專利名稱：多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于切割砂漿供給技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
多線切割是切割大直徑硅單晶棒非常有效的方法之一。近年來異軍突起的多線切割機(簡稱線鋸)以其極高的生產(chǎn)效率和出片率，在大直徑硅片加工領(lǐng)域已逐漸取代內(nèi)圓切割機，所切晶片具有彎曲度小、翹曲度小、平行度好、總厚度公差(TTV)離散性小、刃口切割損耗小、表面損傷層淺、晶片表面粗糙度小等特點；其切割材料涵蓋各類半導(dǎo)體材料，如硅、鍺、鈮酸鋰、砷化鎵、磷化銦、人造寶石、碳化硅等，因此多線切割技術(shù)的應(yīng)用也越來越廣泛。多線切割中必須使用一種具有流動性的混合研磨劑一切割砂漿(以下簡稱砂漿)。實際切割過程中，砂漿被往復(fù)運動的鋼線帶到切割區(qū)，被帶入的砂漿決定硅片的切割質(zhì)量；而鋼線所帶砂漿中所含有碳化硅微粉的粒型及粒度，是決定切割材料成品片表面光潔程度和切割能力的關(guān)鍵。若碳化硅微粉的粒型規(guī)則，切出來的成品片表面光潔度就會很好；碳化硅微粉的粒度分布均勻，會提高切割機的切割能力。實際切割時，多線切割加工過程中會產(chǎn)生大量的廢砂漿，這些廢砂漿中含有大量的未參與切割的碳化硅刃料，與此同時也產(chǎn)生大量的切割廢液，其主要成分為聚乙二醇與數(shù)種少量表面活性劑復(fù)配的混合物。由于表面活性劑特性是易于附著在碳化硅表面，如果采用離線回收會使上述部分表面活性劑流失，不僅產(chǎn)生嚴(yán)重的環(huán)境污染，而且浪費了大量的資源、增加了生產(chǎn)成本。目前，各家的切割液技術(shù)配方均處于高度保密狀態(tài)，因此欲對回收液補充流失的表面活性劑很難做到完全補充，從而嚴(yán)重的影響了砂漿的切割質(zhì)量。如采用循環(huán)系統(tǒng)直接回收碳化硅及切割液，能夠保證大量的有效成分不會流失，不但避免了再處理過程中對環(huán)境的污染，同時避免了回收周期對使用的影響，亦可節(jié)約大量的時間及資金。多線切割機是以單機為工作單元，現(xiàn)有的切割砂漿是采用人工將成品砂漿注入多線切割機砂漿罐中，不僅工作效率低、勞動強度大，同時可能因人為操作不慎易將環(huán)境中的固體物質(zhì)帶入砂漿，從而嚴(yán)重影響切割硅片的質(zhì)量，造成不同程度的環(huán)境污染。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其設(shè)計合理、操作簡便、能實現(xiàn)多臺切割機同時供給且各管道中無砂漿存留，在提高工作效率、降低生產(chǎn)成本的同時，能有效改善工作環(huán)境，減少環(huán)境污染，并有效保證所供給成品砂漿的質(zhì)量。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案是一種多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于包括成品砂漿存儲罐、主供給管道、輔助回流管道、支供給管道、廢液回抽主管道、廢液回抽支管道、對多線切割機切割使用后的廢砂漿進行回收并存儲的廢液回收罐、對廢砂漿進行分離提純處理并提取出廢砂漿中能再次投入使用的可再利用碳化硅和可再利用漿液的廢砂漿分離提純設(shè)備、對可再利用碳化硅和可再利用漿液分別進行存儲的碳化硅濃漿存儲罐和回收液存儲罐、將碳化硅濃漿存儲罐存儲的可再利用碳化硅濃漿泵送至成品砂漿存儲罐的碳化硅濃漿泵送管道、將回收液存儲罐內(nèi)存儲的可再利用漿液泵送至成品砂漿存儲罐的回收液泵送管道、以及向成品砂漿存儲罐內(nèi)補充提供切割液和碳化硅微粉的切割液補充管道和碳化硅微粉補充管道；所述成品砂漿存儲罐、碳化硅濃漿存儲罐、回收液存儲罐和廢液回收罐的罐體內(nèi)均安裝有電動攪拌器；所述主供給管道為由進液口至出液口逐漸向上傾斜的傾斜向管道一且所述傾斜向管道一與水平方向間的夾角α ！ 為10° < Ci1 <20° ；所述主供給管道與成品砂漿存儲罐出液口相接；所述廢砂漿分離提純設(shè)備的進液口通過廢液泵送管道與廢液回收罐的出液口相接，碳化硅濃漿泵送管道的一端與碳化硅濃漿存儲罐的出液口相接且其另一端伸入至成品砂漿存儲罐內(nèi)，回收液泵送管道的一端與回收液存儲罐的出液口相接且其另一端伸入至成品砂漿存儲罐內(nèi)；所述廢液泵送管道、碳化硅濃漿泵送管道和回收液泵送管道上分別安裝有泵送設(shè)備一、泵送設(shè)備二和泵送設(shè)備四，所述主供給管道上安裝有供給泵，所述廢液回抽主管道上安裝有回抽泵；所述輔助回流管道的一端與主供給管道的出液口相接且二者之間安裝有回流閥， 所述輔助回流管道的另一端伸入至成品砂漿存儲罐內(nèi)；所述主供給管道和支供給管道連通組成向提供多線切割機切割用成品切割砂漿的砂漿供給管道，所述支供給管道包括豎直向供給管道和與豎直向供給管道相接的倒U字形供給管道，所述倒U字形供給管道的一端安裝在主供給管道上且其與主供給管道相通， 所述倒U字形供給管道的另一端與豎直向供給管道的上端相接且豎直向供給管道的下端伸入至多線切割機的砂漿罐內(nèi)；所述倒U字形供給管道上安裝有支供給管道控制閥；所述廢液回抽主管道和廢液回抽支管道連通組成將多線切割機切割使用后的廢砂漿回抽至廢液回收罐的砂漿回抽管道，所述廢液回抽支管道包括豎直向回抽管道和與豎直向回抽管道相接的倒U字形回抽管道，所述倒U字形回抽管道的一端安裝在廢液回抽主管道上且其與廢液回抽主管道相通，所述倒U字形回抽管道的另一端與豎直向回抽管道的上端相接且豎直向回抽管道的下端伸入至多線切割機的砂漿罐內(nèi)；所述倒U字形回抽管道上安裝有支回抽管道控制閥。