剝離裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及剝離裝置。使升降銷（361）向平面狀的水平載物臺部（31）的上表面突出來接受從外部搬入的工件（WK）。在由基板（SB）和橡皮布（BL）隔著圖案緊貼而成的工件（WK）中的基板（SB）與橡皮布（BL）重疊且形成有有效的圖案的有效區(qū)域（AR）的外側(cè)的可抵接區(qū)域（TR）內(nèi)，升降銷（361）與橡皮布（BL）的下表面相抵接。通過支撐基板（SB）和橡皮布（BL）重疊的區(qū)域來抑制工件（WK）彎曲，另外，防止應(yīng)力集中于有效區(qū)域（AR）內(nèi)的圖案的情況。
【專利說明】剝離裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及使相互緊貼的兩張板狀體剝離來分離的剝離裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]作為在玻璃基板或半導(dǎo)體基板等板狀體上形成規(guī)定的圖案或薄膜的技術(shù)，存在如下，即，將擔(dān)載于其它板狀體上的圖案或薄膜(下面，稱為“圖案”等)轉(zhuǎn)印至基板。在該技術(shù)中，在使兩張板狀體緊貼來將圖案等從一方轉(zhuǎn)印至另一方之后，需要在不損壞圖案的情況下使兩張板狀體剝離。
[0003]作為能夠利用于該目的的技術(shù)，例如在日本特開2008-287949號公報中記載了使隔著有機層相互緊貼的元件形成用基板和轉(zhuǎn)印用基板剝離的裝置。在該技術(shù)中，將粘接的兩張基板保持為水平姿勢，在將上下基板分別進(jìn)行真空吸附的狀態(tài)下，使上下基板向分離方向移動。上下基板分別被分散配置的多個吸附墊吸附保持。
[0004]這種轉(zhuǎn)印技術(shù)逐漸應(yīng)用于各種器件制造工序中，但是隨著用于形成圖案等的材料變得多樣、圖案變得微細(xì)、基板變大等，需要在剝離工序中進(jìn)行更細(xì)致的管理。即，為了防止因局部應(yīng)力集中而導(dǎo)致圖案等損壞，需要恰當(dāng)?shù)毓芾韯冸x的進(jìn)行情況。但是，為了按照這樣的要求，在上述現(xiàn)有技術(shù)中存在應(yīng)該改進(jìn)的如下的問題。
[0005]第一，在上述現(xiàn)有技術(shù)中，由于上下基板分別被吸附墊局部吸附，因此存在如下那樣的不能在恰當(dāng)?shù)墓芾硐逻M(jìn)行剝離的情況，即，在該吸附部位中產(chǎn)生局部的基板之間的剝離等。尤其，在形成有圖案等的區(qū)域使吸附墊與基板抵接時，可能在該區(qū)域集中大的剝離力而使圖案等損壞。
[0006]第二，在這種剝離裝置中，將由兩張板狀體緊貼而成的緊貼體搬入于裝置并使它們相互剝離。此時，如上所述，因應(yīng)力局部集中于圖案等而導(dǎo)致圖案等損壞，因此需要考慮用于不產(chǎn)生這樣的應(yīng)力來從外部接受緊貼體的裝置結(jié)構(gòu)。但是，在上述現(xiàn)有技術(shù)中，沒有考慮到這一點。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種技術(shù)，在使相互緊貼的兩張板狀體剝離來分離的剝離裝置中，能夠良好地進(jìn)行剝離，并且能夠良好地搬入由板狀體緊貼而成的緊貼體。
[0008]在本發(fā)明的一個方式中，為了達(dá)到上述目的，提供一種剝離裝置，用于使第一板狀體和第二板狀體剝離，上述第二板狀體的平面尺寸小于第一板狀體的平面尺寸，并且上述第二板狀體隔著薄膜或者圖案緊貼在第一板狀體上，上述剝離裝置具有:保持載物臺，其上表面為平面尺寸大于第一板狀體的形成有薄膜或者圖案的有效區(qū)域的平面尺寸的水平的保持面，使第一板狀體的面中的與第二板狀體緊貼的一面相反的一側(cè)的另一面與保持面抵接，來保持第一板狀體，剝離單元，其保持第二板狀體，來使第二板狀體相對于被保持在保持載物臺上的第一板狀體，向與第一板狀體分離的方向移動，支撐構(gòu)件，其上端向保持面的上方突出，并且上端與第一板狀體的另一面局部抵接，從而將第一板狀體支撐在與保持面分離的狀態(tài)，升降單元，其使支撐構(gòu)件相對于保持面的高度方向位置在上部位置和下部位置之間變更，上述上部位置的指，支撐構(gòu)件的上端向保持面的上方突出的位置，上述下部位置是指，上端位于保持面的高度以下的位置；支撐構(gòu)件抵接于第一板狀體的另一面中的與在一面?zhèn)戎信c第二板狀體緊貼的區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)且有效區(qū)域的外側(cè)。
[0009]在這樣構(gòu)成的發(fā)明中，由于在使第一板狀體與保持載物臺的保持面抵接的狀態(tài)下使第一板狀體與第二板狀體剝離，因此能夠在將第一板狀體保持為平面姿勢的狀態(tài)下進(jìn)行剝離。因此，能夠避免應(yīng)力局部集中于形成在第一板狀體和第二板狀體之間的圖案或者薄膜(下面，稱為“圖案等”)，從而能夠防止因應(yīng)力集中而使圖案等損壞。
[0010]另外，在搬入第一板狀體和第二板狀體的緊貼體時，支撐構(gòu)件發(fā)揮主要的作用。即，在從保持面向上方突出的上部位置，支撐構(gòu)件能夠以使第一板狀體與保持面分離的狀態(tài)支撐第一板狀體，因此能夠接受從外部搬入的緊貼體。并且，通過使支撐構(gòu)件后退至保持面的下方的下部位置，將緊貼體從支撐構(gòu)件交至保持載物臺。這樣，支撐構(gòu)件發(fā)揮接受從外部搬入的緊貼體來載置于保持載物臺的功能。
[0011]此時，若支撐構(gòu)件在相當(dāng)于有效區(qū)域內(nèi)的區(qū)域與第一板狀體相抵接，則在該抵接部位有大的按壓力作用于圖案等。另外，若在第一板狀體和第二板狀體緊貼的區(qū)域的外側(cè)與第一板狀體相抵接，則需要用第一板狀體支撐整個緊貼體的自重，若第一板狀體的剛性低則可能發(fā)生彎曲。在本發(fā)明中，支撐構(gòu)件在第一板狀體和第二板狀體緊貼且形成有有效的圖案等的有效區(qū)域的外側(cè)支撐第一板狀體，因此不會產(chǎn)生這樣的問題。
[0012]這樣，根據(jù)本發(fā)明，能夠使相互緊貼的兩張板狀體良好地進(jìn)行剝離，并且也能夠在不損壞圖案等的情況下良好地接受從外部搬入的緊貼體。
[0013]在本發(fā)明中，例如也可以為如下結(jié)構(gòu)，S卩，保持面的平面尺寸大于第二板狀體的平面尺寸，并且在保持面中的與載置于保持面的第一板狀體的有效區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域的外側(cè)且與第二板狀體相對應(yīng)的區(qū)域的內(nèi)側(cè)設(shè)置有開口，在支撐構(gòu)件位于上部位置時，上端通過開口來向保持面的上方突出。
[0014]在這樣的結(jié)構(gòu)中，能夠使第一板狀體中的一面?zhèn)戎信c第二板狀體緊貼的區(qū)域整體與保持面相抵接來保持第一板狀體，從而能夠更有效地防止在使第二板狀體剝離時對第一板狀體施加局部的應(yīng)力。另外，通過經(jīng)過開口來進(jìn)行升降的支撐構(gòu)件，能夠在有效區(qū)域的外側(cè)可靠地支撐并接受緊貼體，并且能夠?qū)⒕o貼體可靠地載置于保持面上。
[0015]此時，例如也可以分別設(shè)置多個支撐構(gòu)件以及開口，多個支撐構(gòu)件一體地相對于保持面進(jìn)行升降。這樣，例如能夠使緊貼體一邊保持與保持面平行的狀態(tài)一邊進(jìn)行升降，因此能夠穩(wěn)定地接受來自外部的緊貼體以及穩(wěn)定地將緊貼體載置于保持面上。
[0016]另外，例如也可以在保持面中的與有效區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)設(shè)置與設(shè)置有支撐構(gòu)件的開口不同的第二開口，并且具有從該第二開口向保持面的上方突出來支撐第一板狀體的輔助支撐構(gòu)件。若使構(gòu)件抵接于與第二板狀體剝離之前的第一板狀體的有效區(qū)域內(nèi)，則如上所述會成為圖案等損壞的原因，因此并不優(yōu)選。但是，根據(jù)圖案等種類不同，也存在克服這樣的應(yīng)力的耐性高的，在這樣的情況下，輔助性地支撐有效區(qū)域內(nèi)，在可靠保持緊貼體這一點上是有效的。
[0017]另外，與第二板狀體剝離之后的單獨的第一板狀體，與緊貼體相比剛性降低，有時僅在有效區(qū)域外保持的話則因自重而使彎曲變大。在這樣的情況下，在有效區(qū)域內(nèi)輔助性地支撐第一板狀體是有效的，而且由于是剝離之后，因此不會對圖案等帶來不良影響。
