專利名稱：一種光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)及其應(yīng)用的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光刻機化學(xué)品接口，尤其涉及一種可以保證化學(xué)品更換無誤的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)、以及使用所述接口系統(tǒng)進行化學(xué)品更換的方法。
背景技術(shù)：
光刻技術(shù)是集成電路制造中利用光學(xué)-化學(xué)反應(yīng)原理和化學(xué)、物理刻蝕方法，將電路圖形傳遞到單晶表面或介質(zhì)層上，形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術(shù)；光刻工藝是集成電路制造技術(shù)最核心的工序之一。隨著集成電路制造往更小尺寸延伸，光刻技術(shù)已從常規(guī)光學(xué)技術(shù)發(fā)展到應(yīng)用電子束、X射線、微離子束、激光等新技術(shù)；使用波長已從4000埃擴展到0. 1埃數(shù)量級范圍。光刻技術(shù)已經(jīng)成為一種精密的微細加工技術(shù)，并逐漸成為引領(lǐng)整個行業(yè)走向的風(fēng)向標(biāo)。正因為如此，光刻相關(guān)各個環(huán)節(jié)的技術(shù)研發(fā)也是各大公司關(guān)注的重點。在半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)中，光刻工藝所用的化學(xué)品種類繁多，有光刻膠、抗反射材料、填充材料等等，每個制造公司就光刻膠而言就有二十幾種甚至更多，而這些材料包裝大同小異，只有瓶上的說明標(biāo)簽可區(qū)別。在使用更換這些化學(xué)品時，因人為因素容易更換錯誤，導(dǎo)致時間和成本上的浪費。每個制造公司都出過這樣的事故。目前為防止此類事故的發(fā)生，防止更換錯誤的化學(xué)品，人們對硬件上進行了改進，在化學(xué)品包裝上增加了一種接口，不同的化學(xué)品接口(key code)不同，機臺端長管頂部有一內(nèi)置突起圓環(huán)，而在化學(xué)品瓶上是一帶缺口的圓環(huán)，當(dāng)長管插入瓶內(nèi)后，內(nèi)置突起和瓶上缺口吻合即化學(xué)品無誤，完成安裝。但是，此種硬件防止措施并不完善，因為當(dāng)機臺端的長管插入瓶內(nèi)后，發(fā)現(xiàn)接口對應(yīng)不上，才能知曉化學(xué)品是否更換錯誤。一旦發(fā)現(xiàn)錯誤，瓶內(nèi)的化學(xué)品污染了機臺管路配件，需要對機臺進行清潔，同時機臺端的長管內(nèi)的化學(xué)液體也污染了瓶內(nèi)的化學(xué)品，導(dǎo)致機時和化學(xué)品成本上的巨大浪費。

發(fā)明內(nèi)容
針對光刻機更換化學(xué)品過程中容易出現(xiàn)錯誤的問題，本發(fā)明提供了一種新型的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)、以及使用該接口系統(tǒng)進行化學(xué)品更換的方法，在化學(xué)品接觸前就能夠進行確認化學(xué)品是否正確，安裝和更換化學(xué)品前就有效的防止了錯誤的發(fā)生。因此，本發(fā)明的目的是提供一種光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)，包括連接化學(xué)品瓶的瓶口、和連接機臺端長管和長管頂部。具體地，本發(fā)明光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)中，所述瓶口設(shè)計為兩個上下相鄰的同心圓環(huán)，上部圓環(huán)可以繞圓心旋轉(zhuǎn)，上部圓環(huán)和下部圓環(huán)設(shè)有對齊的缺口，并且上部圓環(huán)的缺口連通下部圓環(huán)的缺口 ；所述長管頂部設(shè)有可拆下的鑰匙圓環(huán)；鑰匙圓環(huán)設(shè)有與所述同心圓環(huán)缺口相吻合的突起；所述長管頂部還包括內(nèi)置突起圓環(huán)，內(nèi)置突起圓環(huán)的內(nèi)置突起與鑰匙圓環(huán)的突起相同。
其中，所述鑰匙圓環(huán)突起厚度最好大于上部圓環(huán)的厚度，這樣突起可以插入下部圓環(huán)的缺口內(nèi)，最優(yōu)選地，突起厚度等于上部圓環(huán)和下部圓環(huán)缺口的深度之和。原則上，突起的數(shù)量可以比上部圓環(huán)或下部圓環(huán)缺口數(shù)量較少，但是本發(fā)明最優(yōu)選地，突起的數(shù)量可以比上部圓環(huán)或下部圓環(huán)缺口數(shù)量相同。其中，上部圓環(huán)或下部圓環(huán)缺口數(shù)量優(yōu)選為3飛個。原則上，所述各突起的粗細和長度尺寸可以相同或不同，但與對應(yīng)缺口的粗細和長度尺寸相同。本發(fā)明的第二個目的是提供一種使用上述光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)進行化學(xué)品瓶與機臺段長管的連接安裝方法。所述方法步驟包括將鑰匙圓環(huán)從機臺端長管頂部卸下，插入上部圓環(huán)中，鑰匙圓環(huán)的突起與上部圓環(huán)通孔相吻合，使用鑰匙圓環(huán)旋轉(zhuǎn)上部圓環(huán)，使上部圓環(huán)的通孔與下部圓環(huán)凹槽對齊，證明化學(xué)品無誤，移除鑰匙圓環(huán)，機臺端長管內(nèi)置突起圓環(huán)的內(nèi)置突起插入通孔和凹槽內(nèi)，將長管插入化學(xué)品瓶內(nèi)完成化學(xué)品瓶口與長管的對接安裝。