上述多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征是所述多線切割機的數(shù)量為多臺， 所述支供給管道和廢液回抽支管道的數(shù)量均為多個且二者的數(shù)量均與多線切割機的數(shù)量相同，多個支供給管道的安裝方式均相同且均并行安裝在主供給管道上，多個廢液回抽支管道的安裝方式均相同且均并行安裝在廢液回抽主管道上，多個支供給管道和多個廢液回抽支管道的下端分別伸入至多臺多線切割機的砂漿罐內(nèi)。上述多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征是所述傾斜向管道一與水平方向間的夾角、為10° < CI1 < 15°。上述多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征是還包括呈豎直向布設(shè)的回凈管道和安裝在回凈管道上的回凈閥，所述回凈管道的上端與主供給管道相接且其下端伸入至成品砂漿存儲罐內(nèi)。[0015]上述多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征是所述廢液回抽主管道為由進液口至出液口逐漸向下傾斜的傾斜向管道二且傾斜向管道二與水平方向間的夾角02為10° < α 2 < 20°。上述多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征是還包括待處理液存儲罐和對不能再次投入使用的不可利用漿液進行存儲的廢液存儲罐，所述待處理液存儲罐和廢液存儲罐內(nèi)均安裝有電動攪拌器；所述廢砂漿分離提純設(shè)備為兩級離心分離設(shè)備，且其包括對廢液回收罐內(nèi)所存儲的廢砂漿進行離心分離并獲得可再利用碳化硅和待處理液的離心分離設(shè)備一和對所述待處理液進行進一步分離并獲得可再利用漿液和不可利用漿液的離心分離設(shè)備二；所述碳化硅濃漿存儲罐和待處理液存儲罐分別通過碳化硅回收管道和待處理液回收管道與布設(shè)在離心分離設(shè)備一下部的兩個出液口相接；所述待處理液存儲罐的出液口通過待處理液泵送管道與離心分離設(shè)備二的進液口相接，離心分離設(shè)備二的兩個出液口分別通過廢液流通管道和回收液流通管道與廢液存儲罐和回收液存儲罐相接，所述待處理液泵送管道上安裝有泵送設(shè)備三。上述多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征是還包括安裝在回收液流通管道上且對離心分離設(shè)備二分離后的可再利用漿液進行進一步凈化并獲得密度為1. 13g/cm3的可再利用漿液的固液分離設(shè)備。上述多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征是所述離心分離設(shè)備一和離心分離設(shè)備二均為自動沉降式離心機，所述固液分離設(shè)備為板框過濾機。上述多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征是所述支供給管道控制閥和支回抽管道控制閥均為電磁控制閥或氣動控制閥；所述供給泵、回抽泵、泵送設(shè)備一、泵送設(shè)備二、泵送設(shè)備三和泵送設(shè)備四均為隔膜泵、螺桿泵或容積式泵。上述多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征是還包括主控制器，所述泵送設(shè)備一、泵送設(shè)備二、泵送設(shè)備三、泵送設(shè)備四、供給泵和回抽泵均為電動泵，所述回流閥、回凈閥、支供給管道控制閥和支回抽管道控制閥均為電磁控制閥，所述泵送設(shè)備一、泵送設(shè)備二、泵送設(shè)備三、泵送設(shè)備四、供給泵、回抽泵、回流閥、回凈閥、支供給管道控制閥、支回抽管道控制閥、離心分離設(shè)備一和離心分離設(shè)備二以及成品砂漿存儲罐、廢液回收罐、碳化硅存儲罐、待處理液存儲罐、廢液存儲罐和回收液存儲罐內(nèi)所安裝的電動攪拌器均與主控制器相接且均由主控制器進行控制。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點1、結(jié)構(gòu)設(shè)計合理、安裝布設(shè)方便且投入成本低，使用操作簡便。2、將目前的人工單臺添加和單臺抽出操作改變?yōu)槎嗯_多線切割機的砂漿同步供給過程，且通過本實用新型實現(xiàn)了多臺多線切割機的同時自動供給，也可以將多臺多線切割機砂漿罐中的廢砂漿抽出自動收集，再通過碳化硅回收過程與切割液回收過程相結(jié)合并補充一定量的碳化硅及切割液，從而制得可直接使用的切割液；再由供給系統(tǒng)供給多臺多線切割機使用。3、實用價值高，本實用新型在實現(xiàn)多線切割機切割太陽能級硅片和電子級硅片切割過程中所需切割砂漿的多臺機同時供給系統(tǒng)，還通過循環(huán)系統(tǒng)將碳化硅分離收集并與可使用切割液混合及再調(diào)配，獲得能夠滿足太陽能級硅片和電子級硅片切割使用的再生砂漿，然后通過供給系統(tǒng)供給多臺多線切割機使用，形成砂漿的供給與循環(huán)利用系統(tǒng)。因而，通過本實用新型可直接將成品砂漿供給多臺多線切割機，解決了成品砂漿供給過程由于間歇作業(yè)而出現(xiàn)砂漿不均的難題；同時，經(jīng)循環(huán)系統(tǒng)又將切割廢液回抽到待處理廢液儲罐，并分離為粒徑> 4. 