[0018]另外，例如還可以具有空隙形成構(gòu)件，該空隙形成構(gòu)件使被保持在載物臺上的第一板狀體的周緣部向上方發(fā)生位移，從而在第一板狀體的周緣部和保持面之間產(chǎn)生空隙。在從保持載物臺搬出第一板狀體的情況下，能夠利用支持構(gòu)件來從保持面抬起第一板狀體。但是，由于第一板狀體處于被大氣壓按壓于保持面的狀態(tài)，因此有時僅僅通過支撐構(gòu)件推上去是無法抬起第一板狀體的。通過空隙形成構(gòu)件使第一板狀體的周緣部向上方發(fā)生位移，在第一板狀體和保持面之間導(dǎo)入外部氣體，從而能夠解除大氣壓的按壓來容易地使第一板狀體與保持面分離。即，這是用于能夠容易地搬出剝離之后的第一板狀體的結(jié)構(gòu)。
[0019]另外，例如也可以為如下結(jié)構(gòu)，S卩，保持載物臺具有水平載物臺部和錐形載物臺部，上述水平載物臺部的上表面具有保持面，上述錐形載物臺部的上表面與保持面相連接，并且上述錐形載物臺部呈朝向與保持面分離的方向形成下坡的錐形面，在使第一板狀體中的所述有效區(qū)域的外側(cè)的周緣部向錐形面的上方突出的狀態(tài)下，保持第一板狀體；還具有按壓構(gòu)件，該按壓構(gòu)件將向錐形面的上方突出的第一板狀體的周緣部按壓來使之向下方彎曲，來使第一板狀體和第二板狀體之間開始剝離；水平載物臺部和錐形載物臺部能夠在水平方向上進(jìn)行分離，至少一個支撐構(gòu)件從因分離而產(chǎn)生的水平載物臺部和錐形載物臺部之間的間隙，相對于保持面進(jìn)行升降。
[0020]在保持載物臺的一部分設(shè)置這樣的錐形面，使向該錐形面突出的第一板狀體沿著錐形面彎曲，從而能夠在恰當(dāng)?shù)墓芾硐麻_始進(jìn)行剝離。由此，能夠良好地進(jìn)行剝離。在該情況下，若在保持面和錐形面之間的邊界附近設(shè)置用于插入支撐構(gòu)件的開口，則第一板狀體和第二板狀體緊貼的未剝離區(qū)域和已經(jīng)進(jìn)行了剝離的剝離區(qū)域之間的邊界線即剝離邊界線的形狀變亂，從而無法以恒定速度進(jìn)行剝離。通過使水平載物臺部和錐形載物臺部能夠分離，在通過支撐構(gòu)件支撐第一板狀體(或者緊貼體)時，兩個載物臺部分離而使支撐構(gòu)件從它們的間隙中突出，在剝離時，使支撐構(gòu)件退避來使水平載物臺部和錐形載物臺緊貼在一起，從而能夠避免這樣的問題來良好地進(jìn)行剝離。
[0021]在本發(fā)明中，在第一板狀體和第二板狀體緊貼且形成有有效的圖案等的有效區(qū)域的外側(cè)，支撐構(gòu)件支撐第一板狀體，而且在使第一板狀體與保持載物臺的保持面抵接的狀態(tài)下進(jìn)行剝離。因此，能夠使相互緊貼的兩張板狀體良好地進(jìn)行剝離，并且還能夠在不損壞圖案等的情況下良好地接受從外部搬入的緊貼體。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是示出本發(fā)明的剝離裝置的一個實施方式的立體圖。
[0023]圖2是示出該剝離裝置的主要結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0024]圖3是示出初始剝離單元的結(jié)構(gòu)以及各部的位置關(guān)系的側(cè)視圖。
[0025]圖4A、圖4B是示出載物臺的更詳細(xì)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0026]圖5是示出圖6A至圖8B的載物臺剖視圖中的截面的方向的載物臺仰視圖。
[0027]圖6A、圖6B是示出主升降機的配置的載物臺剖視圖。
[0028]圖7A、圖7B、圖7C是示出子升降機的配置的載物臺剖視圖。
[0029]圖8A、圖SB是示出邊緣升降機的配置的載物臺剖視圖。
[0030]圖9是示出載物臺和載置于載物臺的工件之間的位置關(guān)系的圖。
[0031]圖10是示出該剝離裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。
[0032]圖11是示出剝離處理的流程圖。
[0033]圖12A、圖12B、圖12C、圖12D是示出處理中的各階段的各部的位置關(guān)系的第一圖。
[0034]圖13A、圖13B、圖13C、圖13D是示出處理中的各階段的各部的位置關(guān)系的第二圖。
[0035]圖14A、圖14B、圖14C、圖14D是示出處理中的各階段的各部的位置關(guān)系的第三圖。
[0036]圖15A、圖15B、圖15C、圖1?是示出處理中的各階段的各部的位置關(guān)系的第四圖。
[0037]圖16A、圖16B是用于說明本實施方式的剝離處理的優(yōu)點的圖。

【具體實施方式】
[0038]圖1是示出本發(fā)明的剝離裝置的一個實施方式的立體圖。為了使下面的各圖中的方向統(tǒng)一，如圖1的右下方所不，設(shè)定XYZ正交坐標(biāo)軸。在此,XY平面表不水平面,Z軸表不鉛垂軸。更詳細(xì)地，+Z方向表示鉛垂朝上方向。
[0039]該剝離裝置I是用于使以主表面彼此緊貼的狀態(tài)被搬入的兩張板狀體剝離的裝置。例如用于在玻璃基板或半導(dǎo)體基板等基板的表面上形成規(guī)定的圖案的圖案形成工序的一部分中。更具體地說，在該圖案形成工序中，在用于暫時擔(dān)載待轉(zhuǎn)印圖案的作為擔(dān)載體的橡皮布表面上均勻地涂敷圖案形成材料(涂敷工序)，將按照圖案形狀進(jìn)行了表面加工的版推到橡皮布上的涂敷層上來印刻涂敷層(印刻工序)。然后，通過將這樣形成有圖案的橡皮布緊貼在作為被轉(zhuǎn)印體的基板上(轉(zhuǎn)印工序)，最終將圖案從橡皮布轉(zhuǎn)印至基板。
[0040]此時，為了使在印刻工序中緊貼的版和橡皮布之間或者在轉(zhuǎn)印工序中緊貼的基板和橡皮布之間相分離，能夠優(yōu)選利用本裝置。當(dāng)然，可以利用于這兩個工序中，也可以利用于除了這些工序之外的其它用途中。例如，也能夠適用于在將擔(dān)載體所擔(dān)載的薄膜轉(zhuǎn)印至基板時的剝離工序中。
[0041]該剝離裝置I具有在安裝在框體上的主機架11的上方分別固定有載物臺部3以及上部吸附部5的結(jié)構(gòu)。圖1中為了表示裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)而省略圖示了框體。另外，除了這些各部之外，該剝離裝置I還具有后述的控制單元70 (圖10)。
[0042]載物臺部3具有載物臺30，該載物臺30用于載置版或由基板與橡皮布緊貼而成的緊貼體(下面，稱為“工件”)。載物臺30具有:水平載物臺部31，其上表面為大致水平的平面；錐形載物臺部32，其上表面為相對于水平面具有幾度(例如2度左右)傾斜度的平面。在載物臺30的錐形載物臺部32側(cè)即-Y側(cè)的端部附近設(shè)置有初始剝離單元33。另外，以跨越水平載物臺部31的方式設(shè)置有輥單元34。
[0043]另一方面，上部吸附部5具有:支撐機架50，其以從主機架11立設(shè)并且覆蓋載物臺部3的上部的方式設(shè)置；第一吸附單元51、第二吸附單元52、第三吸附單元53、第四吸附單元54，安裝在支撐機架50上。這些吸附單元51?54依次沿著+Y方向排列。
[0044]圖2是示出該剝離裝置的主要結(jié)構(gòu)的立體圖。更具體地說，圖2示出剝離裝置I的各結(jié)構(gòu)中的載物臺30、輥單元34以及第二吸附單元52的結(jié)構(gòu)。載物臺30具有:水平載物臺部31，其上表面310為大致水平面；錐形載物臺部32，其上表面320為錐形面。水平載物臺部31的上表面310的平面尺寸稍大于所載置的工件的平面尺寸。
[0045]錐形載物臺部32緊貼設(shè)置于水平載物臺部31的-Y側(cè)端部。錐形載物臺部32的上表面320在與水平載物臺部31相接觸的部分位于與水平載物臺部31的上表面310相同的高度(Z方向位置)上，另一方面，隨著從水平載物臺部31向-Y方向分離而向下方即-Z方向后退。因此，在整個載物臺30中，水平載物臺部31的上表面310的水平面和錐形載物臺部32的上表面320的錐形面連續(xù)，它們連接的棱線部E呈沿著X方向延伸的直線狀。
[0046]另外，在水平載物臺部31的上表面310上設(shè)置有格子狀的槽。更具體地說，在水平載物臺部31的上表面310的中央部設(shè)置有格子狀的槽311。在水平載物臺部31的上表面310周緣部，以包圍形成有該槽311的區(qū)域的方式設(shè)置有相當(dāng)于除去矩形中的錐形載物臺部32側(cè)的一邊而得到的3邊形狀的槽312。這些槽311、312經(jīng)由控制閥與后述的負(fù)壓供給部704 (圖10)相連接，通過供給負(fù)壓，這些槽311、312發(fā)揮用于吸附保持載置于載物臺30的工件的吸附槽的功能。兩種槽311、312在載物臺上不連接，另外，經(jīng)由相互獨立的控制閥與負(fù)壓供給部704相連接，因此除了使用兩種槽來進(jìn)行吸附之外，還可以僅使用一種槽來進(jìn)行吸附。
