專利名稱:有機半導(dǎo)體墨組合物和使用其的有機半導(dǎo)體圖案形成方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及用于有機半導(dǎo)體圖案形成用的有機半導(dǎo)體墨組合物和有機半導(dǎo)體圖案的形成方法。
背景技術(shù):
近年來,應(yīng)用了有機半導(dǎo)體的有機晶體管元件受到矚目(參照非專利文獻(xiàn)1)。有機晶體管元件可以利用印刷法等濕法形成,從而與需要高昂的制造設(shè)備的現(xiàn)有的硅工藝相比,能夠劇烈降低生產(chǎn)成本。另外,由于能夠降低工藝的溫度、還可以在塑料基板上形成,因此作為實現(xiàn)撓性薄膜晶體管元件(TFT)的技術(shù)被廣泛研究。作為有機TFT的應(yīng)用例,正在進(jìn)行適合于電子紙、顯示器、RFID、各種傳感器等的實用化的研究。有機晶體管為以三個要素、即電極層、絕緣層和半導(dǎo)體層為必須部件的有機半導(dǎo)體元件。構(gòu)成元件的電極層、絕緣層、半導(dǎo)體層的形成方法中,有印刷法等濕法和真空蒸鍍、 濺射等干法,在生產(chǎn)率、低成本化方面,濕法具有壓倒性的優(yōu)勢(參照非專利文獻(xiàn)2)。在晶體管電路的形成中,有機半導(dǎo)體的圖案化很重要。晶體管電路中,所用區(qū)域、 例如橫型TFT元件的情況下,以橫跨各源電極/漏極間的方式形成半導(dǎo)體層,需要使相鄰元件部和半導(dǎo)體層相互電分離。由此,能夠抑制漏電流所致的鄰近元件間的干擾,能夠抑制晶體管的關(guān)斷電流(off current)、準(zhǔn)確地控制電路。作為利用濕法形成有機半導(dǎo)體層的方法,最通常使用旋涂法、浸涂法,但這些方法中,有機半導(dǎo)體膜一并覆蓋很多裝置區(qū)域,導(dǎo)致作為一個相連的膜形成。這些方法中,難以僅在所需區(qū)域形成自如的有機半導(dǎo)體的圖案。作為在晶體管電路的所用位置形成有機半導(dǎo)體層的方法,正在研究噴墨法。但是噴墨法難以形成50 μ m以下的圖案,圖案精細(xì)性存在界限。另外,難以形成任意的形狀。此外,印刷速度慢,生產(chǎn)率存在問題。為了解決這些問題,近年來,研究了使用防液性的轉(zhuǎn)印版的各種圖案轉(zhuǎn)印方法。例如,專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2中公開了一種半導(dǎo)體裝置(元件)的制造方法和半導(dǎo)體裝置 (元件)的制造裝置,所述方法的特征在于,在具有疏水性的印模版的疏水面形成有機半導(dǎo)體晶體層,將其按壓到預(yù)先形成有源電極/漏極的被轉(zhuǎn)印基板上,轉(zhuǎn)印半導(dǎo)體層。但是該文獻(xiàn)中,關(guān)于適用于使用了轉(zhuǎn)印板(印模基板)的該印刷法的半導(dǎo)體墨組成,除了僅將有機半導(dǎo)體溶解于有機溶劑中而作為墨提供以外,關(guān)于組成沒有任何公開。僅通過使用溶解有有機半導(dǎo)體的溶液,難以在印?;迳蠠o缺損地形成精密、微細(xì)的圖案并進(jìn)而完全轉(zhuǎn)印到被轉(zhuǎn)印基板上,因多發(fā)圖案不良,最終無法供于實用。所述印刷方法中要求最適合該方法的特殊的有機半導(dǎo)體墨。非專利文獻(xiàn)1:7 F A y % r ‘) 7 H 乂 (Advanced Materials) 2002 年,第 14 號,P. 99非專利文獻(xiàn)2 夂笑 7 卜'J 一才 7. 于 ij 了卟文(Chemistry of Materials) 2004 年,第 16 號,P. 4543專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-67390號公報
