專利名稱：薄化玻璃襯底的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例涉及一種薄化玻璃襯底的設(shè)備。更具體地說，本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例涉及一種薄化平板顯示裝置的玻璃襯底的設(shè)備。
背景技術(shù)：
例如液晶顯示(liquid crystal display，LCD)裝置、等離子顯示面板(plasma display panel，PDP)裝置、電致發(fā)光顯示(electroluminescentdisplay，ELD)裝置和真空熒光顯示(vacuum fluorescent display，VFD)裝置的平板顯示裝置通常包含氧化硅玻璃襯底。由于平板顯示裝置的整體重量是由玻璃襯底的重量確定的，因而不斷減小玻璃襯底的重量以便獲得具有較輕重量的平板顯示裝置。
一般來說，通過薄化玻璃襯底的厚度來減小用于平板顯示裝置的玻璃襯底的重量。對(duì)于LCD裝置中使用的玻璃襯底來說，可將玻璃襯底的厚度從約1.2mm減小到約0.8mm。近來，LCD裝置的玻璃襯底具有低于約0.6mm的超薄厚度。
在薄化玻璃襯底的過程中，經(jīng)處理的玻璃襯底應(yīng)具有較薄且均勻的厚度，因?yàn)楫?dāng)經(jīng)處理的玻璃襯底具有不規(guī)則表面時(shí)，包含所述經(jīng)處理的玻璃襯底的平板顯示裝置可能具有較差的顯示質(zhì)量。
在薄化玻璃襯底的一個(gè)常規(guī)方法中，將玻璃襯底浸漬到存儲(chǔ)在浴槽中的化學(xué)物中，且接著由所述化學(xué)物蝕刻玻璃襯底。然而，因?yàn)樵趯⒉Ａбr底浸漬在化學(xué)物中時(shí)玻璃襯底遭到蝕刻，所以玻璃襯底可能不具有所需的均勻厚度。
根據(jù)薄化玻璃襯底的另一常規(guī)方法，在浴槽的底面上提供起泡器或噴射嘴，且接著使化學(xué)物起泡或朝向垂直設(shè)置在浴槽中的玻璃襯底噴射。玻璃襯底可能具有均勻的厚度，然而，由化學(xué)物與玻璃襯底之間的反應(yīng)產(chǎn)生的反應(yīng)副產(chǎn)物會(huì)頻繁地附著到玻璃襯底上。當(dāng)反應(yīng)副產(chǎn)物附著到玻璃襯底上時(shí)，會(huì)引起玻璃襯底的失效，且包含此類玻璃襯底的平板顯示裝置會(huì)具有劣化的特征，例如較差的顯示質(zhì)量、低可靠性、減少的使用壽命等。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例提供一種薄化玻璃襯底的設(shè)備，其能夠獲得具有理想的均勻且較薄厚度的玻璃襯底，且同時(shí)防止反應(yīng)副產(chǎn)物附著到玻璃襯底上。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種薄化玻璃襯底的設(shè)備，其包含至少一個(gè)化學(xué)物噴射部件(chemical spray member)、化學(xué)物供應(yīng)部件(chemicalsupply member)以及浴槽(bath)。所述化學(xué)物噴射部件包含第一管和包圍所述第一管的第二管。所述第一管具有沿著第一方向設(shè)置的多個(gè)第一噴射孔(spray hole)。所述第二管具有沿著第二方向設(shè)置在第二管的側(cè)部處的至少一個(gè)第二噴射孔。所述化學(xué)物供應(yīng)部件包含連接管(connectiontube)和壓泵(press pump)。所述連接管耦合到所述化學(xué)物噴射部件，且所述壓泵設(shè)置在連接管的端部處。所述浴槽包含用于存儲(chǔ)化學(xué)物的化學(xué)物容納部件(chemical receiving member)以及設(shè)置在所述化學(xué)物容納部件上的圍欄(fence)。所述圍欄容納所述化學(xué)物噴射部件。使用壓泵將化學(xué)物均勻地噴射在設(shè)置在所述圍欄中的至少一個(gè)玻璃襯底的整個(gè)表面上，以在薄化玻璃襯底時(shí)移除附著在玻璃襯底上的反應(yīng)副產(chǎn)物。由化學(xué)物容納部件收集噴射在玻璃襯底上的化學(xué)物。
在本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例中，所述第一方向可實(shí)質(zhì)上平行于所述第一管的縱長(zhǎng)方向。另外，所述第一方向可實(shí)質(zhì)上平行于所述第二方向。