[0047]以跨越這樣構(gòu)成的載物臺30的方式設(shè)置有輥單元34。具體地說，在水平載物臺部31的X方向上的兩端部，沿著Y方向延伸設(shè)置有一對引導(dǎo)軌351、352，這些引導(dǎo)軌351、352固定在主機架11上。并且，在引導(dǎo)軌351、352上以能夠自由滑動的方式安裝有輥單元34。
[0048]輥單元34具有滑塊341、342，滑塊341、342分別以能夠自由滑動的方式與引導(dǎo)軌351、352相卡合，并且以連接這些滑塊341、342的方式設(shè)置有下部角鋼343，下部角鋼343跨越載物臺30的上部并沿著X方向延伸。在下部角鋼343上隔著適當(dāng)?shù)纳禉C構(gòu)344安裝有上部角鋼345，并且上部角鋼345能夠自由升降。并且，在上部角鋼345上安裝有沿著X方向延伸設(shè)置的圓柱狀的剝離輥340，并且剝離輥340能夠自由旋轉(zhuǎn)。
[0049]當(dāng)通過升降機構(gòu)344使上部角鋼345向更下方即_Z方向下降時，載置于載物臺30的工件的上表面與剝離輥340的下表面相抵接。另一方面，在通過升降機構(gòu)344使上部角鋼345定位于更上方即+Z方向的位置的狀態(tài)下，剝離輥340處于從工件的上表面向上方分離的狀態(tài)。在上部角鋼345上安裝有用于抑制剝離輥340彎曲的支撐輥346，該支撐輥346能夠自由旋轉(zhuǎn)，并且適當(dāng)設(shè)置有用于防止上部角鋼345本身彎曲的加強筋。剝離輥340以及支撐輥346不具有驅(qū)動源，它們進(jìn)行自由旋轉(zhuǎn)。
[0050]輥單元34能夠借助安裝在主機架11上的馬達(dá)353沿著Y方向移動。更具體地說，在用于將馬達(dá)353的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為直線運動的作為轉(zhuǎn)換機構(gòu)的例如滾珠螺桿機構(gòu)354上連接有下部角鋼343。當(dāng)馬達(dá)353旋轉(zhuǎn)時，下部角鋼343沿著引導(dǎo)軌351、352沿著Y方向移動，由此輥單元34沿著Y方向移動。就伴隨著輥單元34的移動而移動的剝離輥340的可動范圍而言，在-Y方向上是直到水平載物臺部31的-Y側(cè)端部的附近，在+Y方向是直到水平載物臺部31的+Y側(cè)端部的外側(cè)，即進(jìn)一步向+Y側(cè)前進(jìn)的位置。
[0051]接著，對第二吸附單元52的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。此外，第一吸附單元51至第四吸附單元54均具有相同結(jié)構(gòu)。在此，代表性地對于第二吸附單元52的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。第二吸附單元52具有梁構(gòu)件521，該梁構(gòu)件521沿著X方向延伸設(shè)置并固定在支撐機架50上，該梁構(gòu)件521上安裝有向鉛垂朝下即-Z方向延伸的一對柱構(gòu)件522、523，一對柱構(gòu)件522、523的X方向上的位置互相不同。在柱構(gòu)件522、523上隔著圖中隱藏的引導(dǎo)軌安裝有板構(gòu)件524，并且板構(gòu)件524能夠自由升降。借助由馬達(dá)以及轉(zhuǎn)換機構(gòu)(例如滾珠螺桿機構(gòu))形成的升降機構(gòu)525驅(qū)動板構(gòu)件524使其升降。
[0052]在板構(gòu)件524的下部安裝有沿著X方向延伸的棒狀的墊支撐構(gòu)件526，在該墊支撐構(gòu)件526的下表面上沿著X方向以相等間隔排列有多個吸附墊527。圖2示出使第二吸附單元52移動至實際的位置的上方的狀態(tài)，但是在通過升降機構(gòu)525使板構(gòu)件524向下方移動時，吸附墊527能夠下降至極其接近水平載物臺部31的上表面310的位置。在載物臺30上載置有工件的狀態(tài)下，吸附墊527與該工件的上表面相抵接。各吸附墊527接收來自后述的負(fù)壓供給部704的負(fù)壓，從而吸附保持工件的上表面。
[0053]圖3是示出初始剝離單元的結(jié)構(gòu)以及各部的位置關(guān)系的側(cè)視圖。首先，一邊參照圖1以及圖3，一邊對于初始剝離單元33的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。初始剝離單元33具有在錐形載物臺部32的上方沿著X方向延伸設(shè)置的棒狀的按壓構(gòu)件331，按壓構(gòu)件331被支撐臂332支撐。支撐臂332隔著沿著鉛垂方向延伸設(shè)置的引導(dǎo)軌333以能夠自由升降的方式安裝在柱構(gòu)件334上，借助升降機構(gòu)335的動作，支撐臂332相對于柱構(gòu)件334進(jìn)行上下移動。柱構(gòu)件334被安裝在主機架11上的基座部336支撐。其中，通過位置調(diào)整機構(gòu)337，能夠在基座部336上的規(guī)定的范圍內(nèi)調(diào)整柱構(gòu)件334的Y方向上的位置。
[0054]在由水平載物臺部31以及錐形載物臺部32構(gòu)成的載物臺30上載置作為剝離對象物的工件WK。上述印刻工序中的工件是版和橡皮布隔著圖案形成材料的薄膜緊貼而成的緊貼體。另一方面，轉(zhuǎn)印工序中的工件是基板和橡皮布隔著印刻的圖案緊貼而成的緊貼體。下面，對于在將轉(zhuǎn)印工序中的基板SB和橡皮布BL的緊貼體作為工件WK的情況下的剝離裝置I的剝離動作進(jìn)行說明。但是，在將由版和橡皮布形成的緊貼體作為工件的情況下，也能夠通過同樣的方法來進(jìn)行剝離。
[0055]在工件WK中，橡皮布BL的平面尺寸大于基板SB的平面尺寸?；錝B緊貼于橡皮布BL的大致中央部。工件WK以使橡皮布BL朝下且使基板SB朝上的方式載置于載物臺30。此時，如圖3所示，工件WK以如下方式載置于載物臺30，即，工件WK中的基板SB的-Y側(cè)端部位于水平載物臺部31和錐形載物臺部32之間的邊界的棱線部E的大致上方，更詳細(xì)地，位于與棱線部E相比稍向-Y側(cè)偏移的位置。因此，在-Y方向上位于基板SB的外側(cè)的橡皮布BL以向錐形載物臺部32的上方突出的方式配置，在橡皮布BL的下表面和錐形載物臺部32的上表面320之間產(chǎn)生間隙。橡皮布BL的下表面和錐形載物臺部32的上表面320所形成的角Θ是與錐形載物臺部32的錐角相同的幾度(在該實施方式中為2度)左右。
[0056]在水平載物臺部31上設(shè)置有吸附槽311、312，用于吸附保持橡皮布BL的下表面。其中，吸附槽311吸附與基板SB的下部相接觸的橡皮布BL的下表面，另一方面，吸附槽312吸附基板SB的外側(cè)的橡皮布BL的下表面。吸附槽311、312能夠相互獨立地進(jìn)行吸附/解除吸附，能夠一起使用兩種吸附槽311、312來強力吸附橡皮布BL。另一方面，通過僅使用外側(cè)的吸附槽312來進(jìn)行吸附，而對于有效地形成有圖案的橡皮布BL的中央部不進(jìn)行吸附，能夠防止因吸附而使橡皮布BL彎曲而引起的圖案的損壞。這樣，通過獨立控制向中央部的吸附槽311和周緣部的吸附槽312供給的負(fù)壓，能夠根據(jù)目的來切換吸附保持橡皮布BL的方式。
[0057]在這樣吸附保持于載物臺30的工件WK的上方配置有第一吸附單元51至第四吸附單元54、輥單元34的剝離輥340。如上所述，在第二吸附單元52的下部沿著X方向排列設(shè)置有多個吸附墊527。更詳細(xì)地，吸附墊527具有:吸附部527a，其下表面與工件WK的上表面(更具體地，基板SB的上表面)相抵接并吸附該工件WK的上表面，波紋管部527b，其在上下方向(Z方向)上具有伸縮性；而且上述吸附部527a與波紋管部527b由橡膠或硅酮樹脂等具有柔性以及彈性的材料一體形成。設(shè)置于其它吸附單元51、53、54的吸附墊也具有相同結(jié)構(gòu)，但是下面在設(shè)置于這些各吸附單元51、53、54的吸附墊上分別標(biāo)注附圖標(biāo)記517,537以及547，來互相進(jìn)行區(qū)別。
[0058]第一吸附單元51設(shè)置于水平載物臺部31的-Y側(cè)端部的上方，下降時吸附基板SB的-Y側(cè)端部的上表面。另一方面，第四吸附單元54設(shè)置于載物臺30所載置的基板SB的+Y側(cè)端部的上方，下降時吸附基板SB的+Y側(cè)端部的上表面。第二吸附單元52以及第三吸附單元53適當(dāng)分散配置于第一吸附單元51與第四吸附單元54之間，例如能夠使吸附墊517?547在Y方向上隔開大致相等間隔。在這些吸附單元51?54之間，能夠相互獨立地執(zhí)行上下方向上的移動以及進(jìn)行吸附/解除吸附。