專利文獻(xiàn)2 日本特開2007-184437號公報
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題一種轉(zhuǎn)印用有機半導(dǎo)體墨,其用于通過以反轉(zhuǎn)印刷法、微接觸印刷法為代表的、在防液性的轉(zhuǎn)印用基版上形成墨層并根據(jù)需要進(jìn)行墨的圖案化后轉(zhuǎn)印到印刷基材上的方法得到期望的圖案,對于該轉(zhuǎn)印用有機半導(dǎo)體油墨要求的印刷特性為(1)能夠在防液性的轉(zhuǎn)印用基版表面形成均勻的墨涂膜;( 墨干燥膜或半干燥膜易于通過轉(zhuǎn)印基版而轉(zhuǎn)印到形成有機晶體管的被轉(zhuǎn)印基材上;另外應(yīng)用反轉(zhuǎn)印刷法的情況下還要求C3)通過切版,能夠由轉(zhuǎn)印基版上形成的墨整面涂膜形成準(zhǔn)確的圖案;等。另外,除了這些印刷特性之外,對于有機半導(dǎo)體墨還要求所形成的有機半導(dǎo)體薄膜具有優(yōu)異的晶體管特性。關(guān)于本發(fā)明的課題,第一,在于提供一種有機半導(dǎo)體墨組合物,其滿足這些要求特性、最適合于微接觸印刷法、反轉(zhuǎn)印刷法等使用防液性的轉(zhuǎn)印用基版來轉(zhuǎn)印圖案從而形成有機晶體管的方法。第二,本發(fā)明的課題在于提供使用了上述有機半導(dǎo)體墨組合物的有機晶體管的有機半導(dǎo)體圖案的形成方法。用于解決問題的方案首先,本發(fā)明提供一種有機半導(dǎo)體墨組合物,其特征在于,其為用于將設(shè)置于防液性的轉(zhuǎn)印用基版上的墨轉(zhuǎn)印到印刷基材上從而得到所期望的圖案的有機半導(dǎo)體墨組合物, 且其含有有機半導(dǎo)體、有機溶劑和氟系表面活性劑。第二,本發(fā)明提供一種有機晶體管的有機半導(dǎo)體圖案形成方法,其特征在于,其包括以下工序使用所述有機半導(dǎo)體墨組合物,通過微接觸印刷法和/或反轉(zhuǎn)印刷法形成有機半導(dǎo)體圖案層。發(fā)明的效果通過使用本發(fā)明的有機半導(dǎo)體墨組合物,利用微接觸印刷法、反轉(zhuǎn)印刷法等用于在防液性的轉(zhuǎn)印用基版上形成墨皮膜并根據(jù)需要進(jìn)行墨的圖案化后轉(zhuǎn)印到印刷基材上從而得到圖案的印刷方法,能夠制造有機晶體管,該有機晶體管能夠形成形狀自如、具有部位選擇性的、精密/微細(xì)的有機半導(dǎo)體圖案,且具有優(yōu)異的電特性。例如,在制造有機TFT時, 僅在電路的必要所用區(qū)域形成有機半導(dǎo)體圖案,從而能夠抑制漏電流、串?dāng)_,能夠大幅提高元件的0N/0FF比,并且能夠?qū)崿F(xiàn)錯誤操作少的電路控制。另外通過使用本發(fā)明的有機半導(dǎo)體墨組合物,能夠容易地在器件上的不同區(qū)域、電路內(nèi)的不同器件上形成特性不同的有機半導(dǎo)體的精密圖案,因此將P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體等特性不同的半導(dǎo)體組合,利用印刷能夠容易地形成變換器(inverter)、存儲器、發(fā)報機等的邏輯電路。
圖1是微接觸印刷法的工序的模型圖。圖2是凸版反轉(zhuǎn)印刷法的工序的模型圖。圖3是具有本發(fā)明的有機半導(dǎo)體墨組合物層的有機半導(dǎo)體元件的示意構(gòu)成圖。附圖標(biāo)記說明1.微接觸印刷法硅橡膠版
