板34的背面?zhèn)?后面?zhèn)?設有螺母部(未圖示)，在該螺母部上分別螺合著平行于Z軸導軌32的Z軸滾珠絲杠36。各Z軸滾珠絲杠36的一端部連結著Z軸脈沖電動機38。如果通過Z軸脈沖電動機38使Z軸滾珠絲杠36進行旋轉，則Z軸移動板34沿著Z軸導軌32在Z軸方向上移動。
[0034]在各Z軸移動板34的下部設有切割晶片11的切削組件18。該切削組件18包括覆蓋切削刀40的刀套裝置42。此外，在與切削組件18相鄰的位置處，設置有對晶片11攝像的相機(攝像單元)44。
[0035]如果通過各切削組件移動機構22使Y軸移動板26在Y軸方向上移動，則切削組件18和相機44被分度進給，而如果使Z軸移動板34在Z軸方向上移動，則切削組件18和相機44進行升降。
[0036]在相對于開口 4b而位于與開口 4a的相反側的位置處，形成有圓形狀的開口 4c。在開口 4c內設有清洗切削后的晶片11的清洗機構(清洗單元)46。
[0037]接著，說明包括本實施方式的刀套裝置42的切削組件18。圖2的㈧是示意性表示切削組件18的第1狀態(tài)的立體圖，圖2的⑶是示意性表示切削組件18的第2狀態(tài)的立體圖。
[0038]如圖2的(A)和圖2的⑶所示，切削組件18具有固定于Z軸移動板34的下部的主軸外殼48。在主軸外殼48的內部，以能夠旋轉的方式支撐著在Y軸方向上延伸的主軸(未圖示)。主軸的末端部安裝有切削刀40。
[0039]在主軸外殼48的末端部設有用于收納安裝于主軸上的切削刀40的刀套裝置42。刀套裝置42包括固定于主軸外殼48的末端的固定罩(基臺部)50、以及能夠相對于固定罩50移動的滑動罩(移動基臺部)52。
[0040]滑動罩52通過氣缸(移動單元)54(圖2的(B))而與固定罩50連結，并且利用通過連結件(未圖示)而被供給的空氣而在X軸方向上滑動。
[0041]在該滑動罩52上固定著夾住切削刀40的正反面的大致L字狀的一對噴嘴56。噴嘴56通過設置于滑動罩52上的連結件58而被供給切削水。在噴嘴56的末端側，以面對切削刀40的方式形成有多條縫(未圖示)。利用通過多條縫而噴射的切削水，使得切削刀40被冷卻，并對所切削的晶片11的上表面進行清洗。
[0042]如果通過氣缸54使滑動罩52進行滑動，則噴嘴56在對切削刀40供給切削水的作用位置與在X軸方向上從作用位置遠離的退避位置之間移動。圖2的(A)示出噴嘴56被定位于作用位置上的狀態(tài)，圖2的(B)示出噴嘴56被定位于退避位置上的狀態(tài)。
[0043]如果將噴嘴56定位于從切削刀40遠離的退避位置處，則如圖2的(B)所示，切削刀40的正面?zhèn)乳_放。由此，能夠容易拆裝切削刀40。另一方面，如果將噴嘴56定位于接近切削刀40的作用位置處，則如圖2的(A)所示，切削刀40的正反面被噴嘴56夾住。由此，能夠對切削刀40供給切削水。
[0044]另一方面，在固定罩50上形成有用于對切削刀40供給切削水的供給孔(未圖示)。該供給孔通過設置于固定罩50上的連結件60而被供給切削水。利用從供給孔噴射出的切削水，使得切削刀40被冷卻、清洗。
[0045]另外，在如上構成的切削裝置2中，如果噴嘴56從作用位置即使略微產生偏離(成為斜向)，則在2組切削組件18距離極近距離彼此相對時，噴嘴56彼此間會產生干擾。于是，在本實施方式的刀套裝置42中的固定罩50和滑動罩52彼此接觸的部分處，設置了規(guī)定作用位置的規(guī)定部(定位嵌合部)。
[0046]圖3的(A)是示意性表示圖2的(A)所示的狀態(tài)下的刀套裝置42的圖，圖3的(B)是示意性表示圖2的(B)所示的狀態(tài)下的刀套裝置42的圖。
[0047]如圖3的㈧和圖3的⑶所示，在將噴嘴56定位于作用位置處時與滑動罩52接觸的固定罩50的上端部，形成有第1嵌合凸部62。
[0048]另一方面，在將噴嘴56定位于作用位置處時與固定罩50接觸的滑動罩52的上端部，形成有形狀與第1嵌合凸部62對應的第1嵌合凹部(切口部)64。通過第1嵌合凸部62和第1嵌合凹部64，構成了第1規(guī)定部(定位嵌合部)66。