本發(fā)明提供的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)改進了硬件，在機臺端長管頂部增加了可拆下的稱鑰匙圓環(huán)，鑰匙圓環(huán)也帶有突起與原設(shè)計內(nèi)置突起一樣；并增加了內(nèi)置突起厚度?；瘜W(xué)品瓶口設(shè)計為兩個缺口一致的圓環(huán)上部圓環(huán)、下部圓環(huán)，上部圓環(huán)可轉(zhuǎn)動。更換化學(xué)品時，將鑰匙圓環(huán)拆下插入上部圓環(huán)，當(dāng)鑰匙圓環(huán)的突起和上部圓環(huán)缺口吻合，可用鑰匙圓環(huán)旋轉(zhuǎn)上部圓環(huán)，使之缺口和下部圓環(huán)缺口重合，即證明化學(xué)品無誤，移除鑰匙圓環(huán)，機臺端的長管可插入新的化學(xué)品瓶內(nèi)，內(nèi)置的突起通過上部圓環(huán)、下部圓環(huán)缺口可插到底，完成安裝新的化學(xué)品。該設(shè)計相當(dāng)于先用一把鑰匙打開瓶子，在化學(xué)品接觸前就進行確認是否正確，安裝和更換化學(xué)品前就有效的防止了錯誤的發(fā)生。


圖1為本發(fā)明光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)鑰匙圓環(huán)結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)瓶口俯視結(jié)構(gòu)示意圖3為本發(fā)明光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)瓶口上、下部圓環(huán)組成結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3所述上、下部圓環(huán)缺口對齊結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為在瓶口使用前圖3所述上、下部圓環(huán)缺口結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)對接化學(xué)品瓶和長管結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式本發(fā)明提供了一種光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)，以及使用所述光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)進行光刻機與化學(xué)品瓶進行對接的方法，在機臺端長管頂部增加了可拆下的稱鑰匙圓環(huán)，鑰匙圓環(huán)也帶有突起與原設(shè)計內(nèi)置突起一樣；并增加了內(nèi)置突起厚度?；瘜W(xué)品瓶口設(shè)計為兩個缺口一致的圓環(huán)(上部圓環(huán)簡稱A圓環(huán)，下部圓環(huán)簡稱B圓環(huán))，A圓環(huán)可轉(zhuǎn)動。更換化學(xué)品時，將鑰匙圓環(huán)拆下插入A圓環(huán)，當(dāng)鑰匙圓環(huán)的突起和A圓環(huán)缺口吻合，可用鑰匙圓環(huán)旋轉(zhuǎn)A圓環(huán)，使之缺口和B圓環(huán)缺口重合，即證明化學(xué)品無誤，移除鑰匙圓環(huán)，機臺端的長管可插入新的化學(xué)品瓶內(nèi)，內(nèi)置的突起通過A、B圓環(huán)缺口可插到底，完成安裝新的化學(xué)品。該設(shè)計相當(dāng)于先用一把鑰匙打開瓶子，在化學(xué)品接觸前就進行確認是否正確，安裝和更換化學(xué)品前就有效的防止了錯誤的發(fā)生。下面參照附圖，通過具體實施例，對本發(fā)明光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)及其應(yīng)用進行詳細的介紹和描述，以使更好的理解本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解的是，下述實施例并不限制本發(fā)明范圍。參照圖廣圖6，本發(fā)明提供的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)，包括連接化學(xué)品的瓶口 2，瓶口 2內(nèi)設(shè)有瓶口缺口 20。瓶口 2設(shè)計為兩個上下相鄰的同心圓環(huán)上部圓環(huán)21和下部圓環(huán)22，上部圓環(huán)21可以繞圓心旋轉(zhuǎn)，上部圓環(huán)21和下部圓環(huán)22設(shè)有對齊的缺口，并且上部圓環(huán)的缺口連通下部圓環(huán)的缺口，從而組成瓶口缺口 20。本發(fā)明提供的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)，還包括連接機臺空心管3的長管5，長管5的頂部設(shè)有可拆下的鑰匙圓1環(huán)；瓶口缺口 20與鑰匙圓環(huán)1的突起10相吻合。長管5的頂部還包括內(nèi)置突起圓環(huán)4，內(nèi)置突起圓環(huán)4的內(nèi)置突起與鑰匙圓環(huán)1的突起10相同。突起10的高度大于上部圓環(huán)21的厚度，最好等于瓶口缺口 20的深度。