化學品供應系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種化學品供應系統(tǒng)，包括：化學品桶、泵、桶空過濾器，所述化學品桶通過第一管線與所述泵連接，所述泵通過第二管線與所述桶空過濾器連接；還包括氣液分離回收裝置和氣體平衡器，所述氣液分離回收裝置分別與桶空過濾器、第一管線及氣體平衡器連接。桶空過濾器排放的氣液混合物進入到氣液分離回收裝置內；在氣液分離回收裝置內，液體下沉，氣體上升，氣液自然分離。其中，分離出來的液體進入到所述第一管線中，被重復利用；分離出來的氣體通過氣體平衡器排出，避免了氣體進入化學品供應系統(tǒng)的管線。既保證了液體完全回收，避免了化學品的浪費，又保證了化學品供應系統(tǒng)的管道中沒有氣泡。
【專利說明】化學品供應系統(tǒng)

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及集成電路制造領域，尤其涉及一種化學品供應系統(tǒng)。

【背景技術】
[0002]隨著我國半導體行業(yè)的繼續(xù)發(fā)展，芯片生產線在我國也已開始越來越規(guī)模化，其目的是實現(xiàn)對芯片上的雜質、微粒子進行清洗等。并且，由于半導體制程的不斷發(fā)展，線寬越來越窄，工藝的要求也越來越高，這些因素都對化學品供應系統(tǒng)提出了更高的要求。
[0003]如圖1所示，一種化學品供應系統(tǒng)，包括:化學品桶101，氣體平衡器102，桶空過濾器103，泵106，所述化學品桶101分別與所述氣體平衡器102和所述泵106連接，所述泵106的輸出端與桶空過濾器103連接。所述化學品供應系統(tǒng)依靠N2/Vacuum做動力的供應方式，且其供應和傳輸共用一套動力，其優(yōu)點是供應壓力平穩(wěn)且節(jié)省空間節(jié)約成本；但由于傳輸時會有氣泡進入管線，為了避免對生產造成影響，在液體到達生產機臺之前會將氣泡排放掉，原始設計在桶空過濾器103頂端設有桶空傳感器104及閥門105，當桶空傳感器104感覺到氣泡時，閥門105打開排放掉氣泡，但同時部分液體也隨之排放掉，造成生產成本提聞。
[0004]目前采用的方法是盡量保證化學品桶接頭的密閉性，同時增加桶空傳感器103的靈敏度。但采用上訴措施造成的后果是桶內剩余化學品較多，同樣增加生產成本。
實用新型內容
[0005]本實用新型的目的在于提供一種化學品供應系統(tǒng)，既保證輸送液體的品質又避免化學品的浪費。
[0006]為了達到上述目的，本實用新型提供了一種化學品供應系統(tǒng)，包括:化學品桶、泵、桶空過濾器，所述化學品桶通過第一管線與所述泵連接，所述泵通過第二管線與所述桶空過濾器連接；
[0007]還包括氣液分離回收裝置和氣體平衡器，所述氣液分離回收裝置分別與桶空過濾器、第一管線及氣體平衡器連接。
[0008]優(yōu)選的，在上述化學品供應系統(tǒng)中，所述氣液分離回收裝置包括:回收桶、液位控制管和抽吸管，所述回收桶與桶空過濾器連接，所述液位控制管與所述回收桶連通，所述抽吸管的一端置于所述位控制管內，所述抽吸管的另一端與所述第一管線連接。
[0009]優(yōu)選的，在上述化學品供應系統(tǒng)中，所述回收桶的頂部設置有液位控制連接頭；所述液位控制管呈回字型，所述液位控制管穿過所述回收桶的側壁，其通過所述液位控制連接頭與所述抽吸管連接。
[0010]優(yōu)選的，在上述化學品供應系統(tǒng)中，所述回收桶的頂部還設置有液端連接頭，所述回收桶通過液端連接頭與桶空過濾器連接。
[0011]優(yōu)選的，在上述化學品供應系統(tǒng)中，所述回收桶的頂部還設置有氣端連接頭，所述回收桶通過所述氣端連接頭與氣體平衡器連接。
[0012]優(yōu)選的，在上述化學品供應系統(tǒng)中，所述回收桶的側壁與液位控制管的連接處設置有開關。
[0013]優(yōu)選的，在上述化學品供應系統(tǒng)中，所述開關呈“L”型。
[0014]優(yōu)選的，在上述化學品供應系統(tǒng)中，所述開關與所述回收桶的側壁之間的夾角為
5。?20°。
[0015]優(yōu)選的，在上述化學品供應系統(tǒng)中，所述桶空過濾器的頂端設置有桶空傳感器。
[0016]優(yōu)選的，在上述化學品供應系統(tǒng)中，所述化學品桶與所述氣體平衡器連接。
[0017]上述技術方案具有如下優(yōu)點或有益效果:
[0018]在本實用新型提供的化學品供應系統(tǒng)中，桶空過濾器排放的氣液混合物進入到氣液分離回收裝置內；在所述氣液分離回收裝置內，液體下沉，氣體上升，氣液自然分離。其中，分離出來的液體進入到所述第一管線中，被重復利用；分離出來的氣體通過氣體平衡器排出，避免了氣體進入化學品供應系統(tǒng)的管線。既保證了液體完全回收，避免了化學品的浪費，又保證了化學品供應系統(tǒng)的管道中沒有氣泡。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為現(xiàn)有技術中化學品供應系統(tǒng)結構不意圖；
[0020]圖2為本實用新型實施例的化學品供應系統(tǒng)結構示意圖；
[0021]圖3為本實用新型實施例的氣液分離回收裝置放大結構示意圖；
[0022]圖4為本實用新型實施例的開關處于關閉狀態(tài)的放大結構示意圖；
[0023]圖5為本實用新型實施例的開關處于打開狀態(tài)的放大結構示意圖；
[0024]圖中，101-化學品桶；102_氣體平衡器；103-桶空過濾器；104-桶空傳感器；105-閥門；
[0025]201-化學品桶；202_氣體平衡器；203_泵；204_桶空過濾器；205_氣液分離回收裝置；206_桶空傳感器；207_第一管線；208_回收桶；209_液位控制管；210_開關；211_液端連接頭；212_接收管；213_液位控制連接頭；214_氣端連接頭；215_輸入管；216_抽吸管；217-第二管線。

【具體實施方式】
[0026]下面將結合示意圖對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細的描述。根據下列描述并結合權利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0027]本實用新型提供了一種化學品供應系統(tǒng)，如圖2所示，包括:化學品桶201、泵203、桶空過濾器204，所述化學品桶201通過第一管線207與所述泵203連接，所述泵203通過第二管線217與所述桶空過濾器204連接；
[0028]還包括氣液分離回收裝置205和氣體平衡器202，所述氣液分離回收裝置205分別與桶空過濾器204、第一管線207及氣體平衡器202連接。
[0029]具體的，桶空過濾器204排放的氣液混合物進入到氣液分離回收裝置205內；在所述氣液分離回收裝置205內，液體下沉，氣體上升，氣液自然分離。其中，分離出來的液體進入到所述第一管線207中，被重復利用；分離出來的氣體通過氣體平衡器202排出。
[0030]進一步的，所述桶空過濾器204的頂端設置有桶空傳感器206。當桶空傳感器206檢測到氣泡時，就將桶空過濾器204中氣液混合物排入到所述氣液分離回收裝置205中。
[0031]具體的，如圖3所示，所述氣液分離回收裝置205，包括:回收桶208、液位控制管209和抽吸管216，所述回收桶208與所述桶空過濾器204連接，所述液位控制管209的進口連接于所述回收桶208的側壁，所述抽吸管216的一端置于所述位控制管209內，所述抽吸管216的另一端與所述第一管線207連接。。所述液位控制管209為回字型，穿過所述回收桶208的側壁。
[0032]所述回收桶208的頂部設置有液位控制連接頭213，所述液位控制管209通過液位控制連接頭213與抽吸管216連接。所述回收桶208的側壁與液位控制管209的連接處設置有開關210。
[0033]化學品供應系統(tǒng)在應用中，第一管線207中每隔一定時間(例如20秒)會出現(xiàn)一次真空狀態(tài)，每次持續(xù)一定時間(例如5秒)。隨著回收桶208內的液體增多，當回收桶208內的液位增高到液位控制管209的進口處時，當?shù)谝还芫€207中處于真空間歇狀態(tài)時，回收桶208內的壓強與液位控制管209內的壓強相等，也就是說開關210左右的壓強相等，開關210在液體浮力的作用下打開，如圖4所示，液體從回收桶208內流入到液位控制管209內，并將液位控制管209內的氣體擠入到所述回收桶208中。
[0034]接著，第一管線207中出現(xiàn)真空狀態(tài)，液位控制管209內的液體被吸入到第一管線207中，通過第一管線207進入化學品供應系統(tǒng)中。同時，所述回收桶208內的液位下降，當液位下降到低于所述液位控制管209的進口時，所述開關210在重力作用下關閉，如圖5所
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[0035]具體的，所述開關210為“L”型，增大了與液體的接觸面積，從而增大了浮力，更有利于開關210的打開。
[0036]所述開關210與所述回收桶208的側壁之間有夾角，在5°?20°之間，是的開關210在重力作用下能更好的關閉。