2.墨層3.基板4.墨層5.橡皮布6.切版7.基板8.基板9.柵極10.絕緣膜11.有機半導(dǎo)體層12.源電極、漏極
具體實施例方式以下,對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。本發(fā)明的有機半導(dǎo)體墨組合物為用于在防液性的轉(zhuǎn)印用基版上形成墨層并根據(jù)需要進(jìn)行墨的圖案化后轉(zhuǎn)印到印刷基材上從而得到所期望的圖案的轉(zhuǎn)印用有機半導(dǎo)體墨組合物,且其為含有有機半導(dǎo)體、有機溶劑和氟系表面活性劑的轉(zhuǎn)印用有機半導(dǎo)體墨組合物。關(guān)于用于形成本發(fā)明的有機半導(dǎo)體墨組合物的層的轉(zhuǎn)印用基版,只要著墨的表面為防液性即可,可以使用作為基材的材質(zhì)自身由防液性的材料形成的基版、通過各種表面處理、防液性材料的復(fù)合化而對基材的基底賦予了防液性的基版。其中,防液性的轉(zhuǎn)印用基版優(yōu)選表面的臨界表面張力為16 35mN/m。若臨界表面張力低于16mN/m,則墨的排斥劇烈,難以均勻地涂布。另外,若超過35mN/m,則難以將墨從轉(zhuǎn)印用基材向基材表面轉(zhuǎn)印。關(guān)于轉(zhuǎn)印用基版的形狀,可以為輥、平板狀,無特別限定。作為轉(zhuǎn)印用基版,例如, 優(yōu)選使用有機硅系樹脂、有機硅系橡膠、氟系樹脂、氟系橡膠。另外,可以使用例如在各種橡膠、樹脂、陶瓷類、金屬等適當(dāng)?shù)幕谋砻孢M(jìn)行了脫模劑處理、或設(shè)置了脫模層的基版。作為脫模劑,可以使用有機硅系、氟系、礦物油系、脂肪酸系、金屬皂系等脫模劑。作為脫模層,例如,可以使用形成了有機硅系樹脂、氟系樹脂、聚烯烴系樹脂等的被覆層的層;通過電鍍、蒸鍍、等離子體、印刷等形成了鎳、鈦等的金屬復(fù)合氧化膜、陶瓷層的層。其中,作為形成該轉(zhuǎn)印用的防液性表面的材料,有機硅系橡膠(硅橡膠)和氟系橡膠(氟橡膠)及其共聚物的橡膠因柔軟、墨圖案形成性和轉(zhuǎn)印性優(yōu)異、耐溶劑性也優(yōu)異而可以優(yōu)選使用。另外,這些橡膠表面根據(jù)需要可以通過UV臭氧處理等在臨界表面張力不超過 35mN/m的范圍內(nèi)調(diào)整表面能量而應(yīng)用。作為用于在防液性的轉(zhuǎn)印用基版上著墨并根據(jù)需要進(jìn)行墨的圖案化后轉(zhuǎn)印到印刷基材上從而得到所期望的圖案的方法,例如有微接觸印刷法、反轉(zhuǎn)印刷法。代表性的微接觸印刷法為作為防液性的轉(zhuǎn)印用基版將硅橡膠版作為印模的印刷方法。微接觸印刷法的工序的模型示于圖1。在印刷中形成作為掩模的厚度為Inm的單分子膜并通過蝕刻、親水化處理、疏水化處理成功形成微細(xì)圖案的例子是最初應(yīng)用微接觸印刷法的例子,目前,正在積極的研究作為能夠利用直接印刷以數(shù)微米的精度分辨率來印刷精密導(dǎo)電圖案等的技術(shù),其中所述精密導(dǎo)電圖案構(gòu)成以有機晶體管為代表的精密電氣電子器件。
反轉(zhuǎn)印刷法為下述印刷方法在橡皮布上涂布墨以形成整面的墨涂布面,對該墨涂布面按壓由玻璃、樹脂等構(gòu)成的具有反轉(zhuǎn)圖案的凸版,從橡皮布上除去與該凸版接觸的部分的墨后,將橡皮布上殘留的墨轉(zhuǎn)印到被印刷體上。反轉(zhuǎn)印刷的工序的模型示于圖2。反轉(zhuǎn)印刷法作為代替光刻法的方法,作為濾色器的制造、有機EL和有機晶體管的制造方法, 正在被積極研究。作為本發(fā)明的有機半導(dǎo)體墨組合物中使用的有機半導(dǎo)體材料,可以利用溶劑可溶性的高分子和/或低分子的有機半導(dǎo)體。