專利名稱：襯底貼合設(shè)備和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
這里描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例涉及貼合(bonding)襯底。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在在市場(chǎng)上可以得到多種平板顯示器件。其中，IXD與其他器件相比能產(chǎn)生優(yōu) 良圖像質(zhì)量而且重量輕、厚度薄、功耗低。IXD是通過(guò)將液晶注入到薄膜晶體管(TFT)襯底 和濾色器(CF)襯底之間制成的。用來(lái)貼合這些襯底的工藝所具有的缺點(diǎn)是，這些工藝增加 了成本并對(duì)性能有負(fù)面影響。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種襯底貼合設(shè)備，包括第一室，所述第一室包 括第一表面板，在第一表面板上接收第一襯底；表面板升降機(jī)，用于升起第一表面板；第二 室，所述第二室包括第二表面板，在第二表面板上接收待貼合于第一襯底的第二襯底；至少 一處膠粘劑，包含于第一表面板，用于附著到第一襯底；以及膠粘劑升降機(jī)，用于獨(dú)立地升 起膠粘劑。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種襯底貼合方法，包括將第一襯底附著于第一 表面板的膠粘劑；將第二襯底附著于第二表面板，使第一襯底和第二襯底對(duì)準(zhǔn)；使第一襯 底從第一表面板分離；以及升起包含于第一表面板的膠粘劑，使第一襯底落到第二襯底上， 以使第一襯底和第二襯底被貼合在一起。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種襯底卡盤，包括表面板，包括用于附著襯底 的膠粘劑；以及分離單元，設(shè)置在表面板上，用來(lái)使所述襯底從表面板分離。


圖1是表示襯底貼合設(shè)備一個(gè)實(shí)施例的示意圖。圖2是表示包含在圖1設(shè)備中的襯底卡盤放大視圖的示意圖。圖3到圖6是表示膠粘劑例子的示意圖。圖7和圖8是表示包含在襯底貼合方法的多種實(shí)施例中的步驟的流程圖。圖9和圖10是表示根據(jù)前述實(shí)施例的襯底卡盤可以如何操作的示意圖。圖11是表示襯底貼合設(shè)備另一個(gè)實(shí)施例的示意圖。圖12是可以用在圖11中的襯底卡盤的俯視圖。圖13和圖14是表示圖11和圖12中的襯底卡盤的構(gòu)造和操作的示意圖。圖15到圖18是表示可用于根據(jù)這里描述的實(shí)施例的設(shè)備中的膠粘劑布置。圖19和圖20是表示襯底卡盤另外的例子的示意圖。
具體實(shí)施方式

IXD可以用多種工藝制造。例如，一種工藝涉及制備TFT襯底和CF襯底，另一種工 藝涉及貼合這兩個(gè)襯底，又一種工藝涉及將液晶材料注入到兩個(gè)襯底之間的空間中。貼合 這兩個(gè)襯底的工藝是決定LCD質(zhì)量和性能的最重要的工藝之一。襯底貼合工藝可以由襯底貼合設(shè)備進(jìn)行。該設(shè)備包括上室和下室，這兩個(gè)室限定 了產(chǎn)生真空的居間空間。由Fujitsu Limited申請(qǐng)的名稱為“System forProducing Pasted Substrate” 的國(guó)際公開(kāi)第 W0/2004/097509、由 Shin-EtsuEngineering Co.，Ltd 申請(qǐng)的名 稱為“Sticking Device for Flat Panel Substrate”的國(guó)際公開(kāi)第W0/2003/091970，公開(kāi) 了這種類型的襯底貼合設(shè)備的例子。在這些設(shè)備的操作過(guò)程中，TFT和CF襯底受壓，而使它們貼合在一起。為了實(shí)現(xiàn) 貼合，兩個(gè)靜電卡盤(ESC)以彼此相對(duì)的關(guān)系放置。襯底由靜電卡盤保持。在貼合過(guò)程中， 使卡盤相互靠近，同時(shí)精確地維持卡盤的平行度。