[0059]剝離輥340沿著上下方向移動來接近基板SB或者與基板SB分離，并且通過沿著Y方向移動來沿著基板SB進(jìn)行水平移動。在剝離輥340下降的狀態(tài)下，剝離輥340與基板SB的上表面相抵接來一邊進(jìn)行轉(zhuǎn)動一邊進(jìn)行水平移動。剝離輥340移動至最靠-Y側(cè)時的位置是第一吸附單元51的吸附墊517的+Y側(cè)附近位置。為了能夠在這樣的接近位置進(jìn)行配置，第一吸附單元51采用與圖2所示的第二吸附單元52相同結(jié)構(gòu)，但是如圖1所示那樣，第一吸附單元51以與其它第二吸附單元52至第四吸附單元54相反的朝向安裝在支撐機架50上。
[0060]以使按壓構(gòu)件331位于向錐形載物臺部32的上方突出的橡皮布BL的上方的方式，調(diào)整初始剝離單元33的Y方向位置。并且，通過使支撐臂332下降，使按壓構(gòu)件331下降來使其下端按壓橡皮布BL的上表面。為了此時不使按壓構(gòu)件331弄傷橡皮布BL，按壓構(gòu)件331的前端由彈性構(gòu)件形成。
[0061]圖4A、圖4B是示出載物臺的更詳細(xì)的結(jié)構(gòu)的立體圖。如圖4A所示，載物臺30的水平載物臺部31與錐形載物臺部32能夠獨立形成來進(jìn)行分離。通過后述的水平移動機構(gòu)能夠使錐形載物臺部32以接近水平載物臺部31或者與水平載物臺部31分離的方式沿著水平方向移動，通過使錐形載物臺部32緊貼水平載物臺部31的側(cè)面，使水平載物臺部31和錐形載物臺部32形成一體來發(fā)揮載物臺30的功能。
[0062]在水平載物臺部31的上表面310的多個部位，除了上述吸附槽311、312之外，還分別設(shè)置有形狀相互不同的3種開口 313、314、315。更具體地，在水平載物臺部31的上表面310中的吸附槽311和吸附槽312之間的平坦部分的多個部位分散配置有呈長圓形狀的多個第一開口 313。另外，在水平載物臺部31的上表面310的中央部的相互分離的4個部位設(shè)置有大致圓形的第二開口 314。第一開口 313以及第二開口 314均在水平載物臺部31的上表面310上不與吸附槽311、312相連接。為此，第二開口 314的周圍的吸附槽311被斷開。另外，在外側(cè)的吸附槽312和載物臺外緣之間的多個部位分散配置有呈長圓形狀的多個第三開口 315。
[0063]而且，在水平載物臺部31中的與錐形載物臺部32 —側(cè)相反的一側(cè)，即+Y側(cè)的端部設(shè)置有多個切口部316，該多個切口部316在載物臺上表面310上具有與第三開口 315相等程度的開口尺寸。外側(cè)的吸附槽312以避開切口部316的方式設(shè)置，在水平載物臺部31的上表面310上，吸附槽312與切口部316不連接。
[0064]另一方面，在設(shè)置有錐形載物臺部32的一側(cè)，即水平載物臺部31的-Y側(cè)的側(cè)面，沿著X方向排列配置有4組主升降機36。這些主升降機36的結(jié)構(gòu)相互相同。主升降機36分別具有:升降銷361，其沿著水平載物臺部31的側(cè)面被加工成薄板狀；升降機構(gòu)365，其從下方支撐該升降銷361，并且根據(jù)來自控制單元70(圖10)的驅(qū)動信號來使升降銷361沿著上下方向(Z方向)升降。升降機構(gòu)365固定在水平載物臺部31的底面上。
[0065]圖4B示出升降銷361的概略結(jié)構(gòu)，如該圖所示，升降銷361的上表面361a被加工成大致平面。在升降銷361的上表面361a的中央部設(shè)置有吸附墊362，吸附墊362與以貫通升降銷361的內(nèi)部的方式設(shè)置的負(fù)壓供給路徑363相連通。負(fù)壓供給路徑363經(jīng)由控制閥與后述的負(fù)壓供給部704 (圖10)相連接。接著，如說明那樣，具有相同結(jié)構(gòu)的主升降機36還與第一開口 313分別相對應(yīng)地設(shè)置。
[0066]圖5是用于示出圖6A至圖8B的載物臺剖視圖中的截面的方向的載物臺仰視圖。另外，圖6是用于示出主升降機的配置的載物臺剖視圖。更具體地說，圖6A、圖6B示出沿著圖5的A-A’線剖切的剖切面。此外，在圖5中，為了容易觀察圖，在配置吸附槽311、312的區(qū)域上標(biāo)注點，來代替記載吸附槽311、312。
[0067]如圖6A所示，錐形載物臺部32被水平移動機構(gòu)支撐，該水平移動機構(gòu)具有:引導(dǎo)軌321，其從水平載物臺部31的側(cè)面沿著-Y方向延伸設(shè)置；滑塊322，其以能夠沿著Y方向自由滑動的方式與引導(dǎo)軌321相卡合；移動機構(gòu)323，其使滑塊322沿著Y方向移動。更具體地說，錐形載物臺部32安裝在滑塊322上，借助移動機構(gòu)323的動作沿著Y方向，即向接近水平載物臺部31或者與水平載物臺部31分離的方向進(jìn)行水平移動。
[0068]錐形載物臺部32的與水平載物臺部31相接觸的+Y側(cè)側(cè)面，以與主升降機36的升降銷361相對應(yīng)的方式被切開，從而在錐形載物臺部32與水平載物臺部31結(jié)合時避免錐形載物臺部32與升降銷361發(fā)生干涉。
[0069]在貫穿設(shè)置在水平載物臺部31的上表面310上的多個第一開口 313上，分別設(shè)置有一組主升降機36。S卩，在從第一開口 313貫通至水平載物臺部31的底面的貫通孔的下端安裝有升降機構(gòu)365，升降銷361插入于各開口 313內(nèi)。在圖6A中未出現(xiàn)的其它第一開口313上也同樣設(shè)置有一組主升降機36。
[0070]各主升降機36根據(jù)來自控制單元70的驅(qū)動信號進(jìn)行同一動作。即，各升降銷361能夠分別定位于下部位置和上部位置上，其中，所述下部位置指，如圖6A所示那樣，升降銷361的上端后退至水平載物臺部31的上表面310的下方的位置，上部位置指，如圖6B所示那樣，升降銷361的上端比水平載物臺部31的上表面310向上方突出的位置。根據(jù)來自控制單元70的驅(qū)動信號，各升降銷361同時在上部位置和下部位置之間進(jìn)行升降。此外，如圖6B所示，就將升降銷361定位于上部位置的動作而言，在使錐形載物臺部32與水平載物臺部31分離的狀態(tài)下進(jìn)行，安裝在水平載物臺部31的-Y側(cè)側(cè)面上的主升降機36的升降銷361，經(jīng)過水平載物臺部31和錐形載物臺部32之間的間隙來進(jìn)行升降。
[0071]圖7A、圖7B、圖7C是用于示出沿著圖5的B_B’線剖切的剖切面的載物臺剖視圖，是用于示出子升降機的配置的圖。此外，省略圖示錐形載物臺部32以及水平移動機構(gòu)。在設(shè)置于水平載物臺部31的上表面310的中央部的4個部位的第二開口 314上分別安裝有子升降機37。更詳細(xì)地，子升降機37具有:升降銷371，其插入于從第二開口 314貫通至水平載物臺部31的底面的貫通孔內(nèi)；升降機構(gòu)375，其安裝在載物臺底面上，用于使升降銷371沿著上下方向即Z方向進(jìn)行升降。升降銷371上端成大致圓板狀，根據(jù)來自控制單元70的驅(qū)動信號，在下部位置和上部位置之間進(jìn)行升降，其中，所述下部位置指，如圖7A所示那樣，升降銷371的上端后退至水平載物臺部31的上表面310的下方的位置，所述上部位置指，如圖7C所示那樣，升降銷371的上端比水平載物臺部31的上表面310向上方突出的位置。
[0072]多個主升降機36根據(jù)來自控制單元70的驅(qū)動信號同時進(jìn)行相同的動作，另一方面，多個子升降機37也根據(jù)來自控制單元70的驅(qū)動信號同時進(jìn)行相同的動作。其中，主升降機36和子升降機37相互獨立地進(jìn)行動作。因此在該實施方式中，能夠在圖7A所示那樣的主升降機36的升降銷361和子升降機37的升降銷371 —起處于下部位置的狀態(tài)、圖7B所示那樣的只有主升降機36的升降銷361處于上部位置的狀態(tài)、圖7C所示那樣的主升降機36的升降銷361和子升降機37的升降銷371 —起處于上部位置的狀態(tài)這3個狀態(tài)之間進(jìn)行切換。
[0073]圖8A、圖8B是用于示出沿著圖5的c-c’線剖切的剖切面的載物臺剖視圖，是用于示出邊緣升降機的配置的圖。此外，省略圖示錐形載物臺部32以及水平移動機構(gòu)。邊緣升降機38具有:多個擺動臂381，分別插入于從第三開口 315貫通至水平載物臺部31的底面的貫通孔內(nèi)，并且一端延伸至載物臺上表面310;支撐機架382，其以能夠自由擺動的方式支撐在擺動臂381的中央部上；驅(qū)動桿383，其與各擺動臂381的另一端相連接；移動機構(gòu)384，其使驅(qū)動桿383沿著Y方向進(jìn)行往復(fù)移動。
[0074]通過移動機構(gòu)384的動作使驅(qū)動桿383沿著Y方向移動，由此各擺動臂381同時進(jìn)行擺動，能夠在圖8A所示那樣的各擺動臂381的上端381a從載物臺上表面310稍向下方后退的狀態(tài)和圖8B所示那樣的各擺動臂381的上端381a從載物臺上表面310稍向上方突出的狀態(tài)之間進(jìn)行切換。在設(shè)置于水平載物臺部31的+Y側(cè)端部的切口部316上，也設(shè)置有由同樣的機構(gòu)形成的邊緣升降機。其中，該情況下的擺動臂381沿著X方向排列。
