專利名稱：著色感光性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及著色感光性樹脂組合物。
技術(shù)背景著色感光性樹脂組合物用于制造CCD、 CMOS等圖像傳感器和液晶 顯示面板、電致發(fā)光、等離子體顯示面板等顯示裝置中使用的濾色片。其中圖像傳感器用濾色片，隨著圖像感器的高象素化，要求高分辨 率并且膜厚薄的材料。如果簡單減薄膜厚，則彩色密度變淡，所以為了 確保足夠的彩色密度，則必需提高形成濾色片象素的感光性樹脂組合物 中的顏料濃度。但是使用含有高濃度顏料的著色感光性樹脂組合物形成 膜，使用規(guī)定形狀的掩模進行曝光，通過顯影液除去不需要的部分，制 造濾色片時，存在不能通過顯影液除去的顯影殘渣殘留多的問題(例如 參照專利文獻1 )。于是對即使含有高濃度顏料顯影殘渣也少的制造濾色片用著色感 光性樹脂組合物進行了研究，在含有著色劑、粘結(jié)劑樹脂、光聚合性化 合物、光聚合引發(fā)劑、溶劑的著色感光性樹脂組合物中提出了光聚合性 化合物包含乙氧基化二季戊四醇六丙烯酸酯和乙氧基化季戊四醇(例如 參照專利文獻2),但是制造圖像傳感器用濾色片時在顯影殘渣方面還 存在改進的余地。[專利文獻1] 特開平8-2"723號公報；[專利文獻2] 特開平10-62986號公報。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供即使含有高濃度顏料，在制造濾色片時顯影 殘渣也少的著色感光性樹脂組合物。為了找到能夠解決上述課題的著色感光性樹脂組合物，本發(fā)明者進 行研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，作為光聚合性化合物含有甘油三丙烯酸酯衍生物的 著色感光性樹脂組合物可以解決上述問題。也就是本發(fā)明提供以下[l] ~ [6]的內(nèi)容。 [l]著色感光性樹脂組合物，它是含有(A)顏料、(B)粘結(jié)劑樹脂、(C) 光聚合性化合物、(D)光聚合引發(fā)劑和(E)溶劑的著色感光性樹脂組合 物，其中，(A)顏料相對于著色感光性樹脂組合物固形物的含量，以質(zhì)量 分率計為35~60質(zhì)量％ ,并且(C)光聚合性化合物含有化學式(I)所示化 合物。o[化學式(I)中1、 m和n各自獨立地表示O以上的整數(shù)，l+m+n表示 3~20的整數(shù)。][2]根據(jù)[1]中所述的組合物，其中，化學式(I)所示化合物相對于(C) 光聚合性化合物的含量，以質(zhì)量分率計為5~100質(zhì)量％。[3]根據(jù)[1]或[2]中所述的組合物，其中，(C)光聚合性化合物相對于 著色感光性樹脂組合物固形物的含量，以質(zhì)量分率計為5~45質(zhì)量％。[4]根據(jù)[1]中所述的組合物，其中，化學式(I)所示化合物中l(wèi)+m+n 表示3-12的整數(shù)。[5]根據(jù)[1]中所述的組合物，其中，化學式(I)所示化合物中l(wèi)+m+n 表示6~ 12的整數(shù)。[6]使用[1] ~ [5]任意一項中所述組合物形成的圖案。[7]含有[6]中所述圖案的濾色片。[8]具備[7]中所述濾色片的圖像傳感器。
具體實施方式
本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物是含有(A)顏料、(B)粘結(jié)劑樹脂、 (C)光聚合性化合物、(D)光聚合引發(fā)劑和(E)溶劑的著色感光性樹脂組合 物，其中，(A)顏料相對于著色感光性樹脂組合物固形物的含量，以質(zhì)量 分率計為35~60質(zhì)量％ ,并且(C)光聚合性化合物含有化學式(I)所示化 合物。<formula>formula see original document page 5</formula>化學式(I)中1、 m和n各自表示0以上的整數(shù)，l+m+n表示3 20 的整數(shù)。從所得膜的透過率觀點考慮，優(yōu)選l+m+n為3 ~ 12的整數(shù)。(C)光聚合性化合物是可以通過光照射由(D)光聚合引發(fā)劑生成的活 性自由基和酸等進行聚合的化合物。作為前述(C)光聚合性:合物中的化學式(I)所^化合物的含量，以質(zhì) 量分率計優(yōu)選為5~ 100質(zhì)量％,更優(yōu)選為10~100質(zhì)量％,進一步優(yōu)選 為20~ 100質(zhì)量％。聚合性的化合物。作為其它々^示光聚合性的化:合物:優(yōu)選3官能以上的 多官能的顯示光聚合性的化合物，作為3官能以上的多官能的顯示光聚 合性的化合物，例如可以列舉季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四曱基丙 烯酸酯、二季戊四醇五曱基丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、含 有羧基的二季戊四醇五丙烯酸酯衍生物等。前述(C)光聚合性化合物相對于著色感光性樹脂組合物固形物的含 量，以質(zhì)量分率計優(yōu)選為5~50質(zhì)量％，更優(yōu)選10~40質(zhì)量％,進一步 優(yōu)選12~35質(zhì)量％。如果(C)光聚合性化合物的含量在前述范圍，則可 以進行充分固化、提高顯影前后的膜厚比率，圖案中不容易形成側(cè)蝕、 具有提高附著性的傾向，所以優(yōu)選前述范圍。其中，所謂著色感光性樹脂組合的固形物是指(A)顏料、(B)粘結(jié)劑 樹脂、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引發(fā)劑以及根據(jù)需要所添加成分 中在25。C下為非液體的成分的總量。作為(A)顏料，具體可以列舉按照染料索引(The Society of Dyers and Colourists出版)分類屬于顏料的化合物。具體例如可以列舉C.I.顏料黃 1、 3、 12、 13、 14、 15、 16、 17、 20、 24、 31、 53、 83、 86、 93、 94、 109、 110、 117、 125、 128、 137、 138、 139、 147、 148、 150、 153、 154、166、 173、 194、 214等黃色顏料；C.I.顏料橙13、 31、 36、 38、 40、 42、 43、 51、 55、 59、 61、 64、 65、 71、 73等橙色顏料；C丄顏料紅9、 97、 105、 122、 123、 144、 149、 166、 168、 176、 177、 180、 192、 209、 215、 216、 224、 242、 254、 255、 264、 265等紅色顏料；C丄顏料藍15、 15:3、 15:4、 15:6、 60等藍色顏料； C丄顏料紫l、 19、 23、 29、 32、 36、 38等紫色顏料； C丄顏料綠7、 36等綠色顏料; C.I.顏料棕23、 25等棕色顏料;C.I.顏料黑1、 7等黑色顏料等。其中優(yōu)選含有選自C.I.顏料黃138、 139、 150; C.I.顏料紅177、 209、 254; C.I.顏料紅紫23; C丄顏料藍15 : 3、 15 : 6和C丄顏泮十綠7、 36的至少一種顏料。當形成紅色象素時作為顏料組合，例如可以列舉C丄顏料紅177和 C丄顏料紅254的組合，C.I.顏料黃150、 C丄顏料紅177和CI.顏料紅254 的組合等。當形成綠色象素時作為顏料組合，例如可以列舉C.I.顏料黃150和 C丄顏料綠36的組合，C.I.顏料黃139、 C丄顏料綠7和C丄顏料綠36的 組合等。當形成藍色象素時作為顏料組合，例如可以列舉C丄顏料藍15 : 3 和C.I.顏料紅紫23的組合，C.I.顏料藍15 : 6和C丄顏料紅紫23的組合等。(A)顏料，根據(jù)需要可以含有分散劑和部分或全部(B)粘結(jié)劑樹脂進 行分散處理，作為以顏料均勻分散在溶液中狀態(tài)的分散液獲得。作為前述分散劑，例如可以列舉陽離子系、陰離子系、非離子系、 兩性、聚酯系、聚胺系等表面活性劑等，這些分散劑，既可以單獨使用， 也可以組合兩種以上^f吏用。作為該表面活性劑，例如可以列舉聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯烷 基苯基醚類、聚乙二醇二酯類、山梨糖醇酐脂肪酸酯類、脂肪酸改性聚 酯類、叔胺改性聚氨酯類、聚乙烯亞胺類等，除此之外，還可以列舉商 品名為KP (信越化學工業(yè)(林)制)、求卩7 口一 (共榮化學(抹) 制)、工7卜'7 7° (卜 一少厶7° 口夕、、夕少公司制)、 > 力'7 7 夕(大 日本4 >矢化學工業(yè)(林)制)、7口，一K (住友只卩一工厶(抹) 制)、7廿匕#一 K、廿一7 口 > (以上旭硝子(才朱)制)、乂》7八一只(七、矛力(抹)制)、EFKA ( EFKA CHEMICALS公司制)、PB821 (味O素(抹)制)等。使用分散劑時，其相對于顏料100質(zhì)量％的用量，以質(zhì)量分率計優(yōu) 選為0.1 ~ 100質(zhì)量％,更優(yōu)選為5~50質(zhì)量％。如果分散劑的用量在前 述范圍，則存在可以得到均勻分散液的傾向，所以優(yōu)選前述范圍。本發(fā)明中所用的(A)顏料相對于著色感光性樹脂組合物固形物的含 量，以質(zhì)量分率計為35 - 60質(zhì)量％,優(yōu)選為35~55質(zhì)量％，更優(yōu)選為 35~50質(zhì)量％。