5 μ m的碳化硅與待處理液，再通過沉降分離除去待處理液中粒徑< 4. 5 μ 的碳化硅和硅粉，凈化獲得密度為1. 13g/cm3的切割回收液，最后將粒徑> 4. 5μπι的碳化硅與切割液回收液混合，并適當(dāng)補充新的碳化硅粉和切割液，制得滿足太陽能級硅片和電子級硅片切割使用的再生砂漿，因而實現(xiàn)了資源循環(huán)利用。4、減少了環(huán)境污染，同時整個供給運行與循環(huán)回收過程是在一個全循環(huán)系統(tǒng)中在線即時完成，避免了砂漿拉運過程中成品砂漿受污染。既降低了生產(chǎn)成本，又提高了生產(chǎn)效率。5、由于目前所采用的間歇作業(yè)供給致使管道中出現(xiàn)殘留，并使得混合不均的切割液直接進入多線切割機的砂漿罐，因而嚴(yán)重影響切割質(zhì)量；而本實用新型可完全避免混合不均的切割液直接進入多線切割機，有效確保所供給砂漿的質(zhì)量。為了防止管道中前次供給砂漿時存有少量砂漿而影響砂漿質(zhì)量，采用砂漿供給管道同時配備一套回流輔助管道， 在砂漿供給時首先打開供給管道與回流輔助管道間的閥門，讓供給管道中的一部分砂漿通過回流輔助管道回流到成品砂漿存儲罐，然后關(guān)閉管道回流閥。6、成品砂漿供給過程中，采用上U型管道且上U型管道上方安裝電動或氣動開關(guān)閥門，當(dāng)完成砂漿供給過程后，砂漿供給管道中的砂漿自動流回，無砂漿存積。同時，供給管道采用輸入端低于輸出端的方式，在完成輸漿過程后，打開回流閥使存留于管道中的砂漿自動流回成品砂漿罐，保證了主供給管道中不會存留砂漿。另外，經(jīng)過多線切割機使用后的廢砂漿通過回收管道抽回到廢砂漿罐，因各支回抽管道采用上U型管道且上U型管道上方安裝電動或氣動開關(guān)閥門，因而當(dāng)完成砂漿供給過程后，回抽管道中的砂漿自動流回，無砂漿存積。7、適用范圍廣，適用于太陽能和電子行業(yè)的硅片切割及硅酸鹽材料和陶瓷產(chǎn)品的表面拋光處理。綜上所述，本實用新型設(shè)計合理、使用操作簡便、能實現(xiàn)多臺切割機同時供給且各管道中無砂漿存留，在提高工作效率、降低生產(chǎn)成本的同時，能有效改善工作環(huán)境，減少環(huán)境污染，實現(xiàn)資源循環(huán)利用并建立完整的生產(chǎn)管理體系，從根本上保證了所供給砂漿的質(zhì)量。下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術(shù)方案做進一步的詳細(xì)描述。
圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實用新型進行砂漿循環(huán)及供給時的方法流程框圖。附圖標(biāo)記說明1-成品漿存儲罐； 2-供給泵；3-主供給管道；4-回流閥；5-輔助回流管道； 6-支供給管道；6-1-豎直向供給管道；6-2-倒U字形供給管道；7_回凈閥；8-回凈管道；9-回抽泵；10-廢液回抽主管道；11-廢液回收罐； 12-廢液回抽支管道；12-1-豎直向回抽管道；[0039]12--2-倒U字形回抽管道；13-離心分離設(shè)備一 ；14--碳化硅存儲歸I ；[0040]15-■廢液泵送管道； 16-泵送設(shè)備一 ； 17-碳化硅回收管道；[0041]18-■待處理液回收管道；19-碳化硅泵送設(shè)備；20-待處理液泵送管道[0042]21--離心分離設(shè)備二 ； 22-廢液流通管道； 23-廢液存儲罐>[0043]24--回收液流通管道；25-回收液存儲罐； 沈-回收液泵送1f道;[0044]27--支供給管道控制閥；28-支回抽管道控制閥；-多線切割機；[0045]30--砂漿罐； 31-待處理液存儲罐；32_-泵送設(shè)備二>[0046]33--泵送設(shè)備三； 34-泵送設(shè)備四。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型包括成品砂漿存儲罐1、主供給管道3、輔助回流管道5、支供給管道6、廢液回抽主管道10、廢液回抽支管道12、對多線切割機四切割使用后的廢砂漿進行回收并存儲的廢液回收罐11、對廢砂漿進行分離提純處理并提取出廢砂漿中能再次投入使用的可再利用碳化硅和可再利用漿液的廢砂漿分離提純設(shè)備、對可再利用碳化硅和可再利用漿液分別進行存儲的碳化硅濃漿存儲罐14和回收液存儲罐25、將碳化硅濃漿存儲罐14存儲的可再利用碳化硅濃漿泵送至成品砂漿存儲罐1的碳化硅濃漿泵送管道19、將回收液存儲罐25內(nèi)存儲的可再利用漿液泵送至成品砂漿存儲罐1的回收液泵送管道沈、以及向成品砂漿存儲罐1內(nèi)補充提供切割液和碳化硅微粉的切割液補充管道和碳化硅微粉補充管道。所述成品砂漿存儲罐1、碳化硅濃漿存儲罐14、回收液存儲罐25和廢液回收罐11 的罐體內(nèi)均安裝有電動攪拌器。所述主供給管道3為由進液口至出液口逐漸向上傾斜的傾斜向管道一且所述傾斜向管道一與水平方向間的夾角、為10° < Ci1 <20°。所述主供給管道3與成品砂漿存儲罐1出液口相接。所述廢砂漿分離提純設(shè)備的進液口通過廢液泵送管道15與廢液回收罐11的出液口相接，碳化硅濃漿泵送管道19的一端與碳化硅濃漿存儲罐14的出液口相接且其另一端伸入至成品砂漿存儲罐1內(nèi)，回收液泵送管道沈的一端與回收液存儲罐25的出液口相接且其另一端伸入至成品砂漿存儲罐1內(nèi)。所述廢液泵送管道15、碳化硅濃漿泵送管道19和回收液泵送管道沈上分別安裝有泵送設(shè)備一 16、泵送設(shè)備二 32和泵送設(shè)備四34，所述主供給管道3上安裝有供給泵2，所述廢液回抽主管道10上安裝有回抽泵9。