專利名稱：：感光性樹脂組合物、抗蝕圖案的形成方法、印刷電路板的制造方法以及等離子顯示屏用基...的制作方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、抗蝕圖案的形成方法、印刷電路板的制造方法以及等離子顯示屏用基板的制造方法。
背景技術：
：在印刷電路板的制造中進行蝕刻或鍍覆等時，使用抗蝕圖案作為掩模，作為用于形成所述抗蝕圖案的抗蝕材料，使用感光性樹脂組合物。感光性樹脂組合物以將由感光性樹脂組合物構成的層(以下，稱為"感光層")形成于支撐膜上的感光性元件的方式^:廣泛應用。以往，在使用感光性元件的印刷電路板的制造中，在鍍銅膜層疊板等電路形成用基板上，邊加熱邊壓焊感光性元件，使得感光層密合于電路形成用基板上，隔著掩模薄膜等對感光層進行圖案曝光。曝光后，通過使未曝光部溶解或分散于顯影液來將其除去，從而形成抗蝕圖案。通過將形成的抗蝕圖案用作掩模進行蝕刻或鍍覆來形成導體圖案。形成導體圖案后，通常，抗蝕圖案最終是被除去的。通過蝕刻形成導體圖案時，例如，利用蝕刻除去未被抗蝕圖案披覆部分的銅箔，然后，剝離抗蝕圖案。通過鍍覆形成導體圖案時，例如，在未被抗蝕圖案披覆部分的銅箔上，通過鍍覆形成銅、焊錫等層，然后，除去抗蝕圖案，通過蝕刻除去被抗蝕圖案披覆部分的銅箔?？墒?，在平板顯示器(以下，稱為"FPD")領域中，與液晶屏相比，由于可以高速顯示，并且容易實現(xiàn)大型化，所以等離子顯示屏(以下，稱為"PDP，，)滲透進OA設備、廣告顯示裝置等領域中。進而，在高品位電視領域等中，非常期待PDP的進展。伴隨著這樣的用途擴大，具有微細且多個顯示單元的彩色PDP受到了關注。PDP是，通過在形成于玻璃基板與背面玻璃基板之間的放電空間內，在電極間生成等離子放電，將由封入在放電空間內的氣體產生的紫外線照射于放電空間內的熒光體，從而進行顯示。為了將放電廣度抑制在一定區(qū)域的同時，又可確保均勻的放電空間，而通過隔壁(以下，稱為"阻隔壁(rib)")來隔開放電空間。阻隔壁具有大致寬2080fim、高度60200pm的形狀。作為形成這種阻隔壁的方法，已知有噴砂法、絲網印刷法、感光性糊劑法、光鑄法、模轉印法等。此夕卜，在SID(SocietyforInformationDisplay)中，由PhotonicsSystems公司、杜邦公司、LG麥可龍公司提倡的濕式蝕刻工藝作為新方法受到了關注。在這些阻隔壁的形成中，大部分的時候，采取對感光性樹脂組合物進行圖案曝光的工序。關于圖案曝光，有人提出了這樣的技術使用濾光器將由水銀燈光源發(fā)出的光之中波長365nm以下的光過濾99.5%以上，將由此得到的活性光線用于圖案曝光。另外，近年，由于激發(fā)出波長405nm的光的、長壽命且高輸出的氮化鎵系藍色激光光源變得能夠廉價地購入，因此有人提出了將其也用作圖案曝光的光源的技術。圖案曝光在以往通常是以水銀燈用作光源，隔著光掩模來進行，但近年，有人提出了DLP(DigitalLightProcessing:數(shù)字光處理)曝光法這種直接描繪法(例如，參照非專利文獻1)。該曝光法中，有時也利用使用濾光器將由水銀燈光源發(fā)出的光之中波長365nm以下的光過濾掉99.5%以上的活性光線、或藍色激光光源。非專利文獻l:工l^夕卜口二夕7実裝技休于(電子學安裝4支術)2002年6月號、p.7479
發(fā)明內容發(fā)明要解決的問題要想提高生產的生產能力，適宜縮短曝光時間。為此，就要求感光性樹脂組合物具有高的感光度。特別是直接描繪法由于與以往的使用光掩模的圖案曝光相比，難以確保高的照度，因此，具有需要更長曝光時間的傾向。通過適當?shù)亟M合光引發(fā)劑與增感劑，也可以實現(xiàn)感光性樹脂組合物的高感光度。但是，此時，分辨率降低，或者形成的抗蝕圖案的形狀紊亂，而傾向于難以形成抗蝕圖案的截面形狀整齊的矩形。因此，以往的感光性樹脂組合物的場合中，不能同時獲得高感光度與高分辨率以及形狀良好的抗蝕圖案。因此，本發(fā)明的目的是提供一種具有高感光度、并可以形成高分辨率且形狀良好的抗蝕圖案的感光性樹脂組合物。解決問題的方法
技術領域：
：本發(fā)明人等為了解決上述課題，著眼于粘合劑聚合物與光聚合性化合物的組成進行了潛心研究，結果發(fā)現(xiàn)，通過使用具有特定范圍的重均分子量的粘合劑聚合物，再對其組合特定組成的光聚合性化合物，就可以得到具有高感光度、并可以形成高分辨率且形狀良好的抗蝕圖案的感光性樹脂組合物，從而完成了本發(fā)明。即，本發(fā)明提供一種感光性樹脂聚合物，其特征在于，含有(A)重均分子量為3500065000的粘合劑聚合物、(B)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、以及(C)光聚合引發(fā)劑，(B)成分含有(Bl)具有一個乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、(B2)具有兩個乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、以及(B3)具有三個以上乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物，(B3)成分相對于(B)成分全體的比率為15~30質量％。(B2)成分相對于(B)成分總量的比率優(yōu)選為40~70質量％。(B2)成分的比率不在這個范圍內時，具有提高分辨率的效果降低的傾向。(Bl)成分相對于(B)成分總量的比率優(yōu)選為1530質量％。(Bl)成分的比率不在這個范圍內時，具有容易產生顯影殘渣、提高分辨率的效果降低的傾向。(C)成分優(yōu)選包含2,4,5-三芳基咪唑二聚物。這樣，可以進一步改善感光性樹脂組合物的密合性和感光度。上述感光性樹脂組合物優(yōu)選進一步含有作為(D)成分的增感色素。這樣，可以進一步提高感光性樹脂組合物的感光度。在本發(fā)明涉及的抗蝕圖案的形成方法中，向由上述感光性樹脂組合物構成的感光層照射活性光線后，除去一部分感光層來形成抗蝕圖案。本發(fā)明涉及的印刷電路板的制造方法，具備通過上述本發(fā)明涉及的抗蝕圖案的形成方法來形成抗蝕圖案的工序；將形成的抗蝕圖案用作掩模進行蝕刻或鍍覆來形成導體圖案的工序。本發(fā)明還提供一種等離子顯示屏用基板的制造方法，其為具有基板和形成于該基板上的阻隔壁的等離子顯示屏用基板的制造方法，包括通過上述本發(fā)明涉及的抗蝕圖案的形成方法來形成抗蝕圖案的工序；將形成的抗蝕圖案用作掩模，除去一部分阻隔壁前體膜使其圖案化的工序；由被圖案化的阻隔壁前體膜形成阻隔壁的工序。