作為溶劑可溶性高分子有機半導(dǎo)體,可以優(yōu)選使用F8T2等芴系高分子、亞苯基乙烯系高分子、三芳基胺系高分子、P3HT(聚(3-己基噻吩))、PQT_12(聚[5,5,-雙(3-十二烷基-2-噻吩基1)-2,2'-二噻吩])、各種PBTTT(聚 (2,5-雙(3-烷基噻吩-2-基)噻吩并[3,2-b]噻吩))等各種聚噻吩系高分子的1種或2 種以上的混合體。作為可溶性的低分子有機半導(dǎo)體,例如,可以優(yōu)選使用為了可溶化而在分子中引入了烷基的、二辛基四噻吩、苯并噻吩并苯并噻吩噻吩等各種噻吩系稠環(huán)和/或噻吩系多環(huán)化合物、并五苯前體、TIPS并五苯等可溶性并五苯類,可溶化的各種富勒烯化合物以及這些有機半導(dǎo)體的前體、混合體。可以使用上述高分子有機半導(dǎo)體、低分子半導(dǎo)體的一種或混合使用兩種以上。作為有機半導(dǎo)體墨組合物的優(yōu)選實施方式,本發(fā)明提供有機半導(dǎo)體為分散系的有機半導(dǎo)體墨組合物。這里所說的分散系是指一種或2種類以上的有機半導(dǎo)體在墨中為晶粒狀和/或膠體分散狀態(tài)。當(dāng)然,在這些分散系中有機半導(dǎo)體可以部分溶解存在。通過將有機半導(dǎo)體作為溶劑分散系,能夠提高墨的印刷特性,并且能夠提高所形成的晶體管的電特性。 例如在將本發(fā)明的有機半導(dǎo)體墨組合物應(yīng)用于反轉(zhuǎn)印刷中時,在作為轉(zhuǎn)印基版的防液性高的硅橡膠、氟橡膠上容易形成均勻的墨涂膜。另外還能夠提高墨的切除性,例如在應(yīng)用于反轉(zhuǎn)印刷法時,能夠容易地利用由玻璃等形成的具有反轉(zhuǎn)圖案的切版形成精密的圖案。這樣的分散系可以通過如下方式制備例如使用P3HT作為有機半導(dǎo)體時,將THF、 氯仿、鄰二氯苯等良溶劑與均三甲苯、苯甲醚、四氟甲苯等溶解性略差的溶劑以適當(dāng)?shù)谋壤旌?,使P3HT加熱溶解并緩慢冷卻,從而制作凝膠,通過振動等破壞該凝膠,根據(jù)需要利用在室溫下不使凝膠溶解且不引起P3HT凝膠的凝聚沉淀的例如二甲苯、均三甲苯、萘滿、苯甲醚、氯苯、鄰二氯苯、三氟甲苯、二氯三氟甲苯、三氟甲基氯苯等適當(dāng)?shù)娜軇┫♂?,從而制備。形成這些有機半導(dǎo)體的分散系墨的溶劑組成根據(jù)所應(yīng)用的有機半導(dǎo)體的溶解性而適當(dāng)選擇最合適的體系即可。另外,在使用結(jié)晶性有機半導(dǎo)體低聚物、TIPS并五苯等低分子結(jié)晶性有機半導(dǎo)體作為有機半導(dǎo)體時,可以通過如下方式制備在氯仿、二甲苯等良溶劑中加熱溶解后,緩慢冷卻,根據(jù)需要添加各種醇類、酮類、二醇醚類等不良溶劑,從而在溶液中形成晶粒,根據(jù)需要將其分離,再分散于不使該晶粒再溶解的溶劑、例如醇類中,從而制備。上述有機半導(dǎo)體中,可以優(yōu)選使用聚噻吩系高分子化合物,例如,可以優(yōu)選使用 P3HT (聚(3-己基噻吩))、PQT-12(聚[5,5’ -雙(3-十二烷基-2-噻吩基1)_2,2,_ 二噻吩])、PB10TTT、PB12TTT、PB14TTT、PB16PBTTT等各種噻吩-噻吩并噻吩共聚高分子(PBTTT) 等的一種或2種以上的混合體。這些有機半導(dǎo)體的自身內(nèi)聚力高,形成結(jié)晶結(jié)構(gòu),從而能夠發(fā)揮優(yōu)異的晶體管特性,另外形成陣列時,容易抑制元件間的晶體管特性的偏差。這些有機半導(dǎo)體的應(yīng)用通過添加氟系表面活性劑不僅能夠形成印刷特性優(yōu)異的有機半導(dǎo)體墨組合物,而且還能夠提高其晶體管特性。