所述輔助回流管道5的一端與主供給管道3的出液口相接且二者之間安裝有回流閥4，所述輔助回流管道5的另一端伸入至成品砂漿存儲罐1內(nèi)。所述主供給管道3和支供給管道6連通組成向提供多線切割機四切割用成品切割砂漿的砂漿供給管道，所述支供給管道6包括豎直向供給管道6-1和與豎直向供給管道 6-1相接的倒U字形供給管道6-2，所述倒U字形供給管道6-2的一端安裝在主供給管道3 上且其與主供給管道3相通，所述倒U字形供給管道6-2的另一端與豎直向供給管道6-1 的上端相接且豎直向供給管道6-1的下端伸入至多線切割機四的砂漿罐30內(nèi)；所述倒U 字形供給管道6-2上安裝有支供給管道控制閥27。所述廢液回抽主管道10和廢液回抽支管道12連通組成將多線切割機四切割使用后的廢砂漿回抽至廢液回收罐11的砂漿回抽管道，所述廢液回抽支管道12包括豎直向回抽管道12-1和與豎直向回抽管道12-1相接的倒U字形回抽管道12-2，所述倒U字形回抽管道12-2的一端安裝在廢液回抽主管道10上且其與廢液回抽主管道10相通，所述倒U 字形回抽管道12-2的另一端與豎直向回抽管道12-1的上端相接且豎直向回抽管道12-1 的下端伸入至多線切割機四的砂漿罐30內(nèi)；所述倒U字形回抽管道12-2上安裝有支回抽管道控制閥觀。所述輔助回流管道5在成品切割砂漿向多線切割機四供給之前，將主供給管道3 內(nèi)之前存留的成品切割砂漿返回至成品砂漿存儲罐1以保證供給多線切割機四的成品切割砂漿的質(zhì)量，所述成品砂漿存儲罐1的罐蓋上對應(yīng)設(shè)置供輔助回流管道5、碳化硅濃漿泵送管道19、回收液泵送管道沈和所述碳化硅微粉補充管道安裝的進液口。所述成品砂漿存儲罐1為對輔助回流管道5回流的成品切割砂漿、碳化硅濃漿泵送管道19泵送的可再利用碳化硅濃漿、回收液泵送管道沈泵送的可再利用漿液、所述碳化硅微粉補充管道補充提供的碳化硅微粉、切割液補充管道補充提供的切割液和成品砂漿存儲罐1內(nèi)存留的成品切割砂漿進行均勻混合并形成復(fù)配后的成品切割砂漿且同步對所形成成品切割漿液進行存儲的存儲罐。具體進行布設(shè)時，所述傾斜向管道一與水平方向間的夾角h為10° < Ci1 < 15°。所述成品砂漿存儲罐1、砂漿供給管道、輔助回流管道5、砂漿回抽管道、廢液回收罐11和廢砂漿分離提純設(shè)備組成在向多線切割機四供給成品切割砂漿的同時，對多線切割機四切割使用后的廢砂漿進行回收與分離提純后再次投入使用的砂漿供給及循環(huán)利用系統(tǒng)。所述多線切割機四的數(shù)量為多臺，所述支供給管道6和廢液回抽支管道12的數(shù)量均為多個且二者的數(shù)量均與多線切割機四的數(shù)量相同，多個支供給管道6的安裝方式均相同且均并行安裝在主供給管道3上，多個廢液回抽支管道12的安裝方式均相同且均并行安裝在廢液回抽主管道10上，多個支供給管道6和多個廢液回抽支管道12的下端分別伸入至多臺多線切割機四的砂漿罐30內(nèi)。也就是說，本發(fā)明能實現(xiàn)多臺多線切割機四的切割砂漿同步供給。本實施例中，所述多線切割機四的數(shù)量為三臺，三臺多線切割機四分別為1、2和3號多線切割機。本實施例中，本實用新型還包括呈豎直向布設(shè)的回凈管道8和安裝在回凈管道8 上的回凈閥7，所述回凈管道8的上端與主供給管道3相接且其下端伸入至成品砂漿存儲罐 1內(nèi)。實際布設(shè)時，所述廢液回抽主管道10為由進液口至出液口逐漸向下傾斜的傾斜向管道二且傾斜向管道二與水平方向間的夾角Ci2為10° < Ci2 <20°。本實施例中，所述傾斜向管道一與傾斜向管道二與水平方向間的夾角均為12°。實際使用過程中，可以根據(jù)具體實際需要，對傾斜向管道一和傾斜向管道二的傾斜角度進行相應(yīng)調(diào)整。同時，本實用新型還包括待處理液存儲罐31和對不能再次投入使用的不可利用漿液進行存儲的廢液存儲罐23，所述待處理液存儲罐31和廢液存儲罐23內(nèi)均安裝有電動攪拌器。所述廢砂漿分離提純設(shè)備為兩級離心分離設(shè)備，且其包括對廢液回收罐11內(nèi)所存儲的廢砂漿進行離心分離并獲得可再利用碳化硅和待處理液的離心分離設(shè)備一 13和對所述待處理液進行進一步分離并獲得可再利用漿液和不可利用漿液的離心分離設(shè)備二 21。所述碳化硅濃漿存儲罐14和待處理液存儲罐31分別通過碳化硅回收管道17和待處理液回收管道18與布設(shè)在離心分離設(shè)備一 13下部的兩個出液口相接。所述待處理液存儲罐31的出液口通過待處理液泵送管道20與離心分離設(shè)備二 21的進液口相接，離心分離設(shè)備二 21的兩個出液口分別通過廢液流通管道22和回收液流通管道24與廢液存儲罐23和回收液存儲罐25相接，所述待處理液泵送管道20上安裝有泵送設(shè)備三33。本實施例中，本實用新型還包括安裝在回收液流通管道M上且對離心分離設(shè)備二 21分離后的可再利用漿液進行進一步凈化并獲得密度為1. 13g/cm3的可再利用漿液的固液分離設(shè)備。本實施例中，所述離心分離設(shè)備一 13和離心分離設(shè)備二 21均為自動沉降式離心機，且離心分離設(shè)備二 21為長徑比為4. 5的自動沉降式離心機；所述固液分離設(shè)備為板框過濾機。實際使用過程中，所述支供給管道控制閥27和支回抽管道控制閥觀均為電磁控制閥或氣動控制閥；所述供給泵2、回抽泵9、泵送設(shè)備一 16、泵送設(shè)備二 32、泵送設(shè)備三33 和泵送設(shè)備四34均為隔膜泵、螺桿泵或容積式泵。