4的感光基板位置校正器41 (例如電連接該控制器的CCD)可協(xié)助對(duì)準(zhǔn)該底片及該感光基板16的反面的曝光位置，之后下方的發(fā)光源81便可發(fā)射紫外光并經(jīng)由該反射鏡7的反射將該紫外光投射至下方的底片及該感光基板16的反面，以使該感光基板16的反面曝光，接著該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5將該感光基板16上升至這些底片固定機(jī)臺(tái)4之間，而上方的感光基板搬移機(jī)臺(tái)6便可將曝光過(guò)的感光基板16由該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5搬移至該感光基板退出機(jī)臺(tái)3，以使操作員取出曝光過(guò)的感光基板16。
[0042]如上所述，本實(shí)用新型的曝光機(jī)可自動(dòng)對(duì)感光基板的正面與反面曝光且可連續(xù)放置感光基板以進(jìn)行曝光；另外，本實(shí)用新型的曝光機(jī)可經(jīng)由該控制器控制所有機(jī)臺(tái)以使本實(shí)用新型的曝光機(jī)全自動(dòng)化，進(jìn)而可減少人員開(kāi)支及提升工作效能，其有別于傳統(tǒng)的曝光機(jī)無(wú)法全自動(dòng)化而降低生產(chǎn)的效能；再者，本實(shí)用新型的曝光機(jī)經(jīng)由感光基板接收機(jī)臺(tái)自動(dòng)接收感光基板及經(jīng)由感光基板退出機(jī)臺(tái)自動(dòng)退出感光基板，因此本實(shí)用新型的曝光機(jī)可避免該感光基板受到外界環(huán)境的污染而可提升潔凈度及曝光的合格率，其有別于傳統(tǒng)的曝光機(jī)需以人工掀開(kāi)或蓋合蓋體以置入或移出感光基板，而使該感光基板容易受到外界環(huán)境的污染并降低潔凈度及曝光的合格率；再者，本實(shí)用新型的曝光機(jī)僅需上下各一張底片即可進(jìn)行感光基板的正反面曝光，因此本實(shí)用新型的曝光機(jī)除可減少底片的費(fèi)用，更可縮短更換底片的時(shí)間，其有別于傳統(tǒng)的曝光機(jī)需上下各兩張底片才可進(jìn)行感光基板的正反面曝光，而浪費(fèi)底片并增加更換底片的時(shí)間。再者，本實(shí)用新型的曝光機(jī)用于自動(dòng)、半自動(dòng)或R2R(Roll to Roll)的機(jī)臺(tái)時(shí)僅需修改部分機(jī)構(gòu)而不須更換整個(gè)機(jī)臺(tái)，因此本實(shí)用新型的曝光機(jī)具有機(jī)臺(tái)共用的效果。
[0043]請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D2及圖3，如圖所示，上述的曝光機(jī)中，還可包含第二感光基板升降機(jī)臺(tái)9，其設(shè)置于該機(jī)箱1內(nèi)且電連接該控制器11，這些感光基板搬移機(jī)臺(tái)6分別具有至少一吸盤61及一移動(dòng)裝置(圖未示)，該第二感光基板升降機(jī)臺(tái)9位于該感光基板接收機(jī)臺(tái)2的下側(cè)，以用以上推準(zhǔn)備曝光的感光基板16至該感光基板搬移機(jī)臺(tái)6的吸盤61。該第二感光基板升降機(jī)臺(tái)9可具有相互連接的承載平板92及升降裝置91，該承載平板92用以上推該感光基板16，該升降裝置91電連接該控制器11以將該承載平板92上升，使該承載平板92上推該感光基板16至該感光基板搬移機(jī)臺(tái)6的吸盤61，之后該感光基板搬移機(jī)臺(tái)6便可借由該移動(dòng)裝置將該感光基板16由該感光基板接收機(jī)臺(tái)2搬移至該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5。同理，該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5可具有相互連接的承載框架(圖未示)及升降裝置(圖未示)，該承載框架用以承載該感光基板16的周緣，該升降裝置電連接該控制器11以將該承載框架中曝光過(guò)的感光基板16上升至該感光基板搬移機(jī)臺(tái)6的吸盤61，之后該感光基板搬移機(jī)臺(tái)6便可借由該移動(dòng)裝置將該感光基板16由該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)5搬移至該感光基板退出機(jī)臺(tái)3，以使操作員可從該感光基板退出機(jī)臺(tái)3中取出曝光過(guò)的感光基板16。
[0044]請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D4，如圖所示，上述的曝光機(jī)中，這些底片固定機(jī)臺(tái)4分別可具有多個(gè)感光基板位置校正器41 (例如電連接該控制器的CCD)，如上所述，借由這些感光基板位置校正器41可提升上下底片與該感光基板16的正面與反面的曝光位置的準(zhǔn)確度。
[0045]請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D4及圖5，如圖所示，上述的曝光機(jī)中，該發(fā)光源81可具有多個(gè)發(fā)光體811于同一平面，這些發(fā)光體811可為L(zhǎng)ED且可呈矩陣排列，借此，該發(fā)光源81可對(duì)該感光基板16的正面或反面進(jìn)行均勻的曝光。