其中，本說明書中的所謂固形物是指著色感光性樹脂組合物的(A) 顏料、(B)粘結(jié)劑樹脂、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引發(fā)劑，以及根 據(jù)需要添加的成分中在25。C時為非液體的成分的總量。如果(A)顏料的含量在前述范圍，則制成濾色片時的彩色密度充 分，并且可以使組合物中含有必要量以上的粘結(jié)劑樹脂，因此可以形成 機械強度充分的圖案，所以優(yōu)選前述范圍。本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物，只要是在無損于本發(fā)明效果的范 圍內(nèi)，除了(A)顏料以外，還可以同時使用染料。作為前述染料，可以列舉油溶性染料、酸性染料、酸性染料的胺鹽 和酸性染料的磺酰胺衍生物等。作為前述油溶性染料，例如可以列舉C,I.溶劑黃4 (以下敘述中省 略C丄溶劑黃的表述，而只敘述其編號；對于其它種類染料以及色相， 也同樣進4亍省略存又述)、14、 15、 23、 24、 38、 62、 63、 68、 82、 94、 98、 99、 162; C.I.溶劑紅45、 49; C丄溶劑橙2、 7、 11、 15、 26、 56; C.I.溶劑藍35、 37、 59、 67等。另外，作為C.I.酸性染料，可以列舉C丄酸性黃17、 29、 40、 76; C丄酸性紅91、 92、 97、 114、 138、 151; C丄酸性橙51、 63; C丄酸性 藍80、 83、 90; C丄酸性綠9、 16、 25、 27等染料。另外，染料(A)中例如還可以使用化學式(i) ~ (vii)所示酸性染料的胺 鹽以及化學式(viii) ~ (ix)所示酸性染料的磺酰胺衍生物。 <formula>formula see original document page 8</formula>[化學式(i) (ix)中D表示色素母體。m表示1 ~20的整數(shù)。n表示1-20的整數(shù)。e和f各自獨立地表示1 ~ 10的整數(shù)。Ph表示苯基。Py表示通過窒原子連接至CnH2n+1的吡啶環(huán)殘基或甲基吡啶環(huán)殘基'p表示1 ~8的整凄史。 q表示0 8的整數(shù)。 L表示氫原子或一價陽離子。]作為D,具體可以列舉偶氮染料母體、咕噸染料母體、蒽醌染料母 體、三苯基曱烷染料母體和酞菁染料母體。m優(yōu)選表示1 ~ 10的整數(shù)，更優(yōu)選表示1 ~ 8的整數(shù)。n優(yōu)選表示1 ~ 10的整數(shù)，更優(yōu)選表示1 ~ 8的整數(shù)。e和f各自獨立地優(yōu)選表示1 ~ 8的整數(shù)，更優(yōu)選表示1 ~ 6的整數(shù)。Py優(yōu)選表示甲基吡啶環(huán)殘基。p優(yōu)選表示1 ~ 6的整數(shù)，更優(yōu)選表示1 ~ 5的整數(shù)。 q優(yōu)選表示0 6的整數(shù)，更優(yōu)選表示0 5的整數(shù)。 作為L中的一價陽離子，例如可以列舉鋰離子、鈉離子、鉀離子、(C2Hs)3HN+等季銨離子等，優(yōu)選列舉鈉離子。另外，作為具有偶氮染料母體的染料，例如可以列舉化學式(10)所示染料和化學式(11)-(13)所示染料。<formula>formula see original document page 8</formula> 化學式(10)中R"表示碳原子數(shù)為2~20的烷基、烷基鏈的碳原子數(shù)為 2~ 12的環(huán)己基烷基、烷基鏈的碳原子數(shù)為1 ~4的烷基環(huán)己基、用碳原 子數(shù)為2~ 12的烷氧基取代的碳原子數(shù)為2~ 12的烷基、化學式(IO-I-l)所示烷基羧基烷基、化學式(10-l-2)所示烷基氧羰基烷基、用碳原子數(shù) 為1 ~20的烷基取代的苯基或用苯基取代的碳原子數(shù)為1-20的烷基。L1-C0-0-L2- (10-1-1)L3-0-CO-L4- (10-1-2)化學式(10-1-1)中1^表示碳原子數(shù)為2~ 12的烷基。I 表示碳原子 數(shù)為2~ 12的亞烷基?；瘜W式(10-l-2)中1^3表示碳原子數(shù)為2~ l2的烷基。1/表示碳原子 數(shù)為2~ 12的亞烷基。作為碳原子數(shù)為2~20的烷基，可以列舉乙基、正丙基、異丙基、 正己基、正壬基、正癸基、正十二烷基、2-乙基己基、1,3-二曱基丁基、 l-曱基丁基、1,5-二曱基己基、1,1,3,3-四甲基丁基等。作為烷基鏈的碳原子數(shù)為2~ 12的環(huán)己基烷基，可以列舉環(huán)己基乙 基、3-環(huán)己基丙基、8-環(huán)己基辛基等。
作為烷基鏈的碳原子數(shù)為1-4的烷基環(huán)己基，可以列舉2-乙基環(huán) 己基、2-丙基環(huán)己基、2-(正丁基)環(huán)己基等。作為用碳原子數(shù)為2~12的烷氧基取代的碳原子數(shù)為2~12的烷 基，可以列舉3-乙氧基-正丙基、丙氧基丙基、4-丙氧基-正丁基、3-曱基 -正己基氧乙基、3-(2-乙基己基氧)丙基等。作為用碳原子數(shù)為1 20的烷基取代的苯基，可以列舉鄰異丙基苯 基等。作為用苯基取代的碳原子數(shù)為1~20的烷基，可以列舉DL-l-苯基 乙基、千基、3-苯基-正丁基等。作為Ll和L3中碳原子數(shù)為2~ 12的烷基，可以列舉乙基、丙基、 正己基、正壬基、正癸基、正十二烷基、2-乙基己基、1,3-二甲基丁基、 l-甲基丁基、1,5-二甲基己基、1,1,3,3-四曱基丁基等。作為L2和L4中碳原子數(shù)為2-12的亞烷基，可以列舉二亞曱基、 六亞甲基等。作為R31~R34，可以列舉氫原子、曱基、乙基、正丙基、正丁基、 異丙基、仲丁基、叔丁基、氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，優(yōu)選 氫原子、甲基、乙基、正丙基、正丁基、異丙基、仲丁基、叔丁基、氟 原子、氯原子。另外，化學式(10)所示染料中作為優(yōu)選染料，具體可以列舉化學式 (14)所示化合物。作為具有蒽醌染料母體的染料，例如可以列舉化學式(1 "所示化合物。作為具有三苯基曱烷染料母體的染料，例如可以列舉化學式(16)所 示化合物。另外，作為具有咕噸染料母體的染料，例如可以列舉化學式(17)所 示化合物。作為具有酞菁染料母體的染料，例如可以列舉化學式(18)所 示化合物等。<formula>formula see original document page 10</formula>
S02NH(Chy3OCH(CH3>2
這些染料根據(jù)對著色組合物中所用溶劑的溶解度和使用含該著色 組合物的著色感光性樹脂組合物形成濾色片圖案時的耐光退色性和分 光光譜進行適當選擇。
本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物含有(B)粘結(jié)劑樹脂。前述(B)粘結(jié) 劑樹脂優(yōu)選含有由(甲基)丙烯酸衍生的結(jié)構(gòu)單元。其中，(曱基)丙
烯酸表示丙烯酸和/或曱基丙烯酸。由前述(曱基)丙烯酸衍生的結(jié)構(gòu)單 元的含量在構(gòu)成(B)粘結(jié)劑樹脂的所有結(jié)構(gòu)單元中以摩爾分率計優(yōu)選為
10~40摩爾％,更優(yōu)選為13~35摩爾％。如果由(曱基)丙烯酸衍生的 結(jié)構(gòu)單元含量在前述范圍，則顯影時溶解性好，并且存在顯影后不容易 殘留殘渣的傾向，所以優(yōu)選前述范圍。
作為衍生由(甲基)丙烯酸衍生的結(jié)構(gòu)單元以外的粘結(jié)劑樹脂結(jié)構(gòu) 單元的其它單體，例如可以列舉芳香族乙烯基化合物、不飽和羧酸酯 類、不飽和羧酸氨基烷基酯類、不飽和羧酸縮水甘油酯類、羧酸乙烯酯 類、不飽和醚類、乙烯基氰化合物、不飽和酰胺類、不飽和酰亞胺類、 脂肪族共軛二烯類、聚合物分子鏈末端具有單丙烯?；騿螘趸?基的大分子單體類。另外，作為前述結(jié)構(gòu)單元，例如可以列舉化學式(V) 所示單元以及化學式(VI)所示單元等。
作為RW和R11,例如可以列舉氫原子、甲基、乙基、正丙基、異丙 基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、l-曱基丁基、2-曱基丁基、3-曱基丁基、l-乙基丙基、2-乙基丙基、正己基、l-曱基戊基、2-曱基戊基、 3-曱基戊基、4-甲基戊基、l-乙基丁基、2-乙基丁基、3-乙基丁基等，優(yōu) 選列舉氫原子、曱基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁 基，更優(yōu)選氫原子、曱基、乙基。
作為前述粘結(jié)劑樹脂，具體可以列舉曱基丙烯酸/芐基甲基丙烯酸酯 共聚物、曱基丙烯酸/芐基曱基丙烯酸酯/苯乙烯共聚物、曱基丙烯酸/芐 基曱基丙烯酸酯/異水片基曱基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酸/苯乙烯/千
基甲基丙烯酸酯/N-苯基馬來酰亞胺共聚物、曱基丙烯酸/化學式(V)所示