[0075]如上所述，在水平載物臺部31的上表面310上設(shè)置有吸附槽311、312、用于使各種機構(gòu)升降的開口 313?315等、從載物臺上表面310向下方凹陷的凹部。但是，從使工件WK抵接來將其保持為平面姿勢的本來的功能的角度來說，優(yōu)選載物臺上表面310盡量平坦。即，優(yōu)選載物臺上表面310中的被格子狀的吸附槽311、312包圍的各矩形區(qū)域、開口 313?315的周圍的平面部、吸附槽312的外側(cè)的平面部分別具有高的平面度，并且它們均位于一個平面上。另外，優(yōu)選吸附槽以及各開口的開口尺寸也盡量小。因此，在該實施方式中，利用圖4B所示那樣被加工成薄型的升降銷361。
[0076]從確保高的平面度的角度來說，優(yōu)選水平載物臺部31由不具有延性的材料構(gòu)成。例如能夠優(yōu)選利用在石板或者石英板等上設(shè)置吸附槽等開口并進(jìn)行了平面研磨(或者相反順序)的水平載物臺部31。例如在不銹鋼那樣的金屬材料中，例如即使進(jìn)行了平面研磨，也不能除去開口周圍的細(xì)微的凹凸，這樣的凹凸可能成為損壞剝離的良好度的原因。
[0077]圖9是示出載物臺和載置于載物臺的工件之間的位置關(guān)系的圖。在由基板SB和橡皮布BL緊貼而成的工件WK中，橡皮布BL的平面尺寸大于基板SB的平面尺寸。因此，基板SB的整個面與橡皮布BL相向，但是橡皮布BL僅有其中央部分與基板SB相向，橡皮布BL的周緣部成為不與基板SB相向的空白部分。在基板SB的表面區(qū)域中的除了周緣部之外的中央部分上，設(shè)定有被有效地轉(zhuǎn)印圖案來發(fā)揮器件的功能的有效區(qū)域AR。因此，該剝離裝置I的目的在于，在不損壞從橡皮布BL轉(zhuǎn)印至基板SB的有效區(qū)域AR的圖案的情況下，使基板SB和橡皮布BL剝離。
[0078]以使基板SB的整個有效區(qū)域AR位于水平載物臺部31的上表面310的方式，將工件WK載置于載物臺30。另一方面，基板SB的有效區(qū)域AR外側(cè)的-Y側(cè)端部，定位于與水平載物臺部31和錐形載物臺部32之間的邊界的棱線部E相比稍向-Y側(cè)突出的位置。
[0079]圖中標(biāo)注點的區(qū)域Rl表示由吸附槽311吸附橡皮布BL的區(qū)域。被吸附槽311吸附的區(qū)域Rl覆蓋整個有效區(qū)域AR。另外，區(qū)域R2表示由吸附槽312吸附橡皮布BL的區(qū)域。吸附槽312在有效區(qū)域AR的外側(cè)吸附橡皮布BL。因此，例如在僅由吸附槽312吸附橡皮布BL的方式中，能夠避免有效區(qū)域AR內(nèi)的圖案受到吸附的影響。對于圖9所示的其它區(qū)域R3至R8，在后面的動作說明中進(jìn)行說明。
[0080]圖10是示出該剝離裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。裝置各部被控制單元70控制。控制單元70具有:CPU701，其掌管整個裝置的動作；馬達(dá)控制部702，其控制設(shè)置于各部的馬達(dá)類；閥控制部703，其控制設(shè)置于各部的閥類；負(fù)壓供給部704，其產(chǎn)生用于向各部供給的負(fù)壓；用戶接口(UI)部705，其用于接收來自用戶的操作輸入或者將裝置的狀態(tài)通知給用戶。此夕卜，在通過工廠公用設(shè)施等能夠利用外部所供給的負(fù)壓的情況下，控制單元70也可以不具有負(fù)壓供給部。
[0081]馬達(dá)控制部702控制設(shè)置于載物臺部3的馬達(dá)353以及升降機構(gòu)335、344、365、375、移動機構(gòu)323、384、分別設(shè)置于上部吸附部5的各吸附單元51?54的升降機構(gòu)525等的馬達(dá)組使它們驅(qū)動。此外，這里作為各可動部的驅(qū)動源而代表性地記載了馬達(dá)，但是并不限定于此，例如也可以根據(jù)用途來利用氣缸、電磁閥、壓電元件等各種促動器作為驅(qū)動源。
[0082]閥控制部703用于控制設(shè)置于載物臺部3的閥組V3以及設(shè)置于上部吸附部5的閥組V5等。閥組V3包括各種閥，各種閥設(shè)置在從負(fù)壓供給部704連接到設(shè)置于水平載物臺部31的吸附構(gòu)311、312以及設(shè)置在升降銷361上的吸附墊362的配管路徑上，用于向這些吸附槽以及吸著墊分別單獨供給規(guī)定的負(fù)壓。閥組V5包括各種閥，各種閥設(shè)置在從負(fù)壓供給部704連接到各吸附墊517?547上的配管路徑上，用于向各吸附墊517?547供給規(guī)定的負(fù)壓。
[0083]接著，一邊參照圖11至圖15D，一邊對于上述那樣構(gòu)成的剝離裝置I進(jìn)行的剝離動作進(jìn)行說明。圖11是用于示出剝離處理的流程圖。另外，圖12至圖15是示出處理中的各階段中的各部的位置關(guān)系的圖，示意性地表示處理的進(jìn)行狀況。通過執(zhí)行CPU701預(yù)先存儲的處理程序控制各部來進(jìn)行上述剝離處理。
[0084]首先，借助操作者或者外部的搬運機械手等將工件WK載置于載物臺30上的上述位置(步驟S101)。圖12A、圖12B、圖12C、圖12D示意性地示出從外部搬入的工件WK載置于載物臺30之前的狀態(tài)。圖12A示出搬入工件WK之前的載物臺30的狀態(tài)。此時，主升降機36的升降銷361、子升降機37的升降銷371以及擺動臂381的上端均位于退避至載物臺上表面310的下方的位置。
[0085]在該狀態(tài)下，如圖12B所示，通過操作者進(jìn)行操作或者通過設(shè)置在搬運機械手上的工件用手WH，將工件WK以支撐其下表面的狀態(tài)搬入。然后，主升降機36的升降銷361上升而其上端移動至比載物臺上表面310突出的上部位置，從而與工件WK的下表面，更具體地說，與橡皮布BL的下表面相抵接。此時，如圖6B所示那樣，錐形載物臺部32與水平載物臺部31分離，升降銷361從錐形載物臺部32與水平載物臺部31之間的間隙突出。此外，也可以在搬入工件WK之前或者與此并行地使升降銷361上升。
[0086]在橡皮布BL的下表面區(qū)域中的在上表面?zhèn)然錝B和橡皮布BL重合且形成有有效的圖案等的有效區(qū)域AR的外側(cè)的可抵接區(qū)域TR內(nèi)，工件用手WH以及升降銷361與橡皮布BL下表面相抵接。即，通過在該可抵接區(qū)域TR內(nèi)使支撐構(gòu)件(升降銷361以及工件用手WH)抵接于橡皮布BL下表面上，來支撐工件WK。不會使支撐構(gòu)件抵接于有效區(qū)域AR內(nèi)或可抵接區(qū)域TR的外側(cè)的不與基板SB重疊的區(qū)域中。這樣做的理由為如下。
[0087]在從外部搬入平板狀的工件WK并載置于平坦的載物臺30的過程中，需要暫時以局部支撐工件WK的狀態(tài)進(jìn)行交接。此時，在該支撐部位中，對擔(dān)載于基板SB和橡皮布BL之間的圖案等局部施加按壓力。由于因這樣的不均勻的按壓力而集中的應(yīng)力可能使圖案等損壞，因此優(yōu)選使支撐構(gòu)件避免與形成有有效的圖案等的有效區(qū)域AR相抵接。
[0088]另一方面，在可抵接區(qū)域TR的外側(cè)支撐時，由于在支撐部位的上部不存在基板SB，因此必須通過橡皮布BL的剛性來支撐整個工件WK的重量。尤其在隨著基板SB變大而使工件WK的質(zhì)量變大的情況下，橡皮布BL可能因不能承受這樣的負(fù)載而破損。另外，即使不破損，也因負(fù)載使橡皮布BL彎曲而可能在橡皮布BL和基板SB之間產(chǎn)生偶發(fā)的剝離。
[0089]在該實施方式中，將在有效區(qū)域AR的外側(cè)基板SB和橡皮布BL緊貼的區(qū)域設(shè)為可抵接區(qū)域TR。通過使支撐構(gòu)件(工件用手WH以及升降銷361)抵接于該可抵接區(qū)域TR內(nèi)的橡皮布BL下表面，能夠提前避免上述那樣的問題。通過支撐該區(qū)域TR，能夠用基板SB的剛性和橡皮布BL的剛性來支撐工件WK的重量，從而還能夠防止有效區(qū)域AR內(nèi)的圖案等損壞。
[0090]圖9所示的區(qū)域R6表示升降銷361的上表面361a抵接的橡皮布BL的下表面區(qū)域。如該圖所示，在以包圍有效區(qū)域AR的周圍的方式分散配置的多個部位與橡皮布BL相抵接來支撐工件WK，從而能夠可靠地支撐工件WK。另外，通過平坦地加工各升降銷上表面361a，能過使在抵接部位施加于橡皮布BL的壓力分散。此外，使升降銷361抵接于在有效區(qū)域AR的周圍斷續(xù)的區(qū)域R6中，是為了能夠使工件用手WH經(jīng)過升降銷361之間的空間來進(jìn)入。
