專利名稱：一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱。隨著我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的繼續(xù)發(fā)展，芯片生產(chǎn)線在我國(guó)也已開始越來越規(guī)?；?，其目的是實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片上的雜質(zhì)、微粒子進(jìn)行清洗等。而作為半導(dǎo)體制程前端的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其工作中的任何問題都可能會(huì)造成無法估量的損失，因此為了不斷提高化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性，半導(dǎo)體制造廠商已越來越重視該制程中的每一個(gè)化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備。根據(jù)目前化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)所使用的情況，現(xiàn)有技術(shù)中大多采用雙向控制閥門來實(shí)現(xiàn)雙向控制，而由于該閥門的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高、重量大、安裝麻煩以及安裝條件受限制等原因，導(dǎo)致其操作起來非常困難，使用很不方便。為了解決此類問題，人們一直在尋求一種更理想的技術(shù)解決方案。本實(shí)用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，構(gòu)思巧妙，而且成本低，控制靈活，安裝和使用都非常方便。為實(shí)現(xiàn)上述目的設(shè)計(jì)一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱，包括箱體I和箱體蓋2，所述箱體I與箱體蓋2密封連接，所述箱體I內(nèi)設(shè)置有手動(dòng)閥3，所述箱體I上部的一側(cè)設(shè)有進(jìn)口 4，所述箱體I上部的另一側(cè)設(shè)有出口 5，所述箱體I下側(cè)設(shè)有出口二 6，所述箱體I的進(jìn)口 4與出口 5通過管道7相連，所述手動(dòng)閥3的進(jìn)口端通過管道7連接箱體I的進(jìn)口 4與出口 5，所述手動(dòng)閥3的出口端連接箱體I的出口二 6。所述箱體I內(nèi)側(cè)下方設(shè)置有泄漏偵測(cè)器。所述箱體I的進(jìn)口 4設(shè)置有進(jìn)口連接管道8，所述箱體I的出口 5、出口二 6分別設(shè)置有出口連接管道9。所述箱體I與箱體蓋2之間設(shè)有O型密封圈。本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，結(jié)構(gòu)新穎、簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，構(gòu)思巧妙，避免了傳統(tǒng)的雙向控制閥門所帶來的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高、重量大、安裝麻煩以及安裝條件受限制等困難，方便了半導(dǎo)體制程中芯片清洗等工作步驟；因此，本實(shí)用新型所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱不僅成本低，控制靈活，而且安裝和使用都非常方便，值得推廣應(yīng)用。


圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1、箱體2、箱體蓋3、手動(dòng)閥4、進(jìn)口 5、出口 6、出口二 7、管道8、進(jìn)口連接管道9、出口連接管道。[具體實(shí)施方式
]
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作以下進(jìn)一步說明如附圖所示，本實(shí)用新型包括箱體I和箱體蓋2，所述箱體I與箱體蓋2密封連接，所述箱體I與箱體蓋2之間設(shè)有O型密封圈，所述箱體I內(nèi)設(shè)置有手動(dòng)閥3，所述箱體I上部的一側(cè)設(shè)有進(jìn)口 4，所述箱體I上部的另一側(cè)設(shè)有出口 5，所述箱體I下側(cè)設(shè)有出口二6，所述箱體I的進(jìn)口 4與出口 5通過管道7相連，所述手動(dòng)閥3的進(jìn)口端通過管道7連接箱體I的進(jìn)口 4與出口 5，所述手動(dòng)閥3的出口端連接箱體I的出口二 6，所述箱體I的進(jìn)口 4設(shè)置有進(jìn)口連接管道8，所述箱體I的出口 5、出口二 6分別設(shè)置有出口連接管道9，所述箱體I內(nèi)側(cè)下方設(shè)置有泄漏偵測(cè)器。本實(shí)用新型中，箱體采用PP材質(zhì)制成，箱體外殼采用CPVC材質(zhì)制成，箱體與箱體蓋之間設(shè)有O型密封圈，利用該O型密封圈，實(shí)現(xiàn)了箱體與箱體蓋之間的密封連接。本實(shí)用新型所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱能夠適用于酸堿類化學(xué)品，其管道采用PFA材質(zhì)制成，該三通箱的進(jìn)口、出口分別通過進(jìn)口連接管道、出口連接管道與化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的主管路相連，該三通箱的出口二通過出口連接管道與化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的閥箱相連。本實(shí)用新型并不受上述實(shí)施方式的限制，其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡(jiǎn)化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱，包括箱體(I)和箱體蓋(2)，其特征在于:所述箱體(1)與箱體蓋(2)密封連接，所述箱體(I)內(nèi)設(shè)置有手動(dòng)閥(3 )，所述箱體(I)上部的一側(cè)設(shè)有進(jìn)口( 4)，所述箱體(I)上部的另一側(cè)設(shè)有出口( 5 )，所述箱體(I)下側(cè)設(shè)有出口二( 6 )，所述箱體(I)的進(jìn)口(4)與出口(5)通過管道(7 )相連，所述手動(dòng)閥(3 )的進(jìn)口端通過管道(7)連接箱體(I)的進(jìn)口(4)與出口(5)，所述手動(dòng)閥(3)的出口端連接箱體(I)的出口二(6)。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱，其特征在于:所述箱體(I)內(nèi)側(cè)下方設(shè)置有泄漏偵測(cè)器。
3.如權(quán)利要求1或2所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱，其特征在于:所述箱體(I)的進(jìn)口( 4 )設(shè)置有進(jìn)口連接管道(8 )，所述箱體(I)的出口( 5 )、出口二( 6 )分別設(shè)置有出口連接管道(9)。
4.如權(quán)利要求3所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱，其特征在于:所述箱體(I)與箱體蓋(2)之間設(shè)有O型密封圈。`
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用三通箱，包括箱體(1)和箱體蓋(2)，所述箱體(1)與箱體蓋(2)密封連接，所述箱體(1)內(nèi)設(shè)置有手動(dòng)閥(3)，所述箱體(1)上部的一側(cè)設(shè)有進(jìn)口(4)，所述箱體(1)上部的另一側(cè)設(shè)有出口(5)，所述箱體(1)下側(cè)設(shè)有出口二(6)，所述箱體(1)的進(jìn)口(4)與出口(5)通過管道(7)相連，所述手動(dòng)閥(3)的進(jìn)口端通過管道(7)連接箱體(1)的進(jìn)口(4)與出口(5)，所述手動(dòng)閥(3)的出口端連接箱體(1)的出口二(6)；本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，構(gòu)思巧妙，而且成本低，控制靈活，安裝和使用都非常方便。
文檔編號(hào)B08B3/08GK202909995SQ20122046196
公開日2013年5月1日 申請(qǐng)日期2012年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月11日
發(fā)明者簡(jiǎn)建至, 胡厚福 申請(qǐng)人:冠禮控制科技(上海)有限公司