然后，進(jìn)行襯底的貼合工藝。但是，在這些設(shè)備中使用的靜電卡盤非常昂貴。而且各卡盤表面上的聚酰亞胺膜 被用來(lái)產(chǎn)生靜電力。在使用過(guò)程中，這種膜常常被襯底貼合工藝中產(chǎn)生的顆粒損壞。圖1表示的是另一種類型的襯底貼合設(shè)備的一個(gè)實(shí)施例。這個(gè)設(shè)備包括第一室 100和第二室200，在這兩個(gè)室中分別接收第一襯底Sl和第二襯底S2。第二室固定于基座 上，第一室位于第二室上方并由升降機(jī)300沿著上下方向運(yùn)動(dòng)。用于保持第一襯底Sl的第一襯底卡盤110設(shè)置在第一室的底部。其上接收第二 襯底S2的第二襯底卡盤210設(shè)置在第二室的頂部。第一襯底卡盤安裝在第一室內(nèi)的第一 表面板101上，第二襯底卡盤安裝在第二室內(nèi)的第二表面板201上。第二襯底卡盤210可以是一種通過(guò)靜電力保持第二襯底S2的靜電卡盤(ESC)。而 且，在第二室中設(shè)置了多個(gè)升降銷220，這些升降銷220貫穿或者以其他方式穿過(guò)第二襯底 卡盤210和第二表面板201。當(dāng)?shù)诙r底S2被載運(yùn)進(jìn)來(lái)時(shí)，升降銷被升起以接收第二襯底S2，然后被降下，使 得第二襯底被接收在第二襯底卡盤210上。當(dāng)頂部的第一襯底Sl和底部的第二襯底S2貼 合起來(lái)形成面板時(shí)，升降銷220升起貼合后的面板，以使其能夠被送出到外面。在第一室中也可以包含攝像機(jī)130，用來(lái)拍攝第一襯底Sl和第二襯底S2上的對(duì)準(zhǔn) 標(biāo)記。通過(guò)對(duì)這些對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行成像，可以決定襯底Sl和S2是否位于精確并對(duì)準(zhǔn)的位置。 攝像機(jī)經(jīng)過(guò)貫穿第一室的孔IOOa拍攝標(biāo)記。照明單元230設(shè)置在第二室200的底部，為孔 200a提供光，使攝像機(jī)130能夠更好地拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。襯底貼合設(shè)備還可以包括渦輪分子泵(TMP)或者干式泵，用來(lái)在第一、二室被相 互緊密靠近時(shí)形成的處理空間中產(chǎn)生真空。第一表面板升降機(jī)151、膠粘劑升降機(jī)131和升降機(jī)300可以做成直線致動(dòng)器。圖2表示的是用于圖1襯底貼合設(shè)備的襯底卡盤110的放大視圖。襯底卡盤110 包括上面接收第一襯底Sl的第一表面板101、用于使第一表面板上下運(yùn)動(dòng)的第一表面板升 降機(jī)151、貫穿或者穿過(guò)第一表面板101用來(lái)附著到第一襯底Sl的多處膠粘劑124、以及用 于沿上下方向移動(dòng)膠粘劑124的膠粘劑升降機(jī)131。膠粘劑按照矩陣的形式布置在第一表面板101上。通過(guò)按矩陣形式布置膠粘劑，可以容易地維護(hù)和修補(bǔ)膠粘劑。除了矩陣形式外，可以根據(jù)用戶的方便按照各種形式和構(gòu) 造來(lái)布置膠粘劑。通過(guò)固化10 75重量份、具有鍵合到硅原子的烯基(alkenyl groups)的有機(jī)聚 硅氧烷、5 30重量份有機(jī)含氫聚硅氧烷(organhydrogenpolysiloxane)、包括加成固化型 (addition-cure)催化劑的可加成固化的硅橡膠合成物，可以獲得各膠粘劑124。這些膠粘 劑可以通過(guò)壓力成型、粉漿澆鑄(slip casting)或者注射成型，對(duì)硅橡膠合成物進(jìn)行模制 形成?；蛘?，可以通過(guò)將光照射到作為一種塑料的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上形成細(xì)溝 槽，而形成這些膠粘劑，其中細(xì)溝槽具有直徑大約為400nm的突起和凹陷。膠粘劑可以按圖3到圖6所示的各種形狀形成。