結(jié)構(gòu)成分(R"表示甲基，R"表示氫原子)/千基曱基丙烯酸酯共聚物、 化學式(V)所示結(jié)構(gòu)成分(R^表示曱基，Ru表示氫原子)/芐基曱基丙 烯酸酯共聚物、曱基丙烯酸/化學式(VI)所示結(jié)構(gòu)成分(R"表示曱基， RU表示氫原子)/苯乙烯共聚物/三環(huán)癸基曱基丙烯酸酯共聚物等。
本發(fā)明中所用的(B)粘結(jié)劑樹脂的酸值，優(yōu)選為30 - 150，更優(yōu)選為 35 - 135，進一步優(yōu)選為40- 120。如果酸值在前述范圍，則提高對顯影 液的溶解性，未曝光部分容易溶解，另外，在高感度化顯影時，曝光部 分的圖案殘留，具有提高殘膜率的傾向，所以優(yōu)選前述范圍。其中，酸 值是作為對丙烯酸系聚合物lg進行中和所必需的氫氧化鉀量(mg)測定 的值，通?？梢允褂脷溲趸浰芤哼M行滴定求出。
(B)粘結(jié)劑樹脂相對于著色感光性樹脂組合物固形物的含量，以質(zhì)量 分率計優(yōu)選為10~40質(zhì)量％,更優(yōu)選為12~35質(zhì)量％,進一步優(yōu)選為 14~32質(zhì)量％。如果(B)粘結(jié)劑樹脂的含量在前述范圍，則可以形成圖 案，另外還具有提高分辨率和殘膜率的傾向，所以優(yōu)選前述范圍。
具有化學式(V)所示結(jié)構(gòu)成分的粘結(jié)劑樹脂，例如曱基丙烯酸/化學 式(V)所示結(jié)構(gòu)成分(R"表示甲基，RH表示氫原子)/卡基曱基丙烯酸 酯共聚物，可以通過使甲基丙烯酸和芐基曱基丙烯酸酯共聚，得到2組 分聚合物，使所得2組分聚合物與化學式(V-1)所示化合物(R"表示氫 原子)反應(yīng)獲得。
o
曱基丙烯酸/化學式(VI)所示結(jié)構(gòu)成分(R"表示甲基，R"表示氫原 子)/芐基甲基丙烯酸酯/三環(huán)癸基甲基丙烯酸酯共聚物，可以通過使縮 水甘油基甲基丙烯酸酯與節(jié)基甲基丙烯酸酯、曱基丙烯酸、三環(huán)癸烷骨
架的單曱基丙烯酸酯共聚物反應(yīng)獲得。
(B)粘結(jié)劑樹脂的聚苯乙烯換算重量平均分子量，優(yōu)選為5，000 ~
100,000,更優(yōu)選為6,000- 80,000,進一步優(yōu)選為7,000 ~ 60,000。如果 分子量在前述范圍，則可以提高涂膜的硬度、還可以提高殘膜率，未曝 光部分對顯影液的溶解性好，具有提高分辨率的傾向，所以優(yōu)選前述分 子量。
本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物含有(D)光聚合引發(fā)劑。作為前迷 (D)光聚合引發(fā)劑，可以列舉三噪系化合物、苯乙酮系化合物、聯(lián)咪唑 系化合物、活性自由基發(fā)生劑、酸發(fā)生劑等。
作為前述三溱系化合物，例如可以列舉2,4-雙(三氯甲基)-6- (4-曱氧基苯基)-1,3,5-三溱、2,4-雙(三氯甲基)-6- ( 4-甲氧基萘基)畫1,3，5-三溱、2,4-雙(三氯曱基)-6- (4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三溱、2，4-雙 (三氯曱基)畫6誦[2隱(5-曱基呋喃-2-基)乙烯基]-l，3,5-三嗪、2,4-雙(三 氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基H,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯曱基)-6-[2-(4-二乙基氨基-2-曱基苯基)乙烯基]-l,3,5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2- (3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-l,3,5-三。秦、2，4畫雙(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三溱等，優(yōu)選列舉2,4-雙(三氯曱基)_6_ (4-甲氧基苯基) -1,3,5國三喚、2,4-雙(三氯甲基)-6- (4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6- (4-曱氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯曱基) -6-胡椒基-1,3,5-三。秦,更優(yōu)選2,4-雙(三氯曱基)-6-胡椒基-1,3,5-三溱。
作為前述苯乙酮系化合物，例如可以列舉二乙氧基苯乙酮、2-曱基 -2-嗎啉代-1- (4-曱硫基苯基)丙烷-l-酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、千基二曱醛縮苯乙酮、2-羥基-2-甲基-1-[4- (2-羥基乙氧基)苯基] 丙烷-l-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-千基-2-二甲基氨基-1- (4-嗎啉代苯 基)丁烷-l-酮、2- (4-曱基千基)-2-二甲基氨基-1- (4-嗎啉代苯基)丁 烷-l-酮、2-羥基-2-曱基-1-[4- (l-甲基乙烯基)苯基]丙烷-l-酮的低聚物 等，優(yōu)選列舉2-甲基-2-嗎啉代-1- (4-曱硫基苯基)丙烷-l-酮、2-芐基-2-二甲基氨基小(4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮、2- (4-甲基芐基)-2-二甲 基氨基-l- ( 4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮，更優(yōu)選列舉2-芐基-2-二曱基氨基 _1- (4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮、2- (4-甲基千基)-2-二甲基氨基-1- (4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮。
作為前述聯(lián)咪唑系化合物,可以列舉2,2，國雙(2-氯苯基)-4,4', 5,5，-四苯基聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2,3-二氯苯基)-4,4，， 5,5，-四苯基聯(lián)咪唑(例如 參照特開平6-75372號公報、特開平6-"373號公報等)、2,2，-雙(2- 氯苯基)-4,4，, 5,5，-四苯基聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2-氯苯基)-4,4，， 5，5，-四(烷 氧基苯基)聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2-氯苯基)-4, 4，，5,5，-四(二烷氧基苯基) 聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2-氯苯基)-4,4，，5,5，-四(三烷氧基苯基)聯(lián)咪唑(例 如參照特公昭48-38403號公報、特開昭62-174204號公報等)、4，4，， 5,5，國 位的苯基被烷氧羰基取代的咪唑化合物(例如參照特開平7-10913號公 報等)等，優(yōu)選列舉2,2，-雙(2-氯苯基)-4,4，，5,5，-四苯基聯(lián)咪唑、2,2，國 雙(2,3-二氯苯基)-4，4，， 5,5，-四苯基聯(lián)咪唑。
活性自由基發(fā)生劑，通過照射光生成活性自由基。作為前述活性自 由基發(fā)生劑，例如可以列舉苯偶姻系化合物、二苯曱酮系化合物、噻噸 酮系化合物、肝系化合物等。
作為前述苯偶姻系化合物，例如可以列舉苯偶姻、苯偶姻曱基醚、 苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚、苯偶姻異丁基醚等。
作為前述二苯曱酮系化合物，例如可以列舉二苯曱酮、鄰苯曱酰安 息香酸曱酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯曱酰-4'-曱基二苯基硫醚、3,3，,4,4，-四(叔丁基過氧羰基)二苯曱酮、2,4,6-三曱基二苯甲酮等。
作為前述噻噸酮系化合物，例如可以列舉2-異丙基噻噸酮、4_異丙 基p塞噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2,4-二氯p塞噸酮、l-氯-4-丙氧基噻噸酮等。
作為前述肟系化合物，例如可以列舉O-?；肯祷衔铮鳛槠渚?體例子，可以列舉1- (4-苯基只/k7 7 -》-苯基)-丁烷-1,2-二酮2-肟-O-苯甲酸酯、1- (4-苯基久^7 7-》-苯基)-辛烷-U-二酮2-肟-0-苯 曱酸酯、1-(4-苯基只/k7 7*-/卜苯基)-辛烷小酮肟-O-乙酸酯、1-(4-苯基只^7 7-A-苯基)-丁烷-l-酮肟-O-乙酸酯等。
作為前述示例以外的活性自由基發(fā)生劑，例如還可以使用2,4,6_三 曱基苯曱?；交趸ⅰ?0-丁基-2-氯吖啶酮、2-乙基蒽醌、偶苯酰、 9,10-菲醌、樟腦醌、苯基二羥乙酸甲酯、二茂鈦化合物等。
作為前述酸發(fā)生劑，例如可以列舉4-羥基苯基二曱基锍對曱苯磺酸 鹽、4-羥基苯基二甲基锍六氟銻酸鹽、4-乙酰氧基苯基二曱基-對甲苯磺 酸鹽、4-乙酰氧基苯基曱基千基锍六氟銻酸鹽、三苯基锍對曱苯磺酸鹽、 三苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基碘鏡對曱苯磺酸鹽、二苯基碘镥六氟銻酸 鹽等徵鹽類、硝基千基曱苯磺酸酯類、苯偶姻甲苯磺酸酯類等。