瓶口缺口 20的數(shù)量共有；Γ6個，鑰匙圓環(huán)1的突起10的個數(shù)、以及內(nèi)置突起圓環(huán)4的內(nèi)置突起的個數(shù)與瓶口缺口 20的個數(shù)相同。各突起10的位置、長度、粗細程度可以不同，此時，相應(yīng)地，各個缺口 20的深度也可以不相同，并分別對應(yīng)于一個突起10。參照圖5 圖6，本發(fā)明光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)使用前，瓶口 2位于上部圓環(huán)21的上部缺口 210與和位于下部圓環(huán)22的下部缺口 220并不對齊，而是相互錯開，將鑰匙圓環(huán)1的突起10插入上部缺口 210內(nèi)，當(dāng)鑰匙圓環(huán)1的突起10與上部缺口 210向吻合時，第一次證明化學(xué)品無誤，轉(zhuǎn)動上部圓環(huán)21。上部圓環(huán)21旋轉(zhuǎn)，上部缺口 210與下部缺口 220對齊，組成缺口 20。移除鑰匙圓環(huán)1，機臺端的空心管3插入化學(xué)品瓶內(nèi)，內(nèi)置突起圓環(huán)4的內(nèi)置突起通過上部缺口 210插至下部缺口 220的底部，第二次確認接口吻合，最后按照現(xiàn)有技術(shù)完成化學(xué)品瓶與光刻機的對接安裝的其它步驟。以上對本發(fā)明的具體實施例進行了詳細描述，但其只是作為范例，本發(fā)明并不限制于以上描述的具體實施例。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，任何對本發(fā)明進行的等同修改和替代也都在本發(fā)明的范疇之中。因此，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍下所作的均等變換和修改，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)，其特征在于，包括連接化學(xué)品的瓶口，所述瓶口設(shè)計為兩個上下相鄰的同心圓環(huán)，上部圓環(huán)可以繞圓心旋轉(zhuǎn)，上部圓環(huán)和下部圓環(huán)設(shè)有對齊的缺口，并且上部圓環(huán)的缺口連通下部圓環(huán)的缺口；還包括連接機臺長管的長管頂部，所述長管頂部設(shè)有可拆下的鑰匙圓環(huán)；鑰匙圓環(huán)設(shè)有與所述同心圓環(huán)缺口相吻合的突起；所述長管頂部還包括內(nèi)置突起圓環(huán)，內(nèi)置突起圓環(huán)的內(nèi)置突起與鑰匙圓環(huán)的突起相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)，其特征在于，所述突起高度大于上部圓環(huán)厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)，其特征在于，所述突起高度與上部圓環(huán)和下部圓環(huán)深度之和相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)，其特征在于，所述鑰匙圓環(huán)突起與上部圓環(huán)或下部圓環(huán)缺口數(shù)量相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)，其特征在于，所述上部圓環(huán)或下部圓環(huán)缺口數(shù)量為3飛個。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)，其特征在于，所述各突起的位置、尺寸不同。
7.一種使用權(quán)利要求1所述光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)進行化學(xué)品瓶與機臺段長管的連接安裝方法，其特征在于，將鑰匙圓環(huán)從機臺端長管頂部卸下，插入上部圓環(huán)中，鑰匙圓環(huán)的突起與上部圓環(huán)通孔相吻合，使用鑰匙圓環(huán)旋轉(zhuǎn)上部圓環(huán)，使上部圓環(huán)的通孔與下部圓環(huán)凹槽對齊，證明化學(xué)品無誤，移除鑰匙圓環(huán)，機臺端長管內(nèi)置突起圓環(huán)的內(nèi)置突起插入通孔和凹槽內(nèi)，將長管插入化學(xué)品瓶內(nèi)完成化學(xué)品瓶口與長管的對接安裝。
全文摘要
本發(fā)明提供的光刻機化學(xué)品接口系統(tǒng)改進了硬件，在機臺端長管頂部增加了可拆下的稱鑰匙圓環(huán)，鑰匙圓環(huán)也帶有突起與原設(shè)計內(nèi)置突起一樣；并增加了內(nèi)置突起厚度?；瘜W(xué)品瓶口設(shè)計為兩個缺口一致的圓環(huán)上部圓環(huán)、下部圓環(huán)，上部圓環(huán)可轉(zhuǎn)動。更換化學(xué)品時，將鑰匙圓環(huán)拆下插入上部圓環(huán)，當(dāng)鑰匙圓環(huán)的突起和上部圓環(huán)環(huán)缺口吻合，可用鑰匙圓環(huán)旋轉(zhuǎn)上部圓環(huán)，使之缺口和下部圓環(huán)缺口重合；移除鑰匙圓環(huán)，機臺端的長管可插入新的化學(xué)品瓶內(nèi)，完成安裝新的化學(xué)品。
文檔編號G03F7/20GK102566314SQ20121001498
公開日2012年7月11日 申請日期2012年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月18日
發(fā)明者何偉明, 朱治國 申請人:上海華力微電子有限公司