本發(fā)明的有機半導(dǎo)體墨組合物的特征在于,其含有分散和/或溶解有機半導(dǎo)體的溶劑。溶劑只要具有適度的揮發(fā)性,且通過常溫或加熱而使溶劑揮發(fā)后能夠形成有機半導(dǎo)體薄膜即可。作為與有機半導(dǎo)體具有比較高的溶解性的溶劑,例如可以優(yōu)選單獨使用甲苯、二甲苯、均三甲苯、苯甲醚、氯苯、二氯苯、三氯苯、三氟甲苯、二氯三氟甲苯、三氟甲基氯苯等芳香族烴及其氯取代物、氟取代物等衍生物、萘滿、十氫化萘等萘衍生物、氯仿、四氯化碳、二氯甲烷、四氯乙烯等氯化脂肪族烴類、四氫呋喃、四氫吡喃、氧雜環(huán)丁烷等環(huán)狀醚化合物系溶劑,或者使用含有這些溶劑的混合溶劑。另外,作為除上述溶劑之外分散有機半導(dǎo)體的微晶的溶劑,可以使用水;甲醇、乙醇、異丙醇、異丁醇等醇類;乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸異丙酯、乙酸丁酯等酯類; 乙醚、二噁烷等醚類;丙酮、甲乙酮、甲基丁基乙基酮等酮類;丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚、乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚乙酸酯等二醇醚類;環(huán)己酮、甲基環(huán)己酮、環(huán)己醇等脂環(huán)式烴類;正己烷、庚烷等脂肪族烴類。本發(fā)明的有機半導(dǎo)體墨組合物中使用的溶劑優(yōu)選為分別含有1種以上的沸點為 100°C以下的溶劑和沸點為150°c以上的溶劑的混合有機溶劑。另外,優(yōu)選混合有機溶劑的表面張力為35mN/m以下的溶劑的混合體系,進(jìn)一步優(yōu)選為25mN/m以下的混合溶劑體系。 通過使用沸點為100°C以下的溶劑,在轉(zhuǎn)印版上形成有機半導(dǎo)體墨涂膜時,墨具有良好的流動性,容易形成均勻的薄膜。然后利用轉(zhuǎn)印版最終轉(zhuǎn)印到基材的期間,其大部分在大氣中揮發(fā)或被轉(zhuǎn)印版吸收,從而能夠提高有機半導(dǎo)體墨組合物涂膜的粘度,能夠賦予適合于向基板上轉(zhuǎn)移的粘合性。另外,其配合量根據(jù)所使用的有機半導(dǎo)體的種類、各種轉(zhuǎn)印印刷法的印刷速度、印刷環(huán)境等適當(dāng)調(diào)整即可,優(yōu)選在有機半導(dǎo)體墨組合物的全部溶劑量的10 90% 的范圍內(nèi)適當(dāng)調(diào)整。作為這些速干性且對有機半導(dǎo)體具有溶解性的溶劑,例如,可以優(yōu)選使用環(huán)己烷等烴系溶劑;二氯甲烷、四氯乙烯、氯仿、四氯化碳、二氯乙烷、三氯乙烷等鹵代烴系溶劑;四氫呋喃、氧雜環(huán)丁烷、四氫吡喃等環(huán)狀醚類。另外,作為可以分散有機半導(dǎo)體微晶的溶劑,例如,可以適合使用甲醇、乙醇、丙醇等醇類;乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸異丙酯等酯類;丙酮、甲乙酮等酮類;正己烷等脂肪族烴類的1種或2種以上的混合溶劑。通過使用沸點為150°C以上的溶劑作為慢干性的溶劑,慢干性的溶劑在直至轉(zhuǎn)印版上的有機半導(dǎo)體墨組合物涂膜被最終轉(zhuǎn)印到印刷基材上為止的期間,某種程度上殘留在墨涂膜中,從而能夠防止墨完全干燥,能夠保持轉(zhuǎn)印所需的粘合性和內(nèi)聚性。其配合量根據(jù)有機半導(dǎo)體的種類和各種轉(zhuǎn)印印刷法的印刷速度、其印刷環(huán)境等適當(dāng)調(diào)整即可,優(yōu)選在墨的全部溶劑量的10 90%的范圍內(nèi)適當(dāng)調(diào)整。作為這些慢干性且對有機半導(dǎo)體具有某種程度的溶解性的溶劑,例如,可以優(yōu)選使用萘滿、十氫化萘等萘衍生物;均三甲苯、苯甲醚、 氯苯、二氯苯、三氯苯、三氟甲基苯、二氯三氟甲苯、三氟甲基氯苯等芳香族烴及其各種衍生物。另外,作為除上述溶劑之外分散有機半導(dǎo)體的微晶的溶劑,可以優(yōu)選使用水;或丁