例如，膠粘劑可以按圖3所示的 圓形、圖4所示的四邊形、圖5所示的五邊形或者圖6所示的橢圓形形成。現(xiàn)在來(lái)描述襯底貼合設(shè)備的操作以及可以根據(jù)圖1實(shí)施例執(zhí)行的襯底貼合方法。圖7和圖8是流程圖，示出了包含在襯底貼合方法各種實(shí)施例中的步驟，圖9和圖 10是表示襯底卡盤操作的示意圖。開(kāi)始時(shí)，機(jī)器人(沒(méi)有示出)可以把第一襯底Sl載運(yùn)進(jìn)第一室100和第二室200 相互分開(kāi)的空間中。第一室的膠粘劑升降機(jī)131使膠粘劑下降，使第一襯底Sl附著到膠粘 劑(S100)。膠粘劑升降機(jī)然后將膠粘劑和第一襯底Sl 一起升起。同時(shí)，在接收第一襯底Sl的過(guò)程中，真空卡盤可以接收第一襯底Sl并向上運(yùn)動(dòng)， 使第一襯底Sl粘到膠粘劑上。升降機(jī)131上下移動(dòng)膠粘劑124。在其他實(shí)施例中可以使用 多個(gè)膠粘劑升降機(jī)131來(lái)執(zhí)行這種功能。第一襯底Sl被載運(yùn)進(jìn)來(lái)之后，由機(jī)器人載運(yùn)第二襯底S2。升降銷220被升起來(lái)接 收第二襯底S2。一旦升降銷支承到第二襯底S2，機(jī)器人就從室移出。然后，升降銷運(yùn)動(dòng)，使 第二襯底S2被接收在第二表面板201上。當(dāng)?shù)诙r底S2被接收在第二表面板上時(shí)，第二 襯底S2被靜電力附著到第二襯底卡盤210。隨后，第一室100被升降機(jī)300降向第二室200，由此形成處理空間。通過(guò)干式泵 或者渦輪分子泵在處理空間中形成真空。這時(shí)，對(duì)第一、第二襯底S1、S2進(jìn)行粗對(duì)準(zhǔn)。完成 了襯底之間的粗對(duì)準(zhǔn)后，進(jìn)行襯底Si、S2之間的精確對(duì)準(zhǔn)，以完成對(duì)準(zhǔn)(SllO)。在完成了對(duì)準(zhǔn)步驟之后，處理空間被置于真空狀態(tài)，并使第一和第二襯底Sl和S2 相互靠近(見(jiàn)圖9)。在這種狀態(tài)下，膠粘劑124由膠粘劑升降機(jī)131升起，第一表面板101由第一表面 板升降機(jī)151降下，使得第一襯底Sl與膠粘劑分離(見(jiàn)圖10)。相應(yīng)地，第一襯底與膠粘劑 分開(kāi)并落在第二襯底S2上，使得第一襯底Sl和第二襯底S2貼合在一起(S120和S130)。膠粘劑和第一表面板101上下運(yùn)動(dòng)的優(yōu)先順序可以變化。例如，根據(jù)襯底分離方 法的一個(gè)實(shí)施例，膠粘劑先被升起(S120)，然后在膠粘劑被降下的時(shí)候第一表面板101被 降下(S130)，如圖7所示。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，第一表面板先被降下(S120)，然后，在第一 表面板被降下的時(shí)候?qū)⒛z粘劑升起(S130)。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，膠粘劑和第一表面板同時(shí) 沿相反方向運(yùn)動(dòng)。當(dāng)?shù)谝灰r底Sl和第二襯底S2貼合在一起時(shí)，將氮注入到處理空間中，使處理空間 處于大氣壓狀態(tài)。利用氮的注入，第一、二襯底更牢固地貼合在一起。完成了最后的貼合工 藝后，第一室和第二室彼此分開(kāi)，第二室的升降銷向上運(yùn)動(dòng)以升起貼合后的面板。然后，機(jī)器人進(jìn)入處理空間，取走貼合后的面板。圖11表示的是襯底貼合設(shè)備的另一個(gè)實(shí)施例。該設(shè)備包括里面分別接收第一襯 底Sl和第二襯底S2的第一室300和第二室400。第二室固定到基座上，第一室由升降機(jī) 490上下運(yùn)動(dòng)。上面接收第一襯底Sl的第一襯底卡盤310位于第一室中，上面接收第二襯底S2 的第二襯底卡盤410位于第二室中。第一襯底卡盤安裝在第一室中的第一表面板301上， 第二襯底卡盤410安裝在第二室中的第二表面板401上。