本發(fā)明涉及的感光性樹脂組合物與用于等離子顯示屏的阻隔壁材料的密合性良好,在等離子顯示屏的制造中，可以同時獲得高水平的密合性與分辨率。此外，從阻隔壁材料的剝離性也良好。即，本發(fā)明涉及的感光性樹脂組合物在用于制造具有阻隔壁的等離子顯示屏用基板時，是非常有用的組合物。發(fā)明效果根據本發(fā)明，提供一種具有高感光度、同時可形成高分辨率且形狀良好的抗蝕圖案的感光性樹脂組合物。根據本發(fā)明涉及的抗蝕圖案的形成方法，可以在短的曝光時間內形成高分辨率且形狀良好的抗蝕圖案。根據本發(fā)明涉及的印刷電路板的制造方法，可以以高生產能力制造具有高密度圖案化的導體圖案的印刷電路板。根據本發(fā)明涉及的等離子顯示屏用基板的制造方法，可以以高生產能力制造具有高密度圖案化的阻隔壁的等離子顯示屏用基板。圖1是表示本發(fā)明涉及的抗蝕圖案的形成方法的一個實施方式的示意剖視圖。圖2是表示本發(fā)明涉及的印刷電路板的制造方法的一個實施方式的示意剖視圖。圖3是表示本發(fā)明涉及的等離子顯示屏用基板的制造方法的一個實施方式的示意剖^L圖。符號說明1:感光層，2:抗蝕圖案；3:電路形成用基板，5:表面樹脂層，7:支撐膜，11:基板，12:基板，15:感光性元件，20:導體層，25:導體圖案，30:阻隔壁前體膜，35:阻隔壁，100:層疊基板，200:印刷電路板，300:等離子顯示屏用基板。具體實施例方式以下，對本發(fā)明適宜的實施方式進行詳細說明。但是，本發(fā)明不限于以下實施方式。在本說明書中，"(曱基)丙烯酸"意味著丙烯酸或曱基丙烯酸，"(曱基)丙烯酸酯"意味著丙烯酸酯或與其對應的曱基丙烯酸酯，"(曱基)丙烯?；?意味著丙烯酰基或曱基丙烯?；?。本實施方式涉及的感光性樹脂組合物，至少含有(A)重均分子量為3500065000的粘合劑聚合物、(B)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、以及(C)光聚合引發(fā)劑。該感光性樹脂聚合物適合用作感光性元件的構成感光層的樹脂，所述感光性元件具有支撐膜和形成于該支撐膜上的感光層。此時，感光層的與支撐膜相反側的面通常是被樹脂制的保護膜所覆蓋。保護膜在形成抗蝕圖案等時候被適當?shù)貏冸x。作為(A)成分的粘合劑聚合物，使用能夠將光聚合性化合物等其他成分溶解或分散的聚合物。粘合劑聚合物可以由l種聚合物構成，也可以由2種以上的聚合物的組合來構成。組合2種以上的聚合物時，例如，可以應用共聚成分、重均分子量或分散度互不相同的聚合物的組合。另外，也可以使用如在日本特開平11-327137號公報記載的具有多模分子量分布的聚合物。粘合劑聚合物的重均分子量(Mw)為35000-65000。如果Mw小于35000,則感光層的曝光部分的一部分在顯影時被除去，容易缺少抗蝕圖案的底部。另一方面，如果Mw超過65000,則抗蝕圖案容易形成在其底部擴大寬度的形狀。這樣，如果抗蝕圖案的截面形狀不是規(guī)整的矩形，則將抗蝕圖案用作掩模的蝕刻或鍍覆等工序的精度就會降低。從同樣的角度考慮，粘合劑聚合物的重均分子量更優(yōu)選為40000~60000，進一步優(yōu)選為45000-56000。粘合劑聚合物的分散度(Mw/Mn)優(yōu)選為1.0~3.0，更優(yōu)選為1.0-2.0。如果分散度超過3.0，則具有感光性樹脂聚合物的密合性和分辨率降低的傾向。粘合劑聚合物的重均分子量(Mw)與數(shù)均分子量(Mn),是通過凝膠滲透色譜(GPC)，作為利用使用標準聚苯乙烯的標準曲線得到的換算值來求出。作為粘合劑聚合物，可以舉出例如丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、環(huán)氧系樹脂、酰胺系樹脂、酰胺環(huán)氧系樹脂、醇酸系樹脂、酚系樹脂等。從堿顯影性的角度考慮，優(yōu)選含有(曱基)丙烯酸酯作為共聚成分的丙烯酸系樹脂。這些可以單獨使用，也可以組合2種以上來使用。有這些單體單位，使得感光層對于電路形成用基板等具有良好的密合性及剝離特性。這里，所說的"苯乙烯衍生物"是指苯乙烯的氬原子被取代基(例如，烷基等有機基或卣原子)取代的化合物。作為苯乙烯衍生物的具體例子，有乙烯基曱苯、a-曱基苯乙烯。從與上述同樣的角度考慮，來自于苯乙烯或苯乙烯衍生物的單體單位的比例，以聚合物的全部質量為基準，優(yōu)選為3~30質量％,更優(yōu)選為4~28質量％，特別優(yōu)選為5~27質量％。如果該比率小于3質量％，則具有密合性降低的傾向，如果超過30質量％,則具有剝離特性降低的傾向。另外，從密合性與剝離特性的角度考慮，粘合劑聚合物優(yōu)選具有來自于甲基丙燁酸的單體單位。特別是，使曱基丙烯酸、曱基丙烯酸烷基酯以及苯乙烯進行共聚的共聚物適合用作粘合劑聚合物。粘合劑聚合物，例如可以通過使聚合性單體進行自由基聚合來制造。作為聚合性單體，可以使用苯乙烯、苯乙烯衍生物、(曱基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙蹄酸等。作為其他的聚合性單體，可以舉出雙丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺、丙烯腈、乙烯基正丁醚等乙烯醇的酯類、(曱基)丙烯酸四氫糠酯、(曱基)丙烯酸二曱基氨基乙酯、(曱基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(曱基)丙烯酸縮水甘油酯、2,2，2-三氟乙基(曱基)丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟丙基(曱基)丙烯酸酯、a-溴(曱基)丙烯酸、a-氯(曱基)丙烯酸、(3-呋喃基(曱基)丙烯酸、p-苯乙烯基(曱基)丙烯酸、馬來酸、馬來酸酐、馬來酸單曱酯、馬來酸單乙酯以及馬來酸單異丙酯等馬來酸單酯、富馬酸、肉桂酸、a-氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸、丙炔酸。這些可以單獨使用，或者將2種以上進行任意組合來使用。(曱基)丙烯酸烷基酯，例如可以用下述通式(I)表示。式(I)中，W表示氬原子或甲基，114表示碳原子數(shù)1~12的烷基。W也可以被羥基、環(huán)氧基、卣原子等取代。(化學式l)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>(I》作為用式(I)中的R"表示的碳原子數(shù)112的烷基，可以舉出例如甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基以及它們的結構異構體。