在本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例中，所述第一管可具有實(shí)質(zhì)上圓形的橫截面或?qū)嵸|(zhì)上橢圓形的橫截面，且所述第二管可具有多邊形橫截面。
在本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例中，所述第一管的外表面可與所述第二管的內(nèi)表面進(jìn)行接觸。
在本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例中，連接管可包含具有可變長(zhǎng)度的軟管(flexible tube)，且所述化學(xué)物噴射部件可根據(jù)連接管的長(zhǎng)度變化，沿著垂直方向和/或水平方向移動(dòng)。
在本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例中，所述第二管可包含設(shè)置在所述第二管的一個(gè)側(cè)部處的一個(gè)第二噴射孔，且所述設(shè)備可包含設(shè)置在所述玻璃襯底的上表面和下表面附近處的兩個(gè)化學(xué)物噴射部件。所述第一管的第一噴射孔可朝向所述第二管的第二噴射孔設(shè)置。
在本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例中，第二管可包含設(shè)置在第二管的相對(duì)側(cè)部處的兩個(gè)第二噴射孔，且兩個(gè)玻璃襯底可分別設(shè)置在所述第二噴射孔附近處。第一孔可以預(yù)定間隔均勻設(shè)置。
在本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例中，所述化學(xué)物可包含例如氟化氫銨(NH4HF2)的氟化鹽。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種薄化玻璃襯底的設(shè)備，其包含至少一個(gè)空氣噴射部件和至少一個(gè)化學(xué)物供應(yīng)部件。所述空氣噴射部件包含第一管和第二管。所述第一管具有沿著第一方向設(shè)置的多個(gè)第一噴射孔，且所述第二管具有沿著第二方向通過所述第二管的至少一個(gè)側(cè)部設(shè)置的至少一個(gè)第二噴射孔。所述化學(xué)物供應(yīng)部件設(shè)置在玻璃襯底的側(cè)面附近處。從化學(xué)物供應(yīng)部件提供的化學(xué)物向下流動(dòng)到玻璃襯底的上表面和下表面上，且將空氣從空氣噴射部件提供到玻璃襯底的上表面和下表面上，以便在薄化玻璃襯底時(shí)從玻璃襯底處移除反應(yīng)副產(chǎn)物。
在本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例中，所述空氣噴射部件可相對(duì)于玻璃襯底沿著垂直方向移動(dòng)。
在本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例中，所述空氣噴射部件可相對(duì)于化學(xué)物供應(yīng)部件垂直設(shè)置。
在本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例中，可將兩個(gè)空氣噴射部件提供在玻璃襯底的上表面和下表面附近處。這里，可將兩個(gè)化學(xué)物供應(yīng)部件提供在玻璃襯底的一個(gè)側(cè)面附近處。
根據(jù)本發(fā)明，通過使用所述薄化玻璃襯底的設(shè)備可在薄化玻璃襯底時(shí)從玻璃襯底處移除反應(yīng)副產(chǎn)物。因此，通過防止反應(yīng)副產(chǎn)物附著到玻璃襯底上，玻璃襯底可理想地具有均勻且較薄的厚度。因此，可在例如LCD裝置、PDP裝置、ELD裝置、VFD裝置等的平板顯示裝置中良好地使用所述玻璃襯底。


在結(jié)合附圖來考慮時(shí)通過參考以下詳細(xì)描述，將易于了解本發(fā)明的上述和其它特征和優(yōu)點(diǎn)，在附圖中圖1是說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例的薄化玻璃襯底的設(shè)備的透視圖。
