專利名稱：用于固定長條鏡的固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光學(xué)元器件領(lǐng)域，尤其涉及一種用于固定長條鏡的固定裝置。
背景技術(shù)：
精密運(yùn)動工件臺的定位精度，很大程度上取決于位移測量系統(tǒng)的精度。激光干涉儀測量系統(tǒng)的運(yùn)動工件臺，其長條鏡表面的面形直接影響著位移的檢測精度，進(jìn)而影響工件臺的定位精度。在進(jìn)行長條鏡夾持時(shí)，一旦夾持不當(dāng)，長條鏡仍然會不可避免的發(fā)生翹曲變形，導(dǎo)致經(jīng)其鏡面折射后的測量光束的光路發(fā)生偏差，從而對測量結(jié)果的準(zhǔn)確性造成嚴(yán)重的影響。此外當(dāng)測量器件處于頻繁振動等測量狀況不佳的場合時(shí)，如果反射鏡夾持的不夠牢靠，其長條鏡往往就會發(fā)生松動移位甚至從其固定支架上掉落，引發(fā)光路系統(tǒng)故障，從而極大的影響了測量的效率。因此，如何固定長條鏡減小對其面形的影響，如何提高夾持能力和提高固定長條鏡的可靠性，就成為實(shí)現(xiàn)工件臺高精度定位的重要因素。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決上述問題，本實(shí)用新型的目的在于提出一種用于固定長條鏡的固定裝置，提高對長條鏡的夾持能力，并且減少長條鏡鏡面的形變。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種用于固定長條鏡的固定裝置，包括:用于安裝長條鏡的鏡座；簧片調(diào)節(jié)座，固定在所述鏡座上，并與所述長條鏡平行設(shè)置；壓簧組件，與所述簧片調(diào)節(jié)座連接，并抵壓在所述長條鏡上；具有彈性的固定簧片，與所述長條鏡貼合，位于所述長條鏡與所述簧片調(diào)節(jié)座之間；簧片調(diào)節(jié)螺釘，穿過所述簧片調(diào)節(jié)座與所述固定簧片連接。進(jìn)一步的，還包括一鎖緊螺母，設(shè)置在所述簧片調(diào)節(jié)螺釘?shù)囊欢耍c所述簧片調(diào)節(jié)螺釘配合鎖緊所述長條鏡和所述鏡座。進(jìn)一步的，所述壓簧組件包括:壓簧固定座，與所述簧片調(diào)節(jié)座連接；壓簧，與所述壓簧固定座連接并抵壓在所述長條鏡上。進(jìn)一步的，所述壓簧固定座通過螺絲與所述簧片調(diào)節(jié)座連接。進(jìn)一步的，所述壓簧通過螺絲與所述壓簧固定座連接。進(jìn)一步的，所述壓簧為薄片狀。進(jìn)一步的，所述鏡座包括鏡座主體以及沿所述鏡座主體的邊緣向上延伸的卡位部。進(jìn)一步的，所述鏡座主體上開設(shè)有若干通孔。進(jìn)一步的，所述簧片調(diào)節(jié)座通過螺絲固定在所述鏡座上。[0021]進(jìn)一步的，所述固定簧片為半圓弧型簧片。進(jìn)一步的，所述固定簧片設(shè)有調(diào)節(jié)螺釘定位的定位孔。進(jìn)一步的，所述簧片調(diào)節(jié)螺釘伸入所述定位孔內(nèi)與所述固定簧片連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:添加壓簧組件和固定簧片，用來增加對長條鏡固定的穩(wěn)定性，從而防止長條鏡在運(yùn)動過程中脫落；此外，由于固定簧片具有一定的彈性，從而補(bǔ)償長條鏡的面形誤差及溫度變化引起的形變，進(jìn)而降低整個(gè)裝置測量結(jié)果的誤差。

圖1為本實(shí)用新型中用于固定長條鏡的固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型中用于固定長條鏡的固定裝置的左視圖；圖3為本實(shí)用新型中用于固定長條鏡的固定裝置的俯視圖；圖4為本實(shí)用新型中長條鏡的仰視圖。
具體實(shí)施方式