第一襯底卡盤可以通過(guò)范德瓦爾 斯力保持第一襯底，第二襯底卡盤可以通過(guò)靜電力保持第二襯底。圖12表示的是第一襯底卡盤的俯視圖，圖13和圖14表示的是該襯底卡盤的構(gòu)造 和操作。如圖12所示，第一襯底卡盤包括在第一表面板301上以矩陣形式布置的多個(gè)夾持 單元324。當(dāng)所述多個(gè)夾持單元按矩陣形式布置時(shí)，可以方便第一襯底卡盤的維護(hù)和修理。如圖13和14所示，每個(gè)夾持單元都包括用于通過(guò)附著力保持第一襯底Sl的多處 膠粘劑327和用于將第一襯底Sl從膠粘劑分離的多個(gè)分離單元326。分離單元326包括膨脹構(gòu)件328，該膨脹單元328膨脹以接觸由膠粘劑保持的第一 襯底Sl的附著表面；安裝單元330，其中膨脹構(gòu)件安裝在附著表面?zhèn)纫孕纬蓺饷芸臻g；加熱 單元332，用來(lái)加熱安裝單元中的空氣；以及供給孔335，用來(lái)向膨脹構(gòu)件328供給加熱后的 空氣。膨脹構(gòu)件可以用任何一種彈性材料形成。例如，膨脹構(gòu)件可以是膜片(diaphragm)， 加熱單元332可以是熱絲。在安裝單元330的里面設(shè)置支承構(gòu)件334，用來(lái)在膨脹構(gòu)件返回到其原來(lái)狀態(tài)時(shí) 防止膨脹構(gòu)件變形。支承構(gòu)件支承根據(jù)安裝單元中空氣溫度的升高和降低而反復(fù)膨脹和收 縮的膨脹構(gòu)件，并且用來(lái)在反復(fù)使用中維持操作精度的可靠性。膠粘劑327可以在分離單元326外周邊按圓形圖案布置。每處膠粘劑可以例如基 本上按矩形、弧形或者寬度向著膨脹構(gòu)件變窄的三角形形成，如圖15到圖17所示?；蛘撸?如圖18中所示，膠粘劑可以設(shè)置在中心位置，分離單元328可以圍繞著膠粘劑的周邊放置。 在其他實(shí)施例中，可以實(shí)現(xiàn)這些圖案的組合。第二襯底卡盤410可以是一種通過(guò)靜電力保持第二襯底S2的靜電卡盤(ESC)。貫 穿第二表面板401和第二襯底卡盤410的多個(gè)升降銷420設(shè)置在第二表面板的底部。當(dāng)?shù)诙r底被載運(yùn)進(jìn)來(lái)時(shí)升降銷被升起以接收第二襯底S2，然后被降下，使得第 二襯底被接收在第二襯底卡盤410上。當(dāng)?shù)谝缓偷诙r底貼合形成貼合后的面板時(shí)，升降 銷升起貼合后的面板，使其能被送出。用于拍攝第一和第二襯底上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的攝像機(jī)330，被用來(lái)決定襯底是否位于 精確位置，該攝像機(jī)被設(shè)置在第一室中。攝像機(jī)經(jīng)過(guò)貫穿第一室的孔拍攝標(biāo)記。在第二室 底部的照明單元430給攝像機(jī)提供光，使攝像機(jī)能夠更好地拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。用于在第一室和第二室相互靠近時(shí)形成的處理空間中產(chǎn)生真空的渦輪分子泵 (TMP)或者干式泵，連接于第一室和第二室?，F(xiàn)在描述根據(jù)本實(shí)施例的襯底貼合設(shè)備的操作。開(kāi)始時(shí)，機(jī)器人將第一襯底S 1 載運(yùn)進(jìn)第一室300和第二室400相互分開(kāi)的空間中。然后，第一室中的真空卡盤320被降 下以保持第一襯底Si，接著被升起。當(dāng)?shù)谝灰r底被真空卡盤320所保持并升起時(shí)，第一襯底 被附著到第一表面板301上的膠粘劑327。