圖2是說明圖1中的所述薄化玻璃襯底的設(shè)備的化學(xué)物噴射部件的橫截面圖。
圖3是說明圖2中的化學(xué)物噴射部件的第一管的放大透視圖。
圖4是說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例的薄化玻璃襯底的設(shè)備的化學(xué)物噴射部件的橫截面圖。
圖5是說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例的薄化玻璃襯底的設(shè)備的橫截面圖。
具體實(shí)施例方式
下文將參考附圖來詳細(xì)描述本發(fā)明。
圖1是說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例的薄化玻璃襯底的設(shè)備的透視圖。圖2是說明圖1中的薄化玻璃襯底的設(shè)備的化學(xué)物噴射部件的橫截面圖。圖3是說明圖2中的化學(xué)物噴射部件的第一管的放大透視圖。
參看圖1和圖2，薄化玻璃襯底的設(shè)備包含化學(xué)物噴射部件10。所述化學(xué)物噴射部件10包含第一管100和第二管110。
參看圖2和圖3，化學(xué)物噴射部件10的第一管100包含多個(gè)第一噴射孔100a，且化學(xué)物噴射部件10的第二管110包含至少一個(gè)第二噴射孔110a。
第一管100安裝在第二管110中。因此，第一管100可對(duì)應(yīng)于內(nèi)部管，而第二管可對(duì)應(yīng)于包圍所述內(nèi)部管的外部管。在某些實(shí)例性實(shí)施例中，第一管100可具有圓形橫截面、橢圓形橫截面或任何其它合適的橫截面。第二管110可具有例如六邊形橫截面的多邊形橫截面。第一管100的外圓周面可與第二管110的內(nèi)表面進(jìn)行接觸。舉例來說，兩個(gè)接觸點(diǎn)可設(shè)置在第一管100的外圓周面與第二管110的內(nèi)表面之間。
化學(xué)物噴射部件10可具有根據(jù)玻璃襯底40的狀態(tài)和/或薄化玻璃襯底的設(shè)備的尺寸而變化的長(zhǎng)度。在實(shí)例性實(shí)施例中，化學(xué)物噴射部件10可在薄化玻璃襯底40時(shí)具有與玻璃襯底40的長(zhǎng)度實(shí)質(zhì)上相同的長(zhǎng)度。當(dāng)化學(xué)物噴射部件10的長(zhǎng)度短于玻璃襯底40的長(zhǎng)度時(shí)，不能將化學(xué)物均勻地噴射到玻璃襯底40的整個(gè)表面上。當(dāng)化學(xué)物噴射部件10的長(zhǎng)度長(zhǎng)于玻璃襯底40的長(zhǎng)度時(shí)，可降低薄化玻璃襯底的設(shè)備的效率。
在本發(fā)明的某些實(shí)例性實(shí)施例中，第一管100的第一噴射孔100a沿著第一方向設(shè)置。第一方向可實(shí)質(zhì)上平行于第一管100的縱長(zhǎng)方向。兩個(gè)第二噴射孔110a設(shè)置在第二管110的相應(yīng)側(cè)部處。第二噴射孔110a可沿著實(shí)質(zhì)上平行于第一方向的第二方向延伸。也就是說，第二噴射孔110a可具有延伸通過第二管110的相對(duì)側(cè)部的直線形狀。第二管110的第二噴射孔110a可經(jīng)定位以便將化學(xué)物垂直地噴射到玻璃襯底40上。當(dāng)通過第二管110的兩個(gè)側(cè)部形成第二噴射孔110a時(shí)，可以預(yù)定間隔來均勻設(shè)置第一噴射孔100a。
在本發(fā)明的某些實(shí)例性實(shí)施例中，由于化學(xué)物噴射部件10的特定配置，可將化學(xué)物均勻地提供到玻璃襯底40的整個(gè)表面上。具體地說，由于包含多個(gè)第一噴射孔100a的第一管100設(shè)置在第二管110中，且第二管110包含具有直線形狀的第二噴射孔110a，因而在薄化玻璃襯底40時(shí)可將化學(xué)物均勻地噴射到玻璃襯底40的整個(gè)表面上。
圖4是說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例的薄化玻璃襯底的設(shè)備的化學(xué)物噴射部件的橫截面圖。
參看圖4，化學(xué)物噴射部件10′包含具有多個(gè)第一噴射孔100a′的第一管100′以及具有一個(gè)第二噴射孔110a′的第二管110′。
