專利名稱：一種芯片顯微拍攝系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種芯片顯微拍攝系統(tǒng)，尤其涉及一種用于集成電路 分析的芯片顯微拍攝系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，在對(duì)芯片進(jìn)行拍攝時(shí)，通常通過(guò)顯微鏡人工進(jìn)行拍攝， 無(wú)法動(dòng)態(tài)的對(duì)圖像進(jìn)行捕捉，無(wú)法實(shí)時(shí)的將采集到的圖像在計(jì)算機(jī)上顯示 出來(lái)，這樣會(huì)導(dǎo)致芯片采集的精度不高。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷而提供一種芯片顯微拍 攝系統(tǒng)，它能夠?qū)崟r(shí)采集芯片的圖像，精度高，有利于對(duì)集成電路的分析。 實(shí)現(xiàn)上述目的的技術(shù)方案是 一種芯片顯微拍攝系統(tǒng)，包括一用于 拍攝芯片的顯微鏡以及一與顯微鏡連接的電動(dòng)臺(tái)，其中，還包括一加載 于顯微鏡上的電荷耦合器件CCD以及一分別控制所述的電荷耦合器件 CCD和所述電動(dòng)臺(tái)的計(jì)算機(jī)，其中
所述的電荷耦合器件CCD用于采集芯片的圖像并且轉(zhuǎn)為數(shù)字信號(hào)， 然后將該數(shù)字信號(hào)傳輸給所述的計(jì)算機(jī)；
所述的計(jì)算機(jī)用于對(duì)顯微鏡進(jìn)行X軸、Y軸、Z軸的控制，并且動(dòng) 態(tài)將電荷耦合器件CCD釆集的圖像實(shí)時(shí)的通過(guò)計(jì)算機(jī)屏幕進(jìn)行顯示，根 據(jù)需要進(jìn)行保存。
上述的芯片顯微拍攝系統(tǒng)，其中，所述的計(jì)算機(jī)分為三種拍攝模 式，分別為自動(dòng)模式和/或半自動(dòng)模式和/或手動(dòng)模式。
上述的芯片顯微拍攝系統(tǒng)，其中，所述的計(jì)算機(jī)可保存靜態(tài)的圖
片，同時(shí)也可對(duì)芯片進(jìn)行實(shí)時(shí)的動(dòng)態(tài)預(yù)覽觀測(cè)，其預(yù)覽方式可分為快速 模式和/或局部細(xì)節(jié)模式和/或全景模式。
本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型通過(guò)在現(xiàn)有的顯微鏡上加載電 荷耦合器件CCD將采集的圖像轉(zhuǎn)為數(shù)字信號(hào)后傳輸給計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理， 通過(guò)控制顯微鏡X軸、Y軸和Z軸對(duì)芯片進(jìn)行實(shí)時(shí)采集及顯示，并且根據(jù) 需要進(jìn)行保存，提高了芯片拍攝的精度并且有利于集成電路的分析。


圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
請(qǐng)參閱圖l，圖中示出了本實(shí)用新型的一種芯片顯微拍攝系統(tǒng)，包 括一用于拍攝芯片的顯微鏡1以及一與顯微鏡1連接的電動(dòng)臺(tái)2，還包
括一加載于顯微鏡1上的電荷耦合器件CCD3以及一分別控制電荷耦合 器件CCD3和電動(dòng)臺(tái)2的計(jì)算機(jī)4，其中 -
電荷耦合器件CCD3用于采集芯片(圖中未示出)的圖像并且轉(zhuǎn)為 數(shù)字信號(hào)，然后將該數(shù)字信號(hào)傳輸給計(jì)算機(jī)4;
計(jì)算機(jī)4用于對(duì)顯微鏡1進(jìn)行X軸、Y軸、Z軸的控制，并且動(dòng)態(tài) 將電荷耦合器件CCD3采集的圖像實(shí)時(shí)的通過(guò)計(jì)算機(jī)屏幕進(jìn)行顯示，根 據(jù)需要進(jìn)行保存，該計(jì)算機(jī)4分為三種拍攝模式，分別為自動(dòng)模式和/ 或半自動(dòng)模式和/或手動(dòng)模式并且都經(jīng)白平衡處理，用戶可根據(jù)需要拍 攝全區(qū)域或選擇部分區(qū)域進(jìn)行拍攝，計(jì)算機(jī)可保存靜態(tài)的圖片，同時(shí)也 可對(duì)芯片進(jìn)行實(shí)時(shí)的動(dòng)態(tài)預(yù)覽觀測(cè)，其預(yù)覽方式可分為快速模式和/或 局部細(xì)節(jié)模式和/或全景模式，預(yù)覽方式靈活。
雖然經(jīng)過(guò)對(duì)本實(shí)用新型結(jié)合具體實(shí)施例進(jìn)行描述，對(duì)于在本技術(shù) 領(lǐng)域熟練的人士，根據(jù)上文的敘述做出的替代、修改與變化將是顯而易 見(jiàn)的。因此，在這樣的替代、修改和變化落入附后的權(quán)利要求的精神和 范圍內(nèi)時(shí)，應(yīng)該被包括在本實(shí)用新型中。
權(quán)利要求1.一種芯片顯微拍攝系統(tǒng)，包括一用于拍攝芯片的顯微鏡以及一與顯微鏡連接的電動(dòng)臺(tái)，其特征在于，還包括一加載于顯微鏡上的電荷耦合器件CCD以及一分別控制所述的電荷耦合器件CCD和所述電動(dòng)臺(tái)的計(jì)算機(jī)，其中所述的電荷耦合器件CCD用于采集芯片的圖像并且轉(zhuǎn)為數(shù)字信號(hào)，然后將該數(shù)字信號(hào)傳輸給所述的計(jì)算機(jī)；所述的計(jì)算機(jī)用于對(duì)顯微鏡進(jìn)行X軸、Y軸、Z軸的控制，并且動(dòng)態(tài)將電荷耦合器件CCD采集的圖像實(shí)時(shí)的通過(guò)計(jì)算機(jī)屏幕進(jìn)行顯示，根據(jù)需要進(jìn)行保存。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種芯片顯微拍攝系統(tǒng)，包括一用于拍攝芯片的顯微鏡以及一與顯微鏡連接的電動(dòng)臺(tái)，還包括一加載于顯微鏡上的電荷耦合器件CCD以及一分別控制所述的電荷耦合器件CCD和所述電動(dòng)臺(tái)的計(jì)算機(jī)。本實(shí)用新型通過(guò)在現(xiàn)有的顯微鏡上加載電荷耦合器件CCD將采集的圖像轉(zhuǎn)為數(shù)字信號(hào)后傳輸給計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理，通過(guò)控制顯微鏡X軸、Y軸和Z軸對(duì)芯片進(jìn)行實(shí)時(shí)采集及顯示，并且根據(jù)需要進(jìn)行保存，提高了芯片拍攝的精度并且有利于集成電路的分析。
文檔編號(hào)G02B21/32GK201199283SQ20082005535
公開日2009年2月25日 申請(qǐng)日期2008年2月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月2日
發(fā)明者琪 鐘 申請(qǐng)人:上海芯索芯片分析技術(shù)有限公司