本實施例中，所述多線切割機砂漿循環(huán)與供給系統(tǒng)還包括主控制器，所述泵送設(shè)備一 16、泵送設(shè)備二 32、泵送設(shè)備三33、泵送設(shè)備四34、供給泵2和回抽泵9均為電動泵，所述回流閥4、回凈閥7、支供給管道控制閥27和支回抽管道控制閥觀均為電磁控制閥，所述泵送設(shè)備一 16、泵送設(shè)備二 32、泵送設(shè)備三33、泵送設(shè)備四34、供給泵2、回抽泵9、回流閥4、回凈閥7、支供給管道控制閥27、支回抽管道控制閥觀、離心分離設(shè)備一 13和離心分離設(shè)備二 21以及成品砂漿存儲罐1、廢液回收罐11、 碳化硅濃漿存儲罐14、待處理液存儲罐31、廢液存儲罐23和回收液存儲罐25內(nèi)所安裝的電動攪拌器均與主控制器相接且均由主控制器進行控制。實際使用過程中，支供給管道控制閥27和支回抽管道控制閥28也可以采用氣動控制閥。如圖2所示，本實用新型的工作過程是步驟一、成品砂漿供給，其供給過程如下101、成品砂漿存儲罐內(nèi)攪拌器啟動打開成品砂漿存儲罐1內(nèi)所安裝的電動攪拌器并對成品砂漿存儲罐1內(nèi)存儲的成品切割砂漿進行連續(xù)攪拌，同時開啟回流閥4，并關(guān)閉支供給管道控制閥27和支回抽管道控制閥觀。102、供給泵啟動及砂漿供給之前成品切割砂漿回流啟動供給泵2將成品砂漿存儲罐1內(nèi)存儲的成品切割砂漿抽送至主供給管道3內(nèi)，并通過與主供給管道3相接的輔助回流管道5回流至成品砂漿存儲罐1內(nèi)，且通過輔助回流管道5將成品切割砂漿向成品砂漿存儲罐1內(nèi)回流的回流時間為:3min 5min ；待成品切割砂漿回流!Min 5min后，關(guān)閉回流閥4。實際使用時，所述供給泵2為隔膜泵、螺桿泵或容積式泵(如球型泵等)，也可以采用多臺供給泵2并聯(lián)的泵送方式。開啟供給泵2之前應(yīng)檢查回流閥4是否打開，只有回流閥4完全開啟才可打開供給泵2，且打開供給泵2后通過供給泵2將所需成品切割砂漿從成品砂漿存儲罐1內(nèi)送入主供給管道3中。同時，送入主供給管道3中的成品切割砂漿通過輔助回流管道5回流到成品砂漿存儲罐1內(nèi)，成品砂漿存儲罐1內(nèi)的電動攪拌器處于攪拌狀態(tài)。103、成品切割砂漿供給打開通向需供給多線切割機四的砂漿罐30內(nèi)的支供給管道6上所安裝的支供給管道控制閥27，且通過主供給管道3和支供給管道6將成品砂漿存儲罐1內(nèi)存儲的成品切割砂漿連續(xù)泵送至需供給多線切割機四的砂漿罐30內(nèi)，直至砂
11漿罐30內(nèi)的成品切割砂漿數(shù)量滿足供給需求時，完成需供給多線切割機四的砂漿供給過程。本實施例中，具體是打開通向1、2和3號多線切割機的砂漿罐30內(nèi)的支供給管道 6上所安裝的支供給管道控制閥27。實際使用時，關(guān)閉回流閥4且打開支供給管道控制閥 27后，成品切割砂漿將自動注入1、2和3號多線切割機的砂漿罐30內(nèi)待用。104、砂漿供給完成之后成品切割砂漿回流待步驟103中所述的需供給多線切割機四完成切割過程時，先關(guān)閉供給泵2并打開回流閥4，再關(guān)閉支供給管道6上所安裝的支供給管道控制閥27，使得此時存留在主供給管道3內(nèi)的成品切割砂漿通過傾斜向布設(shè)的主供給管道3自動全部回流至成品砂漿存儲罐1內(nèi)。實際使用過程中，砂漿供給完成后，首先打開回流閥4，再關(guān)閉各支供給管道6上所安裝的支供給管道控制閥27，以防止砂漿供給管道壓力增加。本實施例中，步驟101中開啟回流閥4的同時，關(guān)閉回凈閥7 ；步驟104中關(guān)閉支供給管道6上所安裝的支供給管道控制閥27的同時，打開回凈閥7，使得此時存留在主供給管道3內(nèi)的成品切割砂漿通過傾斜向布設(shè)的主供給管道3和回凈管道8自動全部回流至成品砂漿存儲罐1內(nèi)。實際操作時，打開回凈閥7后能夠以使砂漿供給管道(具體是主供給管道3)中存留的成品切割砂漿完全回到成品砂漿存儲罐1中；由于主供給管道3采用輸入端低于輸出端的方式安裝，因而在完成輸漿過程后，打開回凈閥7時，存留于主供給管道3中的砂漿會自動流回成品砂漿存儲罐1，保證主供給管道3中無砂漿存留，并且省時省力。由于主供給管道3與支供給管道6之間采用倒U字形供給管道6-2進行連接，且倒U字形供給管道6-2位于主供給管道3上方，同時支供給管道控制閥27安裝在倒U字形供給管道6-2 (即U型管道)中部，而倒U字形供給管道6-2可有效防止支供給管道6內(nèi)砂漿的殘留累積。步驟二、砂漿回收，其回收過程如下201、回抽泵啟動待步驟103中所述的多線切割機四完成切割過程后，開啟回抽泵9。202、回抽閥門開啟及廢砂漿回抽回抽泵9啟動后，打開通向需回抽多線切割機 29的砂漿罐30內(nèi)的廢液回抽支管道12上所安裝的支回抽管道控制閥觀，且通過廢液回抽主管道10和廢液回抽支管道12將需回抽多線切割機四的砂漿罐30內(nèi)盛裝的廢砂漿連續(xù)回抽至廢液回收罐11，直至將需回抽多線切割機四的砂漿罐30內(nèi)盛裝的廢砂漿全部抽空且向廢液回抽支管道12內(nèi)抽進空氣后為止。203、回抽泵及回抽閥門關(guān)閉待步驟202中向廢液回抽支管道12內(nèi)抽進空氣后， 關(guān)閉回抽泵9和廢液回抽支管道12上所安裝的支回抽管道控制閥觀。本實施例中，步驟203中所述的關(guān)閉回抽泵9和廢液回抽支管道12上所安裝的支回抽管道控制閥觀后，且待回抽至廢液回抽支管道12內(nèi)的廢砂漿在步驟202中抽進廢液回抽支管道12內(nèi)的空氣作用下自動移至廢液回抽主管道10內(nèi)后，移至廢液回抽主管道10 內(nèi)的廢砂漿通過傾斜向布設(shè)的廢液回抽主管道10自動全部流至廢液回收罐11內(nèi)。