作為用式(I)表示的(曱基)丙烯酸烷基酯的合適的具體例子，可以舉出(曱基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸丙酯、(曱基)丙烯酸丁酯、(曱基)丙烯酸戊酯、(曱基)丙烯酸己酯、(曱基)丙烯酸庚酯、(曱基)丙烯酸辛酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯、(曱基)丙烯酸壬酯、(曱基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(曱基)丙烯酸十二烷基酯。這些可以單獨使用，或者將2種以上進行任意組合來使用。為了讓使用堿溶液進行堿顯影時的顯影性良好，粘合劑聚合物優(yōu)選含有具有羧基的聚合物。具有羧基的聚合物，例如可以通過使具有羧基的聚合性單體與其他的聚合性單體進行自由基聚合來制造。粘合劑聚合物含有具有羧基的聚合物時，粘合劑聚合物的酸值優(yōu)選為30200mgKOH/g,更優(yōu)選為45150mgKOH/g。如果該S吏值小于30mgKOH/g，則具有顯影時間變長的傾向，如果超過200mgKOH/g,則具有光固化后的抗蝕劑的耐顯影液性降低的傾向。將有機溶劑用作顯影液時，優(yōu)選降低粘合劑聚合物中具有羧基的聚合性單體的比例。粘合劑聚合物可以含有具有對波長350440nm的光具有感光性的官能團的聚合物。(B)成分的光聚合性化合物包含至少具有一個光聚合性的乙烯性不飽和鍵的多個光聚合性化合物。作為光聚合性化合物，可以舉出例如多元醇與a,卩-不飽和羧酸的酯、雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物、使a,P-不飽和羧酸與含有縮水甘油基的化合物進行反應而得的化合物、在分子內具有氨酯鍵的(曱基)丙烯酸酯化合物等氨酯單體、壬基苯氧基聚乙烯氧基丙烯酸酯、苯二曱酸系化合物、(甲基)丙烯酸烷基酯等。這些可以單獨使用，或者組合2種以上來使用。光聚合性化合物包含(Bl)具有一個乙烯性不飽和#:的光聚合性化合物、(B2)具有兩個乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、(B3)具有三個以上乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物。(B3)成分所具有的乙烯性不飽和鍵的數(shù)量的上限優(yōu)選為8左右。作為(Bl)成分，可以舉出例如2-乙基己基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、戊基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、異戊基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、新戊基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、己基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、庚基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、辛基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、壬基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、癸基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、十一烷基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、十二烷基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、十三烷基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、十四烷基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、十五烷基聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、十六烷基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、十七烷基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、十八烷基聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、十九烷基聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、二十烷基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、環(huán)丙基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、環(huán)丁基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、環(huán)戊基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、環(huán)己基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、環(huán)己基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、環(huán)辛基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、環(huán)壬基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、環(huán)癸基聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、苯氧基聚乙烯氧基(甲基)丙烯酸酯、苯氧基聚乙烯氧基-聚丙烯氧基(曱基)丙烯酸酯、辛基苯氧基六乙烯氧基(曱基)丙烯酸酯、辛基苯氧基七乙烯氧基(曱基)丙烯酸酯、辛基苯氧基八乙烯氧基(曱基)丙烯酸酯、辛基苯氧基九乙烯氧基(曱基)丙烯酸酯、辛基苯氧基十乙烯氧基(曱基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙烯氧基(曱基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙烯氧基-聚丙烯氧基(甲基)丙烯酸酯、具有(甲基)丙烯酸基的苯二甲酸衍生物。