[0049]同樣地，在與滑動罩52接觸的固定罩50的下端部，形成有第2嵌合凸部68。此夕卜，在與固定罩50接觸的滑動罩52的下端部，形成有形狀與第2嵌合凸部68對應的第2嵌合凹部(切口部)70。通過第2嵌合凸部68和第2嵌合凹部70，構成了第2規(guī)定部(定位嵌合部)72。
[0050]進而，在與滑動罩52接觸的固定罩50的中央部，形成有第3嵌合凸部74。此外，在與固定罩50接觸的滑動罩52的中央部，形成有形狀與第3嵌合凸部74對應的第3嵌合凹部76。通過第3嵌合凸部74和第3嵌合凹部76，構成了第3規(guī)定部(定位嵌合部)78。
[0051]因此，如圖2的(A)和圖3的(A)所示，如果使滑動罩52滑動并使其接觸固定罩50，則第1嵌合凸部62與第1嵌合凹部64嵌合，第2嵌合凸部68與第2嵌合凹部70嵌合，而第3嵌合凸部74與第3嵌合凹部76嵌合。由此，能夠防止滑動罩52相對于固定罩50的位置偏離(傾斜、轉動)，從而將噴嘴56適當?shù)囟ㄎ挥谧饔梦恢锰帯?br>[0052]如上，在本實施方式的刀套裝置42中，在固定于主軸外殼48上的固定罩(基臺部)50與固定有噴嘴56的滑動罩(移動基臺部)52彼此接觸的部分處，形成有規(guī)定噴嘴56的作用位置的第1規(guī)定部(定位嵌合部)66、第2規(guī)定部(定位嵌合部)72和第3規(guī)定部(定位嵌合部)78。
[0053]因此，如果使滑動罩52滑動并使其接觸固定罩50，則第1規(guī)定部66的第1嵌合凸部62與第1嵌合凹部64嵌合，第2規(guī)定部72的第2嵌合凸部68與第2嵌合凹部70嵌合，而第3規(guī)定部78的第3嵌合凸部74與第3嵌合凹部76嵌合，從而能夠防止噴嘴56的位置偏咼。
[0054]另外，本發(fā)明不限于上述實施方式的內容，可以進行各種變更并實施。例如，在上述實施方式中，通過3組規(guī)定部(定位嵌合部)規(guī)定噴嘴的作用位置，然而對于規(guī)定部的數(shù)量不做特別限定。此外，關于規(guī)定部的形狀等，在能夠適當規(guī)定噴嘴的作用位置的范圍內可以任意變更。
[0055]此外，上述實施方式的結構、方法等可以在不脫離本發(fā)明目的的范圍內適當變更并實施。
【主權項】
1.一種刀套裝置，其配設于以自由旋轉的方式支撐主軸的主軸外殼的末端，且覆蓋安裝于該主軸上的切削刀， 該刀套裝置的特征在于，具有: 固定于該主軸外殼上的基臺部； 移動基臺部，其固定有對該切削刀供給切削水的噴嘴，且能夠相對于該基臺部進行移動；以及 移動單元，其與該移動基臺部連結，且使該噴嘴在作用位置與退避位置之間移動，在該作用位置處，對該切削刀供給該切削水，該退避位置相比于該作用位置離該切削刀更遠，在該移動基臺部與該基臺部互相接觸的部分處，形成有規(guī)定該作用位置的定位嵌合部。2.根據(jù)權利要求1所述的刀套裝置，其特征在于， 該刀套裝置形成有2組以上的該定位嵌合部。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種刀套裝置，其能夠防止噴嘴的位置偏離。該刀套裝置具有：固定于主軸外殼(48)上的基臺部(50)；移動基臺部(52)，其固定有對切削刀(40)供給切削水的噴嘴(56)，且能夠相對于基臺部進行移動；以及移動單元(54)，其與移動基臺部連結，且使噴嘴在對切削刀供給切削水的作用位置與相比于作用位置更遠離切削刀的退避位置之間移動，在移動基臺部與基臺部互相接觸的部分處，設置了規(guī)定作用位置的定位嵌合部(66、72、78)。
【IPC分類】B28D7/02, B28D5/02
【公開號】CN105459283
【申請?zhí)枴緾N201510617062
【發(fā)明人】畑亮
【申請人】株式會社迪思科
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2015年9月24日