[0046]請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D1、圖2及圖5，如圖所示，上述的曝光機(jī)中，還可包含監(jiān)視器12、冷卻器13、抽真空器14、工作門窗17或其任意組合，該監(jiān)視器12設(shè)置于該機(jī)箱I外且電連接該控制器11，該監(jiān)視器12可通過(guò)文字或圖像顯示曝光過(guò)程的信息以使操作員可隨時(shí)做應(yīng)變，該冷卻器13設(shè)置于該機(jī)箱I且電連接該控制器11，該冷卻器13可將上述電子裝置所產(chǎn)生的廢熱排出至該機(jī)箱I外或降低該機(jī)箱I內(nèi)的溫度以避免上述電子裝置故障，該抽真空器14設(shè)置于該機(jī)箱I且電連接該控制器11，該抽真空器14可將曝光區(qū)內(nèi)的氣體抽真空以使底片與該感光基板16可貼合而不會(huì)夾雜氣體，進(jìn)而可提高該感光基板16曝光的合格率，該工作門窗17設(shè)置于該機(jī)箱I且可電連接該控制器11，操作員可透過(guò)該工作門窗17觀察該感光基板16的曝光情況，若該感光基板16或機(jī)臺(tái)發(fā)生問(wèn)題，操作員亦可電動(dòng)打開(kāi)或手動(dòng)打開(kāi)該工作門窗17以排除問(wèn)題，另外，操作員亦可經(jīng)由該工作門窗17對(duì)曝光機(jī)進(jìn)行維修及保養(yǎng)。
[0047]本實(shí)用新型在上文中已以較佳實(shí)施例揭露，然而本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實(shí)施例僅用于描繪本實(shí)用新型，而不應(yīng)解讀為限制本實(shí)用新型的范圍。應(yīng)注意的是，凡是與該實(shí)施例等效的變化與置換，均應(yīng)視為涵蓋于本實(shí)用新型的范疇內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求書所限定的內(nèi)容為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種曝光機(jī)，其特征在于，包含: 機(jī)箱，其具有一控制器； 感光基板接收機(jī)臺(tái)，其設(shè)置于該機(jī)箱且電連接該控制器； 感光基板退出機(jī)臺(tái)，其設(shè)置于該機(jī)箱且電連接該控制器； 兩底片固定機(jī)臺(tái)，皆設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)； 第一感光基板升降機(jī)臺(tái)，其設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)且電連接該控制器，該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)位于這些底片固定機(jī)臺(tái)之間； 兩感光基板搬移機(jī)臺(tái)，皆設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)且電連接該控制器，這些感光基板搬移機(jī)臺(tái)分別用以于該感光基板接收機(jī)臺(tái)及該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)之間搬移一感光基板，及于該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)及該感光基板退出機(jī)臺(tái)之間搬移一感光基板； 兩反射鏡，皆設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)且分別位于這些底片固定機(jī)臺(tái)的兩側(cè)；以及 可動(dòng)發(fā)光機(jī)臺(tái)，其設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)且電連接該控制器，該可動(dòng)發(fā)光機(jī)臺(tái)具有至少一發(fā)光源及一移動(dòng)裝置，該發(fā)光源設(shè)置于該移動(dòng)裝置并用以借由反射鏡反射光線至該第一感光基板升降機(jī)臺(tái)上的感光基板。
2.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)，其特征在于，還包含第二感光基板升降機(jī)臺(tái)，其設(shè)置于該機(jī)箱內(nèi)且電連接該控制器，這些感光基板搬移機(jī)臺(tái)分別具有至少一吸盤，該第二感光基板升降機(jī)臺(tái)位于該感光基板接收機(jī)臺(tái)的下側(cè)，用以將一感光基板上推至該感光基板搬移機(jī)臺(tái)的吸盤。
3.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)，其特征在于，這些底片固定機(jī)臺(tái)分別具有多個(gè)感光基板位置校正器。
4.如權(quán)利要求2所述的曝光機(jī)，其特征在于，這些底片固定機(jī)臺(tái)分別具有多個(gè)感光基板位置校正器。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的曝光機(jī),其特征在于,該發(fā)光源具有多個(gè)發(fā)光體于同一平面。
6.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的曝光機(jī)，其特征在于，還包含監(jiān)視器、冷卻器、抽真空器、工作門窗或其任意組合，該監(jiān)視器設(shè)置于該機(jī)箱外且電連接該控制器，該冷卻器設(shè)置于該機(jī)箱且電連接該控制器，該抽真空器設(shè)置于該機(jī)箱且電連接該控制器，該工作門窗設(shè)置于該機(jī)箱。
7.如權(quán)利要求5所述的曝光機(jī)，其特征在于，還包含監(jiān)視器、冷卻器、抽真空器、工作門窗或其任意組合，該監(jiān)視器設(shè)置于該機(jī)箱外且電連接該控制器，該冷卻器設(shè)置于該機(jī)箱且電連接該控制器，該抽真空器設(shè)置于該機(jī)箱且電連接該控制器，該工作門窗設(shè)置于該機(jī)箱。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK204086810SQ201420439518
【公開(kāi)日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月6日
【發(fā)明者】周坤麟, 何立克 申請(qǐng)人:敘豐企業(yè)股份有限公司