實際使用過程中，當(dāng)1、2和3號多線切割機完成切割過程后，通過回抽泵9將1、2 和3號多線切割機的砂漿罐30中的廢切割液(即廢砂漿)由廢液回抽支管道12和廢液回抽主管道10直接返回到廢液回收罐11內(nèi)待處理。所述回抽泵9為隔膜泵、螺桿泵或容積式泵(如球型泵等)，也可以采用多臺回抽泵9并聯(lián)的泵送方式。同樣，由于廢液回抽支管道12和廢液回抽主管道10之間采用倒U字形回抽管道 12-2進行連接，且倒U字形回抽管道12-2位于廢液回抽主管道10上方，同時支回抽管道控制閥觀安裝在倒U字形回抽管道12-2 (即U型管道)中部，倒U字形回抽管道12-2可有效防止廢液回抽支管道12內(nèi)砂漿的殘留累積。實際回抽過程中，多線切割機四的砂漿罐30中的廢砂漿回抽前應(yīng)該首先開啟回抽泵9，然后打開通向需要抽出的砂漿罐30的廢液回抽支管道12上所安裝支回抽管道控制閥觀，待廢砂漿全部抽完并且有少量的空氣進入回抽管道(具體是廢液回抽支管道12)后， 方可關(guān)閉各砂漿回抽管道中的支回抽管道控制閥28，以防廢液沉積于回抽管道中。當(dāng)需要回抽的砂漿罐30中廢砂漿完全回抽出后，可再次打開各個多線切割機四的回抽管道上的支回抽管道控制閥觀，使少量的空氣進入砂漿回抽管道，利用空氣將砂漿回抽管道包括廢液回抽主管道10中的殘余廢砂漿完全帶回到廢液回收罐11中。步驟三、廢砂漿分離提純、復(fù)配及循環(huán)利用，其分離提純、復(fù)配及循環(huán)利用過程如下301、砂漿回收設(shè)備內(nèi)攪拌器啟動啟動廢液回收罐1、碳化硅濃漿存儲罐14和回收液存儲罐25內(nèi)所安裝的電動攪拌器。302、廢砂漿分離提純啟動泵送設(shè)備一 16且通過廢液泵送管道15將回抽并存儲在廢液回收罐11內(nèi)的廢砂漿泵送至所述廢砂漿分離提純設(shè)備內(nèi)進行分離提純，并獲得可再利用碳化硅和可再利用漿液，且將分離出的可再利用碳化硅和可再利用漿液分別存儲至碳化硅濃漿存儲罐14和回收液存儲罐25內(nèi)。本實施例中，進行廢砂漿分離提純時，其廢砂漿分離提純過程如下3021、一級離心分離通過廢液泵送管道15將廢液回收罐11內(nèi)存儲的廢砂漿泵送至離心分離設(shè)備一 13內(nèi)進行一級離心分離，且將所述廢砂漿中粒徑> 4. 5μπι的碳化硅微粉分離出來，所述粒徑> 4. 5 μ m的碳化硅微粉為可再利用碳化硅，并將一級離心分離后獲得的可再利用碳化硅與待處理液分別存儲至碳化硅濃漿存儲罐14和待處理液存儲罐31 內(nèi)，同時啟動碳化硅濃漿存儲罐14和待處理液存儲罐31內(nèi)所安裝的電動攪拌器。3022、二級離心分離通過待處理液泵送管道20將待處理液存儲罐31內(nèi)存儲的待處理液泵送至離心分離設(shè)備二 21內(nèi)且在35V 45°C溫度條件下進行二級離心分離，并將待處理液中的切割液與碳化硅和硅粉分離開；同時通過固液分離設(shè)備對離心分離設(shè)備二 21分離出來的切割液進行進一步凈化，獲得密度為1. 13g/cm3的可再利用漿液，并將固液分離設(shè)備凈化后的可再利用漿液存儲至回收液存儲罐25內(nèi)，且將離心分離設(shè)備二 21和所述固液分離設(shè)備分離出的不可利用漿液存儲至廢液存儲罐23內(nèi)，同時啟動回收液存儲罐25、 待處理液存儲罐31和廢液存儲罐23內(nèi)所安裝的電動攪拌器。303、成品切割砂漿復(fù)配啟動泵送設(shè)備二 32和泵送設(shè)備四34，且通過碳化硅濃漿泵送管道19和回收液泵送管道沈?qū)⒉襟E302中分離提純后的可再利用碳化硅和可再利用漿液均泵送至成品砂漿存儲罐1內(nèi)，同時根據(jù)成品切割砂漿的設(shè)計配比以及由碳化硅濃漿泵送管道19和回收液泵送管道沈泵送至成品砂漿存儲罐1內(nèi)的可再利用碳化硅和可再利用漿液的數(shù)量，計算得出需補充提供的碳化硅微粉數(shù)量和切割液數(shù)量，并通過所述碳化硅微粉補充管道和切割液補充管道向成品砂漿存儲罐1內(nèi)補充提供對應(yīng)數(shù)量的碳化硅微粉和切割液，之后通過成品砂漿存儲罐1內(nèi)安裝的電動攪拌器進行均勻混合攪拌，獲得復(fù)配后的成品切割砂漿待用。步驟303中成品切割砂漿復(fù)配結(jié)束后，再返回步驟一，循環(huán)進行砂漿供給、砂漿回收和廢砂漿分離提純、復(fù)配及循環(huán)利用。綜上，實際進行分離提純時，先采用自動沉降式離心機將廢砂漿中粒徑> 4. 5μπι 的碳化硅微粉分離，并收集可使用的碳化硅微粉與待處理液，然后在35 45°C下采用長徑比為4. 5的自動沉降式離心機將待處理液中粒徑< 4. 5 μ m的碳化硅及硅粉與切割液分離， 再通過板框過濾機進一步凈化回收切割液，獲得密度達到1. 13g/cm3的回收液，最后將分離出的粒徑> 4. 5μπι的碳化硅微粉與回收液混合，再適當(dāng)補充新的碳化硅微粉與新的切割液攪拌攪拌均勻，即制得成品切割砂漿存入成品砂漿存儲罐1中以供使用。之后，通過供給系統(tǒng)將成品切割砂漿供給于多臺多線切割機四，實現(xiàn)切割砂漿循環(huán)回收利用的供給過程。本實施例中，首先在成品砂漿存儲罐1中配制1200L新砂漿，繼續(xù)攪動30min以保證成品切割砂漿中碳化硅達到良好分散；依次開啟回流閥4和供給泵2，待成品切割砂漿從主供給管道3通過回流閥4流入輔助回流管道5，再進入成品砂漿存儲罐1中5min后，打開通向1、2和3號多線切割機的支供給管道6上所安裝的支供給管道控制閥27，使成品切割砂漿注入多線切割機20的砂漿罐30，達到要求時關(guān)閉道倒U型管道上的支供給管道控制閥27，即完成自動供給砂漿過程。