專利名稱：有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是提供一種顯影裝置，尤指一種有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置。
有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的主要結(jié)構(gòu)包含有復(fù)數(shù)條互相平行的銦錫氧化物(ITO)陽極電極，復(fù)數(shù)條互相平行但與陽極電極垂直的光阻阻隔墻，一有機(jī)電激發(fā)光材料層是蒸鍍于相鄰的光阻阻隔墻內(nèi)，以及復(fù)數(shù)條互相平行的陰極電極，是蒸鍍于有機(jī)電激發(fā)光材料層上。陽極電極、有機(jī)電激發(fā)光材料層與陰極電極的三明治結(jié)構(gòu)便構(gòu)成有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的發(fā)光畫素(pixel)。另外，顯示面板表面上會設(shè)置有一圖素定義層，是涂布于陽極電極與光阻阻隔墻之間，可以定義出陽極電極的發(fā)光區(qū)的面積與圖案(pattern)，還可以將陽極電極與沉積在光阻阻隔墻上的陰極電極隔開，使陰極電極與陽極電極短路的機(jī)率降低，進(jìn)而提升顯示面板的制作良率。
一般而言，圖素定義層使用的材質(zhì)為光阻層或聚亞醯胺(polyimide)，由于聚亞醯胺具有較佳的熱安定性、機(jī)械安定性、電安定性以及光安定性，可以使有機(jī)電激發(fā)光顯示面板具有較佳的發(fā)光穩(wěn)定度與較長的使用壽命。制作的方法包含有涂布聚亞醯胺或是聚亞醯剩前軀體(precursor)，依序進(jìn)行預(yù)烤、曝光、曝光后烤、顯影、高溫烘烤等制程，以定義出聚亞醯胺的圖案。其中，顯影現(xiàn)有技術(shù)在傳統(tǒng)的集成電路、光電制程中，是將硅基板置于吸盤上旋轉(zhuǎn)，而后由噴嘴分別噴灑顯影液與水洗液，最后再高速旋干。但隨著顯示器尺寸往新世代推進(jìn)而加大，與顯示器玻璃基板較硅基板重很多的雙重效應(yīng)影響，使得傳統(tǒng)轉(zhuǎn)盤設(shè)計無法負(fù)荷如此大的重量與高速旋轉(zhuǎn)下的離心力，使得顯影不均勻或不干凈造成光阻殘留，而大大降低顯示元件的良率。而因此或改采將顯示基板浸泡在不同的顯影槽與水洗槽的方式進(jìn)行，但卻無法連續(xù)操作每一個步驟，必須由人為傳送的方式將顯示面板取出并裝載至另一個機(jī)臺中，因此整個顯影制程的時程會延長許多，不利于量產(chǎn)作業(yè)，也不利于大面積的顯示面板制造。此外，由于人為因素不易控制，常會在傳送過程中產(chǎn)生延誤或是損壞，因此一般的顯影設(shè)備根本無法精確地控制顯影時間，也不能確保顯影制程的品質(zhì)。
再者，特別針對有機(jī)電激發(fā)光顯示器結(jié)構(gòu)中的聚亞醯胺圖素定義層而言，由于聚亞醯胺是在其經(jīng)過最后一道220-350℃高溫烘烤后寸會具備高電氣、機(jī)械、熱與化學(xué)安定性；而在此之前其化學(xué)性質(zhì)尚未穩(wěn)定，容易受到鹼性物質(zhì)等化學(xué)藥劑的破壞。所以對其非感光型聚亞醯胺顯影而言，其顯影制程就同時包含光阻圖案的顯影，與被顯影掉光阻下層聚亞醯胺的蝕刻。所以需要做精確的顯影時間控制，避免顯影時聚亞醯胺遭受顯影液TMAH的過度蝕刻，使圖素定義面積的規(guī)格改變甚至造成PI剝離脫落，以提升顯示器的制程良率與規(guī)格穩(wěn)定性。創(chuàng)作人爰因于此，本于積極創(chuàng)作的精神，亟思一種可以解決上述問題的“有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置”，幾經(jīng)研究實(shí)驗終至完成此項創(chuàng)作。
本發(fā)明的內(nèi)容本發(fā)明的主要目的是在提供一種有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，以便能連續(xù)傳送有機(jī)電激發(fā)光顯示面板至每一個單元中，以有效縮短顯影制程的時程，提升不同尺寸基板的操作彈性。
本發(fā)明的次要目的是在提供一種顯影裝置，可以精確地控制預(yù)定顯影時間。
本發(fā)明的又一目的是在提供一種顯影裝置，可以依據(jù)維修需要以及顯影制程要求來彈性選擇使用。
本發(fā)明的又一目的是在提供一種顯影裝置，可以達(dá)到環(huán)保與節(jié)省成本的功效。
本發(fā)明的又一目的是在提供一種顯影裝置，可以提升顯影裝置的使用壽命與使用效率。