第一管100′設(shè)置在第二管110′中。第一和第二管100′和110′可具有實(shí)質(zhì)上與圖2所示的第一和第二管100和110的配置相同的配置。
第二噴射孔110a′可設(shè)置在第二管110′的一個(gè)側(cè)部處。第二噴射孔110a′可面向玻璃襯底。第一噴射孔100a′也可形成在第一管100′的一個(gè)側(cè)部處。第一管100′的第一噴射孔100a′可朝向第二管110′的第二噴射孔110a′設(shè)置。舉例來說，第一噴射孔100a′可以預(yù)定間隔均勻地定位在第一管100′的一個(gè)側(cè)部處。在某些實(shí)例性實(shí)施例中，薄化玻璃襯底的設(shè)備可包含多個(gè)化學(xué)物噴射部件。這里，化學(xué)物噴射部件中的第二管的第二噴射孔中的每一者可朝向玻璃襯底的整個(gè)表面定位。
在本發(fā)明的某些實(shí)例性實(shí)施例中，如圖2所示，當(dāng)從化學(xué)物噴射部件的兩個(gè)側(cè)部提供化學(xué)物時(shí)，可將兩個(gè)玻璃襯底設(shè)置在一個(gè)化學(xué)物噴射部件的兩個(gè)側(cè)部附近處。
在本發(fā)明的某些實(shí)例性實(shí)施例中，如圖4所示，當(dāng)分別從化學(xué)物噴射部件的每一側(cè)部噴射化學(xué)物時(shí)，可將兩個(gè)化學(xué)物噴射部件設(shè)置在玻璃襯底的上表面和下表面附近處。
現(xiàn)參看圖1，薄化玻璃襯底的設(shè)備進(jìn)一步包含化學(xué)物供應(yīng)部件20?；瘜W(xué)物供應(yīng)部件20包含連接管210和壓泵200。
連接管210耦合到化學(xué)物噴射部件10，且壓泵200連接到連接管210的端部。在某些實(shí)例性實(shí)施例中，連接管210可包含具有可變長(zhǎng)度的軟管。也就是說，可根據(jù)化學(xué)物噴射管10的移動(dòng)來適當(dāng)調(diào)節(jié)連接管210的長(zhǎng)度。舉例來說，當(dāng)在用于薄化玻璃襯底40的過程中沿著垂直方向或水平方向移動(dòng)化學(xué)物噴射部件10時(shí)，可增加或減小連接管210的長(zhǎng)度。也就是說，可根據(jù)連接管210的長(zhǎng)度變化來上下或左右移動(dòng)化學(xué)物噴射部件10。
化學(xué)物供應(yīng)部件20的壓泵200向化學(xué)物加壓，且接著通過連接管210將經(jīng)加壓的化學(xué)物提供到化學(xué)物噴射部件10中。當(dāng)將經(jīng)加壓的化學(xué)物提供到玻璃襯底40的整個(gè)表面上時(shí)，可有效地進(jìn)行用于薄化玻璃襯底40的過程。
薄化玻璃襯底的設(shè)備可包含用于在垂直方向和/或水平方向上移動(dòng)玻璃襯底40的轉(zhuǎn)移部件(未圖示)。也就是說，在薄化玻璃襯底40時(shí)，可由轉(zhuǎn)移部件上下和/或左右移動(dòng)玻璃襯底40。
在本發(fā)明的某些實(shí)例性實(shí)施例中，當(dāng)將至少一個(gè)玻璃襯底40固定在至少一個(gè)化學(xué)物噴射部件10附近時(shí)，所述化學(xué)物噴射部件10可相對(duì)于所述玻璃襯底40在垂直方向和/或水平方向上移動(dòng)?；蛘撸趯⒅辽僖粋€(gè)化學(xué)物噴射部件10固定在至少一個(gè)玻璃襯底40附近時(shí)，所述玻璃襯底40可相對(duì)于所述化學(xué)物噴射部件10沿著垂直方向和/或水平方向移動(dòng)。
如圖1所示，薄化玻璃襯底的設(shè)備另外包含具有化學(xué)物容納部件300和圍欄310的浴槽30。
所述化學(xué)物容納部件300耦合到化學(xué)物供應(yīng)部件20?？赏ㄟ^化學(xué)物供應(yīng)部件20將存儲(chǔ)在化學(xué)物容納部件300中的化學(xué)物提供到化學(xué)物噴射部件10中。圍欄310設(shè)置在化學(xué)物容納部件300的外圍部分上。化學(xué)物噴射部件10安裝在圍欄310中。