1、2和3號多線切割機他后完成切割任務(wù)，此時啟動回抽泵9，同時開啟通向1、2和3號多線切割機的廢液回抽支管道12上的支回抽管道控制閥觀，待有少量空氣進入廢液回抽支管道12時，關(guān)閉支回抽管道控制閥觀，完成整個砂漿的供給與循環(huán)過程。進行分離提純時，采用泵送設(shè)備一 16以2000L/h流量將廢液回收罐11內(nèi)存儲的廢砂漿注入自動沉降式離心機，將廢液分離為粒徑> 4. 5μπι的碳化硅稠漿與待處理液；之后用泵送設(shè)備二 32以2000L/h流量將溫度為35 45°C的待處理液注入長徑比為4. 5的自動沉降式離心機中，以分離待處理液中粒徑<4. 5μπι的碳化硅粉與硅粉，獲得密度為 1. 13g/cm3的回收液，再將回收液與回收碳化硅(粒徑>4.5 μ m)注入成品砂漿存儲罐1內(nèi)進行充分?jǐn)嚢杌旌?，測量密度，計算需要補充的新碳化硅量和新切割液量并通過碳化硅補充管道和切割液補充管道進行補充，加入成品砂漿存儲罐1內(nèi)充分?jǐn)嚢?h即得成品切割砂漿。上述多線切割機切割過程中，砂漿供給與循環(huán)回收兩個重要環(huán)節(jié)的全部操作實現(xiàn)了在線、連續(xù)進行。實際操作時，可以根據(jù)實際具體需要對上述參數(shù)進行相應(yīng)調(diào)整。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例，并非對本實用新型作任何限制，凡是根據(jù)本實用新型技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于包括成品砂漿存儲罐(1)、主供給管道(3)、輔助回流管道(5)、支供給管道(6)、廢液回抽主管道(10)、廢液回抽支管道 (12)、對多線切割機09)切割使用后的廢砂漿進行回收并存儲的廢液回收罐(11)、對廢砂漿進行分離提純處理并提取出廢砂漿中能再次投入使用的可再利用碳化硅和可再利用漿液的廢砂漿分離提純設(shè)備、對可再利用碳化硅和可再利用漿液分別進行存儲的碳化硅濃漿存儲罐(14)和回收液存儲罐(25)、將碳化硅濃漿存儲罐(14)存儲的可再利用碳化硅濃漿泵送至成品砂漿存儲罐(1)的碳化硅濃漿泵送管道(19)、將回收液存儲罐0 內(nèi)存儲的可再利用漿液泵送至成品砂漿存儲罐(1)的回收液泵送管道( )、以及向成品砂漿存儲罐 (1)內(nèi)補充提供切割液和碳化硅微粉的切割液補充管道和碳化硅微粉補充管道；所述成品砂漿存儲罐(1)、碳化硅濃漿存儲罐(14)、回收液存儲罐0 和廢液回收罐(11)的罐體內(nèi)均安裝有電動攪拌器；所述主供給管道C3)為由進液口至出液口逐漸向上傾斜的傾斜向管道一且所述傾斜向管道一與水平方向間的夾角Q1SKT < Ci1 <20° ；所述主供給管道 (3)與成品砂漿存儲罐(1)出液口相接；所述廢砂漿分離提純設(shè)備的進液口通過廢液泵送管道(1 與廢液回收罐(11)的出液口相接，碳化硅濃漿泵送管道(19)的一端與碳化硅濃漿存儲罐(14)的出液口相接且其另一端伸入至成品砂漿存儲罐(1)內(nèi)，回收液泵送管道06)的一端與回收液存儲罐05)的出液口相接且其另一端伸入至成品砂漿存儲罐(1)內(nèi)；所述廢液泵送管道(15)、碳化硅濃漿泵送管道(19)和回收液泵送管道06)上分別安裝有泵送設(shè)備一(16)、泵送設(shè)備二(32) 和泵送設(shè)備四(34)，所述主供給管道C3)上安裝有供給泵O)，所述廢液回抽主管道(10) 上安裝有回抽泵(9)；所述輔助回流管道( 的一端與主供給管道C3)的出液口相接且二者之間安裝有回流閥G)，所述輔助回流管道(5)的另一端伸入至成品砂漿存儲罐(1)內(nèi)；所述主供給管道(3)和支供給管道(6)連通組成向提供多線切割機09)切割用成品切割砂漿的砂漿供給管道，所述支供給管道(6)包括豎直向供給管道(6-1)和與豎直向供給管道(6-1)相接的倒U字形供給管道(6-2)，所述倒U字形供給管道(6-2)的一端安裝在主供給管道C3)上且其與主供給管道C3)相通，所述倒U字形供給管道(6-2)的另一端與豎直向供給管道(6-1)的上端相接且豎直向供給管道(6-1)的下端伸入至多線切割機09) 的砂漿罐(30)內(nèi)；所述倒U字形供給管道(6- 上安裝有支供給管道控制閥(XT)；所述廢液回抽主管道(10)和廢液回抽支管道(12)連通組成將多線切割機09)切割使用后的廢砂漿回抽至廢液回收罐(11)的砂漿回抽管道，所述廢液回抽支管道(1 包括豎直向回抽管道(12-1)和與豎直向回抽管道(12-1)相接的倒U字形回抽管道(12-2)，所述倒U字形回抽管道(12- 的一端安裝在廢液回抽主管道(10)上且其與廢液回抽主管道 (10)相通，所述倒U字形回抽管道(12- 的另一端與豎直向回抽管道(12-1)的上端相接且豎直向回抽管道(12-1)的下端伸入至多線切割機09)的砂漿罐(30)內(nèi)；所述倒U字形回抽管道(12- 上安裝有支回抽管道控制閥08)。
2.按照權(quán)利要求1所述的多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于所述多線切割機09)的數(shù)量為多臺，所述支供給管道(6)和廢液回抽支管道(1 的數(shù)量均為多個且二者的數(shù)量均與多線切割機09)的數(shù)量相同，多個支供給管道(6)的安裝方式均相同且均并行安裝在主供給管道(3)上，多個廢液回抽支管道(12)的安裝方式均相同且均并行安裝在廢液回抽主管道(10)上，多個支供給管道(6)和多個廢液回抽支管道(1 的下端分別伸入至多臺多線切割機09)的砂漿罐(30)內(nèi)。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于所述傾斜向管道一與水平方向間的夾角Ci1SKT < Ci1 <15°。