本發(fā)明一種有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，是用來對一有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層進(jìn)行一顯影制程；其特征在于，該顯影裝置包含有一顯影單元，是提供一顯影液，以便該顯影液均勻分布在一有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上；一清洗單元，是與該顯影單元相連接，以噴灑一清洗溶液，以移除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的顯影液；一吹干單元，是與該清洗單元相連接，以吹干該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的清洗溶液；一傳送單元，是分別與該顯影單元、該清洗單元以及該吹干單元相連接，以傳送該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板至每一單元中；以及一控制單元，是控制該傳送單元的傳送順序與傳送時間，以精確地控制該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板于每一個單元中的處理時間；其中該傳送單元是以連續(xù)傳送的方式，將該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板依序傳送至該顯影單元、該清洗單元以及該吹干單元中，以完成該顯影制程，因此該顯影裝置可以精確地控制該預(yù)定的顯影時間，并有效縮短該顯影制程的時程，與減少人力操作成本。
其中該顯影裝置還包含有一下載單元，是與該吹干單元相連接，以裝載該完成顯影處理的顯示面板，或提供一緩沖區(qū)使該顯示面板基板直接進(jìn)入下游的光阻剝離模組。
其中該顯影單元是振搖該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板，使該顯影液均勻地分布在該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上，并以一噴壓控制器控制顯影液在噴嘴的噴壓。
其中該顯影單元更包含有至少一風(fēng)刀，是設(shè)于該顯影單元的末端，用來刮除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上多余的顯影液。
其中該顯影單元包含有一顯影液回收單元，是用來回收該使用過的顯影液并提供重復(fù)利用，以及一顯影液溫度加熱控制器，是用來控制顯影處理的溫度條件。
其中該吹干單元是利用風(fēng)刀吹干的方式，將該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的清洗溶液移除。
其中該顯影裝置所進(jìn)行的該顯影制程，是用來定義出該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的發(fā)光區(qū)圖案與面積。
本發(fā)明一種有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，是用來對一有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層進(jìn)行一顯影制程；該顯影裝置包含有復(fù)數(shù)個前后連接的顯影單元，每一顯影單元是用來提供一顯影液，以使該顯影液均勻分布在一有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上，并持續(xù)一預(yù)定時間；一清洗單元，是與該最后側(cè)的顯影單元相連接，用來噴灑一清洗溶液，以移除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的顯影液；一吹干單元，是與該清洗單元相連接，用來吹干該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的清洗溶液；一傳送單元，是分別與該復(fù)數(shù)個顯影單元、該清洗單元以及該吹干單元相連接，并以連續(xù)傳送的方式將該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板依序傳送至該復(fù)數(shù)個顯影單元、該清洗單元以及該吹干單元中；以及一控制單元，是用來控制該傳送單元的傳送方式與傳送時間，以精確地控制該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板于每一個單元中的處理時間；其中該顯影裝置可以依據(jù)維修需要以及顯影制程要求來彈性選擇使用該復(fù)數(shù)個顯影單元，并由該控制單元來控制該選擇使用的顯影單元的處理時間，以精確地控制該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的顯影時間。
本發(fā)明一種有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，是用來對一有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層進(jìn)行一顯影制程該顯影裝置包含有一顯影單元，是用來提供一顯影液，以便該顯影液均勻分布在一有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上，并持續(xù)一預(yù)定顯影時間；一第一段清洗單元，是與該顯影單元相連接，用來嘖灑一循環(huán)溶液，以初步移除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的顯影液；一第二段清洗單元，是與該第一段清洗單元相連接，用來噴灑一新鮮清洗溶液，以完全移除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