二醇、辛醇等醇類;乙酸丁酯、甲氧基丁基乙酸酯等酯類;丁基溶纖劑等醚類;二丙酮醇、環(huán)己酮、甲基環(huán)己酮、二異丁基酮等酮類;乙二醇單乙醚、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚、乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚乙酸酯等二醇醚類;環(huán)己酮、甲基環(huán)己酮、環(huán)己醇等脂環(huán)式烴類;正己烷、庚烷等脂肪族烴類。本發(fā)明的有機半導(dǎo)體墨組合物的表面張力優(yōu)選為35mN/m以下,進(jìn)一步優(yōu)選為 25mN/m以下。墨的表面張力可以通過溶劑體系的組合和/或氟系表面活性劑的添加來調(diào)整。
形成本發(fā)明的有機晶體管中的有機半導(dǎo)體層的有機半導(dǎo)體墨組合物的特征在于, 其含有氟系的表面活性劑。通過將氟系表面活性劑添加到該墨中,能夠不損害有機半導(dǎo)體的電特性而提高墨所需要的印刷特性,例如無作為印刷的轉(zhuǎn)印版的防液性表面排斥的均勻墨薄膜形成性、和在轉(zhuǎn)印版上的微細(xì)的半導(dǎo)體圖案的形成性、微細(xì)圖案的從轉(zhuǎn)印版向基板上的轉(zhuǎn)印性。作為氟系表面活性劑,可以使用在同一分子中存在含氟基以及親水性基團和/或親油性基團的表面活性劑。這里,含氟基沒有特別限定,但優(yōu)選烷基的氫原子全部或部分被氟原子取代的全氟烷基、具有與全氟烷基之間隔著氧原子的結(jié)構(gòu)的全氟聚醚基。含氟基為全氟烷基時,其碳原子數(shù)優(yōu)選為6以上。根據(jù)本發(fā)明人的見解,從控制場效應(yīng)遷移率、提高0N/0FF比等晶體管特性的方面出發(fā),氟系表面活性劑優(yōu)選為氟化(甲基)丙烯酸系聚合物。氟化(甲基)丙烯酸系聚合物中,含氟基可以存在于主鏈、側(cè)鏈、分子末端中的任意一種中,從控制聚合物中的含氟量、 原料的獲得性等方面出發(fā),含氟基優(yōu)選存在于側(cè)鏈,以氟化(甲基)丙烯酸酯為原料獲得聚合物在工業(yè)上很簡便,因而優(yōu)選。以下,只要沒有特別說明,則將甲基丙烯酸酯、丙烯酸酯、鹵代丙烯酸酯和氰基丙烯酸酯統(tǒng)稱為(甲基)丙烯酸酯。氟化(甲基)丙烯酸酯例如用下述通式(AG-I)表示。CH2 = C (R1) COO ⑴ aCmF2m+1(通式 AG-1)這里,隊為H、CH3> Cl、F或CN,X為2價的連接基團,具體地說,為-(CH2) n-、-CH2CH(OH) (CH2)n-、- (CH2)nN(R2) SO2-、- (CH2)nN(R2) CO-(其中,η 為 1 10 的整數(shù),& 為 H 或碳數(shù) 1 18 的烷基。)、-CH(CH3)-、-CH(CH2CH3)-、-C (CH3) 2_、-CH(CF3)-、-C (CF3) 2_、 CH2CFH-等,a為0或1,m為1 20的整數(shù)。作為氟化(甲基)丙烯酸酯的具體例子,可列舉出下述物質(zhì)。A--1 CH2 =CHCOOai2CH2C8F17
A--2 CH2 =C (CH3) COOCH2CH2C8F17
A--3 CH2 =chcooch2ch2c12f25