為了便于更好的理解本實(shí)用新型，下面結(jié)合具體實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的描述。請參考圖1及圖3，本實(shí)用新型提出一種用于固定長條鏡的固定裝置，包括:用于安裝長條鏡的鏡座10，所述鏡座10包括鏡座主體11以及沿所述鏡座主體11的邊緣向上延伸的卡位部12，所述鏡座主體11的一表面為定位面11’，所述卡位部12的一表面為卡位面12’，所述定位面11’與所述卡位面12’垂直相交。長條鏡20安裝在所述定位面11’上，并與所述卡位面12’緊貼，使長條鏡20很好的固定在所述鏡座10上。所述鏡座主體11上開設(shè)有若干通孔13?；善{(diào)節(jié)座30，設(shè)有若干螺孔，所述簧片調(diào)節(jié)座30通過螺絲固定在所述鏡座10的定位面11’上，并與所述長條鏡20平行設(shè)置。壓簧組件40，包括壓簧固定座41和壓簧42，所述壓簧固定座41通過螺絲固定在所述簧片調(diào)節(jié)座30的頂部上；所述壓簧42通過螺絲固定與所述壓簧固定座41，并安裝在所述長條鏡20的頂部，所述壓簧42為薄片狀。固定簧片60，為具有彈性的簧片，與所述長條鏡20貼合，位于所述長條鏡20與所述簧片調(diào)節(jié)座30之間。所述用于固定長條鏡的固定裝置還包括一鎖緊螺母50，設(shè)置在所述簧片調(diào)節(jié)螺釘70的一端，與所述簧片調(diào)節(jié)螺釘70配合鎖緊所述長條鏡20和所述鏡座10?；善{(diào)節(jié)螺釘70，穿過所述鎖緊螺母50及所述簧片調(diào)節(jié)座30與所述固定簧片60連接。請參考圖2和圖4，所述鏡座主體11均勻開設(shè)有若干通孔13，所述長條鏡20通過往所述鏡座10的通孔13內(nèi)注入輔助膠黏貼在所述鏡座10的定位面11’上，從而增加長條鏡20在所述鏡座10上固定的穩(wěn)定性，使長條鏡20具有正確的位置，防止其脫落。通孔13的個(gè)數(shù)可以基于長條鏡20的長度等來進(jìn)行選擇。在本實(shí)施例中，所述長條鏡20為長方體，方便所述固定簧片60及壓簧42緊貼在其表面上進(jìn)行固定。在本實(shí)施例中，所述簧片調(diào)節(jié)座30通過螺絲固定在所述鏡座10的定位面11’上，并與所述長條鏡20平行設(shè)置，所述簧片調(diào)節(jié)座30的個(gè)數(shù)可以依照不同尺寸的裝置進(jìn)行選擇，它們需要均勻分布固定在所述鏡座10的定位面11’上，這樣才能保證基于簧片調(diào)節(jié)座30固定的壓簧42和固定簧片60對長條鏡20是均勻的固定，使其受力均勻，避免受力不均引起長條鏡20發(fā)生形變。在本實(shí)施例中，所述壓簧固定座41通過螺絲固定在所述簧片調(diào)節(jié)座30的頂部上。在本實(shí)施例中，所述壓簧42通過螺絲固定在所述壓簧固定座41的頂部，壓簧42為薄片狀，便于固定長條鏡20，且不會造成太大的壓力導(dǎo)致長條鏡20發(fā)生形變。在本實(shí)施例中，所述固定黃片60為具有彈性的半圓弧型黃片，所述固定黃片60帶有調(diào)節(jié)螺釘定位的定位孔61。在本實(shí)施例中，所述簧片調(diào)節(jié)螺釘70伸入所述定位孔61內(nèi)，連接所述固定簧片60，用于控制固定簧片60與所述長條鏡20接觸的壓力大小，釋放長條鏡20的形變壓力，從而使長條鏡20的表面不存在形變。本實(shí)用新型提出的用于固定長條鏡的固定裝置的具體實(shí)施過程是:將長條鏡20放置在鏡座10的定位面11’上，使長條鏡20的底面與鏡座10的定位面11’貼合，長條鏡20的鏡面與鏡座10的卡位面12’貼合，將各個(gè)簧片調(diào)節(jié)座30通過螺釘將各個(gè)簧片調(diào)節(jié)座30固定在鏡座10的定位面11’上，且均勻分布，將各個(gè)簧片調(diào)節(jié)螺釘70裝于簧片調(diào)節(jié)座30上，固定簧片60與長條鏡貼合，并將簧片調(diào)節(jié)螺釘70插入固定簧片60的定位孔61孔內(nèi)，使簧片調(diào)節(jié)螺釘70的肩面與固定簧片60的圓弧面相切，從而調(diào)節(jié)固定簧片60的壓緊力的大小，以滿足長條鏡20在水平向固定的需求，調(diào)節(jié)后利用鎖緊螺母50鎖緊。將壓簧固定座41放置在簧片調(diào)節(jié)座30之上，通過螺釘與簧片調(diào)節(jié)座30固結(jié)為一體，將各個(gè)壓簧42通過螺釘安裝在各個(gè)壓簧固定座41之上，以對長條鏡20在垂向固定。從鏡座10底部的通孔13邊緣點(diǎn)膠，將長條鏡20與鏡座10粘接，以輔助固定長條鏡20，提高長條鏡20固定的可靠性。