的顯影液；一吹干單元，是與該第二段清洗單元相連接，用來吹干該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的溶液；一傳送單元，是分別與該顯影單元、該第一段清洗單元、該第二段清洗單元以及該吹干單元相連接，并以連續(xù)傳送的方式將該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板恢序傳送至該顯影單元、該第一段清洗單元、該第二段清洗單元以及該吹干單元中；以及一控制單元，是用來控制該傳送單元的傳送方式與傳送時間，以精確地控制該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板于每一個單元中的處理時間；其中于該第二段清洗單元中使用過的該新鮮清洗溶液，是循環(huán)至該第一段清洗單元中，用來作為該循環(huán)溶液。
由于本發(fā)明方法新穎，能提供產(chǎn)業(yè)上利用，且確有增進(jìn)功效，故依法申請發(fā)明專利。
請參考圖2，圖2是

圖1所示的顯影單元14的示意圖。顯影單元14包含有一腔體24，一通氣設(shè)備26是與腔體14相連接，用來提供腔體24內(nèi)所需通入的惰性氣體，如氮?dú)?N2)、氬氣(Ar)等，以避免聚亞醯胺圖素定義層產(chǎn)生氧化，一顯影液加熱溫度控制器29是與腔體14相連接，用來控制顯影液的顯影溫度，以及一顯影液圓收單元28是與腔體24相連接，用來回收使用過的顯影液并提供重復(fù)利用。腔體24內(nèi)設(shè)有一噴嘴30，用來噴灑顯影液，一嘖壓控制器31，是利用幫浦來控制顯影液在噴嘴30的噴壓，一顯影槽32，用來振搖己嘖灑顯影液的顯示面板，以及至少一風(fēng)刀34設(shè)于腔體24的末端，用來吹除顯示面板表面上多余的顯影液，減少使用過的顯影液污染到下一槽。當(dāng)顯示面板自承載單元12中被傳送到顯影單元14后，腔體24內(nèi)的噴嘴30會對顯示面板噴灑顯影液，噴壓控制器31會控制顯影液在噴嘴30的噴壓，使顯影液獲得最全的均勻度。而于顯影槽32中，會以搖擺的方式來振搖顯示面板，以使顯影液均勻地分布在顯示面板表面上。另一種方式是在顯影槽32中填入顯影液，可以直接將顯示面扳浸泡在顯影槽32中，并進(jìn)行搖擺方式的振搖，也能達(dá)到均勻地分布的效果。此外，還可以同時采用上述的噴灑與浸泡顯影液兩種方式，將能夠更快速地達(dá)到均勻地分布的效果。至于以振搖的方式來取代習(xí)知旋轉(zhuǎn)的方式，則是為了避免顯示面板上的顯影液因過度旋轉(zhuǎn)而噴濺腔體24，這對于提高顯影液的回收率有很大的幫助。而風(fēng)刀34的功用，則是于顯示面板被傳送到清洗單元16之前，用來吹除顯示面板表面上多余的顯影液，不但能提高顯影液的回收率，也能降低后續(xù)步驟所需使用的清洗溶液的用量。
在顯影單元14中，控制單元22會控制顯影液噴灑時間以及振搖時間，并于到達(dá)設(shè)定顯影時間后，立刻由傳送單元20將顯示面板傳送至清洗單元16中。隨后，清洗單元16會噴灑一高壓去離子水，來清洗顯示面板表面上的顯影液。跟著，顯示面板會被傳送至吹干單元18中，并被以空氣吹干或風(fēng)刀吹干的方式吹干，便完成顯影制程。由于控制單元22可以控制顯示面板于每一個單元中的處理時間，而且傳送單元20可以連續(xù)傳送顯示面板至每一個單元中，因此顯影裝置10可以精確地控制顯示面板所需的預(yù)定顯影時間，以避免人為操作而產(chǎn)生顯影時間誤差，與人工作業(yè)的成本。此外。連續(xù)傳送的作業(yè)方式可以有效縮短顯影制程的時程，相當(dāng)適用于工廠的量產(chǎn)作業(yè)，特別是大面積的顯示面板的量產(chǎn)作業(yè)。
顯影裝置40利用控制單元52來控制傳送單元50的傳送順序與傳送時間，使傳送單元50得以連續(xù)傳送的方式，將顯示面板依序傳送至第一顯影單元441、第二顯影單元442、第三顯影單元443、清洗單元46以及吹干單元48中，以精確地控制顯示面板于每一個單元中的處理時間。其中，每一顯影單元441-443、清洗單元46、吹干單元48與下載單元49的設(shè)備與功能是與實(shí)施例1相同。
由于顯影裝置40設(shè)置有前后連接的第一、第二與第三顯影單元441、442、443，因此可以依據(jù)維修需要以及顯影制程要求來彈性選擇使用第一、第二或第三顯影單元441、442、443，并由控制單元52來控制選擇使用的顯影單元的進(jìn)行方式與處理時間，以精確地控制所需的顯影液量與預(yù)定顯影時間。例一在進(jìn)行大量生產(chǎn)時，可以同時于每一個顯影單元中進(jìn)行顯影液涂布、振搖步驟以及預(yù)定顯影時間的控制，使顯、影裝置40的產(chǎn)量提高三倍。例二當(dāng)一個顯影單元需要進(jìn)行維修或是補(bǔ)充顯影液時，可于另二個顯示單元中進(jìn)行顯影液涂布與振搖步驟，以避免顯影裝置40因一個顯影單元停擺而無法運(yùn)作。例三當(dāng)顯影制程需要更換不同濃度或不同藥劑的顯影液時，可以于不同的顯影單元中單元不同種類的顯影液，使顯影裝置40可以同時進(jìn)行三種顯影制程。
綜上述可知，顯影裝置40的連續(xù)傳送方式搭配設(shè)置至少兩個顯影單元，不但能有效縮短顯影制程的時程，還能增加顯影裝置40的使用選擇空間，對于提升顯影裝置40的使用壽命與使用效率都有很大的助益。