然后，用機(jī)器人載運(yùn)第二襯底S2。為了接收第二襯底，升降銷420被升起以支承第 二襯底，然后機(jī)器人從室移出。升降銷接著被降下，使第二襯底被接收在第二表面板401上 并被第二襯底卡盤410所保持。隨后，第一室300被升降機(jī)490運(yùn)動(dòng)并緊密地放于第二室400，由此形成了工藝室。 當(dāng)形成工藝室時(shí)，由干式泵或渦輪分子泵在工藝室中產(chǎn)生真空。這時(shí)，第一表面板301下 降，以在第一襯底Sl和第二襯底S2之間進(jìn)行粗對(duì)準(zhǔn)。完成了粗對(duì)準(zhǔn)后，進(jìn)行襯底間的精確 對(duì)準(zhǔn)，因此完成了襯底的對(duì)準(zhǔn)。對(duì)準(zhǔn)之后，如圖11所示，在第一襯底Sl和第二襯底S2相互靠近時(shí)，工藝室被置于 真空狀態(tài)。接下來(lái)，當(dāng)膨脹構(gòu)件328如圖12所示膨脹時(shí)，第一襯底Sl與膠粘劑327分離并 落在第二襯底S2上面，使得第一襯底Sl和第二襯底S2被貼合在一起。
當(dāng)?shù)谝灰r底Sl和第二襯底S2貼合在一起時(shí)，空氣從室300和400中排出，以產(chǎn)生 大氣壓力狀態(tài)。可以從第一室供給氮?dú)?N2),使第一和第二襯底更牢固地貼合在一起。完成最終的貼合工藝后，第一室和第二室相互分開(kāi)，并且第二室的升降銷420向 上運(yùn)動(dòng)，以升起貼合后的面板。接著，機(jī)器人進(jìn)入處理空間，取走貼合后的面板，于是，完成 了貼合工藝。圖19和圖20表示的是可以與前述襯底貼合設(shè)備一起使用的襯底卡盤的其他例子。在圖19所示的例子中，襯底卡盤包括在表面板501上形成的安裝單元500、設(shè)置在 安裝單元500中能滑動(dòng)的分離塊510、放置在安裝單元500里面用來(lái)將分離塊510移向襯底 的膜片520、以及用于支承分離塊的兩端以使分離塊返回到安裝單元里面的彈簧530。在分 離襯底的過(guò)程中，襯底卡盤將空氣注入膜片的里面使其膨脹。當(dāng)膜片膨脹時(shí)，分離塊被推出 安裝單元，而將襯底與膠粘劑524分離。襯底分離后，供給到膜片的空氣被截止。結(jié)果，彈 簧530使分離塊返回到安裝單元的里面。在圖20所示的例子中，襯底卡盤包括在表面板601上形成的安裝單元600、設(shè)置在 安裝單元中能滑動(dòng)的分離塊610、放置在安裝單元里面使分離塊移向襯底的施壓?jiǎn)卧?30、 以及放置在分離塊和施壓?jiǎn)卧g用于在施壓?jiǎn)卧祷氐耐瑫r(shí)使分離塊返回的彈簧620。 并且，0型圈640設(shè)在施壓?jiǎn)卧膬啥伺c分離塊側(cè)面之間。襯底卡盤的施壓?jiǎn)卧?30由作動(dòng)缸等的驅(qū)動(dòng)源上下移動(dòng)。當(dāng)施壓?jiǎn)卧唤迪聲r(shí)， 分離塊610被施壓?jiǎn)卧蛑惭b單元的底部推出，以將襯底與膠粘劑524分離。當(dāng)施壓?jiǎn)?元向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，分離塊被彈簧的恢復(fù)力升起并返回到安裝單元的里面。因此，前述實(shí)施例提供了一種形成有帶附著力的膠粘劑的襯底卡盤、使用該襯底 卡盤的襯底貼合設(shè)備、襯底分離的方法以及襯底貼合的方法。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，一種襯底貼合設(shè)備包括第一室，包括第一表面板，在第一表面 板上接收第一襯底；表面板升降機(jī)，用于升起第一表面板；第二室，包括第二表面板，在第 二表面板上接收待貼合于第一襯底的第二襯底；膠粘劑，穿過(guò)第一表面板并附著第一襯底； 以及膠粘劑升降機(jī)，用于獨(dú)立地升起膠粘劑。膠粘劑可以是多處膠粘劑，膠粘劑升降機(jī)可以 同時(shí)升起所述多處膠粘劑。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，一種襯底卡盤包括表面板，在表面板上接收襯底；表面板升 降機(jī)，用于升起表面板；膠粘劑，穿過(guò)表面板并附著襯底；以及膠粘劑升降機(jī)，用于獨(dú)立地升起膠粘劑。膠粘劑可以是多處膠粘劑，并且膠粘劑升降機(jī)可以同時(shí)升起所述多處膠粘劑。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，一種襯底分離方法包括降下表面板，使襯底從表面板分離； 以及升起穿過(guò)表面板并附著襯底的膠粘劑。膠粘劑可以在表面板被降下的時(shí)候升起。表面 板可以在膠粘劑被升起的時(shí)候降下。膠粘劑和表面板可以同時(shí)沿著相反的方向上下運(yùn)動(dòng)。