本實(shí)用新型將用于固定長條鏡的固定裝置通過螺釘安裝在需要定位的工件臺上，并通過調(diào)整工裝對其位置及相互位置要求進(jìn)行精確的調(diào)整后固定。本實(shí)用新型提出的用于固定長條鏡的固定裝置通過添加壓簧和固定簧片，用來增加對長條鏡固定的穩(wěn)定性，從而防止在運(yùn)動過程中長條鏡脫落；由于固定簧片帶有一定的彈性，從而補(bǔ)償長條鏡的面形誤差及溫度變化引起的形變，進(jìn)而降低整個(gè)裝置測量結(jié)果的誤差。綜上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，包括: 用于安裝長條鏡的鏡座； 簧片調(diào)節(jié)座，固定在所述鏡座上，并與所述長條鏡平行設(shè)置； 壓簧組件，與所述簧片調(diào)節(jié)座連接，并抵壓在所述長條鏡上； 具有彈性的固定簧片，與所述長條鏡貼合，位于所述長條鏡與所述簧片調(diào)節(jié)座之間； 簧片調(diào)節(jié)螺釘，穿過所述簧片調(diào)節(jié)座與所述固定簧片連接。
2.如權(quán)利要求1所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，還包括一鎖緊螺母，設(shè)置在所述簧片調(diào)節(jié)螺釘?shù)囊欢?，與所述簧片調(diào)節(jié)螺釘配合鎖緊所述長條鏡和所述鏡座。
3.如權(quán)利要求1所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，所述壓簧組件包括: 壓簧固定座，與所述簧片調(diào)節(jié)座連接； 壓簧，與所述壓簧固定座連接并抵壓在所述長條鏡上。
4.如權(quán)利要求3所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，所述壓簧固定座通過螺絲與所述簧片調(diào)節(jié)座連接。
5.如權(quán)利要求3所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，所述壓簧通過螺絲與所述壓簧固定座連接。
6.如權(quán)利要求3所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，所述壓簧為薄片狀。
7.如權(quán)利要求1所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，所述鏡座包括鏡座主體以及沿所述鏡座主體的邊緣向上延伸的卡位部。
8.如權(quán)利要求7所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，所述鏡座主體上開設(shè)有若干通孔。
9.如權(quán)利要求1所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，所述簧片調(diào)節(jié)座通過螺絲固定在所述鏡座上。
10.如權(quán)利要求1所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，所述固定簧片為半圓弧型簧片。
11.如權(quán)利要求1或10所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，所述固定簧片設(shè)有調(diào)節(jié)螺釘定位的定位孔。
12.如權(quán)利要求11所述的用于固定長條鏡的固定裝置，其特征在于，所述簧片調(diào)節(jié)螺釘伸入所述定位孔內(nèi)與所述固定簧片連接。
專利摘要本實(shí)用新型提出的用于固定長條鏡的固定裝置通過添加壓簧和固定簧片，用來增加對長條鏡固定的穩(wěn)定性，從而防止長條鏡在運(yùn)動過程中脫落；由于固定簧片具有一定的彈性，從而補(bǔ)償長條鏡的面形誤差及溫度變化引起的形變，進(jìn)而降低整個(gè)裝置測量結(jié)果的誤差。
文檔編號G02B7/00GK202948188SQ201220575998
公開日2013年5月22日 申請日期2012年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月2日
發(fā)明者黃靜莉, 宋興龍 申請人:上海微電子裝備有限公司