顯影裝置60利用控制單元72來控制傳送單元70的傳送順序與傳送時間，使傳送單元70得以連續(xù)傳送的方式，將顯示面板依序傳送至顯影單元64、第一段清洗單元661、第二段清洗單元662以及吹干單元68中，以精確地控制顯示面板于每一個單元中的處理時間。其中，顯影單元64、吹干單元68與下載單元69的設(shè)備與功能是與實(shí)施例1相同。第一段清洗單元661是用來噴灑一高壓循環(huán)水溶液，以初步移除顯示面板表面上所殘留的顯影液。而第二段清洗單元662是用來噴灑一高壓新鮮去離子水，以完全移除顯示面板表面上所殘留的顯影液。
顯影裝置60設(shè)置兩階段的清洗單元，是先于第一段清洗單元661中初步清洗顯示面板，以大量減少顯示面板表面上的顯影液，再于第二段清洗單元662中完全清除掉殘留的顯影液。因此，第二段清洗單元662只需耗費(fèi)少量的高壓新鮮去離子水，便能完全移除顯示面板表面上的顯影液。這樣可以避免過多的顯影液噴濺而污染第二段清洗單元662，以確保其他顯示面板于第二段清洗單元662中的清洗品質(zhì)，并延長第二清洗單元662的使用壽命。此外，由于使用過的高壓新鮮去離子水的污濁度不高可以提供重復(fù)利用來初步清洗顯示面板，因此會被循環(huán)至第一段清洗單元661中，作為高壓循環(huán)水溶液。
綜上述可知，顯影裝置60的連續(xù)傳送方式搭配設(shè)置兩階段清洗單元，不但能有效控制顯影制程的時程，還能達(dá)到環(huán)保與節(jié)省成本的功效，對于提升顯影裝置60的使用壽命與使用效率都有很大的助益。
顯影裝置80利用控制單元92來控制傳送單元90的傳送順序與傳送時間，使傳送單元90得以連續(xù)傳送的方式，將顯示面板依序傳送至第一、第二、第三顯影單元841、842、843、第一、第二段清洗單元861、862以及吹干單元88中，以精確地控制顯示面板于每一個單元中的處理時間。其中，每一個顯影單元841-843、吹干單元88、與下載單元89的設(shè)備與功能是如同實(shí)施例2所述，每一個清洗單元861、862是如同實(shí)施例3所述。
綜上述可知，顯影裝置80的連續(xù)傳送方式搭配設(shè)置三個顯影單元以及兩階段清洗單元，可以依據(jù)維修保養(yǎng)需要以及顯影制程要求來彈性選擇使用顯影單元，并利用高壓循環(huán)水溶液來達(dá)到環(huán)保與節(jié)省成本的功效，對于提升顯影裝置80的使用壽命與使用效率都有很大的助益。
綜上所述，本發(fā)明無論就目的、手段及功效，在在均顯示其迥異于習(xí)知技術(shù)的特征，淮應(yīng)注意的是，上述諸多實(shí)施例僅是為了便于說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以申請專利范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，是用來對一有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層進(jìn)行一顯影制程；其特征在于，該顯影裝置包含有一顯影單元，是提供一顯影液，以便該顯影液均勻分布在一有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上；一清洗單元，是與該顯影單元相連接，以噴灑一清洗溶液，以移除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的顯影液；一吹干單元，是與該清洗單元相連接，以吹干該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的清洗溶液；一傳送單元，是分別與該顯影單元、該清洗單元以及該吹干單元相連接，以傳送該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板至每一單元中；以及一控制單元，是控制該傳送單元的傳送順序與傳送時間，以精確地控制該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板于每一個單元中的處理時間；其中該傳送單元是以連續(xù)傳送的方式，將該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板依序傳送至該顯影單元、該清洗單元以及該吹干單元中，以完成該顯影制程，因此該顯影裝置可以精確地控制該預(yù)定的顯影時間，并有效縮短該顯影制程的時程，與減少人力操作成本。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影裝置還包含有一下載單元，是與該吹干單元相連接，以裝載該完成顯影處理的顯示面板，或提供一緩沖區(qū)使該顯示面板基板直接進(jìn)入下游的光阻剝離模組。
3.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影單元是振搖該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板，使該顯影液均勻地分布在該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上，并以一噴壓控制器控制顯影液在噴嘴的噴壓。