另外，作為前述活性自由基發(fā)生劑，在上述化合物中，也有在生成 活性自由基的同時生成酸的化合物，例如三溱系光聚合引發(fā)劑，也可以
作為酸發(fā)生劑使用。
(D)光聚合引發(fā)劑相對于(B)粘結(jié)劑樹脂和(C)光聚合性化合物總量 的含量，以質(zhì)量分率計優(yōu)選為0.1 ~20質(zhì)量％,更優(yōu)選為1 ~ 15質(zhì)量°/0。 如果光聚合引發(fā)劑的含量在前述范圍，則高感度化曝光時間縮短，生產(chǎn) 能力提高，另一方面存在不會由于感度太高，在線-間隔圖案分辨的最小 線寬中線寬變得太寬的傾向，所以優(yōu)選前述范圍。
本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物中還可以含有(G)光聚合引發(fā)助 劑。(G)光聚合引發(fā)助劑，通常與(D)光聚合引發(fā)劑組合使用，是為了促
物。
作為(G)光聚合引發(fā)助劑，可以列舉胺系化合物、烷氧基蒽系化合 物、p塞噸酮系化合物等。
作為前述胺系化合物，例如可以列舉三乙醇胺、曱基二乙醇胺、三 異丙醇胺、4-二甲基氨基安息香酸甲酯、4-二曱基氨基安息香酸乙酯、 4-二曱基氨基安息香酸異戊酯、安息香酸2-二甲基氨基乙酯、4-二甲基 氨基安息香酸2-乙基己酯、N,N-二曱基對甲苯胺、4,4'-雙(二曱基氨基) 二苯曱酮、4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、4,4，-雙(乙基曱基氨基) 二苯曱酮等，其中，優(yōu)選4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮。
作為前述烷氧基蒽系化合物，例如可以列舉9,10-二曱氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽等。
作為前述p塞p屯酮系化合物，例如可以列舉2-異丙基噻噸酮、4-異丙 基p塞噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2,4-二氯噻噸酮、l-氯-4-丙氧基噻噸酮等。
(G)光聚合引發(fā)助劑，既可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。 另外，作為(G)光聚合引發(fā)助劑，還可以使用市售產(chǎn)品，作為市售的(G) 光聚合引發(fā)助劑，例如可以列舉商品名為EAB-F (保土谷化學工業(yè)(抹) 制，4,4，-雙(二乙基氨基)二苯甲酮)等有機胺化合物等。
本發(fā)明著色感光性樹脂組合物中作為(D)光聚合引發(fā)劑/(G)光聚合 引發(fā)助劑的組合，例如可以列舉2,4-雙(三氯曱基)-6-胡椒基-1,3，5-三 漆/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、二乙氧基苯乙酮/4,4，-雙(二乙基 氨基)二苯曱酮、2-甲基-2-嗎啉代-1- (4-曱硫基苯基)丙烷-1-酮/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、2-羥基-2-曱基-l-苯基丙烷-l-酮/4,4，-雙(二 乙基氨基)二苯甲酮、芐基二甲醛縮苯乙酮/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯
曱酮、2-羥基-2-曱基-1-[4- (2-羥基乙氧基)苯基]丙烷-l-酮/4,4，-雙(二 乙基氨基)二笨曱酮、l-羥基環(huán)己基苯基酮/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯 曱酮、2-羥基-2-曱基-l-[4-( 1-曱基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮的低聚物/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、2-節(jié)基-2-二曱基氨基-1- (4-嗎啉代苯基) 丁烷-l-酮/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、2-千基-2-二曱基氨基-1- (4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮/4，4，-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2- (4-曱基千 基)-2-二曱基氨基-1- (4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮/4,4，-雙(二乙基氨基) 二苯曱酮等，優(yōu)選列舉2-節(jié)基-2-二曱基氨基-1- (4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、2,4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2- (4-甲基千基)-2-二曱基氨基 -1- (4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯甲酮。
使用(G)光聚合引發(fā)助劑時，每1質(zhì)量份(D)光聚合引發(fā)劑的光聚合 引發(fā)助劑的用量優(yōu)選為0.01~10質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.01~5質(zhì)量份。
作為本發(fā)明中所用的(E)溶劑，例如可以列舉醚類、芳香烴類、酮類、 醇類、酯類、酰胺類等。
作為前述醚類，例如可以列舉四氫呋喃、四氫吡喃、1,4_二嗝烷、 乙二醇一曱醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一丙醚、乙二醇一丁醚、二甘醇 一曱醚、二甘醇一乙醚、二甘醇一丁醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、 二甘醇二丙醚、二甘醇二丁醚、丙二醇一曱醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙 酸酯、丙二醇一丙醚乙酸酯、曱基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、 乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇曱基醚乙酸酯、甲氧基 丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸酯、苯曱醚、苯乙醚、曱基苯甲醚等。
作為前述芳香烴類，例如可以列舉苯、曱苯、二甲苯、萊等。
作為前述酮類，例如可以列舉丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-曱基-2-戊酮、環(huán)戊酮、環(huán)己酮、4-羥基-4-曱基-2-戊酮等。
作為前述醇類，例如可以列舉甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán) 己醇、乙二醇、丙三醇等。
作為前述酯類，例如可以列舉乙酸乙酯、乙酸-正丁酯、乙酸異丁酯、 甲酸戊酯、乙酸異戊酯、乙酸異丁酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙 酯、丁酸丁酯、烷基酯類、乳酸曱酯、乳酸乙酯、羥基乙酸曱酯、羥基 乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、曱氧基乙酸曱酯、曱氧基乙酸乙酯、曱氧基 乙酸丁酯、乙氧基乙酸曱酯、乙氧基乙酸乙酯、3-羥基丙酸曱酯、3-羥 基丙酸乙酯、3-曱氧基丙酸曱酯、3-曱氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基丙酸曱酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基丙酸 丙酯、2-曱氧基丙酸甲酯、2-曱氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸曱酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基-2-曱基丙酸曱酯、2-羥基 -2-甲基丙酸乙酯、2-曱氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙 酯、丙酮酸曱酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸曱酯、乙酰乙酸 乙酯、2-氧代丁酸曱酯、2-氧代丁酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-曱基 -3-曱氧基丁基乙酸酯、Y-丁內(nèi)酯等。作為前述的酰胺類，例如可以列舉N,N-二甲基曱酰胺、N,N-二曱基 乙酰胺等。