在薄化玻璃襯底40的過程中，化學(xué)物噴射部件10可通過化學(xué)物供應(yīng)部件20的連接管210向位于浴槽30的圍欄310中的玻璃襯底40的整個(gè)表面均勻地提供由壓泵200加壓的化學(xué)物。因此，玻璃襯底40可具有較薄且均勻的厚度，且同時(shí)有效地從玻璃襯底40移除反應(yīng)副產(chǎn)物。
在本發(fā)明的某些實(shí)例性實(shí)施例中，在將化學(xué)物噴射到玻璃襯底40上之后，可將提供在玻璃襯底40上的化學(xué)物收集在浴槽30的化學(xué)物容納部件300中。因此，可在用于薄化玻璃襯底40的過程中很大程度上減少了化學(xué)物的量。當(dāng)經(jīng)收集的化學(xué)物中包含反應(yīng)副產(chǎn)物時(shí)，薄化玻璃襯底的設(shè)備可包含用于凈化經(jīng)收集的化學(xué)物的過濾器部件(未圖示)。所述過濾器部件可安裝在浴槽30與化學(xué)物供應(yīng)部件20之間，或安裝在化學(xué)物供應(yīng)部件20與化學(xué)物噴射部件10之間。
當(dāng)化學(xué)物存儲(chǔ)在圍欄310中時(shí)，可執(zhí)行用于薄化玻璃襯底40的過程。也就是說，可將玻璃襯底40浸漬在由圍欄310容納的化學(xué)物中，且接著可另外通過化學(xué)物噴射部件10將化學(xué)物噴射到玻璃襯底40的整個(gè)表面上。當(dāng)在將玻璃襯底40浸漬在存儲(chǔ)在圍欄310中的化學(xué)物中的同時(shí)執(zhí)行薄化玻璃襯底40的過程時(shí)，因?yàn)閲鷻?10中的化學(xué)物可向玻璃襯底40提供浮力，所以可更穩(wěn)定地處理玻璃襯底40。
在本發(fā)明的某些實(shí)例性實(shí)施例中，化學(xué)物可包含例如氟化氫銨(NH4HF2)的氟化鹽。當(dāng)化學(xué)物包含氟化鹽時(shí)，可有利地減少所收集的化學(xué)物中沉淀物的量。
圖5是說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)例性實(shí)施例的薄化玻璃襯底的設(shè)備的橫截面圖。
參看圖5，薄化玻璃襯底的設(shè)備包含至少一個(gè)空氣噴射部件60?？諝鈬娚洳考?0可具有與圖2所示的化學(xué)物噴射部件10或與圖4所示的化學(xué)物噴射部件10′的配置實(shí)質(zhì)上相同的配置?？諝鈬娚洳考?0可將空氣而不是化學(xué)物噴射到玻璃襯底40上。
空氣噴射部件40包含具有多個(gè)第一噴射孔的第一管以及具有至少一個(gè)第二噴射孔的第二管。第一噴射孔可沿著實(shí)質(zhì)上平行于第一管的縱長(zhǎng)方向的方向延伸。第二噴射孔可設(shè)置在第二管的側(cè)部處。如上所述，第二噴射孔可具有直線形狀。
在本發(fā)明的某些實(shí)例性實(shí)施例中，薄化玻璃襯底的設(shè)備除空氣噴射部件60之外進(jìn)一步包含至少一個(gè)化學(xué)物供應(yīng)部件70。舉例來說，兩個(gè)化學(xué)物供應(yīng)部件70可設(shè)置在玻璃襯底40的上表面和下表面附近處。從化學(xué)物供應(yīng)部件70提供的化學(xué)物可向下流動(dòng)到玻璃襯底40的上表面和下表面上。
在本發(fā)明的某些實(shí)例性實(shí)施例中，兩個(gè)空氣噴射部件60可分別相對(duì)于兩個(gè)化學(xué)物供應(yīng)部件70垂直設(shè)置。舉例來說，空氣噴射部件60可相對(duì)于玻璃襯底40的上表面和下表面垂直定位，而化學(xué)物供應(yīng)部件70可相對(duì)于玻璃襯底40的一個(gè)側(cè)面垂直設(shè)置。
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)例性實(shí)施例中，空氣噴射部件60可相對(duì)于玻璃襯底40沿著垂直方向移動(dòng)，如圖5所示?；蛘?，空氣噴射部件60可相對(duì)于玻璃襯底40沿著水平方向移動(dòng)。也就是說，在薄化玻璃襯底40時(shí)，空氣噴射部件60可相對(duì)于玻璃襯底40上下或左右移動(dòng)。這里，在移動(dòng)空氣噴射部件60時(shí)，可將玻璃襯底40固定住。
在本發(fā)明的另一實(shí)例性實(shí)施例中，在固定住空氣噴射部件60時(shí)，玻璃襯底40可相對(duì)于空氣噴射部件60沿著垂直方向或水平方向移動(dòng)。