[0091]返回圖12B，在這樣使升降銷361與橡皮布BL下表面抵接之后，使工件用手WH退避至裝置外部。由此，如圖12C所示那樣，工件WK被交至升降銷361，并且處于由升降銷361的下表面抵接而被支撐的狀態(tài)。此時，向設(shè)置在升降銷361的上表面上的吸附墊362供給負(fù)壓來吸附保持橡皮布BL下表面，從而能夠防止工件WK的位置偏移或落下。在該情況下，也能夠通過吸附有效區(qū)域AR的外側(cè)來避免圖案等損壞。
[0092]在該狀態(tài)下，升降銷361下降來移動至下部位置，并且解除通過吸附墊362進(jìn)行的吸附，從而如圖12D所示，升降銷361與橡皮布BL下表面分離而工件WK被交至載物臺30的上表面310。然后，錐形載物臺部32向水平載物臺部31側(cè)移動，如圖6A所示那樣與水平載物臺部31形成一體。
[0093]返回圖11，當(dāng)這樣工件WK載置于載物臺30時，裝置各部被設(shè)定為規(guī)定的初始狀態(tài)(步驟S102)。在初始狀態(tài)下，工件WK被吸附槽311、312中的一方或者兩方吸附保持，初始剝離單元33的按壓構(gòu)件331、輥單元34的剝離輥340以及第一吸附單元51至第四吸附單元54的吸附墊517?547均與工件WK分離。另外，剝離輥340位于其可動范圍內(nèi)的最靠-Y側(cè)的位置。
[0094]在該狀態(tài)下，使第一吸附單元51以及剝離輥340下降來使它們分別與工件WK的上表面相抵接(步驟S103)。此時，如圖13A所示，第一吸附單元51的吸附墊517吸附基板SB的-Y側(cè)端部的上表面，剝離輥340在吸附墊517的+Y側(cè)的相鄰位置與基板SB的上表面相抵接。在圖13A中的按壓構(gòu)件331的附近標(biāo)注的朝下箭頭表示在接下來的工序中按壓構(gòu)件331從圖中所示的狀態(tài)向該箭頭方向移動。在下面的圖中也同樣。
[0095]圖9所示的區(qū)域R3表示此時由第一吸附單元51吸附基板SB的區(qū)域，區(qū)域R4表示剝離輥340與基板SB相抵接的區(qū)域。如圖9所示，第一吸附單元51吸附保持基板SB的-Y側(cè)端部，另一方面，剝離輥340在與由第一吸附單元51吸附的吸附區(qū)域R3的+Y側(cè)相鄰的區(qū)域R4與基板SB相抵接。剝離輥340相抵接的抵接區(qū)域R4位于有效區(qū)域AR的外側(cè)即比有效區(qū)域AR更靠-Y側(cè)的位置。因此，有效區(qū)域AR的內(nèi)部不被第一吸附單元51吸附也不被剝離輥340按壓。
[0096]返回圖11，接著，使初始剝離單元33動作，使按壓構(gòu)件331下降來按壓橡皮布BL端部(步驟S104)。橡皮布BL的端部向錐形載物臺部32的上方突出，在橡皮布BL的下表面和錐形載物臺32的上表面320之間產(chǎn)生間隙。因此，如圖13B所示，通過由按壓構(gòu)件331將橡皮布BL的端部向下方按壓,使橡皮布BL的端部沿著錐形載物臺部32的錐形面向下方彎曲。結(jié)果，被第一吸附單元51吸附保持的基板SB的端部和橡皮布BL之間進(jìn)行分離來開始剝離。按壓構(gòu)件331由沿著X方向延伸的棒狀形成，而且按壓構(gòu)件331的X方向上的長度比橡皮布BL長。因此，如圖9所示，按壓構(gòu)件331與橡皮布BL相抵接的抵接區(qū)域R5從橡皮布BL的(-X)側(cè)端部呈直線狀延伸至(+X)側(cè)端部。這樣，能夠使橡皮布BL呈柱面狀彎曲，能夠使基板SB和橡皮布BL已經(jīng)剝離的剝離區(qū)域和還未剝離的未剝離區(qū)域之間的邊界線(下面，稱為“剝離邊界線”)呈直線狀。
[0097]在該狀態(tài)下，開始使第一吸附單元51上升，與此同步地使剝離輥340朝向+Y方向移動(步驟S105)。具體地說，在因第一吸附單元51上升而向+Y方向移動的剝離邊界線到達(dá)剝離輥340的正下方的時刻，剝離輥340開始移動。由此，圖9所示的抵接區(qū)域R4向+Y方向移動。然后，第一吸附單兀51向上方即+Z方向，另外剝離棍340向+Y方向分別以恒定速度移動。
[0098]如圖13C所示，通過使用于保持基板SB的端部的第一吸附單元51上升，將基板SB提起，從而基板SB與橡皮布BL之間的剝離朝向+Y方向進(jìn)行。此時，由于使剝離輥340抵接，因此剝離不會超過剝離輥340抵接的抵接區(qū)域R4 (圖9)來進(jìn)行。通過使剝離輥340 —邊與基板SB相抵接一邊以恒定速度向+Y方向移動，能夠?qū)冸x的進(jìn)行速度維持恒定。即，剝離邊界線為沿著輥延伸設(shè)置方向即X方向的一個直線，而且以恒定速度向+Y方向進(jìn)行移動。由此，能夠可靠地防止因剝離的進(jìn)行速度變動而使應(yīng)力集中而引起的圖案損壞。
[0099]接著，將用于下面的處理的內(nèi)部的控制參數(shù)N的值設(shè)定為2 (步驟S106)。然后，等待剝離輥340通過第N吸附位置(步驟S107)。第N吸附位置是基板SB的上表面中的第N吸附單元(N=I?4)的正下方位置，是被第N吸附單元吸附的位置。
[0100]在此，N=2，因此等待至剝離輥340通過第二吸附位置即第二吸附單元52的正下方位置。當(dāng)剝離輥340通過第二吸附位置(在步驟S107為“是”)時，使第二吸附單元52開始下降，由第二吸附單元52的吸附墊527捕捉基板SB (步驟S108)。
[0101]如圖13D所示，由于剝離輥340已經(jīng)通過，因此在第二吸附單元52的正下方位置，基板SB處于與橡皮布BL剝離而向上方浮起的狀態(tài)。一邊向由具有伸縮性的彈性構(gòu)件構(gòu)成的吸附墊527施加負(fù)壓，一邊使吸附墊527接近基板SB，由此能夠在吸附墊527的下表面和基板SB的上表面相抵接的時刻捕捉并吸附基板SB。也可以是在使吸附墊527下降至規(guī)定位置之后等待正被提起的基板SB的方式。無論是哪種方式，都能夠通過使吸附墊具有柔性來防止吸附失敗。
[0102]在開始吸附基板SB之后，使第二吸附單元52的移動轉(zhuǎn)為上升(步驟S109)。由此，如圖14A所示，剝離的進(jìn)行速度依然被剝離輥340控制，并且為了剝離而提起基板SB的主體由第一吸附單元51變?yōu)榈诙絾卧?2。另外，剝離之后的基板SB從僅被第一吸附單元51保持切換為被第一吸附單元51和第二吸附單元52保持，從而增加了保持部位。此外，在各吸附單元51?54上升時，維持各吸附單元51?54之間的Z方向上的相對位置，以便剝離之后的基板SB的姿勢為大致平面。
[0103]接著，在控制參數(shù)N的值上加I (步驟S111)，處理成為返回步驟S107直到參數(shù)N成為4為止的循環(huán)處理。因此，在下一循環(huán)中，在剝離輥340通過第三吸附單元53正下方的第三吸附位置的時刻，第三吸附單元53開始下降，如圖14B所示，為了剝離而提起基板SB的主體由第二吸附單元52轉(zhuǎn)移至第三吸附單元53。在再下一循環(huán)中，在剝離輥340通過第四吸附位置之后，第四吸附單元54下降來提起基板SB。通過變更步驟SllO中的N的上限值，還能夠應(yīng)對吸附單元的數(shù)量與上述不同的情況。
[0104]通過這樣由第四吸附單元54提起基板SB，如圖14C所示，使整個基板SB與橡皮布BL分離。因此，在使第四吸附單元54上升之后(在步驟SllO中為“是”)，使剝離輥340移動至載物臺30的+Y側(cè)并停止移動(步驟S112)。然后，如圖14D所示，使各吸附單元51?54都上升至相同的高度之后停止(步驟S113)。另外，使初始剝離單元33的按壓構(gòu)件331與橡皮布BL分離，使按壓構(gòu)件331移動至橡皮布BL的上表面的上方且橡皮布BL的-Y側(cè)端部的-Y側(cè)的退避位置(步驟S114)。然后，解除吸附槽吸附橡皮布BL的吸附保持，將分離的基板SB以及橡皮布BL向裝置外搬出(步驟S115)，從而結(jié)束剝離處理。
[0105]之所以使各吸附單元51?54的高度相同，是因為通過平行地保持剝離之后的基板SB和橡皮布BL，使外部機械手或者操作者插入的取出用手的訪問、與該外部機械手或者取出用手進(jìn)行的橡皮布BL以及基板SB的交接變得容易。
[0106]圖15A、圖15B、圖15C、圖示意性地示出基板SB以及橡皮布BL被剝離并被搬出的過程。在剛剛進(jìn)行剝離之后，如圖15A所示，基板SB處于其上表面被各吸附單元51?54吸附而保持為大致水平姿勢的狀態(tài)，橡皮布BL處于載置于載物臺30的狀態(tài)。
[0107]能夠由工件用手WH搬出基板SB。即，如圖15B所示，使工件用手WH再次進(jìn)入基板SB和橡皮布BL之間，并與基板SB的下表面端部相抵接，解除通過吸附單元51等進(jìn)行的吸附，由此基板SB從吸附單元51等被交至工件用手WH。此時，工件用手WH也在有效區(qū)域AR的外側(cè)與基板SB相抵接，因此不會產(chǎn)生轉(zhuǎn)印的圖案等損壞。