作為其它溶劑，例如可以列舉N-甲基吡咯烷酮、二甲基亞砜等。 前述溶劑，既可以分別單獨使用，也可以組合2種以上使用。 前述溶劑中優(yōu)選使用含有丙二醇一 曱醚乙酸酯的溶劑。當(E)溶劑含 有丙二醇一曱醚乙酸酯時，丙二醇一曱醚乙酸酯相對于溶劑總量的含 量，以質(zhì)量分率計優(yōu)選為50~97質(zhì)量％，更優(yōu)選為60~95質(zhì)量％(E)溶劑相對于著色感光性樹脂組合物的含量，以質(zhì)量分率計優(yōu)選為 70~90質(zhì)量％,更優(yōu)選為75~88質(zhì)量％。如果(E)溶劑的含量在前述范 圍，則涂布時的面內(nèi)均勻性好，另外在形成濾色片時的彩色密度充分， 顯示特性好，因此優(yōu)選前述范圍。還可以含有表面活性劑。作為表面活性劑，例如可以列舉有機石圭系 表面活性劑、氟系表面活性劑以及具有氟原子的有機硅系表面活性劑。作為前述有機硅系表面活性劑，可以列舉含有硅氧烷鍵的表面活性 劑等。具體可以列舉商品名為卜一1^-> 'J 3 — > DC3PA、 SH7PA、 DC11PA、 SH21PA、 SH28PA、 29SHPA、 SH30PA、聚醚改性珪油SH8400 (卜一k少卩3 —》(抹)制)；KP321、 KP322、 KP323、 KP324、 KP326、 KP340、 KP341 (信越,〉卩3 — 7制)；TSF400、 TSF401、 TSF410、 TSF4300、 TSF4440、 TSF4445、 TSF國4446、 TSF4452、 TSF4460 W —4一東芝、二卩-一> (抹)制)等。作為前述氟系表面活性劑，可以列舉具有氟碳鏈的表面活性劑等。 具體可以列舉商品名為7 口 ，一卜、、FC430、 FC431 (住友只，J一工厶 (抹)制)；少力'77^夕F142D、 F171、 F172、 F173、 F177、 F183、 F470、F475、R30(大日本O軒化學工業(yè)(抹)制)；工7卜、7 7°EF301、 EF303、 EF351、 EF352 (新牙火田化成(才朱)制)；廿一7口> S381、 S382、 SCIOI、 SC105 (旭硝子(林)制)；E5844 ((抹)夕'4軒^:770 少；、力/k研究所制)；BM-IOOO、 BM-1100 ( BM Chemie公司制)等。作為前迷具有氟原子的有機硅系表面活性劑，例如可以列舉具有硅氧烷鍵和氟碳鏈的表面活性劑。具體可以列舉商品名為>#:7 '7夕R08、 BL20、 F475、 F477、 F443 (大日本歹《化學工業(yè)(抹)制)等。 這些表面活性劑，既可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。 本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物中可以含有分子量為1,000以下的 有機酸。作為前述有機酸，例如可以列舉特開平5-343631號公報中公開 的有機酸。具體可以列舉丙二酸、草酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、安 息香酸、鄰苯二甲酸、間苯二曱酸、對苯二曱酸、檸康酸、衣康酸、中 康酸、富馬酸、鄰苯二甲酸、丙烯酸、曱基丙烯酸。優(yōu)選列舉丙二酸、 草酸、富馬酸、鄰苯二曱酸。通過含有分子量在1,000以下的有機酸， 具有殘渣變得更好的傾向，所以優(yōu)選。本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物還可以含有填充劑、粘結(jié)劑樹脂以 外的高分子化合物、附著促進劑、抗氧劑、紫外線吸收劑、抗凝聚劑、 有機胺化合物、固化劑等添加劑。作為前述填充劑，例如可以列舉玻璃、氧化鋁等微粒。 作為前述粘結(jié)劑樹脂以外的高分子化合物，例如可以列舉聚乙烯 醇、聚丙烯酸、聚乙二醇單烷基醚、聚氟烷基丙烯酸酯等。作為前述附著促進劑，例如可以列舉乙烯基三曱氧基硅烷、乙烯基 三乙氧基硅烷、乙烯基三U-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(厶氨基乙基) -3-氨基丙基曱基二曱氧基硅烷、N- (2-氨基乙基)-3-氨基丙基三曱氧基 硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三曱氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基甲基二甲氧基硅烷、2- (3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三曱氧基硅 烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三曱氧基硅烷、3-曱基丙烯 酰氧基丙基三曱氧基硅烷、3-巰基丙基三曱氧基硅烷等。作為前述的抗氧劑，例如可以列舉4,4，-硫代雙(6-叔丁基-3_曱基苯 酚)、2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚等。作為前述紫外線吸收劑，例如可以列舉2- (2-羥基-3-叔丁基-5-曱基 苯基)-5-氯苯并三唑等苯并三唑系；2-羥基-4-辛氧基二苯曱酮等二苯曱酮系； 2,4-二叔丁基苯基-3,5-二叔丁基-4-羥基苯甲酸酯等苯曱酸酯系； 2- (4,6-二苯基-1,3,5-三嗪-2-基)-5-己氧基苯酚等三嗪系等。 作為前述的抗凝聚劑，例如可以列舉聚丙烯酸鈉等。 通過添加有機胺化合物，顯影時在未曝光部分的基板上不會產(chǎn)生殘渣，并且可以提供對基板附著性優(yōu)異的象素。作為前述有機胺化合物，例如可以列舉正丙基胺、異丙基胺、正丁基胺、異丁基胺、仲丁基胺、叔丁基胺、正戊基胺、正己基胺、正庚基胺、正辛基胺、正壬基胺、正癸基胺、正十一烷基胺、正十二烷基胺等單烷基胺類；環(huán)己胺、2-甲基環(huán)己胺、3-曱基環(huán)己胺、4-甲基環(huán)己胺等單環(huán)烷基 胺類；甲基乙基胺、二乙基胺、曱基正丙基胺、乙基正丙基胺、二正丙基 胺、二異丙基胺、二正丁基胺、二異丁基胺、二仲丁基胺、二叔丁基胺、 二正戊基胺、二正己基胺等二烷基胺類；甲基環(huán)己基胺、乙基環(huán)己基胺等單烷基單環(huán)烷基胺類；二環(huán)己基胺等二環(huán)烷基胺類；二曱基乙基胺、甲基二乙基胺、三乙基胺、二曱基-正丙基胺、二乙 基-正丙基胺、曱基二正丙基胺、乙基二正丙基胺、三正丙基胺、三異丙 基胺、三正丁基胺、三異丁基胺、三仲丁基胺、三叔丁基胺、三正戊基 胺、三正己基胺等三烷基胺類；二甲基環(huán)己基胺、二乙基環(huán)己基胺等二烷基一環(huán)烷基胺類； 曱基二環(huán)己基胺、乙基二環(huán)己基胺、三環(huán)己基胺等單烷基二環(huán)烷基 胺類；2-氨基乙醇、3-氨基-l-丙醇、l-氨基-2-丙醇、4-氨基-l-丁醇、5-氨 基_1_戊醇、6-氨基-l-己醇等單烷醇胺類； 4-氨基-l-環(huán)己醇等單環(huán)烷醇胺類；二乙醇胺、二正丙醇胺、二異丙醇胺、二正丁醇胺、二異丁醇胺、 二正戊醇胺、二正己醇胺等二烷醇胺類； 二 (4-環(huán)己醇)胺等二環(huán)烷醇胺類；三乙醇胺、三正丙醇胺、三異丙醇胺、三正丁醇胺、三異丁醇胺、 三正戊醇胺、三正己醇胺等三烷醇胺類； 三(4-環(huán)己醇)胺等三環(huán)烷醇胺類；
3- 氨基-l,2-丙二醇、2-氨基-l,3-丙二醇、4-氨基-l,2-丁二醇、4-氨基 -1,3-丁二醇、3-二曱基氨基-l,2-丙二醇、3-二乙基氨基-l,2-丙二醇、2-二甲基氨基-l,3-丙二醇、2-二乙基氨基-l，3-丙二醇等氨基烷二醇類；4- 氨基-l,2-環(huán)己二醇、4-氨基-l,3-環(huán)己二醇等氨基環(huán)烷二醇類；1 -氨基環(huán)戊酮曱醇、4-氨基環(huán)戊酮曱醇等含有氨基的環(huán)烷酮甲醇類；1-氨基環(huán)己烷甲醇、4-氨基環(huán)己烷甲醇、4-二曱基氨基環(huán)戊烷甲醇、 4-二乙基氨基環(huán)戊烷甲醇、4-二甲基氨基環(huán)己烷甲醇、4-二乙基氨基環(huán) 己烷甲醇等含有氨基的環(huán)烷曱醇類；P-丙氨酸、2-氨基丁酸、3-氨基丁酸、4-氨基丁酸、2-氨基異乙酸、 3-氨基異乙酸、2-氨基戊酸、5-氨基戊酸、6-氨基己酸、1-氨基環(huán)丙烷羧 酸、1-氨基環(huán)己烷羧酸、4-氨基環(huán)己烷羧酸等氨基羧酸類；苯胺、鄰曱基苯胺、間甲基苯胺、對曱基苯胺、對乙基苯胺、對-正丙基苯胺、對異丙基苯胺、對-正丁基苯胺、對-叔丁基苯胺、1-萘基 胺、2-萘基胺、N,N-二曱基苯胺、N,N-二乙基苯胺、對-曱基-N,N-二曱 基苯胺等芳香族胺類；鄰氨基芐基醇、間氨基芐基醇、對氨基芐基醇、對二甲基氨基芐基 醇、對二乙基氨基千基醇等氨基千基醇類；鄰氨基苯酚、間氨基苯酚、對氨基苯酚、對二甲基氨基苯酚、對二 乙基氨基苯酚等氨基苯酚類；間氨基安息香酸、對氨基安息香酸、對二曱基氨基安息香酸、對二 乙基氨基安息香酸等氨基安息香酸類等。作為前述固化劑，例如可以列舉能夠通過加熱與粘結(jié)劑樹脂中的羧 基反應(yīng)，對粘結(jié)劑樹脂進行交聯(lián)的化合物，能夠單獨進行聚合使著色圖 案固化的化合物等。作為前述化合物，例如可以列舉環(huán)氧化合物、氧雜 環(huán)丁烷化合物等，優(yōu)選使用氧雜環(huán)丁烷化合物。其中，作為環(huán)氧化合物，例如可以列舉雙酚A系環(huán)氧樹脂、氫化雙 酚A系環(huán)氧樹脂、雙酚F系環(huán)氧樹脂、氫化雙酚F系環(huán)氧樹脂、線性酚 醛清漆型環(huán)氧樹脂、其它芳香族系環(huán)氧樹脂、脂環(huán)族系環(huán)氧樹脂、雜環(huán) 式環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯系樹脂、縮水甘油胺系樹脂、環(huán)氧化油等環(huán)氧 樹脂以及這些環(huán)氧樹脂的溴化衍生物、環(huán)氧樹脂及其溴化衍生物以外的 脂肪族、脂環(huán)族或芳香族的環(huán)氧化合物、丁二烯(共)聚合物的環(huán)氧化