這些可以單獨使用，或者組合2種以上來使用。其中，特別優(yōu)選壬基苯氧基聚乙烯氧基(曱基)丙烯酸酯或具有(曱基)丙烯S吏基的苯二曱酸衍生物。作為壬基苯氧基聚乙烯氧基(曱基)丙烯酸酯，可以舉出例如壬基苯氧基四乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基五乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基六乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基七乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基八乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基九乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基十乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基十一乙烯氧基丙烯酸酯。這些可以單獨使用，或者將2種以上進行任意組合來使用。作為具有(曱基)丙烯酸基的苯二曱酸衍生物，可以舉出？氯-(3-羥丙基-『-(曱基)丙烯酰氧基乙基鄰苯二曱酸酯、P-羥基烷基-P，-(曱基)丙烯酰氧基烷基鄰苯二曱酸酯。這些可以單獨使用，或者將2種以上進行任意組合來使用。作為(B2)成分，可以舉出例如二(曱基)丙烯酸l,6-己二醇酯、二(甲基)丙烯酸1,4-己二醇酯、亞乙基的數(shù)為214的聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亞丙基的數(shù)為2~14的聚丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、亞乙基的數(shù)為2~14且亞丙基的數(shù)為214的聚乙二醇.聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A系二(甲基)丙烯酸酯、在分子內具有氨酯鍵的二(曱基)丙烯酸酯、雙(丙烯酰氧基乙基)羥基乙基異氰尿酸酯、雙酚A二縮水甘油醚二(曱基)丙烯酸酯、苯二曱酸縮水甘油酯的(曱基)丙烯酸加成物。這些可以單獨使用，或者將2種以上進行任意組合來使用。作為雙酚A系(曱基)丙烯酸酯化合物，可以舉出2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基聚丁氧基)苯基)丙烷、2,2-(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷。作為2,2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷，可以舉出例如2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基二乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基三乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基四乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基六乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基七乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基八乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基九乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十一乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十二乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十三乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十四乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十五乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十六乙氧基)苯基)丙烷。2，2-雙(4-(甲基丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷，作為BPE-500(新中村化學工業(yè)(抹)制造，制品名)可以商業(yè)地購入，2,2-雙(4-(曱基丙烯酰氧基十五乙氧基)苯基)丙烷，作為BPE-1300(新中村化學工業(yè)(抹)制造，制品名)可以商業(yè)地購入。上述2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷的一個分子內的環(huán)氧乙烷基的數(shù)優(yōu)選為420,更優(yōu)選為815。這些可以單獨使用，或將2種以上進行任意組合來使用。作為分子內具有氨酯鍵的二(曱基)丙烯酸酯化合物，可以舉出例如在P位具有OH基的(甲基)丙烯酸系單體與二異氰酸酯化合物(異佛爾酮二異氰酸酯、2，6-甲苯二異氰酸酯、2,4-甲苯二異氰酸酯、1,6-六亞曱基二異氰酸酯等)的加成反應物、三((曱基)丙烯酰氧基四乙二醇異氰酸酯)六亞曱基氰尿酸酯、EO改性氨酯二(曱基)丙烯酸酯、EO及PO改性氨酯二(曱基)丙烯酸酯。作為EO改性氨酯二(曱基)丙烯酸酯，可以舉出例如UA-ll(新中村化學工業(yè)(抹)制造，制品名)。另夕卜，作為EO與PO改性氨酯二(曱基)丙烯酸酯，可以舉出例如UA-13(新中村化學工業(yè)(抹)制造，制品名)。這些可以單獨使用，或組合2種以上來使用。