在本發(fā)明的又一實(shí)例性實(shí)施例中，在薄化玻璃襯底40時(shí)，玻璃襯底40和空氣噴射部件60可相對(duì)于彼此移動(dòng)。
當(dāng)將化學(xué)物從至少一個(gè)化學(xué)物供應(yīng)部件70提供到玻璃襯底40上且將空氣從至少一個(gè)空氣噴射部件60噴射到玻璃襯底40上時(shí)，玻璃襯底40可具有均勻且較薄的厚度，且同時(shí)有效地從玻璃襯底40處移除反應(yīng)副產(chǎn)物。
在本發(fā)明的某些實(shí)例性實(shí)施例中，所述空氣噴射部件60可向玻璃襯底40提供化學(xué)物而不是空氣。
如上所述，化學(xué)物可包含例如氟化氫銨(NH4HF2)的氟化鹽，以使得可有利地減少所收集的化學(xué)物中沉淀物的量。
根據(jù)本發(fā)明，一種薄化玻璃襯底的設(shè)備可提供具有理想的較薄且均勻厚度的玻璃襯底。另外，當(dāng)可由化學(xué)物與玻璃襯底之間的反應(yīng)產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物時(shí)，反應(yīng)副產(chǎn)物不會(huì)在用于薄化玻璃襯底的過程中附著到玻璃襯底上。因此，可有效防止由反應(yīng)副產(chǎn)物引起的玻璃襯底的失效。此外，具有較薄且均勻厚度的玻璃襯底可有利地用于平板顯示裝置，以便確保平板顯示裝置的高質(zhì)量。
前述是對(duì)本發(fā)明的說明，且不應(yīng)理解為對(duì)其進(jìn)行限制。盡管已描述本發(fā)明的數(shù)個(gè)實(shí)例性實(shí)施例，但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將易于了解，在不顯著脫離本發(fā)明的新穎教示和優(yōu)點(diǎn)的情況下，實(shí)例性實(shí)施例中的許多修改都是可能的。因此，期望所有此類修改都包含在如權(quán)利要求書中所界定的本發(fā)明范圍中。在權(quán)利要求書中，期望構(gòu)件+功能分句涵蓋本文中被描述為執(zhí)行所述功能的結(jié)構(gòu)，且不僅涵蓋結(jié)構(gòu)等效物，而且涵蓋等效結(jié)構(gòu)。因此，應(yīng)了解，前述是對(duì)本發(fā)明的說明，且不應(yīng)理解為限于所揭示的特定實(shí)施例，且期望對(duì)所揭示的實(shí)施例以及其它實(shí)施例的修改包含在所附權(quán)利要求書的范圍中。本發(fā)明由所附權(quán)利要求書界定，且其中包含權(quán)利要求書的等效物。
權(quán)利要求
1.一種薄化玻璃襯底的設(shè)備，其特征在于包括至少一個(gè)化學(xué)物噴射部件，其包含第一管以及包圍所述第一管的第二管，所述第一管具有沿著第一方向設(shè)置的多個(gè)第一噴射孔，所述第二管具有沿著第二方向設(shè)置在所述第二管的側(cè)部處的至少一個(gè)第二噴射孔；化學(xué)物供應(yīng)部件，其包含連接管以及壓泵，所述連接管耦合到所述化學(xué)物噴射部件，所述壓泵設(shè)置在所述連接管的端部處；以及浴槽，其包含用于存儲(chǔ)化學(xué)物的化學(xué)物容納部件以及設(shè)置在所述化學(xué)物容納部件上的圍欄，所述圍欄容納所述化學(xué)物噴射部件，其中通過使用所述壓泵將所述化學(xué)物均勻地噴射在設(shè)置在所述圍欄中的至少一個(gè)玻璃襯底的整個(gè)表面上，以在薄化所述玻璃襯底時(shí)移除附著在所述玻璃襯底上的反應(yīng)副產(chǎn)物，且由所述化學(xué)物容納部件收集噴射在所述玻璃襯底上的所述化學(xué)物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于其中所述第一方向?qū)嵸|(zhì)上平行于所述第一管的縱長(zhǎng)方向，且所述第一方向?qū)嵸|(zhì)上平行于所述第二方向。