根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，一種襯底貼合方法包括將第一襯底附著于第一襯底的膠粘 劑；將第二襯底附著于第二表面板，使第一襯底和第二襯底對(duì)準(zhǔn)；降下第一表面板，使襯底 從第一表面板分離；以及升起穿過(guò)第一表面板并附著第一襯底的膠粘劑，使第一襯底落到 待貼合在一起的第二襯底上。膠粘劑可以在第一表面板被降下的時(shí)候升起。第一表面板可 以在膠粘劑被升起的時(shí)候降下。膠粘劑和表面板可以沿著相反的方向同時(shí)上下運(yùn)動(dòng)。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，一種襯底貼合設(shè)備包括第一室，在第一室中接收第一襯底； 第二室，與第一室是分開(kāi)的，在第二室中接收要與第一襯底貼合的第二襯底；膠粘劑，設(shè)置 在第一室中，用于通過(guò)附著力附著第一襯底；以及分離單元，設(shè)置在第一室中，用來(lái)使第一 襯底與膠粘劑分離。膠粘劑可以圍繞著分離單元的周邊形成。分離單元可以圍繞著膠粘劑 的周邊形成。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，一種襯底卡盤包括表面板，包括用來(lái)附著襯底的膠粘劑；以 及分離單元，設(shè)置在表面板上，用來(lái)使襯底與表面板分離。分離單元可以包括膨脹構(gòu)件，膨 脹構(gòu)件膨脹到被膠粘劑附著的襯底的附著表面；安裝單元，其中安裝有膨脹構(gòu)件，安裝單元 形成在表面板上以形成氣密空間；以及加熱單元，用于加熱安裝單元中的空氣以使膨脹構(gòu) 件膨脹。膨脹構(gòu)件可以是膜片，加熱單元可以是熱絲。在安裝單元中可以設(shè)置支承構(gòu)件，以 在膨脹構(gòu)件返回時(shí)防止膨脹構(gòu)件變形。分離單元可以包括形成在表面板上的安裝單元、設(shè)置在安裝單元中能夠滑動(dòng)的分 離塊、放置在安裝單元里面用來(lái)將分離塊移向襯底的膜片、以及用來(lái)支承分離塊的兩端以 使分離塊返回安裝單元里面的彈簧。分離單元可以包括形成在表面板上的安裝單元、設(shè)置在安裝單元中能夠滑動(dòng)的分 離塊、放置在安裝單元里面用來(lái)將分離塊移向襯底的施壓?jiǎn)卧?、以及放置在分離塊和施壓 單元之間以在施壓?jiǎn)卧环祷貢r(shí)同時(shí)使分離塊返回的彈簧。膠粘劑可以圍繞著分離單元的周邊形成。膠粘劑可以按橢圓形形成，多處膠粘劑 可以按輻射狀圍繞著分離的周邊設(shè)置。膠粘劑可以按彎曲的橢圓形形成，并布置成圍繞著 分離單元的周邊。膠粘劑可以按三角形形成，多處膠粘劑可以設(shè)置成使所述多處膠粘劑的 每個(gè)頂點(diǎn)圍繞著分離單元的周邊放置。分離單元可以圍繞著膠粘劑的周邊設(shè)置。根據(jù)這里描述的實(shí)施例，可以因此以比傳統(tǒng)靜電卡盤低的成本加工襯底卡盤，還 可以更好地方便維護(hù)和修理，由此提高了襯底貼合設(shè)備的制造和操作效率。任何談到“一個(gè)實(shí)施例”、“實(shí)施例”、“舉例性實(shí)施例”等的地方，意思是結(jié)合該實(shí)施 例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中。在本說(shuō)明書(shū)各處的 這種表述形式不一定都指相同的實(shí)施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實(shí)施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者 特點(diǎn)時(shí)，所主張的是，結(jié)合其他的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)落在本領(lǐng)域技術(shù)人 員的范圍內(nèi)。