A--4 CH2 =CHCOOai2CH2C6F13
A--5 CH2 =chcooch2ch2c4f9
A--6 CH2 =CFCOOai2CH2C6F13
A--7 CH2 =chcooch2cf3
A--8 CH2 =c (ch3) cooch2cf (cf3) 2
A--9 CH2 =c (ch3) cooch2CFHCF3
A--10:CH2 ==CHCooch2 (cf2) 6h
A--11:CH2 ==chc00ch2ch (oh) ch2c8f17
A--12:CH2 ==chc00ch2ch2N (C3H7) SO2C8F17
A-13 =CH2 = CHC00CH2CH2N (C2H5) COC7F15另外,作為氟化(甲基)丙烯酸酯,還可以使用下述通式(AG-2)表示的在同一分子中具有多個含氟基的化合物。[化學(xué)式1]
權(quán)利要求
1.一種有機半導(dǎo)體墨組合物,其特征在于,其為用于將在防液性的轉(zhuǎn)印用基版上形成的墨層轉(zhuǎn)印到印刷基材上從而得到所期望的圖案的有機半導(dǎo)體墨組合物,且其含有有機半導(dǎo)體、有機溶劑和氟系表面活性劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機半導(dǎo)體墨組合物,其中,在有機半導(dǎo)體墨組合物中,所述有機半導(dǎo)體以分散的狀態(tài)存在。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有機半導(dǎo)體墨組合物,其中,所述有機半導(dǎo)體為噻吩系高分子化合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中的任一項所述的有機半導(dǎo)體墨組合物,其中,所述氟系表面活性劑是常溫下為固態(tài)的化合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中的任一項所述的有機半導(dǎo)體墨組合物,其中,所述有機溶劑是分別含有ι種以上的沸點為100°c以下的溶劑和沸點為150°c以上的溶劑的混合有機溶劑, 該混合有機溶劑的表面張力為35mN/m以下。
6.一種有機晶體管的有機半導(dǎo)體圖案形成方法,其特征在于,其包括以下工序使用權(quán)利要求1 5中的任一項所述的有機半導(dǎo)體墨組合物,通過微接觸印刷法和/或反轉(zhuǎn)印刷法形成有機半導(dǎo)體圖案層。
全文摘要
本發(fā)明提供一種最適合于微接觸印刷法、反轉(zhuǎn)印刷法等使用防液性的轉(zhuǎn)印用基版來轉(zhuǎn)印圖案從而形成有機晶體管的方法的墨,即,提供一種能夠在防液性的轉(zhuǎn)印用基版表面形成均勻的墨涂膜、且墨干燥膜或半干燥膜能夠容易通過轉(zhuǎn)印基版而轉(zhuǎn)印到被轉(zhuǎn)印基材上的有機半導(dǎo)體墨組合物。此外,提供使用了上述有機半導(dǎo)體墨組合物的有機晶體管的有機半導(dǎo)體圖案的形成方法。本發(fā)明涉及一種有機半導(dǎo)體墨組合物,其特征在于,其為用于將在防液性的轉(zhuǎn)印用基版上形成的墨層轉(zhuǎn)印到印刷基材上從而得到所期望的圖案的有機半導(dǎo)體墨組合物,其含有有機半導(dǎo)體、有機溶劑和氟系表面活性劑。
文檔編號B41M1/02GK102378794SQ201080014970
公開日2012年3月14日 申請日期2010年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月31日
發(fā)明者所寬樹, 笠井正紀(jì), 米原祥友, 高武正義, 高野圣史 申請人:Dic株式會社