刀套裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及覆蓋切削裝置的切削刀的刀套裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]用于晶片等的板狀物的加工中的切削裝置具有圓環(huán)狀的切削刀、以及覆蓋該切削刀的刀套裝置。在刀套裝置上固定有夾住切削刀的正反面的一對噴嘴。在通過噴嘴供給切削水的同時(shí)，旋轉(zhuǎn)切削刀并使其切入板狀物中，從而能夠加工板狀物。
[0003]在上述切削裝置中，在拆裝切削刀時(shí)，固定于刀套裝置上的噴嘴會(huì)妨礙作業(yè)。于是，刀套裝置設(shè)置有移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使得噴嘴在對切削刀供給切削水的作用位置與不會(huì)妨礙切削刀的拆裝的退避位置之間移動(dòng)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
[0004]近些年來，為了效率良好地加工板狀物，具備2件切削刀的切削裝置得以實(shí)際使用(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。如果使用這種切削裝置，則例如能夠通過2件切削刀同時(shí)加工2個(gè)板狀物。另外，在覆蓋各切削刀的刀套裝置上，固定有夾住切削刀的正反面的一對噴嘴。
[0005]專利文獻(xiàn)1日本特開平7-276183號公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2日本特開2013-222834號公報(bào)
[0007]另外，在上述切削裝置中，例如2件切削刀能夠在30mm以下的極近距離處彼此相對。因此，如果通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)而移動(dòng)的噴嘴的位置略微偏差，則會(huì)存在噴嘴彼此產(chǎn)生干擾而破損的可能性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明就是鑒于上述問題點(diǎn)而完成的，其目的在于提供一種能夠防止噴嘴的位置偏離的刀套裝置。
[0009]本發(fā)明提供一種刀套裝置，其配設(shè)于以自由旋轉(zhuǎn)的方式支撐主軸的主軸外殼的末端，并覆蓋安裝于該主軸上的切削刀，其特征在于，具有:固定于該主軸外殼上的基臺(tái)部；移動(dòng)基臺(tái)部，其固定有對該切削刀供給切削水的噴嘴，且能夠相對于該基臺(tái)部進(jìn)行移動(dòng)；以及移動(dòng)單元，其與該移動(dòng)基臺(tái)部連結(jié)，且使該噴嘴在作用位置與退避位置之間移動(dòng)，在該作用位置處，對該切削刀供給該切削水，該退避位置相比于該作用位置離該切削刀更遠(yuǎn)，在該移動(dòng)基臺(tái)部與該基臺(tái)部彼此接觸的部分處，形成有規(guī)定該作用位置的定位嵌合部。
[0010]本發(fā)明優(yōu)選形成有2組以上的該定位嵌合部。
[0011]發(fā)明的效果
[0012]在本發(fā)明的刀套裝置中，在固定于主軸外殼上的基臺(tái)部與固定有噴嘴的移動(dòng)基臺(tái)部互相接觸的部分處，形成有規(guī)定噴嘴的作用位置的定位嵌合部。因此，如果使移動(dòng)基臺(tái)部移動(dòng)并接觸基臺(tái)部，則定位嵌合部會(huì)嵌合而能夠防止噴嘴的位置偏離。
【附圖說明】
[0013]圖1是示意性表示切削裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖。
[0014]圖2的(A)是示意性表示切削組件的第1狀態(tài)的立體圖，圖2的(B)是示意性表示切削組件的第2狀態(tài)的立體圖。
[0015]圖3的(A)是示意性表示圖2的(A)所示的狀態(tài)下的刀套裝置的圖，圖3的(B)是示意性表示圖2的(B)所示的狀態(tài)下的刀套裝置的圖。
[0016]標(biāo)號說明
[0017]2:切削裝置，4:基臺(tái)，4a、4b、4c:開口，6:料盒放置臺(tái)，8:料盒，10:X軸移動(dòng)臺(tái)，
12:防塵防滴罩，14:保持臺(tái)，14a:保持面，16:夾鉗，18:切削組件(切削單元)，20:支撐結(jié)構(gòu)，22:切削組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)(分度進(jìn)給單元、升降單元)，24:Y軸導(dǎo)軌，26:Υ軸移動(dòng)板，28:Υ軸滾珠絲杠，30:Υ軸脈沖電動(dòng)機(jī)，32 α軸導(dǎo)軌，34 α軸移動(dòng)板，36:Z軸滾珠絲杠，38:Z軸脈沖電動(dòng)機(jī)，40:切削刀，42:刀套裝置，44:相機(jī)(攝像單元)，46:清洗機(jī)構(gòu)(清洗單元)，48:主軸外殼，50:固定罩(基臺(tái)部)，52:滑動(dòng)罩(移動(dòng)基臺(tái)部)，54:氣缸(移動(dòng)單元)，56:噴嘴，58:連結(jié)具，60:連結(jié)具，62:第1嵌合凸部，64:第1嵌合凹部(切口部)，66:第1規(guī)定部(定位嵌合部)，68:第2嵌合凸部，70:第2嵌合凹部(切口部)，72:第2規(guī)定部(定位嵌合部)，74:第3嵌合凸部，76:第3嵌合凹部，78:第3規(guī)定部(定位嵌合部)，11:晶片，
13:器件，15:切割帶，17:框架。
【具體實(shí)施方式】
[0018]參照附圖，說明本發(fā)明的實(shí)施方式。首先，說明具有本實(shí)施方式的刀套裝置的切削裝置。圖1是示意性表示切削裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖。如圖1所示，切削裝置2具有支撐各結(jié)構(gòu)的基臺(tái)4。