4.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影單元更包含有至少一風(fēng)刀，是設(shè)于該顯影單元的末端，用來刮除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上多余的顯影液。
5.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影單元包含有一顯影液回收單元，是用來回收該使用過的顯影液并提供重復(fù)利用，以及一顯影液溫度加熱控制器，是用來控制顯影處理的溫度條件。
6.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該吹干單元是利用風(fēng)刀吹干的方式，將該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的清洗溶液移除。
7.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影裝置所進(jìn)行的該顯影制程，是用來定義出該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的發(fā)光區(qū)圖案與面積。
8.一種有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，是用來對一有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層進(jìn)行一顯影制程；該顯影裝置包含有復(fù)數(shù)個前后連接的顯影單元，每一顯影單元是用來提供一顯影液，以使該顯影液均勻分布在一有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上，并持續(xù)一預(yù)定時間；一清洗單元，是與該最后側(cè)的顯影單元相連接，用來噴灑一清洗溶液，以移除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的顯影液；一吹干單元，是與該清洗單元相連接，用來吹干該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的清洗溶液；一傳送單元，是分別與該復(fù)數(shù)個顯影單元、該清洗單元以及該吹干單元相連接，并以連續(xù)傳送的方式將該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板依序傳送至該復(fù)數(shù)個顯影單元、該清洗單元以及該吹干單元中；以及一控制單元，是用來控制該傳送單元的傳送方式與傳送時間，以精確地控制該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板于每一個單元中的處理時間；其中該顯影裝置可以依據(jù)維修需要以及顯影制程要求來彈性選擇使用該復(fù)數(shù)個顯影單元，并由該控制單元來控制該選擇使用的顯影單元的處理時間，以精確地控制該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的顯影時間。
9.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影裝置另包含有一下載單元，是與該吹干單元相連接，可以裝載該完成顯影處理的顯示面板，或提供一緩沖區(qū)，使該顯示面板基板直接進(jìn)入下游的光阻剝離模組。
10.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影單元是以是以振搖該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的方式，使該顯影液均勻地分布在該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上，并以一噴壓控制器控制顯影液在噴嘴的噴壓，以獲得最佳的顯影均勻度。
11.如權(quán)利要求10所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，每一顯影單元另包含有至少一風(fēng)刀，設(shè)于該顯影單元的末端，是用來吹除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上多余的顯影液。
12.如權(quán)利要求10所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影單元裝置另包含有一顯影液回收單元，用來回收并提供重復(fù)利用使用過的顯影液，以及一顯影液溫度加熱控制器，是用來控制顯影處理的溫度條件。
13.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該吹干單元是利用風(fēng)刀吹干的方式，將該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的清洗溶液移除。
14.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影裝置所進(jìn)行的該顯影制程，是用來定義出該有機(jī)電激發(fā)光巔示面板的發(fā)光區(qū)圖案與面積。
