一種晶棒的偏心校準(zhǔn)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于硅片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種晶棒的偏心校準(zhǔn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在對晶棒進行開方之前，需要將晶棒切成段并將其粘接到晶托上，并通過校準(zhǔn)裝置檢測晶棒是否垂直與水平面且晶棒截面的圓心是否在晶托正中央，對不符合粘接要求的晶棒，必須將其粘接的位置進行調(diào)整，以確保后續(xù)晶片切割的合格率。為了方便對粘接后晶棒的位置進行調(diào)整，在晶棒粘接之前需要對晶棒和晶托進行加熱，已減緩粘接膠水的固化速度，為了確保晶棒垂直與水平面且晶棒截面的圓心在晶托正中央，必須在晶棒不同的部位進行多次檢測，現(xiàn)有的校準(zhǔn)裝置大都采用在底座上設(shè)置一個用于旋轉(zhuǎn)的圓盤和與圓盤配合使用的支架，并在支架上設(shè)置能夠上下移動的百分表的結(jié)構(gòu)，百分表和支架通過緊固螺母固定在一起，當(dāng)需要調(diào)整百分表上下位置時，必須先將緊固螺母松開，再對其的位置進行調(diào)整，調(diào)整結(jié)束后再擰緊，由于對晶棒粘接位置的檢測和校準(zhǔn)必須在粘接澆水固化之前完成，上述的操作過程就顯得極為復(fù)雜了，并且在實際操作過程中經(jīng)常會出現(xiàn)晶棒的準(zhǔn)工序未完成，粘接膠水就已經(jīng)固化的現(xiàn)象，這樣就必須先將粘接膠水融化，然后再次對晶棒進行粘接，這樣不僅增加了操作人員的勞動強度，而且降低了生產(chǎn)效率。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種能夠快速調(diào)整百分表位置的晶棒的偏心校準(zhǔn)裝置。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案:一種晶棒的偏心校準(zhǔn)裝置，包括底座，所述底座上設(shè)有垂直于所述底座設(shè)置的支撐桿和受驅(qū)動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的托架，所述支撐桿上套接有可上下移動的滑塊，所述滑塊上設(shè)有用于將其鎖定在所述支撐桿上合適高度位置的鎖定機構(gòu)和用于晶棒偏心檢測的百分表，所述鎖定機構(gòu)包括設(shè)置在所述滑塊內(nèi)的滑槽、可左右移動設(shè)置在所述滑槽內(nèi)的限位塊和為所述限位塊提供復(fù)位彈力的彈性體，所述支撐桿上沿其高度方向間隔設(shè)置有鎖定齒槽，所述限位塊上設(shè)有適于與所述鎖定齒槽配合的鎖定凸齒，常態(tài)下，在所述彈性體的作用下所述限位塊的鎖定凸齒與所述支撐桿上對應(yīng)位置的鎖定齒槽鎖定配合，所述滑塊上設(shè)有用于帶動所述限位塊向遠離所述支撐桿方向移動并壓縮所述彈性體的解鎖按鈕，所述解鎖按鈕可上下移動設(shè)置在所述滑塊的安裝孔內(nèi)，所述解鎖按鈕上套裝有為其提供向上彈力的彈簧，所述解鎖按鈕的上端伸至所述滑塊外部形成按壓部，其底端設(shè)有推動斜面，所述限位塊上設(shè)有適于與所述推動斜面配合的受力斜面。
[0005]優(yōu)選的，所述滑塊側(cè)面設(shè)有伸縮結(jié)構(gòu)的連桿，所述連桿包括第一鋼管和套裝在所述第一鋼管內(nèi)的第二鋼管，所述第一鋼管的固定端與所述滑塊固定連接，所述百分表安裝于所述第二鋼管的自由端，所述第一鋼管上設(shè)有用于鎖定所述第二鋼管位置的鎖定螺釘。
[0006]優(yōu)選的，所述托架上設(shè)有用于定位晶托的缺口。
[0007]優(yōu)選的，所述彈性體為螺旋壓簧或彈片。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是:對晶棒的粘接位置進行校準(zhǔn)時，通過將粘接有晶棒的晶托安裝在所述托架上，利用所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述托架旋轉(zhuǎn)，并利用所述百分表對晶棒的粘接位置進行檢測、校準(zhǔn)。調(diào)整所述滑塊高度的時，只需按壓所述解鎖按鈕，利用所述解鎖按鈕上的所述推動斜面推動所述限位塊上的所述受力斜面，使所述限位塊向遠離所述支撐桿的方向移動并壓縮所述彈性體，解除所述鎖定齒槽與所述鎖定凸齒的配合，使所述鎖定機構(gòu)解鎖，這時就可以將所述滑塊進行上下移動，將所述滑塊移動到所需要高度時，只需停止按壓所述解鎖按鈕，這時所述彈簧推動所述解鎖按鈕向上運動，這樣所述解鎖按鈕上的所述推動斜面就停止推動所述限位塊上的所述受力斜面，這時，所述彈性體將推動所述限位塊向靠近所述支撐桿的方向移動，最終，將再次實現(xiàn)所述鎖定齒槽與所述鎖定凸齒的配合，從而使所述鎖定機構(gòu)鎖定。通過上述過程，可以方便的調(diào)節(jié)所述滑塊的高度位置，從而減少調(diào)節(jié)所述滑塊高度位置所需要的時間，確保有充足的時間對晶棒的粘接位置進行校準(zhǔn)并使之處于晶托的正中間，減少人工勞動強度，提高生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型一種晶棒的偏心校準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2為本實用新型一種晶棒的偏心校準(zhǔn)裝置鎖定結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0011]圖中所示，1、底座，2、支撐桿，3、托架，4、滑塊，5、百分表，6、滑槽，7、限位塊，8、彈性體，9、鎖定齒槽，10、鎖定凸齒，11、解鎖按鈕，12、彈簧，13、按壓部，14、推動斜面，15、受力斜面，16、第一鋼管，17、第二鋼管，18、鎖定螺釘，19、缺口。
【具體實施方式】
[0012]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0013]請參閱圖1-2，本實用新型提供一種技術(shù)方案:
[0014]—種晶棒的偏心校準(zhǔn)裝置，包括底座I，所述底座I上設(shè)有垂直于所述底座I設(shè)置的支撐桿2和受驅(qū)動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的托架3，所述支撐桿2上套接有可上下移動的滑塊4，所述滑塊4上設(shè)有用于將其鎖定在所述支撐桿2上合適高度位置的鎖定機構(gòu)和用于晶棒偏心檢測的百分表5，所述鎖定機構(gòu)包括設(shè)置在所述滑塊4內(nèi)的滑槽6、可左右移動設(shè)置在所述滑槽6內(nèi)的限位塊7和為所述限位塊7提供復(fù)位彈力的彈性體8，所述支撐桿2上沿其高度方向間隔設(shè)置有鎖定齒槽9，所述限位塊7上設(shè)有適于與所述鎖定齒槽9配合的鎖定凸齒10，常態(tài)下，在所述彈性體8的作用下所