作為(B3)成分，可以舉出例如三羥甲基丙烷二(曱基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、EO改性三羥曱基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、PO改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、EO及PO改性三羥曱基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、異氰尿酸的乙烯氧基改性三(曱基)丙烯酸酯、由異氰尿酸衍生的具有氨酯鍵的三(曱基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷三(曱基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四(曱基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(曱基)丙烯酸酯。這些可以單獨使用，或組合2種以上來使用。作為由異氰尿酸衍生的具有氨酯鍵的三(甲基)丙烯酸酯化合物，可以商業(yè)地購入例如UA-21、UA-41、UA-42(均由新中村化學工業(yè)(抹)制造，商品名)o這里，"EO，，表示環(huán)氧乙烷，EO改性的化合物具有環(huán)氧乙烷基的嵌段結構。另外，"PO"表示環(huán)氧丙烷，PO改性的化合物具有環(huán)氧丙烷基的嵌段結構。作為(C)成分的光聚合引發(fā)劑，可以舉出例如，4,4，-(二乙基氨基)二苯甲酮、2-爺基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-酮-1，2-曱基-1-(4-(硫代曱基)苯基)-2-嗎啉代-丙酮-1等芳香族酮；烷基蒽醌等醌類；苯偶因烷醚等苯偶因醚化合物；苯偶因、烷基苯偶因等苯偶因化合物；聯(lián)苯?？s二曱醇等聯(lián)苯酰衍生物；2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5-(曱氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(對曱氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物等2，4,5-三芳基咪唑二聚物；9-苯基吖啶、1，7-(9，9，-吖啶基)庚烷等吖啶衍生物。其中，為了進一步改善密合性與感光度，特別優(yōu)選2,4,5-三芳基咪唑二聚物。就2,4,5-三芳基咪唑二聚物而言，結合于各咪唑環(huán)的芳基的取代基可以相同，也可以不同。感光性樹脂組合物可以含有作為(D)成分的增感色素。作為增感色素，可以舉出例如吡唑啉類、蒽類、香豆素類、卩占噸酮噸酮類、P惡唑類、苯并巧悉唑類、p塞唑類、苯并p塞唑類、三唑類、芪類、三溱類、噻吩類、萘二甲酰亞胺類。這些可以分別單獨使用，或組合兩種以上來使用。(A)成分的含量相對于(A)成分與(B)成分的合計量100質量份，優(yōu)選為4080質量份，更優(yōu)選為4565質量份。如果該含量小于40質量份，則光固化物容易變脆，用作感光性元件時，具有涂膜性變差的傾向，如果超過80質量份，則具有感光度降低的傾向。(B)成分的含量相對于(A)成分與(B)成分的合計量IOO質量份，優(yōu)選為2060質量份，更優(yōu)選為35~55質量份。如果該含量小于20質量份，則具有感光度降低的傾向，如果超過60質量份，則具有光固化物變脆的傾向。(Bl)成分的比率相對于(B)成分總量為15~30質量％。該比率優(yōu)選為1727質量％,更優(yōu)選為20~25質量％。(B2)成分的比率相對于(B)成分總量優(yōu)選為40-70質量％，更優(yōu)選為4565質量°/。，進一步優(yōu)選為50~60質量％。(B3)成分的比率相對于(B)成分總量優(yōu)選為1530質量％,更優(yōu)選為1727質量％，進一步優(yōu)選為2025質量％。光聚合引發(fā)劑的含量相對于(A)成分與(B)成分的合計量100質量份，優(yōu)選為0.110.0質量份，更優(yōu)選為0.56.0質量份，進一步優(yōu)選為l-4質量份。如果該比率小于0.1質量份，則具有感光度降低的傾向，如果超過10.0質量份,則具有抗蝕層底部的固化性降低、且容易產生浮渣的傾向。增感色素的含量相對于(A)成分與(B)成分的合計量IOO質量份，優(yōu)選為0.0110.0質量份，更優(yōu)選為0.055質量份，進一步優(yōu)選為0.12質量份。如果該含量小于0.01質量份，則具有難以得到良好的感光度或分辨率的傾向，如果超過IO質量份，則具有難以形成形狀良好的抗蝕圖案的傾向。除了上述成分以外，感光性樹脂組合物中還可以含有具有至少一個可進行陽離子聚合的環(huán)狀醚基的光聚合性化合物(氧雜環(huán)丁烷化合物等)、陽離子聚合引發(fā)劑、孔雀綠等染料、三溴苯砜、隱色結晶紫等光顯色劑、熱顯色防止劑、對甲苯磺酰胺等增塑劑、顏料、填充劑、消泡劑、阻燃劑、穩(wěn)定劑、密合性賦予劑、流平劑、剝離促進劑、抗氧化劑、香料、成像劑、熱交聯(lián)劑等。這些含量相對于(A)成分與(B)成分的合計量100質量份，優(yōu)選分別是0.01-20質量份左右。這些可以單獨使用，或者組合2種以上來使用。感光性樹脂組合物可以溶解于甲醇、乙醇、丙酮、甲基乙基酮、曱基溶纖劑、乙基溶纖劑、曱苯、N,N-二曱基曱酰胺、丙二醇單曱基醚等溶劑或它們的混合溶劑中，作為固體成分30-60質量％左右的溶液來使用。該溶液是作為用于形成感光性元件的感光層的涂布液來使用?；蛘?，也可以將該溶液作為液態(tài)抗蝕劑涂布于例如金屬板的表面、如銅、銅系合金、鎳、鉻、鐵、不銹鋼等鐵系合金，優(yōu)選銅、銅系合金、鐵系合金的表面上。感光性元件具有支撐膜、形成于該支撐體上的感光層、覆蓋感光層的與支撐體相反側的面的保護膜。作為支撐膜，可以使用例如聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚酯等具有耐熱性以及耐溶劑性的聚合物膜。支撐膜的厚度優(yōu)選為1100)im，更優(yōu)選為1050)im,進一步優(yōu)選為1530|im。如果該厚度小于l(am，則在顯影前剝離支撐膜時，具有支撐膜容易被破壞的傾向，如果超過10(Vm,則具有分辨率降低的傾向。例如，通過將使上述感光性樹脂組合物溶解于溶劑的固體成分3060質量%左右的溶液(涂布液)涂布于支撐膜上，干燥支撐膜上的溶液，從而形成感光層。涂布可以用例如輥涂機、逗號涂布機、凹版涂布機、氣刀涂布機、模涂機(diecoater)、棒涂機等公知的方法來進行。干燥可以通過在70150。C加熱5~30分鐘左右來進行。為了防止有機溶劑在后續(xù)工序中擴散，殘留于感光層中的有機溶劑量優(yōu)選為2質量％以下。感光層的厚度根據用途而異，但干燥后的厚度優(yōu)選為l~100|mi，更優(yōu)選為150pm。如果該厚度小于lpim，則具有工業(yè)涂布困難的傾向，如果超過100(am,則具有粘接力或分辨率降低的傾向。