[0037]進一步的，所述回收桶208的頂部設置有氣端連接頭214，所述回收桶208通過所述氣端連接頭214與氣體平衡器202的輸入管215連接，從而與氣體平衡器202連接。
[0038]具體的，當回收桶208內的氣壓高于液位控制管209內的氣壓時，真空通過氣體平衡器202接入到所述回收桶208，使得回收桶208內的氣體排出，從而使得回收桶208內的氣壓與液位控制管209內的氣壓平衡。當回收桶208內的氣壓低于液位控制管209內的氣壓時，將氮氣通過氣體平衡器202充入到所述回收桶208內，使得回收桶208內的氣壓與液位控制管209內的氣壓平衡。
[0039]進一步的，由于回收桶208內的氣壓與液位控制管209內的氣壓平衡，當開關210關閉時，第一管線207中出現(xiàn)真空狀態(tài)，也能保證沒有液位控制管209內的氣體不會通過第一管線207進入到化學品供應系統(tǒng)中。
[0040]所述回收桶208的頂部還設置有液端連接頭211，所述回收桶208通過液端連接頭211與桶空過濾器204的接收管212連接。當有氣泡產生時，氣液混合物通過桶空過濾器204進入到所述回收桶208內，并在所述回收桶208內實現(xiàn)氣液分離。
[0041]在本實施例中，所述化學品桶201與所述氣體平衡器202連接。在本實用新型的其他實施例中，所述化學品桶也可以與其他氣體平衡器連接，即在本實用新型提供的化學品供應系統(tǒng)中，可以設置兩個氣體平衡器。
[0042]綜上，在本實用新型實施例提供的化學品供應系統(tǒng)中，桶空過濾器排放的氣液混合物進入到氣液分離回收裝置內；在所述氣液分離回收裝置內，液體下沉，氣體上升，氣液自然分離。其中，分離出來的液體進入到所述第一管線中，被重復利用；分離出來的氣體通過氣體平衡器排出，避免了氣體進入化學品供應系統(tǒng)的管線。既保證了液體完全回收，避免了化學品的浪費，又保證了化學品供應系統(tǒng)的管道中沒有氣泡。
[0043]上述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術領域】的技術人員，在不脫離本實用新型的技術方案的范圍內，對本實用新型揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術方案的內容，仍屬于本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種化學品供應系統(tǒng)，其特征在于，包括:化學品桶、泵、桶空過濾器，所述化學品桶通過第一管線與所述泵連接，所述泵通過第二管線與所述桶空過濾器連接； 還包括氣液分離回收裝置和氣體平衡器，所述氣液分離回收裝置分別與桶空過濾器、第一管線及氣體平衡器連接。
2.如權利要求1所述的化學品供應系統(tǒng)，其特征在于，所述氣液分離回收裝置包括:回收桶、液位控制管和抽吸管，所述回收桶與桶空過濾器連接，所述液位控制管與所述回收桶連接，所述抽吸管的一端置于所述位控制管內，所述抽吸管的另一端與所述第一管線連接。
3.如權利要求2所述的化學品供應系統(tǒng)，其特征在于，所述回收桶的頂部設置有液位控制連接頭；所述液位控制管呈回字型，所述液位控制管穿過所述回收桶的側壁，其通過所述液位控制連接頭與所述抽吸管連接。
4.如權利要求3所述的化學品供應系統(tǒng)，其特征在于，所述回收桶的頂部還設置有液端連接頭，所述回收桶通過液端連接頭與桶空過濾器連接。
5.如權利要求4所述的化學品供應系統(tǒng)，其特征在于，所述回收桶的頂部還設置有氣端連接頭，所述回收桶通過所述氣端連接頭與氣體平衡器連接。
6.如權利要求2所述的化學品供應系統(tǒng)，其特征在于，所述回收桶的側壁與液位控制管的連接處設置有開關。
7.如權利要求6所述的化學品供應系統(tǒng)，其特征在于，所述開關呈“L”型。
8.如權利要求6所述的化學品供應系統(tǒng)，其特征在于，所述開關與所述回收桶的側壁之間的夾角為5°?20°。
9.如權利要求1所述的化學品供應系統(tǒng)，其特征在于，所述桶空過濾器的頂端設置有桶空傳感器。
10.如權利要求1所述的化學品供應系統(tǒng)，其特征在于，所述化學品桶與所述氣體平衡器連接。
【文檔編號】F17D3/01GK204083814SQ201420454473
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年8月12日 優(yōu)先權日:2014年8月12日
【發(fā)明者】王學利 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司