[0019]在基臺(tái)4的前方的角部形成有矩形狀的開口 4a，在該開口 4a內(nèi)以能夠升降的方式設(shè)置有料盒放置臺(tái)6。在料盒放置臺(tái)6的上表面放置有用于收納多個(gè)晶片11的長方體狀的料盒8。另外，圖1中為了便于說明，僅示出料盒8的輪廓。
[0020]晶片11是例如由硅等的材料構(gòu)成的大致圓形的板狀物，其正面?zhèn)缺粍澐譃橹醒氲钠骷^(qū)域以及包圍器件區(qū)域的外周剩余區(qū)域。器件區(qū)域被呈格子狀排列的切割線(分割預(yù)定線)進(jìn)一步劃分為多個(gè)區(qū)域，且在各區(qū)域形成有1C等的器件13。
[0021]在晶片11的背面?zhèn)荣N附有直徑大于晶片11的切割帶15。切割帶15的外周部分固定于環(huán)狀框架17。S卩，晶片11隔著切割帶15而被支撐于框架17。其中，晶片11的結(jié)構(gòu)不限于此。
[0022]在料盒放置臺(tái)6的側(cè)方形成有在X軸方向(前后方向、加工進(jìn)給方向)上較長的矩形狀的開口 4b。在該開口 4b內(nèi)設(shè)有X軸移動(dòng)臺(tái)10、使X軸移動(dòng)臺(tái)10在X軸方向上移動(dòng)的X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)(加工進(jìn)給單元、未圖示)、以及覆蓋X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)的防塵防滴罩12。
[0023]X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有平行于X軸方向的一對X軸導(dǎo)軌(未圖示)，并且在X軸導(dǎo)軌上以能夠滑動(dòng)的方式設(shè)置有X軸移動(dòng)臺(tái)10。在X軸移動(dòng)臺(tái)10的下表面?zhèn)仍O(shè)有螺母部(未圖示)，在該螺母部上螺合著平行于X軸導(dǎo)軌的X軸滾珠絲杠(未圖示)。
[0024]在X軸滾珠絲杠的一端部連結(jié)有X軸脈沖電動(dòng)機(jī)(未圖示)。通過X軸脈沖電動(dòng)機(jī)使X軸滾珠絲杠進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而X軸移動(dòng)臺(tái)10沿著X軸導(dǎo)軌在X軸方向上移動(dòng)。
[0025]在X軸移動(dòng)臺(tái)10的上方設(shè)有吸引保持晶片11的保持臺(tái)14。在保持臺(tái)14的周圍設(shè)置有從四方夾持固定用于支撐晶片11的環(huán)狀框架17的4個(gè)夾鉗16。
[0026]保持臺(tái)14與電動(dòng)機(jī)等的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(未圖示)連結(jié)，并且繞平行于Z軸方向(鉛直方向)的旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)。此外，保持臺(tái)14通過上述X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在X軸方向上被加工進(jìn)給。
[0027]保持臺(tái)14的正面(上表面)成為吸引保持晶片11的保持面14a。該保持面14a通過形成于保持臺(tái)14的內(nèi)部的流路(未圖示)而與吸引源(未圖示)連接。
[0028]在切削裝置2中的接近開口 4b的位置處，設(shè)有將上述晶片11搬送至保持臺(tái)14的搬送機(jī)構(gòu)(搬送單元、未圖示)。通過搬送機(jī)構(gòu)而被搬送的晶片11例如以正面?zhèn)仍谏戏铰冻龅姆绞蕉胖糜诒３峙_(tái)14上。
[0029]在基臺(tái)4的上表面以跨越開口 4b的方式配置有支撐2組切削組件(切削單元)18的門型的支撐結(jié)構(gòu)20。在支撐結(jié)構(gòu)20的前表面上部設(shè)有使各切削組件18在Y軸方向(分度進(jìn)給方向)和Z軸方向上移動(dòng)的2組切削組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)(分度進(jìn)給單元、升降單元)22。
[0030]各切削組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)22都具有配置于支撐結(jié)構(gòu)20的前表面且平行于Y軸方向的一對Y軸導(dǎo)軌24。在Y軸導(dǎo)軌24上以能夠滑動(dòng)的方式設(shè)置有構(gòu)成各切削組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)22的Y軸移動(dòng)板26。
[0031]在各Y軸移動(dòng)板26的背面?zhèn)?后面?zhèn)?設(shè)有螺母部(未圖示)，在該螺母部上分別螺合著平行于Y軸導(dǎo)軌24的Y軸滾珠絲杠28。各Y軸滾珠絲杠28的一端部連結(jié)著Y軸脈沖電動(dòng)機(jī)30。如果通過Y軸脈沖電動(dòng)機(jī)30使Y軸滾珠絲杠28進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，則Y軸移動(dòng)板26沿著Y軸導(dǎo)軌24在Y軸方向上移動(dòng)。
[0032]在各Y軸移動(dòng)板26的正面(前表面)上設(shè)有平行于Z軸方向的一對Z軸導(dǎo)軌32。在Z軸導(dǎo)軌32上以能夠滑動(dòng)的方式設(shè)置有Z軸移動(dòng)板34。
[0033]在各Z軸移動(dòng)