[0108]接著，對搬出橡皮布BL的動作進(jìn)行說明。橡皮布BL處于其下表面的大部分與載物臺30相抵接的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，使邊緣升降機38進(jìn)行動作，如圖15C所示，通過擺動臂381使橡皮布BL的端部稍向上方發(fā)生位移。圖9所示的區(qū)域R7表示此時邊緣升降機38的擺動臂381的上端抵接的橡皮布BL的下表面區(qū)域。這樣，擺動臂381在載物臺30上的接近橡皮布BL的周緣部的區(qū)域與橡皮布BL下表面相抵接。
[0109]因此，橡皮布BL的周緣部以向上方翹曲的方式發(fā)生位移，從而在橡皮布BL下表面和載物臺上表面310之間產(chǎn)生小的間隙。由于橡皮布BL彎曲以及橡皮布BL的中央部被大氣壓按壓，因此不會存在整個橡皮布BL被抬起的情況。該動作的目的是，在橡皮布BL下表面和載物臺上表面310之間形成間隙來導(dǎo)入外部氣體，從而使兩者的緊貼度降低來使下一抬起動作變得順暢。
[0110]接著，使主升降機36以及子升降機37進(jìn)行動作，使升降銷361、371上升。如圖15D所示，由此橡皮布BL被抬起而與載物臺上表面310分離。此時若橡皮布BL與載物臺上表面310緊貼在一起，則為了克服大氣壓來使橡皮布BL與載物臺上表面310分離而需要大的力。因此在與升降銷抵接的抵接部位上，橡皮布BL的彎曲可能局部性地變大。通過預(yù)先在橡皮布BL和載物臺上表面310之間形成間隙，能夠用更小的力抬起整個橡皮布BL，還能夠減輕橡皮布BL的彎曲。
[0111]通過將升降銷361、371的上端部定位于大致相同的高度，能夠?qū)⑾鹌げ糂L保持為與載物臺上表面310分離的水平姿勢。此時，并用主升降機36的升降銷361和子升降機37的升降銷371來支撐橡皮布BL，其理由如下。
[0112]剝離之后的橡皮布BL，由于解除了與基板SB之間的緊貼，因此與橡皮布BL和基板SB緊貼來作為工件WK的狀態(tài)相比，剝離之后的橡皮布BL的中央部容易彎曲。因此，若通過升降銷361僅在可抵接區(qū)域TR進(jìn)行支撐，則有時橡皮布BL的中央部彎曲而無法從載物臺30抬起。為了使橡皮布BL可靠地與載物臺30分離且維持水平姿勢來使搬出變得容易，通過子升降機37的升降銷371支撐橡皮布BL的中央部是有效的。圖9中的區(qū)域R8表示此時升降銷371抵接的橡皮布BL的下表面區(qū)域。該區(qū)域R8處于有效區(qū)域AR內(nèi)，但是在該時刻，有效區(qū)域AR內(nèi)的圖案等已經(jīng)被轉(zhuǎn)印至基板SB，與有效區(qū)域AR的下表面相抵接來支撐橡皮布BL是沒有任何問題的。
[0113]此外，在從版向橡皮布BL印刻的印刻工序中，在與版剝離的橡皮布BL上擔(dān)載有要向基板轉(zhuǎn)印的圖案等。即使在該情況下，由于除去了隔著圖案等緊貼在橡皮布BL上的版，因此不會存在因升降銷371與橡皮布BL下表面相抵接而有按壓力作用于圖案等的情況。反而，從抑制對圖案等的損壞的角度來說，使橡皮布BL的彎曲變小是有效的，為此優(yōu)選在盡量多的部位支撐橡皮布BL。
[0114]在這樣抬起橡皮布BL的狀態(tài)下，使橡皮布用手BH進(jìn)入橡皮布BL的下表面和載物臺上表面310之間的間隙中，從而從升降銷361、371接受橡皮布BL來搬出。橡皮布用手BH也可以兼用作工件用手WH，但是根據(jù)與并用通過子升降機371進(jìn)行的支撐相同的理由，優(yōu)選為在與搬入工件時相比更多的部位支撐橡皮布BL來搬出的結(jié)構(gòu)。
[0115]如上所述，在該實施方式中，使沿著與剝離的進(jìn)行方向(在此為Y方向)相垂直的X方向延伸設(shè)置的剝離輥340與基板SB相抵接，一邊使剝離輥340以恒定速度向剝離的進(jìn)行方向移動，一邊提起基板SB，從而能夠?qū)冸x的進(jìn)行速度保持恒定來良好地使基板SB和橡皮布BL之間剝離。此時，在本實施方式的剝離處理中，能夠得到下面那樣的優(yōu)點。
[0116]圖16A、圖16B是用于說明本實施方式的剝離處理的優(yōu)點的圖。在本實施方式中，使用于提起基板SB的主體依次轉(zhuǎn)移至位于剝離進(jìn)行方向上的下游側(cè)的吸附單元。因此，從剝離的初始階段到最終階段為止，剝離輥340的正下方的基板SB的曲率在規(guī)定的范圍內(nèi)推移。因此，如圖16A所示，已經(jīng)剝離的部分的基板SB和橡皮布BL所形成的角α也處于規(guī)定范圍內(nèi)。因此，在剝離的部分和未剝離的部分之間的邊界，即剝離輥340正下方的剝離邊界線上，基板SB和橡皮布BL分離的力(剝離力)也大概恒定。因此，能夠在不損壞圖案的情況下良好地進(jìn)行剝離。
[0117]相對于此，當(dāng)考慮僅保持基板SB的一端部來提起基板SB的比較例時，如圖16B所示，雖然根據(jù)基板SB的剛性和質(zhì)量不同而情況也不同，但是隨著進(jìn)行剝離由自重引起的基板SB的彎曲量變大，基板SB的提起因彎曲而被吸收，從而剝離的進(jìn)行變慢。即，剝離邊界線附近的基板SB和橡皮布BL所形成的角β逐漸地變小，在兩者之間產(chǎn)生的剝離力變小，從而使剝離的進(jìn)行變慢。
[0118]在更壞的情況下，產(chǎn)生如下問題等，S卩，吸附單元的吸附力不能完全支撐基板SB的質(zhì)量，而致使基板SB落下，或者基板SB不能承受彎曲而裂開或折彎。另外，為了使整個基板SB與橡皮布BL分離而所需的提起基板SB的提起量變大，為了實現(xiàn)這些而導(dǎo)致裝置結(jié)構(gòu)變大。尤其，若基板SB變大，則基板SB的質(zhì)量也變大，因此這些問題更顯著。
[0119]另一方面，在該實施方式中，能夠通過隨著進(jìn)行剝離而依次增加基板SB的保持部位來可靠地保持基板SB，并且能夠容易地維持剝離之后的基板SB的姿勢。并且，如上所述，剝離時能夠賦予穩(wěn)定的剝離力，因此還能夠防止圖案損壞。另外，通過按照基板SB的尺寸來配置吸附單元，還能夠靈活地應(yīng)對基板SB變大。
[0120]另外，在該實施方式中，如圖9所示，在剝離的初始階段承擔(dān)基板SB的提起的第一吸附單元51吸附基板SB的區(qū)域R3位于形成有有效的圖案的有效區(qū)域AR的外側(cè)。通過局部吸附基板SB，在該部分使基板SB局部地與橡皮布BL剝離，由此可能產(chǎn)生圖案發(fā)生變形或者損壞等的影響，但是通過吸附有效區(qū)域外，能夠避免這樣的問題。另外，在剝離邊界線到達(dá)剝離輥340的正下方位置之前，剝離速度不穩(wěn)定，但是同樣地，通過使初始階段的剝離輥340抵接的抵接區(qū)域R4處于有效區(qū)域外，也能夠防止因剝離速度發(fā)生變動而引起的圖案損壞。
[0121]另一方面，在剝離的進(jìn)行過程中重新吸附基板SB的第二吸附單元52至第四吸附單元54，和基板SB的已經(jīng)與橡皮布BL剝離的區(qū)域相抵接，因此此時的吸附不會弄壞轉(zhuǎn)印至基板SB的圖案。
[0122]另外，一邊由平面狀的載物臺30保持橡皮布BL，一邊進(jìn)行剝離，從而與使吸附機構(gòu)局部抵接來進(jìn)行剝離的現(xiàn)有技術(shù)相比，不會存在有效區(qū)域AR內(nèi)的橡皮布BL局部發(fā)生變形的情況，還能夠防止因這樣的變形而導(dǎo)致圖案等損壞。
[0123]另外，在該實施方式中，通過主升降機36的升降銷361接受從外部搬入的工件WK來載置于載物臺30。此時，在基板SB (或者版)和橡皮布BL隔著圖案等緊貼而成的工件WK的下表面中的、抵接區(qū)域TR內(nèi)，升降銷361與工件WK的下表面相抵接?？傻纸訁^(qū)域TR指，基板SB和橡皮布BL重疊、且形成有有效的圖案等的有效領(lǐng)域AR的外側(cè)的區(qū)域。通過這樣保持基板SB和橡皮布BL重疊的剛性高的區(qū)域，能夠可靠地支撐工件WK，另外，還能夠防止因按壓有效區(qū)域AR內(nèi)的圖案等而導(dǎo)致的損壞。
[0124]尤其，使升降銷361分散在可抵接區(qū)域TR內(nèi)的多個部位來進(jìn)行抵接，從而能夠使施加于橡皮布BL的壓力分散來進(jìn)行支撐。除此之外，使搬運用的手在升降銷361之間進(jìn)退的動作變得容易。因此，能夠順暢地搬入工件WK以及將其載置于載物臺30上。
[0125]另外，在載物臺30的中央部配置子升降機37，來與主升降機36—起支撐剝離之后的橡皮布BL。由此，抑制剝離之后的橡皮布BL彎曲并將其保持為水平姿勢，從而能夠容易地向外部搬出橡皮布BL。另外，在使橡皮布BL與載物臺30分離之前，通過邊緣升降機38使橡皮布BL的端部向上方發(fā)生位移，從而在橡皮布BL的端部和載物臺上表面310之間形成間隙。這樣，能夠使升降銷361、371順暢地抬起橡皮布BL。
[0126]另外，在載物臺30的一部分設(shè)置錐形來控制剝離的開始的結(jié)構(gòu)中，不能在相當(dāng)于載物臺30的水平面和錐形面之間的邊界的棱線部E的附近設(shè)置用于插入升降銷的開口。這是因為，若設(shè)置所述開口，則在開口的邊緣部周邊產(chǎn)生偶發(fā)的剝離，從而不能控制剝離開始線。因此，在該實施方式中，構(gòu)成為能夠使水平載物臺部31和錐形載物臺部32分離的結(jié)構(gòu)，使升降銷從使它們分離時的間隙突出。與此同時，在載置工件WK之后，使水平載物臺部31和錐形載物臺部32相接觸來構(gòu)成載物臺30。由此，通過升降銷還能夠支撐位于錐形面?zhèn)鹊目傻纸訁^(qū)域TR。