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于其中所述第一管具有實(shí)質(zhì)上圓形的橫截面或?qū)嵸|(zhì)上橢圓形的橫截面，且所述第二管具有多邊形橫截面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于其中所述第一管的外表面與所述第二管的內(nèi)表面進(jìn)行接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于其中所述連接管包括具有可變長(zhǎng)度的軟管，且所述化學(xué)物噴射部件根據(jù)所述連接管的長(zhǎng)度變化而沿著垂直方向和/或水平方向移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于其中所述第二管包括設(shè)置在所述第二管的一個(gè)側(cè)部處的一個(gè)第二噴射孔，且所述設(shè)備包括設(shè)置在所述玻璃襯底的上表面和下表面附近處的兩個(gè)化學(xué)物噴射部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于其中所述第一管的所述第一噴射孔朝向所述第二管的所述第二噴射孔設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于其中所述第二管包括設(shè)置在所述第二管的相對(duì)側(cè)部處的兩個(gè)第二噴射孔，且兩個(gè)玻璃襯底分別設(shè)置在所述第二噴射孔附近處。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于其中所述第一孔以預(yù)定間隔均勻地設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于其中所述化學(xué)物包括氟化鹽。
11.一種薄化玻璃襯底的設(shè)備，其特征在于其包括至少一個(gè)空氣噴射部件，其包含第一管以及第二管，所述第一管具有沿著第一方向設(shè)置的多個(gè)第一噴射孔，所述第二管具有沿著第二方向通過所述第二管的至少一個(gè)側(cè)部設(shè)置的至少一個(gè)第二噴射孔；以及至少一個(gè)化學(xué)物供應(yīng)部件，其設(shè)置在玻璃襯底的側(cè)面附近處，其中從所述化學(xué)物供應(yīng)部件處提供的化學(xué)物向下流動(dòng)到所述玻璃襯底的上表面和下表面上，且將空氣從所述空氣噴射部件提供到所述玻璃襯底的所述上表面和所述下表面上以在薄化所述玻璃襯底時(shí)從所述玻璃襯底移除反應(yīng)副產(chǎn)物。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于其中所述空氣噴射部件相對(duì)于所述玻璃襯底沿著垂直方向移動(dòng)。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于其中所述空氣噴射部件相對(duì)于所述化學(xué)物供應(yīng)部件垂直設(shè)置。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于其中將兩個(gè)空氣噴射部件提供在所述玻璃襯底的所述上表面和所述下表面附近處。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其特征在于其中將兩個(gè)化學(xué)物供應(yīng)部件提供在所述玻璃襯底的一個(gè)側(cè)面附近處。
全文摘要
本發(fā)明提供一種薄化玻璃襯底的設(shè)備，其包含至少一個(gè)化學(xué)物噴射部件、化學(xué)物供應(yīng)部件以及浴槽?；瘜W(xué)物噴射部件包含第一管和包圍所述第一管的第二管。第一管具有沿著第一方向設(shè)置的多個(gè)第一噴射孔。第二管具有沿著第二方向設(shè)置在第二管的側(cè)部處的至少一個(gè)第二噴射孔。化學(xué)物供應(yīng)部件包含連接管以及壓泵。連接管耦合到化學(xué)物噴射部件，且壓泵設(shè)置在連接管的端部處。浴槽包含用于存儲(chǔ)化學(xué)物的化學(xué)物容納部件以及設(shè)置在化學(xué)物容納部件上的圍欄。圍欄容納化學(xué)物噴射部件。
文檔編號(hào)C03C15/00GK101033116SQ200710079820
公開日2007年9月12日 申請(qǐng)日期2007年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月17日
發(fā)明者李起元, 崔承珠, 成珖柱 申請(qǐng)人:智圓技術(shù)株式會(huì)社