感光層對波長365nm的紫外線的透過率優(yōu)選為5~75%,更優(yōu)選為7~60%,進一步優(yōu)選為10~40°/。。如果該透過率小于5%,則具有密合性降低的傾向，如果超過75%,則具有分辨率降低的傾向。透過率可以通過UV分光計來測定。作為UV分光計，可以舉出(抹)日立制作所制造的228A型W光束分光光度計。保護膜優(yōu)選為如下的保護膜感光層與保護膜的粘接力比感光層與支撐體之間的粘接力小。另夕卜，優(yōu)選低魚眼的膜。所說的"魚眼，，是指，在通過熱熔融、混煉、擠出、雙軸延伸、澆鑄法等將材料制造成膜時，材料的異物、未熔化物、氧化劣化物等被帶到膜中的物質。作為保護膜，可以使用例如聚對苯二曱酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚酯等具有耐熱性與耐溶劑性的聚合物膜。作為市售產品，可以舉出例如王子制紙(林)制造的商品名ALPHANMA-410、E-200C;信越膜(林)制造的聚丙烯膜；帝人(株)制造的PS-25等PS系列等聚對苯二曱酸乙二醇酯膜。保護膜的厚度優(yōu)選為l-100^im,更優(yōu)選為550pm，進一步優(yōu)選為530jxm。如果該厚度小于l|im，則具有在層疊時保護膜容易破壞的傾向，如果超過100pm,則具有高價的傾向。感光性元件可以進一步具有緩沖層、粘接層、光吸收層、氣體阻擋層這樣的中間層等。圖1是表示本發(fā)明涉及的抗蝕圖案的形成方法的一個實施方式的示意剖視圖。本實施方式具備在層疊基板100上形成感光層1的工序；對感光層l照射活性光線的工序；除去一部分照射過活性光線的感光層1,形成抗蝕圖案2的工序。圖1(a)所示的層疊基板100是由具有基板11以及形成于基板11上的導體層20的電路形成用基板3、形成于電路形成用基板3的導體層20側的面上的表面樹脂層5構成。導體層20被圖案化成形成有規(guī)定的圖案。表面樹脂層5被圖案化成形成有露出導體層20的表面S的開口部5a。將具有支撐膜7與形成于支撐膜7上的感光層1的感光性元件15,以使感光層1密合于層疊基板100的表面樹脂層5側的方式進行層疊，從而在層疊基板100上形成感光層1(圖1的(b))。當感光性元件具有保護膜時，在層疊前將保護膜從感光層上剝離。感光性元件15優(yōu)選通過邊加熱邊壓焊來進行層疊。更具體地講，層疊時，優(yōu)選將感光性元件15和/或層疊基板100加熱至70~130°C，優(yōu)選加壓至0.0980.98MPa左右(110kgf/cm2左右)。壓焊前也可以預先余熱層疊基板100。但是，這些條件并沒有特別限制。為了使感光層l對層疊基板100的密合性與追隨性良好，優(yōu)選在減壓下進行層疊。接著，對形成于層疊基板100上的感光層1,通過掩模圖案90以圖像狀照射活性光線(圖1的(C))。通過照射活性光線，感光層1中曝光于活性光線的部分，其感光性樹脂組合物發(fā)生固化，而形成固化層la。作為活性光線92的光源，可以使用公知的光源，例如碳弧燈、水銀蒸氣弧燈、高壓水銀燈、氙燈等可有效地放射紫外線、可見光等的光源。掩模圖案90是被稱作原圖的負片或正片掩模圖案，具有屏蔽活性光線92的屏蔽部90a與透過活性光線92的透明部90b。當支撐膜7對活性光線透明時，可以以層疊有支撐膜7的狀態(tài)照射活性光線。當支撐膜7為蔽光性時，將其除去后對感光層1照射活性光線。代替如上所述的使用掩模的方法，還可以采用通過激光器直接描繪曝光法或DLP(DigitalLightProcessing)曝光法等直接描繪法，圖像狀地照射活性光線的方法。照射活性光線后，除去感光層1中的固化層la以外的部分，就形成抗蝕圖案2。作為除去固化層la以外的部分的方法，可以舉出在除去支撐膜7之后，用濕式顯像、干式顯像等進行現(xiàn)象的方法。濕式顯像是采用顯影液，通過噴霧、搖動浸漬、涂刷、刮等公知的方法來進行?？紤]到感光性樹脂組合物的溶解性，可以從石威性水溶液、水系顯影液、有機溶劑系顯影液等中，適當?shù)剡x擇顯影液。作為顯影液，優(yōu)選,威性水溶液。作為4^性水溶液的》威，可以-使用例如氫氧化堿(鋰、鈉或鉀的氫氧化物等)、碳酸堿(鋰、鈉、鉀或銨的碳酸鹽或碳酸氫鹽等)、堿金屬磷酸鹽(磷酸鉀、磷酸鈉等)、堿金屬焦磷酸鹽(焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等)。作為堿性水溶液的合適的具體例子，可以舉出0.15質量°/。碳酸鈉的稀溶液、0.1~5質量％石友酸鉀的稀溶液、0.15質量％氬氧化鈉的稀溶液、0.1~5質量％四硼酸鈉的稀溶液。堿性水溶液的pH優(yōu)選為9~11的范圍，其溫度根據感光層1的顯影性進行適當?shù)恼{節(jié)。堿性水溶液可以含有表面活性劑、消泡劑、少量的用于促進顯影的有機溶劑等。作為水系顯影液，可以舉出由水或堿水溶液與一種以上的有機溶劑構成的顯影液。這里，作為堿性水溶液的堿，除了前述的物質以外，還可以舉出例如硼砂或偏硅酸鈉、四曱基氫氧化銨、乙醇胺、乙二胺、二乙三胺、2-氨基-2-羥基曱基-l，3-丙二醇、1,3-二氨基丙醇-2、嗎啉。水系顯影液的pH，在抗蝕劑的顯影可充分進行的范圍內優(yōu)選盡可能的小。具體來講，水系顯影液優(yōu)選pH為8~12，更優(yōu)選pH為910。作為水系顯影液中的有機溶劑，可以舉出例如丙酮、乙酸乙酯、具有碳原子數(shù)14的烷氧基的烷氧基乙醇、乙醇、異丙醇、丁醇、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丁基醚等。這些可以單獨使用，或者組合2種以上進行使用。有機溶劑的濃度通常優(yōu)選為290質量％,其溫度根據感光層1的顯影性進行適當?shù)恼{節(jié)。水系顯影液可以含有少量的表面活性劑、消泡劑等。作為有機溶劑系顯影液，可以舉出例如l，l,l-三氯乙烷、N-曱基吡咯烷酮、N,N-二甲基曱酰胺、環(huán)己酮、曱基異丁基酮、Y-丁內酯等。為了防止著火，這些有機溶劑優(yōu)選在1~20質量％的范圍內含有水?？梢愿鶕枰⒂?種以上的顯影方法。顯影的方式有浸漬方式、攪拌方式、噴霧方式、涂刷、刮等，為了提高分辨率而最適合采用高壓噴霧方式。顯影后，可以根據需要進行60250。C左右的加熱或0.210J/cn^左右的曝光，來進行抗蝕圖案的進一步固化。圖2是表示本發(fā)明涉及的印刷電路板的制造方法的一個實施方式的示意剖^L圖。本實施方式具備通過上述的抗蝕圖案的形成方法來形成抗蝕圖案2的工序；將形成的抗蝕圖案2用作掩模進行鍍覆，來形成導體圖案25的工序(圖2的(e));除去抗蝕圖案2的工序(圖2的(f))。