[0127]如上面說明，在該實施方式中，作為剝離對象物的工件WK中的橡皮布BL相當(dāng)于本發(fā)明的“第一板狀體”，另一方面，基板SB相當(dāng)于本發(fā)明的“第二板狀體”。另外，橡皮布BL的兩個主表面中的與基板SB緊貼的上表面相當(dāng)于“一面”，下表面相當(dāng)于“另一面”。
[0128]另外，在上述實施方式中，載物臺30發(fā)揮本發(fā)明的“保持載物臺”的功能，水平載物臺部31的上表面310相當(dāng)于本發(fā)明的“保持面”。另外，吸附單元51?54發(fā)揮本發(fā)明的“剝離單元”的功能。另外，升降銷361發(fā)揮本發(fā)明的“支撐構(gòu)件”的功能，另一方面，升降機構(gòu)365發(fā)揮本發(fā)明的“升降單元”的功能。另外，在上述實施方式中，升降銷371發(fā)揮本發(fā)明的“輔助支撐構(gòu)件”的功能，擺動臂381發(fā)揮本發(fā)明的“空隙形成構(gòu)件”的功能。
[0129]此外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行除了上述方式之外的各種變更。例如，在上述實施方式中，在載物臺30上設(shè)置格子狀的吸附槽311、312來吸附保持橡皮布BL，但是吸附槽的形狀并不限定于此。例如可以設(shè)置環(huán)狀的吸附槽，另外也可以適當(dāng)配置被供給負(fù)壓的吸附孔來吸附橡皮布。
[0130]另外，上述實施方式的裝置I具有能夠在工件WK的有效區(qū)域AR內(nèi)與工件WK的下表面相抵接的子升降機37的升降銷371，但是在搬入工件時，通過不使升降銷371與工件WK抵接，能夠抑制有效區(qū)域AR內(nèi)的圖案等損壞。但是，根據(jù)圖案材料或其配置不同，也存在不受到因升降銷371抵接而產(chǎn)生的影響的情況。在這樣的情況下，也可以根據(jù)需要在搬入工件時也并用子升降機37。
[0131]另外，在上述實施方式中，以使剝離之后的基板SB的姿勢維持接近平面的狀態(tài)的方式，控制各吸附單元51?54的上升，從而降低施加于基板SB的壓力，但是提起基板SB的方式并不限定于此。例如也可以以使剝離之后的基板呈大致水平的方式使各吸附單元在規(guī)定高度停止，或者以使基板具有以規(guī)定的曲率彎曲的姿勢的方式保持基板。這些能夠通過控制各吸附單元的上升方式來自由設(shè)定。
[0132]另外，在上述實施方式中，將4個吸附單元配置在基板SB的上部來依次吸附基板SB，但是吸附單元的數(shù)量并不限定于此，而可以是任意的。若基板大，則使吸附單元變多，若基板小，則使吸附單元變少即可。
[0133]另外，在上述實施方式中，通過真空吸附來保持基板以及橡皮布，但是保持的方式并不限定于此。例如也可以通過靜電或者磁性吸附力來進(jìn)行吸附保持。尤其，就用于保持基板的有效區(qū)域外的第一吸附單元51而言，不僅僅依賴于吸附，也可以通過機械性地把持基板周緣部來進(jìn)行保持。
[0134]另外，上述實施方式的剝離裝置I，一邊使剝離輥340與基板SB抵接來管理剝離邊間線的移動，一邊提起基板SB，從而在基板SB和橡皮布BL之間進(jìn)行剝離，但是剝離處理的方式并不限定于此。即，即使是通過其它剝離方式進(jìn)行剝離的裝置，也能夠在搬入由版或者基板與橡皮布那樣的兩張板狀體形成的緊貼體且將剝離之后的板狀體分別搬出的結(jié)構(gòu)上應(yīng)用本發(fā)明。
[0135]另外，在上述實施方式中，使橡皮布BL向錐形載物臺部32突出來保持橡皮布BL，通過按壓構(gòu)件331使橡皮布BL彎曲來制造剝離的機會。但是，這樣并不是必須的要素，例如也可以僅通過第一吸附單元提起來開始剝離。在該情況下，不必在載物臺上設(shè)置錐形。
[0136]本發(fā)明除了能夠適用于使兩張板狀體緊貼來轉(zhuǎn)印圖案等的圖案形成處理中的剝離工序中之外，還能夠優(yōu)選利用于使相互緊貼的兩張板狀體良好地剝離的各種目的，而并不限定于伴隨著這樣的圖案轉(zhuǎn)印的工序。
【權(quán)利要求】
1.一種剝離裝置，用于使第一板狀體和第二板狀體剝離，所述第二板狀體的平面尺寸小于所述第一板狀體的平面尺寸，并且所述第二板狀體隔著薄膜或者圖案緊貼在所述第一板狀體上，所述剝離裝置的特征在于， 具有: 保持載物臺，其上表面為平面尺寸大于所述第一板狀體的形成有所述薄膜或者圖案的有效區(qū)域的平面尺寸的水平的保持面，使所述第一板狀體的面中的與所述第二板狀體緊貼的一面相反的一側(cè)的另一面與所述保持面抵接，來保持所述第一板狀體， 剝離單元，其保持所述第二板狀體，來使所述第二板狀體相對于被保持在所述保持載物臺上的所述第一板狀體，向與所述第一板狀體分離的方向移動， 支撐構(gòu)件，其上端向所述保持面的上方突出，并且所述上端與所述第一板狀體的所述另一面局部抵接，從而將所述第一板狀體支撐在與所述保持面分離的狀態(tài)， 升降單元，其使所述支撐構(gòu)件相對于所述保持面的高度方向位置在上部位置和下部位置之間變更，所述上部位置是指，所述支撐構(gòu)件的所述上端向所述保持面的上方突出的位置，所述下部位置是指，所述上端位于所述保持面的高度以下的位置； 所述支撐構(gòu)件抵接于所述第一板狀體的所述另一面中的與在所述一面?zhèn)戎信c所述第二板狀體緊貼的區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)且所述有效區(qū)域的外側(cè)抵接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離裝置，其特征在于，所述保持面的平面尺寸大于所述第二板狀體的平面尺寸，并且在所述保持面中的與載置于所述保持面的所述第一板狀體的所述有效區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域的外側(cè)且與所述第二板狀體相對應(yīng)的區(qū)域的內(nèi)側(cè)設(shè)置有開口，在所述支撐構(gòu)件位于所述上部位置時，所述上端通過所述開口來向所述保持面的上方突出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的剝離裝置，其特征在于，分別設(shè)置多個所述支撐構(gòu)件以及所述開口，所述多個支撐構(gòu)件一體地相對于所述保持面進(jìn)行升降。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的剝離裝置，其特征在于，在所述保持面中的與所述有效區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)設(shè)置與設(shè)置有所述支撐構(gòu)件的所述開口不同的第二開口，并且具有從該第二開口向所述保持面的上方突出來支撐所述第一板狀體的輔助支撐構(gòu)件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的剝離裝置，其特征在于，具有空隙形成構(gòu)件，該空隙形成構(gòu)件使被保持在所述保持載物臺上的所述第一板狀體的周緣部向上方發(fā)生位移，從而在所述第一板狀體的周緣部和所述保持面之間產(chǎn)生空隙。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的剝離裝置，其特征在于， 所述保持載物臺具有水平載物臺部和錐形載物臺部，所述水平載物臺部的上表面具有所述保持面，所述錐形載物臺部的上表面與所述保持面相連接，并且所述錐形載物臺部呈朝向與所述保持面分離的方向形成下坡的錐形面，在使所述第一板狀體中的所述有效區(qū)域的外側(cè)的周緣部向所述錐形面的上方突出的狀態(tài)下，保持所述第一板狀體； 還具有按壓構(gòu)件，該按壓構(gòu)件將向所述錐形面的上方突出的所述第一板狀體的所述周緣部按壓來使之向下方彎曲，來使所述第一板狀體和所述第二板狀體之間開始剝離； 所述水平載物臺部和所述錐形載物臺部能夠在水平方向上進(jìn)行分離，至少一個所述支撐構(gòu)件從因分離而產(chǎn)生的所述水平載物臺部和所述錐形載物臺部之間的間隙，相對于所述保持面進(jìn)行升降。
【文檔編號】B41F16/00GK104070778SQ201410108244
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年3月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月28日
【發(fā)明者】上野美佳, 川越理史, 增市干雄, 上野博之 申請人:大日本網(wǎng)屏制造株式會社