物、異戊二烯(共)聚合物的環(huán)氧化物、縮水甘油基(曱基)丙烯酸酯 的(共)聚合物、三縮水甘油基異氰脲酸酯等。作為前述氧雜環(huán)丁烷化合物，例如可以列舉碳酸酯雙氧雜環(huán)丁烷、 亞二曱苯基雙氧雜環(huán)丁烷、己二酸酯雙氧雜環(huán)丁烷、對苯二曱酸酯雙氧 雜環(huán)丁烷、環(huán)己烷二羧酸雙氧雜環(huán)丁烷等。當本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物作為固化劑含有環(huán)氧化合物、氧 雜環(huán)丁烷化合物等時，還可以含有可以使環(huán)氧化合物的環(huán)氧基、氧雜環(huán) 丁烷化合物的氧雜環(huán)丁烷骨架進行開環(huán)聚合的化合物。作為該化合物， 例如可以列舉多元羧酸類、多元羧酸酐類、酸發(fā)生劑等。作為前述多元羧酸類，例如可以列舉鄰苯二曱酸、3,4-二曱基鄰苯 二甲酸、間苯二甲酸、對苯二甲酸、苯均四酸、偏苯三酸、1,4,5,8-萘四 羧酸、3,3，,4,4，-二苯曱酮四羧酸等芳香族多元羧酸類；琥珀酸、戊二酸、己二酸、1，2,3,4-丁烷四羧酸、馬來酸、富馬酸、 衣康酸等脂肪族多元羧酸類；六氫化鄰苯二曱酸、3,4-二曱基四氫化鄰苯二甲酸、六氫化間苯二 曱酸、六氫化對苯二曱酸、1,2,4-環(huán)戊烷三羧酸、1,2,4-環(huán)己烷三羧酸、 環(huán)戊烷四羧酸、1,2,4,5-環(huán)己烷四羧酸等脂環(huán)族多元羧酸類等。作為前述多元羧酸酐類，例如可以列舉鄰苯二甲酸酐、苯均四酸 酐、偏苯三酸酐、3，3，,4,4，-二苯甲酮四羧酸二酐等芳香族多元羧酸酐類；衣康酸肝、琥珀酸酐、檸康酸酐、十二碳烯琥珀酸酐、丙三羧酸酐、 馬來酸酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐等脂肪族多元羧酸酐類；六氫化鄰苯二甲酸酐、3,4-二曱基四氫化鄰苯二曱酸酐、1,2,4-環(huán)戊 烷三羧酸肝、1,2,4-環(huán)己烷三羧酸酐、環(huán)戊烷四羧酸二酐、1,2,4,5-環(huán)己 烷四羧酸二酐、乂、4 ;、少夕酸酐、3,6-內(nèi)亞曱基-1,2,3,6-四氫化鄰苯二曱酸酐等脂環(huán)族多元羧酸酐類；乙二醇雙偏苯三酸酯酸酐、丙三醇三偏苯三酸酯酸酐等含有酯基的羧酸酐類等。作為前述羧酸酐類，也可以使用作為環(huán)氧樹脂固化劑的市售產(chǎn)品。 作為前述環(huán)氧樹脂固化劑，例如可以列舉商品名為7 r力" 一 卜、、大一 EH700 (旭電化工業(yè)(才朱)制)、！J力、〉、7卜、、HH、 MH-700 (均為新日 本理化(抹)制)等。前述固化劑，既可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。 作為調(diào)制本發(fā)明著色感光性樹脂組合物的方法，例如可以列舉使溶 劑(E)中同時存在分散劑，使顏料等著色劑分散，調(diào)制著色劑分散液，再使溶解在溶劑中的(B)粘結(jié)劑樹脂、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引發(fā) 劑以及根據(jù)需要添加的其它添加劑等溶解，與前述(A)著色劑分散液混 合，根據(jù)需要再添加溶劑的方法等。本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物通常在封入到容器中提供給流 通、保管。使用本發(fā)明著色感光性樹脂組合物的圖像傳感器用濾色片的 一般 制造方法如下。依次進行將本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物涂布在基板 上，并進行干燥的工序、用i線步進投影曝光裝置等對所得干燥涂膜進 行圖案曝光的工序、曝光后進行堿顯影的工序、接著加熱處理的工序， 按每種顏色(3色或4色)依次反復(fù)進行前述工序，形成象素，通過這 種方法得到濾色片。更具體的是通過旋涂機等將本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物涂布 到適當?shù)幕迳?，使干燥時的膜厚一般達到0.1~5nm,優(yōu)選達到0.2 ~ 2nm,在10(TC的烘箱中放置3分鐘，得到平滑的涂膜。作為基板，沒有特別限定，可以列舉玻璃板、塑料板、鋁板、攝象 元件用硅片等電子部件的基板、還可以列舉透明樹脂板、樹脂薄膜、陰 極射線管顯示面、攝象管的感光面、形成CCD、 BBD、 CID、 BASIS等 固體攝影象元件的晶片、使用薄膜半導體的附著型圖像傳感器、液晶顯 示面、彩色電子照相用感光體、電致變色(EC)顯示裝置的基板等。另夕卜， 為了提高與濾色片層的粘結(jié)性，優(yōu)選對基板實施高附著處理。具體是預(yù) 先在基板上用硅烷偶聯(lián)劑等進行薄涂布，然后形成著色感光性樹脂組合 物圖案，或者可以預(yù)先使著色感光性樹脂組合物中含有硅烷偶聯(lián)劑。當基板上具有臺階高差時，可以在基板上涂布設(shè)置為消除其臺階高 差使涂設(shè)面平滑的平坦化膜，然后再涂布本發(fā)明的著色感光性樹脂組合 物。例如CCD等圖像傳感器的傳感器部由在硅基板上根據(jù)受光量產(chǎn)生 電子的光電轉(zhuǎn)換部(光二極管)和為輸出該產(chǎn)生的電子的讀出口部構(gòu) 成，讀出口部射到光，則導致產(chǎn)生噪聲，不能輸出準確的數(shù)據(jù)，所以有 時在讀出口部的上部形成遮光膜層，與不具備遮光膜層的光二極管部之 間形成臺階高差。如果在這樣的臺階高差上涂布彩色抗蝕劑直接形成濾 色片，則光程長度變長，所以圖像變暗，而且聚光性變差。為了改進這
些缺點，達到填埋該臺階高差的目的，優(yōu)選在CCD和濾色片之間形成 透明的平坦化膜。作為該平坦化膜的材料，可以列舉本發(fā)明中的感光性 樹脂組合物、丙烯酸系、環(huán)氧系等熱固性樹脂和光固化性樹脂等。涂布感光性樹脂組合物后，為了除去溶劑得到干燥涂膜，通常進行 減壓干燥和預(yù)烘烤。作為減壓千燥的方法，例如可以列舉以0.1 ~ 100Torr 的壓力將涂布物放置在50~ 120。C溫度下進行的方法。作為預(yù)烘烤的方 法，可以列舉通過高溫空氣等的加熱干燥、通過熱板等的加熱干燥(80 ~ 14(TC， 50~200秒)等方法。另外，為了對顯影后所得的圖案進行充分固化，提高機械強度，得 到永久性膜，還要進行后烘烤。例如制造3色濾色片時，最初形成的圖 案，其后要接受兩次其它顏色著色感光性樹脂組合物的涂布、曝光、顯 影。在該過程中要進行后烘烤以便不產(chǎn)生與涂布的著色感光性樹脂組合 物的混色、曝光、顯影引起的圖案缺損。這種后烘烤，使用與預(yù)烘烤相 同的方法，但是與預(yù)烘烤條件相比，在更高的溫度和更長的時間下進 行。例如在100 250。C下進行l(wèi) 60分鐘。對于著色感光性樹脂組合物顯影中使用的顯影液，沒有特別限制， 可以使用以往眾所周知的顯影液。其中，優(yōu)選使用氫氧化四甲基銨 (TMAH)等季銨鹽類的有機堿系水溶液。具有本發(fā)明濾色片的圖像傳感器，例如可以通過如上所述在基板上 形成的傳感器部上形成平坦化膜，在其上面形成本發(fā)明的濾色片后，涂 布抗蝕劑材料，通過光刻工序和熱處理形成透鏡圖案，接著對整個面進 行回蝕，形成片上透鏡而進行制造。如果使用本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物，制造膜厚薄的濾色片，則可以制造顯影后的殘渣少，色純度高，并且不合格制品少的濾色片。 實施例以下通過實施例更詳細說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不受這些實施例的 限定?！礃渲?B1)的合成〉在具備攪拌器、溫度計、回流冷卻管、滴液漏斗以及氣體導入管的 1L燒瓶中導入丙二醇一甲基醚乙酸酯333g。然后通過氣體導入管向燒 瓶內(nèi)導入氮氣，將燒瓶內(nèi)的氣氛氣體置換為氮氣。然后將燒瓶內(nèi)的溶液
升溫至IO(TC后使用滴液漏斗向燒瓶中滴入由二環(huán)戊基曱基丙烯酸酯 (FA-513M;日立化成工業(yè)(抹)制)22.0g ( 0.10摩爾)、千基甲基丙 烯酸酯70.Sg (0. 40摩爾)、曱基丙烯酸43.0g (0.5摩爾)、偶氮二異 丁腈3.6g以及丙二醇一甲基醚乙酸酯164g組成的混合物，滴入時間為2 小時，滴液完畢后進一步在IO(TC下繼續(xù)攪拌5小時。攪拌結(jié)束后，通過氣體導入管向燒瓶內(nèi)導入空氣，使燒瓶內(nèi)的氣氛 氣體轉(zhuǎn)換為空氣后，向燒瓶內(nèi)加入縮水甘油基曱基丙烯酸酯35.5g