作為鍍覆方法，可以舉出例如硫酸銅鍍覆、焦磷酸銅鍍覆等鍍銅法、高均一焊料鍍覆等鍍焊料法、瓦特浴(硫酸鎳-氯化鎳)鍍覆、氨基磺酸鎳等鍍鎳法、鍍硬金、鍍軟金等鍍金法。代替本實施方式所述的利用鍍覆在圖案化的導體層上形成導體圖案，也可以通過將抗蝕圖案用作掩模的蝕刻，除去導體層的一部分來形成導體圖案。此時，作為蝕刻液，優(yōu)選使用氯化銅溶液、氯化鐵溶液、堿性蝕刻溶液、過氧化氳蝕刻液。其中，從蝕刻因子良好的角度考慮，優(yōu)選使用氯化鐵溶液。形成導體圖案25后，除去抗蝕圖案2，得到印刷電路板200?？刮g圖案2是，例如通過用比用于顯影的堿性水溶液堿性更強的水溶液進行剝離而被除去。作為該強堿性水溶液，可以使用例如110質量％氫氧化鈉水溶液、1~10質量°/。氫氧化鉀水溶液。作為剝離的方式，可以舉出例如浸漬方式、噴霧方式。浸漬方式與噴霧方式可以單獨使用也可以并用。本發(fā)明涉及的制造方法還適宜用作多層印刷電路板或小徑通孔的制造方法。圖3是表示本發(fā)明涉及的等離子顯示屏用基板的制造方法的一個實施方式的示意剖視圖。本實施方式具備在形成于基板12上的阻隔壁前體膜30上形成抗蝕圖案2的工序；將抗蝕圖案2用作掩模，除去阻隔壁前體膜30的一部分，將其圖案化的工序；除去抗蝕圖案2的工序；由圖案化后的阻隔壁前體膜30a形成阻隔壁35的工序。在本實施方式中，首先，在基板12上形成阻隔壁前體膜30(圖3的(a))。作為基板12,使用玻璃基板等透明基板。阻隔壁前體膜30是通過將利用燒成等生成阻隔壁材料的阻隔壁前體進行成膜來形成。阻隔壁前體是從通常在等離子顯示屏制造領域中用來形成阻隔壁的材料中適當選擇。作為阻隔壁前體的具體例子，可以舉出GLASSPASTEPD200(旭硝子公司制造)等含有玻璃粒子的糊劑。在阻隔壁前體膜30上形成感光層1(圖3的(b)),通過與上述抗蝕圖案2的形成方法同樣的方法，形成抗蝕圖案2(圖3的(c))。接著，通過將抗蝕圖案2用作掩模的蝕刻，除去未被抗蝕圖案2覆蓋部分的阻隔壁前體膜30(圖3的(d))。這樣，形成圖案化后的阻隔壁前體膜30a。作為蝕刻的方法，可以舉出噴砂法、濕式蝕刻工藝。在使用噴砂法時，例如通過將二氧化硅、氧化鋁等切削粒子噴吹于阻隔壁前體膜30來進行蝕刻。在使用濕式蝕刻工藝時，利用硝酸等酸溶液進行蝕刻。蝕刻后，除去抗蝕圖案2?？刮g圖案2的除去可以用與上述印刷電路板的制造方法相同的方法進行。進一步，燒成圖案化后的阻隔壁前體膜30a,形成阻隔壁35。通過如上操作，得到具有基板12與形成于基板12上的阻隔壁35的等離子顯示屏用基板300。等離子顯示屏用基板300適合用作等離子顯示屏的背面基板。實施例以下，舉出實施例對本發(fā)明進行更具體的說明。但是，本發(fā)明不限于以下實施例。1.原料(A)粘合劑聚合物分別合成粘合劑聚合物，使其重均分子量(Mw)=34000、38000、46200、50500、55000、64000或67000。粘合劑聚合物的共聚比為甲基丙烯酸/曱基丙烯酸甲酯/曱基丙烯酸丁S旨/苯乙烯-25/45/5/25(質量比)(酸值160mgKOH/g)。將得到的粘合劑聚合物溶解于曱基溶纖劑/曱苯=3/2(質量比)的混合溶劑中，將得到的粘合劑聚合物溶液用于感光性樹脂組合物的調制。粘合劑聚合物的重均分子量(Mw)，是通過下述條件的凝膠滲透色譜(GPC)，作為由使用標準聚苯乙烯的標準曲線換算的換算值來進行測定。GPC條件泵日立L-6000型((株)日立制作所制造)色譜柱GelpackGL-R420+GelpackGL-R430+GelpackGL-R440(共計3根)(均由日立化成工業(yè)(抹)制造，商品名)洗脫液四氫呋喃測定溫度室溫流量2.05mL/分鐘檢測器日立L-3300型RI((抹)日立制作所制造)(B)光聚合性化合物(Bl)"輕丙烯酸酯(lightacrylate)NP-8EA"(商品名，共榮社化學制造)用下述化學式(la)表示的壬基苯氧基聚乙二醇丙烯酸酯"FA-MECH，，(商品名，日立化成工業(yè)林式會社制造)用下述化學式(lb)表示的2-((2-曱基-1-氧代烯丙基)氧基)乙基-3-氯-2-羥基丙基鄰苯二曱酸(化學式2)(B2)"FA-321M，，(商品名，日立化成工業(yè)株式會社制造)用下述化學式(2a)表示、m+n的平均值為IO的乙氧基化雙酚二曱基丙烯酸酯。"DA-721"(商品名，長瀨公司制造)用下述化學式(2b)表示的鄰苯二甲酸衍生物環(huán)氧基丙烯酸酯(化學式3)(式(2a)中，m和n表示正整數(shù)。)(B3)"TMPT21"(商品名，日立化成工業(yè)抹式會社制造)用下述化學式(3a)表示的聚羥基乙基醚化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯"NK低聚UA-21，，(商品名，新中村化學工業(yè)株式會社制造)用下述化學式(3b)表示的異氰酸酯'曱基丙烯酸酯酯(化學式4)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>(C)光聚合引發(fā)劑"BCIM，，2，2，-雙(2-氯苯基)-4,4'5,5，-四苯基雙咪唑(其他)增感色素'"PIR1":1-苯基-3-(4-叔丁基苯乙烯基)-5-(4-叔丁基苯基)-顯色劑.隱色結晶紫染料.孔雀綠溶劑-混合了丙酮9g、甲苯5g以及曱醇5的混合溶劑2.感光性樹脂組合物的調制將粘合劑聚合物溶液113g(固體成分54g)、光聚合引發(fā)劑3.7g、增感色素0.25g、顯色劑0.25g以及染料0.03g、與表2所示的種類以及量的光聚合性化合物溶解于上述混合溶劑中，調制出感光性樹脂組合物的溶液。3.感光性元件的制作將上述調制的感光性樹脂組合物的溶液均勾地涂布于支撐膜(聚對苯二曱酸乙二醇酯，厚度16|iim,商品名"HTFOl，，，帝人抹式會社制造)，用70。C和110。C的熱風對流式干燥器進行干燥，形成由感光性樹脂組合物構成的感光層。然后，貼附用來覆蓋感光層的保護膜，得到感光性元件。感光層的膜厚為25pm。采用UV分光計((抹)日立制作所制造，商品名"U-3310分光光度計")測定得到的各感光性元件的感光層的吸光度(OD值)。OD值的測定是，將除去了保護膜的感光性元件配置于測定側，將支撐膜配置于參照側，由吸光度模式連續(xù)測定600300nm的范圍來進行。4.感光性元件的評價(1)感光度采用裝有#600相當?shù)姆ㄌm的研磨機(三啓(抹)制造)，對在玻璃環(huán)氧材料的兩面層疊銅箔(厚度35pm)的鍍銅膜層疊板(日立化成工業(yè)(株)制造，制品名MCL-E-67)的銅箔表面進行研磨，水洗后，用空氣流進行干燥。將研磨后的鍍銅膜層疊板加溫至80。C之后，將感光性元件一邊除去保護膜一邊層疊于鍍銅膜層疊板上，使得感光層密合于鍍銅膜層疊板的表面。