盡管參照本發(fā)明多個(gè)解釋性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了描述，但是，應(yīng)該 明白，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍內(nèi)。更具體地說(shuō)，在前述公開(kāi)、附圖以及權(quán)利要求的范圍內(nèi)，可以在零部件和/或從屬組合布局的布局方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會(huì)脫離本發(fā)明的精 神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其他的使用也是 明顯的 。
權(quán)利要求
一種襯底卡盤，包括表面板，包括用于附著襯底的膠粘劑；以及分離單元，設(shè)置在所述表面板上，用來(lái)使所述襯底從所述表面板分離。
2.如權(quán)利要求1所述的襯底卡盤，其中，所述分離單元包括膨脹構(gòu)件，所述膨脹構(gòu)件膨脹到被所述膠粘劑附著的所述襯底的附著表面； 安裝單元，在所述安裝單元中安裝有所述膨脹構(gòu)件，所述安裝單元形成在所述表面板 上，用于形成氣密空間；加熱單元，用于加熱所述安裝單元中的空氣，以使所述膨脹構(gòu)件膨脹。
3.如權(quán)利要求2所述的襯底卡盤，其中，所述膨脹構(gòu)件包括膜片，所述加熱單元包括熱絲。
4.如權(quán)利要求2所述的襯底卡盤，其中，支承構(gòu)件被設(shè)置在所述安裝單元中，以在所述 膨脹構(gòu)件返回到未膨脹位置時(shí)防止所述膨脹構(gòu)件變形。
5.如權(quán)利要求1所述的襯底卡盤，其中，所述分離單元包括 安裝單元，形成在所述表面板上；分離塊，設(shè)置在所述安裝單元中，能夠滑動(dòng)；膜片，放置在所述安裝單元里面，用來(lái)將所述分離塊移向所述襯底；以及 彈簧，用來(lái)支承所述分離塊的兩端，以使所述分離塊返回所述安裝單元的里面。
6.如權(quán)利要求1所述的襯底卡盤，其中，所述分離單元包括 安裝單元，形成在所述表面板上；分離塊，設(shè)置在所述安裝單元中，能夠滑動(dòng)；施壓?jiǎn)卧胖迷谒霭惭b單元里面，用來(lái)將所述分離塊移向所述襯底；以及 彈簧，放置在所述分離塊和所述施壓?jiǎn)卧g，用以在所述施壓?jiǎn)卧环祷貢r(shí)同時(shí)使 所述分離塊返回。
7.如權(quán)利要求1所述的襯底卡盤，其中，所述膠粘劑圍繞著所述分離單元的周邊形成。
8.如權(quán)利要求1所述的襯底卡盤，其中，所述膠粘劑基本上具有橢圓形或者三角形中 的一種形狀。
9.如權(quán)利要求8所述的襯底卡盤，其中，具有橢圓形或者三角形中一種形狀的多處膠 粘劑被設(shè)置成使所述多處膠粘劑的每個(gè)頂點(diǎn)圍繞著所述分離單元的周邊放置。
10.如權(quán)利要求1所述的襯底卡盤，其中，多處膠粘劑沿著徑向圍繞著所述分離單元的 周邊設(shè)置。
全文摘要
一種襯底貼合設(shè)備，包括第一室，第一室包括第一表面板，在第一表面板上接收第一襯底；表面板升降機(jī)，用于升起第一表面板；第二室，第二室包括第二表面板，在第二表面板上接收待貼合于第一襯底的第二襯底；至少一處膠粘劑，包含于第一表面板用來(lái)附著到第一襯底；以及膠粘劑升降機(jī)，用于獨(dú)立地升起膠粘劑。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK101813847SQ20101014462
公開(kāi)日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2008年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月3日
發(fā)明者黃甫成權(quán), 黃載錫 申請(qǐng)人:愛(ài)德牌工程有限公司