、三二曱基氨基曱基苯酚0.9g和氫醌0.145g，在110。C下持續(xù)反應(yīng) 6小時，得到含樹脂Bl的溶液(固形物38.5質(zhì)量％,酸值為 80mgKOH/g)。其中，酸值是作為對具有羧酸等酸基的聚合物lg進行中和所必需 的氫氧化鉀量(mg)而測定的值，通常使用己知濃度的氫氧化鉀水溶液進 4亍滴定求出。所得樹脂B1的聚苯乙烯換算重量平均分子量為9,000。 關(guān)于上述粘結(jié)劑樹脂的聚苯乙烯換算重量平均分子量的測定，使用 GPC法，在以下條件下進行。裝置HLC-8120GPC (東乂一 (抹)制)； 柱TSK-GELG2000HXL; 柱溫度40°C; 溶劑THF; 流速1.0mL/分鐘；被檢液體的固形物濃度0.001 ~ 0.01質(zhì)量％; 注入量:50|uL; 檢測器RI;校正用的標準物質(zhì)TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40、 F-4、 F-l、 A-2500、 A-500 (東V — (抹)制)。本實施例中所用的成分如下所示，以下敘述中有時使用省略的表達 方式。(A-l)著色劑C丄顏料紅254; (A-2)著色劑C.I.顏料黃139;(B-l)樹脂Bl (固形物為38.5質(zhì)量％的丙二醇一曱基醚乙酸酯溶 液)；(C-l)光聚合性化合物DPHA (二季戊四醇六丙烯酸酯)(日本化 藥(株)制)；(C-2)光聚合性化合物A-GLY-犯(新中村化學工業(yè)(抹)制)氧乙烯化(3個)丙三醇三丙烯酸酯(l+m+n=3);(C-3)光聚合性化合物A-GLY七E (新中村化學工業(yè)(抹)制)氧乙烯化(6個)丙三醇三丙烯酸酯(l+m+n=6);(C-4)光聚合性化合物A-GLYAE (新中村化學工業(yè)(林)制)氧乙烯化(9個)丙三醇三丙烯酸酯(l+m+n=9);(C-5)光聚合性化合物A-GLY-20E (新中村化學工業(yè)(抹)制)氧乙烯化(20個)丙三醇三丙烯酸酯(l+m+n=20);(C-6)光聚合性化合物A-DPH-犯(新中村化學工業(yè)(林)制)氧乙烯化(6個)二季戊四醇六丙烯酸酯；(C-7)光聚合性化合物A-DPH4P (新中村化學工業(yè)(抹)制) 丙烯化氧化(6個)二季戊四醇六丙烯酸酯； (C-8)光聚合性化合物ATM-4E (新中村化學工業(yè)(林)制) 氧乙烯化(4個)季戊四醇；(C-9)光聚合性化合物A-TMPT-犯0 (新中村化學工業(yè)(林)制) 氧乙烯化(3個)三羥甲基丙烷三丙烯酸酯；(C-10)光聚合性化合物A-TMPT-6E0(新中村化學工業(yè)(抹)制) 氧乙烯化(6個)三羥甲基丙烷三丙烯酸酯；(C-ll)光聚合性化合物A-TMPT-犯0(新中村化學工業(yè)(株)制) 氧乙烯化(9個)三羥甲基丙烷三丙烯酸酯；(C-12)光聚合性化合物SR9020 (廿一卜t一 . - Y八 > (抹)制)氧丙烯化(3個)甘油三丙烯酸酯；(C曙13)光聚合性化合物CD9021 (廿一 卜t一 ' (抹)制)氧丙烯化(5.5個)甘油三丙烯酸酯；(D-l)光聚合引發(fā)劑2-千基-2-二甲基氨基-1- (4-嗎啉代苯基)丁 烷-l-酮；(G-l)光聚合引發(fā)助劑4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮；
(E-l)溶劑丙二醇一曱基醚乙酸酯； (E-2)溶劑3_乙氧基丙酸乙酯；(F畫l) >力'7 7少夕F475 (大日本O軒化學工業(yè)(抹)制)。 實施例1[著色感光性樹脂組合物1的調(diào)制] 對下列物質(zhì)進行混合得到著色感光性樹脂組合物1。 (A-l) 6.333質(zhì)量份(A-2) 1.892質(zhì)量份(相對于固形物的(A)總量為47質(zhì)量％) 丙烯酸系分散劑 1.602質(zhì)量份(B-l) 11.664質(zhì)量份(相對于固形物為25.7質(zhì)量％)(C-2) 2.418質(zhì)量份(相對于固形物為13.8質(zhì)量％)(D-l) 0.622質(zhì)量份(相對于(8)的固形物+ (C)的總量為9質(zhì)量％) (G-l) 0.138質(zhì)量份(相對于(D)為22,2質(zhì)量％)(E-l) 67.077質(zhì)量份(E-2) 8.250質(zhì)量份((E-1)相對于(E)總量為90質(zhì)量％ )((E)總量相對于組合物為82.5質(zhì)量％ ) (F-l) 0.004質(zhì)量份[圖案的形成1]接著在玻璃(#1737;康寧)上旋涂只；、k 、-久卜PR-1300Y-PG (住 友化學(抹)制)，在IO(TC下加熱1分鐘除去揮發(fā)成分，形成膜厚0.5 iam的樹脂層。接著把該玻璃在230。C下加熱15分鐘使樹脂層固化，形 成帶有平坦化覆膜的支撐體。在該支撐體上用旋涂法涂布上面得到的著 色感光性樹脂組合物(紅色)，然后在IO(TC下加熱3分鐘使揮發(fā)成分 揮發(fā)，形成著色感光性樹脂組合物膜。冷卻后通過光掩模對該著色感光 性樹脂組合物膜照射i線(波長365nm )進行曝光。i線光源，使用超高 壓水銀燈，形成平行光后進行照射。照射光量為150mJ/cm2。作為光掩 才莫4吏用形成線寬為3jim、 4jxm、 5fxm、 6pm、 7pm、 8fim、 9|im、 10|im、 20pm、 30pm、 40pm、 50|im以及100pm的線狀彩色象素的光掩模。接 著將曝光后的玻璃基板[表面形成有著色感光性樹脂組合物膜]在23。C的
顯影液(CIS DEVELOPER; ENF Technology (抹)制)中浸漬80秒進 行顯影，用純水清洗，得到形成有線-間隔圖案的玻璃基板。 [評價1]溶解用上述方法所得基板的涂膜層后的透過率(550nm)為99.4%。 [圖案的形成2]另外，在硅片上旋涂只；、k-義卜PR-1300Y-PG (住友化學(抹) 制)，在100。C下加熱1分鐘除去揮發(fā)成分，形成膜厚0.5 jum的樹脂層。 接著把該硅片在230。C下加熱15分鐘使樹脂層固化，形成帶有平坦化覆 膜的支撐體。在該支撐體上用旋涂法涂布前面得到的著色感光性樹脂組 合物1,在IO(TC下加熱1分鐘除去揮發(fā)成分，形成著色感光性樹脂組 合物層。接著通過掩模圖案(2Mm的正方形象素形成方格紋花樣圖 案)，使用曝光機(Nikon NSR i9C; - 3 7 (抹)制)對所得著色感 光性樹脂組合物層照射i線，在20 ~ 310msec之間以10msec間隔，在 30處分步進行照射，然后連同曝光后的支撐體浸漬在顯影液(CIS DEVELOPER; ENF Technology (林)制)中，在23。C下浸漬60秒鐘進 行顯影。顯影后進行水洗，干燥后得到在支撐體上具有以線寬2.0nm、 厚度0.7 n m方格紋花樣圖案形成的象素的濾色片。[評價2]用掃描電子顯微鏡(S-4500;(抹)日立制作所制)觀察圖案斷面 時，得到了在顯影溶解部分，特別是圖案的邊緣部分沒有殘渣附著的、 附著性良好的正錐狀圖案。實施例2[著色感光性樹脂組合物2的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-3),除此之外，與實施例1 一樣進行混 合，得到著色感光性樹脂組合物2。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物2,除此之外進行與實施例1相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(550nm)結(jié)果為99.8%。[評價2]進行與實施例l相同的操作，觀察圖案的斷面，得到在顯影溶解部 分沒有殘渣附著的圖案。
實施例3[著色感光性樹脂組合物3的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-4),除此之外，與實施例1 一樣進行混 合，得到著色感光性樹脂組合物3。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物3，除此之外進行與實施例1相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(55011111)結(jié)果為100%。[評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，得到在顯影溶解部 分沒有殘渣附著的圖案。 實施例4[著色感光性樹脂組合物4的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-5),除此之外，與實施例1 一樣進行混 合，得到著色感光性樹脂組合物4。 [評價1〗將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物4,除此之外進行與實施例1相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(550nm)結(jié)果為99.2%。[評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，得到在顯影溶解部 分沒有殘渣附著的圖案。 比舉交例1[著色感光性樹脂組合物5的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-1)，除此之外，與實施例1 一樣進行混 合，得到著色感光性樹脂組合物5。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物5,除此之外進行與實施例1相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(550nm)結(jié)果為52.4%。[評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，顯影溶解部分沒有