層疊是一邊將感光性元件和鍍銅膜層疊板加熱至120°C,—邊將整體加壓至0.392MPa(4kgf/cm2)來進行的。將層疊有感光性元件的鍍銅膜層疊板冷卻，在達到23。C的時刻，將濃度區(qū)域0-2.00、濃度階段0.05、曝光表大小20mmxl87mm、各階段大小3mmxl2mm的41段格階段式曝光表，以及作為分辨率評價用負片的具有線寬/間隔寬度為6/6~35/35(單位mm)的配線圖案的光工具密合于支撐膜上。接著，放置405nm曝光用西格瑪光機(抹)制造的銳截止濾波器SCF-100S-39L,采用以5kw短弧燈作為光源的平行光曝光機((株)ORC制作所制造，制品名EXM-1201),以41段格階段式曝光表顯影后的殘留階段段格數(shù)成為17段格的曝光量進行曝光。這里，將41段格階段式曝光表顯影后的殘留階段段格數(shù)成為17段格的曝光量作為感光層的感光度。采用應用405nm對應探頭的紫外線照度計(優(yōu)志旺(USHIO)電機(林)制造，商品名"UIT-150"+"UVD-S405"(受光部))測定照度，照度><曝光時間=曝光量。進行直描曝光時，采用例如日立維亞機械(抹)制造的DE-1AH進行同樣的曝光。此時，由于直接曝光而不需要光工具。另外，由于光源是405nm的LD(激光二極管)，因此不需要銳截止濾波器。曝光后，剝離支撐膜，用l質量。/。碳酸鈉水溶液在3(TC下噴霧24秒鐘，除去未曝光部分。(2)剝離性在用上述方法形成為40微米間距(L/S=20/20[im)的抗蝕圖案的鍍銅膜層疊板的銅箔上，通過表1所示的條件的電解鍍銅形成厚度20iim的鍍銅膜。然后，采用30wt。/。氬氧化鈉水溶液，用表l所示的條件剝離抗蝕圖案。然后，用金屬顯微鏡觀察未被剝離而殘留的抗蝕圖案，評價剝離性。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>(3)分辨率在可以通過顯影處理完全除去未曝光部，并且所生成的線未發(fā)生蛇形、缺損情況的部分的線寬/間隔寬(L/S)之中，將最小值作為指標來評價分辨率。該值越小分辨率越優(yōu)異。(4)抗蝕形狀采用日立掃描電子顯微鏡S-500A,觀察顯影后的抗蝕圖案的形狀。顯影后的抗蝕圖案的截面形狀希望近似于矩形。如果發(fā)生在抗蝕圖案的底部抗蝕圖案被部分地削去的"底部侵蝕"的現(xiàn)象；或在未曝光部殘留有一部分抗蝕劑的現(xiàn)象；或者抗蝕圖案的底部未被除去的"底部殘渣"這樣的現(xiàn)象，則抗蝕圖案的截面形狀就不能成為規(guī)整的矩形。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>*相對于(B)成分總量的比率如表2所示，實施例110為，分辨率和抗蝕形狀都非常優(yōu)異。與此相對，粘合劑聚合物的重均分子量不在3500065000的范圍內的比較例1與4、以及(B3)成分的比率不在15~30質量％的范圍內的比較例2和3為，分辨率與抗蝕形狀中的至少一項比實施例差。即，證明了根據本發(fā)明，可以提供一種能充分維持高感光度、并能同時改善分辨率和抗蝕形狀的感光性樹脂組合物。權利要求1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(A)重均分子量為35000～65000的粘合劑聚合物、(B)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、以及(C)光聚合引發(fā)劑，所述(B)成分含有(B1)具有一個乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、(B2)具有兩個乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、以及(B3)具有三個以上乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物，所述(B3)成分相對于所述(B)成分總量的比率為15～30質量％。2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述(B2)成分相對于所述(B)成分總量的比率為4070質量％。3.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述(Bl)成分相對于所述(B)成分總量的比率為15~30質量％。4.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述(C)成分含有2,4,5-三芳基咪唑二聚物。5.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，進一步含有(D)增感色素。6.—種抗蝕圖案的形成方法，其特征在于，對由權利要求15中任一項所述的感光性樹脂組合物形成的感光層照射活性光線后，除去所述感光層的一部分，來形成抗蝕圖案。7.—種印刷電路板的制造方法，其特征在于，具備通過權利要求6所述的抗蝕圖案的形成方法來形成抗蝕圖案的工序；將所述抗蝕圖案用作掩模進行蝕刻或鍍覆來形成導體圖案的工序。8.—種具有基板和形成于該基板上的阻隔壁的等離子顯示屏用基板的制造方法，其特征在于，具備通過權利要求6所述的抗蝕圖案的形成方法，在形成于基板上的阻隔壁前體膜上形成抗蝕圖案的工序；將所述抗蝕圖案用作掩模，除去所述阻隔壁前體膜的一部分，將其圖案化的工序；由被圖案化的所述阻隔壁前體膜形成阻隔壁的工序。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(A)重均分子量為35000～65000的粘合劑聚合物、(B)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、以及(C)光聚合引發(fā)劑，(B)成分含有(B1)具有一個乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、(B2)具有兩個乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、以及(B3)具有三個以上乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物，(B3)成分相對于(B)成分總量的比率為15～30質量％。文檔編號G03F7/004GK101384961SQ20078000547公開日2009年3月11日申請日期2007年2月20日優(yōu)先權日2006年2月21日發(fā)明者宮坂昌宏,熊木尚申請人:日立化成工業(yè)株式會社