15.一種有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，是用來對一有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層進(jìn)行一顯影制程該顯影裝置包含有一顯影單元，是用來提供一顯影液，以便該顯影液均勻分布在一有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上，并持續(xù)一預(yù)定顯影時間；一第一段清洗單元，是與該顯影單元相連接，用來嘖灑一循環(huán)溶液，以初步移除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的顯影液；一第二段清洗單元，是與該第一段清洗單元相連接，用來噴灑一新鮮清洗溶液，以完全移除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的顯影液；一吹干單元，是與該第二段清洗單元相連接，用來吹干該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的溶液；一傳送單元，是分別與該顯影單元、該第一段清洗單元、該第二段清洗單元以及該吹干單元相連接，并以連續(xù)傳送的方式將該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板恢序傳送至該顯影單元、該第一段清洗單元、該第二段清洗單元以及該吹干單元中；以及一控制單元，是用來控制該傳送單元的傳送方式與傳送時間，以精確地控制該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板于每一個單元中的處理時間；其中于該第二段清洗單元中使用過的該新鮮清洗溶液，是循環(huán)至該第一段清洗單元中，用來作為該循環(huán)溶液。
16.如權(quán)利要求15所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影裝置另包含有一下載單元，是與該吹干單元相連接，可以裝載該完成顯影處理的顯示面板，或提供一緩沖區(qū)，使該顯示面板基板直接進(jìn)入下游的光阻剝離模組。
17.如權(quán)利要求15所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影單元是以振搖該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的方式，使該顯影液均勻地分布在該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上，并以一噴壓控制器控制顯影液在噴嘴的噴壓，以獲得最佳的顯影均勻度。
18.如權(quán)利要求17所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影單元另包含有至少一風(fēng)刀，設(shè)于該顯影單元的末端，是用來吹除該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的表面上多余的顯影液。
19.如權(quán)利要求17所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影單元另包含有一顯影液回收單元，用來回收并提供重復(fù)利用使用過的顯影液，以及一顯影液溫度加熱控制器，用來控制顯影處理的溫度條件。
20.如權(quán)利要求15所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該吹干單元是利用風(fēng)刀吹干的方式，將該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上所殘留的清洗溶液移除。
21.如權(quán)利要求17所述的有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，其特征在于，其中該顯影裝置所進(jìn)行的該顯影制程，是用來定義出該有機(jī)電激發(fā)光顯示面板的發(fā)光區(qū)圖案與面積。
全文摘要
一種有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層的顯影裝置，是用來針對一有機(jī)電激發(fā)光的圖素定義層進(jìn)行一顯影制程，包含一顯影單元，用來提供一顯影液以使其分布于有機(jī)電激發(fā)光顯示面板表面上，一清洗單元，用來清洗殘留的顯影液，一吹干單元，用來吹干顯示面板，一傳送單元，將顯示面板依序傳送至顯影單元、清洗單元以及吹干單元中，一控制單元，用來控制傳送順序與傳送時間，精確地控制顯示面板于每一個單元中的處理時間；顯影裝置設(shè)置復(fù)數(shù)個前后連接的顯影單元；顯影裝置可以設(shè)置成第一段清洗單元和第二段清洗單元，先利用第一段清洗單元來噴灑一循環(huán)溶液，再利用第二段清洗單元來噴灑一新鮮清洗溶液，以完全移除顯影液。
文檔編號G03F7/30GK1419166SQ0113491
公開日2003年5月21日 申請日期2001年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月13日
發(fā)明者盧添榮, 張毅 申請人:錸寶科技股份有限公司