完全溶解，沒有形成圖案。 比舉交例2[著色感光性樹脂組合物6的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-6)，除此之外，與實施例1 一樣進行混 合，得到著色感光性樹脂組合物6。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物6，除此之外進行與實施例1相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(S50nm)結(jié)果為89.4%。[評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，顯影溶解部分沒有 完全溶解，在圖案的邊緣部分觀察到殘渣附著。 比舉交例3[著色感光性樹脂組合物7的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-7),除此之外，與實施例1 一樣進行混 合，得到著色感光性樹脂組合物7。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物7，除此之外進行與實施例1相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(550nm)結(jié)果為85.4%。[評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，顯影溶解部分沒有 完全溶解，在圖案的邊緣部分觀察到殘渣附著。所得圖案是一部分方格 紋花樣狀圖案剝離的圖案。比舉交例4[著色感光性樹脂組合物8的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-8)，除此之外，與實施例1 一樣進行混 合，得到著色感光性樹脂組合物8。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物8，除此之外進行與實施例1相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(550nm)結(jié)果為95.4%。[評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，在顯影溶解部分觀 察到有殘渣附著。 比舉交例5[著色感光性樹脂組合物9的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-9)，除此之外，與實施例1 一樣進行混 合，得到著色感光性樹脂組合物9。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物9，除此之外進行與實施例1相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(550nm)結(jié)果為95.9%。[評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，在顯影溶解部分觀 察到殘渣附著。 比凈交例6[著色感光性樹脂組合物10的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-10),除此之外，與實施例1 一樣進行 混合，得到著色感光性樹脂組合物10。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物10,除此之外進行與實施例l相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(550nm)結(jié)果為98.5%。[評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，在顯影溶解部分觀 察到殘渣附著。 比津交例7[著色感光性樹脂組合物11的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-ll),除此之外，與實施例1 一樣進 行混合，得到著色感光性樹脂組合物11。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物11，除此之外進行與實施例l相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(550nm)結(jié)果為96.4%。 [評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，在顯影溶解部分觀 察到殘渣附著。另外，所得圖案是一部分方格紋花樣狀圖案剝離的圖案。比較例8[著色感光性樹脂組合物12的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-12)，除此之外，與實施例1 一樣進 行混合，得到著色感光性樹脂組合物12。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物12,除此之外進行與實施例l相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(550nm)結(jié)果為87.1%。[評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，在顯影溶解部分觀 察到殘渣附著。 比較例9[著色感光性樹脂組合物l3的調(diào)制]將實施例1的(C-2)變更為(C-13)，除此之外，與實施例1 一樣進 行混合，得到著色感光性樹脂組合物13。 [評價1]將實施例1的著色感光性樹脂組合物1變更為著色感光性樹脂組合 物13，除此之外進行與實施例l相同的操作，測定溶解涂膜層后基板的 透過率(550nm)結(jié)果為94.3%。[評價2]進行與實施例1相同的操作，觀察圖案的斷面，顯影溶解部分沒有 完全溶解，在圖案的邊緣部分觀察到殘渣附著。
權(quán)利要求
1.著色感光性樹脂組合物，它是含有(A)顏料、(B)粘結(jié)劑樹脂、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引發(fā)劑和(E)溶劑的著色感光性樹脂組合物，其中，(A)顏料相對于著色感光性樹脂組合物固形物的含量，以質(zhì)量分率計為35～60質(zhì)量％，并且(C)光聚合性化合物含有化學式(I)所示化合物，化學式(I)中，l、m和n各自獨立地表示0以上的整數(shù)，l+m+n表示3～20的整數(shù)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1中所述的組合物，其中，化學式(I)所示化合物 相對于(C)光聚合性化合物的含量，以質(zhì)量分率計為5~100質(zhì)量％。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2中所述的組合物，其中，(C)光聚合性化合 物相對于著色感光性樹脂組合物固形物的含量，以質(zhì)量分率計為5~45 質(zhì)量％。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1中所述的組合物，其中，化學式(I)所示化合物 中l(wèi)+m+n表示3 ~ 12的整數(shù)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1中所述的組合物，其中，化學式(I)所示化合物 中l(wèi)+m+n表示6 ~ 12的整數(shù)。
6. 使用權(quán)利要求1 -5任意一項中所述組合物形成的圖案。
7. 含有權(quán)利要求6中所述圖案的濾色片。
8. 具備權(quán)利要求7中所述濾色片的圖像傳感器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種著色感光性樹脂組合物，它是含有(A)顏料、(B)粘結(jié)劑樹脂、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引發(fā)劑和(E)溶劑的著色感光性樹脂組合物，其中，(A)顏料相對于著色感光性樹脂組合物固形物的含量，以質(zhì)量分率計為35～60質(zhì)量％，并且(C)光聚合性化合物含有化學式(I)所示化合物。其中，l、m和n各自獨立地表示0以上的整數(shù)，l+m+n表示3～20的整數(shù)。
文檔編號G03F7/004GK101211111SQ20071030541
公開日2008年7月2日 申請日期2007年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月28日
發(fā)明者市川幸司, 秋山裕次 申請人:住友化學株式會社