4.按照權(quán)利要求1或2所述的多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于還包括呈豎直向布設(shè)的回凈管道(8)和安裝在回凈管道(8)上的回凈閥(7)，所述回凈管道(8)的上端與主供給管道C3)相接且其下端伸入至成品砂漿存儲罐(1)內(nèi)。
5.按照權(quán)利要求1或2所述的多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于所述廢液回抽主管道(10)為由進液口至出液口逐漸向下傾斜的傾斜向管道二且傾斜向管道二與水平方向間的夾角02為10° < α2<20°。
6.按照權(quán)利要求1或2所述的多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于還包括待處理液存儲罐(31)和對不能再次投入使用的不可利用漿液進行存儲的廢液存儲罐 (23)，所述待處理液存儲罐(31)和廢液存儲罐內(nèi)均安裝有電動攪拌器；所述廢砂漿分離提純設(shè)備為兩級離心分離設(shè)備，且其包括對廢液回收罐(11)內(nèi)所存儲的廢砂漿進行離心分離并獲得可再利用碳化硅和待處理液的離心分離設(shè)備一(13)和對所述待處理液進行進一步分離并獲得可再利用漿液和不可利用漿液的離心分離設(shè)備二 ；所述碳化硅濃漿存儲罐(14)和待處理液存儲罐(31)分別通過碳化硅回收管道(17)和待處理液回收管道(18)與布設(shè)在離心分離設(shè)備一(1 下部的兩個出液口相接；所述待處理液存儲罐 (31)的出液口通過待處理液泵送管道00)與離心分離設(shè)備二的進液口相接，離心分離設(shè)備二的兩個出液口分別通過廢液流通管道0 和回收液流通管道04)與廢液存儲罐和回收液存儲罐0 相接，所述待處理液泵送管道OO)上安裝有泵送設(shè)備三(33)。
7.按照權(quán)利要求6所述的多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于還包括安裝在回收液流通管道04)上且對離心分離設(shè)備二分離后的可再利用漿液進行進一步凈化并獲得密度為1. 13g/cm3的可再利用漿液的固液分離設(shè)備。
8.按照權(quán)利要求6所述的多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于所述離心分離設(shè)備一(13)和離心分離設(shè)備二均為自動沉降式離心機，所述固液分離設(shè)備為板框過濾機。
9.按照權(quán)利要求1或2所述的多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于所述支供給管道控制閥(XT)和支回抽管道控制閥08)均為電磁控制閥或氣動控制閥；所述供給泵O)、回抽泵(9)、泵送設(shè)備一(16)、泵送設(shè)備二(32)、泵送設(shè)備三(3 和泵送設(shè)備四(34)均為隔膜泵、螺桿泵或容積式泵。
10.按照權(quán)利要求9所述的多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，其特征在于還包括主控制器，所述泵送設(shè)備一(16)、泵送設(shè)備二(32)、泵送設(shè)備三(33)、泵送設(shè)備四(34)、供給泵 (2)和回抽泵(9)均為電動泵，所述回流閥G)、回凈閥(7)、支供給管道控制閥(XT)和支回抽管道控制閥08)均為電磁控制閥，所述泵送設(shè)備一(16)、泵送設(shè)備二(32)、泵送設(shè)備三(33)、泵送設(shè)備四(34)、供給泵O)、回抽泵(9)、回流閥0)、回凈閥(7)、支供給管道控制閥(27)、支回抽管道控制閥( )、離心分離設(shè)備一(13)和離心分離設(shè)備二以及成品砂漿存儲罐(1)、廢液回收罐(11)、碳化硅存儲罐(14)、待處理液存儲罐(31)、廢液存儲罐和回收液存儲罐0 內(nèi)所安裝的電動攪拌器均與主控制器相接且均由主控制器進行控制。
專利摘要本實用新型公開了一種多線切割機砂漿循環(huán)及供給系統(tǒng)，包括成品砂漿存儲罐、由主供給管道和支供給管道連通組成的砂漿供給管道、輔助回流管道、由廢液回抽主管道和廢液回抽支管道連通組成的砂漿回抽管道、廢液回收罐、廢砂漿分離提純設(shè)備、碳化硅濃漿存儲罐和回收液存儲罐、碳化硅濃漿泵送管道、回收液泵送管道以及切割液補充管道和碳化硅微粉補充管道，支供給管道包括豎直向供給管道和倒U字形供給管道，廢液回抽支管道包括豎直向回抽管道和倒U字形回抽管道。本實用新型設(shè)計合理、操作簡便、能實現(xiàn)多臺切割機同時供給且各管道無砂漿存留，工作效率高且生產(chǎn)成本低，能改善工作環(huán)境，減少環(huán)境污染，實現(xiàn)資源循環(huán)利用并能保證砂漿質(zhì)量。
文檔編號B28D7/00GK202006519SQ20112001377
公開日2011年10月12日 申請日期2011年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月17日
發(fā)明者楊國農(nóng), 楊易, 賀鵬 申請人:西安華晶電子技術(shù)股份有限公司