專利名稱：合成石英玻璃中微正壓測(cè)控方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及高性能石英玻璃制備過程中的控制方法和系統(tǒng)，特別涉及到用四氯化硅汽相沉積合成III類和IV類高性能特種石英玻璃中的微正壓控制。
背景技術(shù)：
透明石英玻璃在工業(yè)上有廣泛的用途，主要有以下四種主要類型和制備方法I類以天然水晶或石英砂為原料，用電熱法熔制的透明石英玻璃。熔制的氣氛有惰性氣氛、氫氣氣氛，也可以是真空。在真空或惰性氣氛下熔制的石英玻璃中羥基(-OH)含量低于5ppm(ppm＝1×10-4％)；在氫氣氣氛下熔制的石英玻璃中羥基含量可達(dá)到150ppm。此類石英玻璃的雜質(zhì)含量高，Al含量為30～100ppm，堿金屬含量5～10ppm。主要應(yīng)用于電光源，也應(yīng)用于冶金、化工、半導(dǎo)體等行業(yè)。
II類天然水晶原料在氫--氧火焰中熔制成的透明石英玻璃。此類石英玻璃中羥基含量達(dá)到180～250ppm。金屬雜質(zhì)含量低，Al含量少于20ppm，堿金屬含量低于5ppm，軟化溫度較I類石英玻璃低50℃。主要用于半導(dǎo)體，光源行業(yè)，也用于化工、冶金等行業(yè)。
III類四氯化硅氣體原料在氫-氧火焰中水解、熔制成石英玻璃。此類石英玻璃的金屬雜質(zhì)含量低于1ppm，但羥基含量超過1000ppm，而且含100ppm以上的Cl。III類石英玻璃的軟化點(diǎn)比前兩類石英玻璃低50～100℃，但雜質(zhì)含量低，光學(xué)均勻性好，透紫外，耐射線輻照，適用于光學(xué)材料。
IV類以四氯化硅氣體為原料用高頻等離子體作為熱源合成石英玻璃，該類石英玻璃中雜質(zhì)含量低于1ppm，羥基含量低于5ppm，Cl含量200ppm，有較好的光學(xué)均勻性，透過光的波長(zhǎng)范圍寬(0.18～3.5μm)，適用于高質(zhì)量石英擺片和特種光學(xué)材料，如空間技術(shù)用激光反射棱鏡和光導(dǎo)纖維。
但是，三十多年來，在四氯化硅汽相沉積合成III類和IV類石英玻璃中，一般通過控制下料速度、下料點(diǎn)分布等手段提高石英玻璃的沉積效率，對(duì)于爐體內(nèi)的環(huán)境氣氛缺乏考慮和控制。
發(fā)明創(chuàng)造內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種在四氯化硅汽相沉積合成石英玻璃時(shí)能夠準(zhǔn)確測(cè)試和控制爐膛內(nèi)氣體與大氣壓力差壓的方法，以提高石英玻璃合成過程中的沉積速率和效率。
本發(fā)明另一目的是提供實(shí)現(xiàn)上述方法的微正壓測(cè)控系統(tǒng)。
本發(fā)明的微正壓測(cè)控方法，包括以下步驟1)在合成石英玻璃的爐體側(cè)壁設(shè)一連通爐體內(nèi)外的氣壓傳感元件，在合成石英玻璃的過程中，保持所述氣壓傳感元件與爐體外界連通；2)氣壓傳感元件將爐膛氣流壓力作用于一差壓變送開關(guān)，所述差壓變送開關(guān)將爐膛的氣體壓力和外界大氣的壓力進(jìn)行計(jì)算得到壓差，經(jīng)過其中的傳感元件產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào)；3)所述電流信號(hào)傳送給信號(hào)調(diào)理箱一，所述信號(hào)調(diào)理箱一將電流信號(hào)轉(zhuǎn)變成數(shù)字信號(hào)，經(jīng)數(shù)據(jù)總線傳送至計(jì)算機(jī)；4)計(jì)算機(jī)將得到的數(shù)字信號(hào)與其中設(shè)定的微正壓值進(jìn)行比較，并將判斷結(jié)果以數(shù)字信號(hào)的方式輸出至信號(hào)調(diào)理箱二；5)信號(hào)調(diào)理箱二將數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換成電流信號(hào)后輸出至一電控柜，由該電控柜控制連通爐體的排風(fēng)風(fēng)機(jī)的工作頻率。
本發(fā)明合成石英玻璃中微正壓測(cè)控系統(tǒng)，包括一氣壓傳感單元，與合成石英玻璃爐體連通，用于獲取爐膛氣流壓力；一差壓變送開關(guān)，與氣壓傳感單元連通，該差壓變送開關(guān)可將從氣壓傳感單元獲取的爐膛氣體壓力和外界大氣的壓力進(jìn)行計(jì)算得到壓差，并經(jīng)過其中的傳感元件產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào)；一控制單元，接收差壓變送開關(guān)的電流信號(hào)，并通過與預(yù)設(shè)數(shù)值的比較，發(fā)出控制指令；一排風(fēng)風(fēng)機(jī)，與合成石英玻璃爐體連通，接收控制單元的控制指令而調(diào)整工作頻率，通過工作頻率的改變而改變風(fēng)機(jī)排風(fēng)量。
其中，所述控制單元具體包括一信號(hào)調(diào)理箱一，接收差壓變送開關(guān)的電流信號(hào)，并將電流信號(hào)轉(zhuǎn)變成數(shù)字信號(hào)；一計(jì)算機(jī)，接收信號(hào)調(diào)理箱一的數(shù)字信號(hào)，將得到的數(shù)字信號(hào)與其中設(shè)定的微正壓值進(jìn)行比較，并將判斷結(jié)果以數(shù)字信號(hào)的方式輸出；一信號(hào)調(diào)理箱二，接收計(jì)算機(jī)的數(shù)字信號(hào)，并將該數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換成電流信號(hào)后輸出；一電控柜，接收信號(hào)調(diào)理箱二的電流信號(hào)，并通過該電控柜輸出脈沖電流而控制排風(fēng)風(fēng)機(jī)的工作頻率。
上述合成石英玻璃中微正壓測(cè)控系統(tǒng)中，所述氣壓傳感單元為一測(cè)試管，所述測(cè)試管為耐高溫耐腐蝕的石英玻璃管，一端伸入爐膛，另一端的其中一支通過一氮?dú)饨刂归y連通一氮?dú)夤?，另一支依次連通一過濾器和通過一軟細(xì)氣管連接到差壓變送開關(guān)，差壓變送開關(guān)的另一個(gè)口保持與大氣連通。
上述合成石英玻璃中微正壓測(cè)控系統(tǒng)中，所述差壓變送器為美國(guó)Dwyer公司的3000SGT-0產(chǎn)品，信號(hào)調(diào)理箱為研華公司的ADAM8231-1BD60工業(yè)I/O模塊。
本發(fā)明采用上述技術(shù)方案，其優(yōu)點(diǎn)如下能實(shí)時(shí)檢測(cè)爐膛的微正壓值，并且能根據(jù)工藝需要實(shí)時(shí)控制入口和出口氣體的流量和流速，使?fàn)t膛內(nèi)能保持一個(gè)相對(duì)恒定的微正壓值。
使?fàn)t膛氣氛保持微正壓，用于提供氫氣和氧氣流量的準(zhǔn)確控制的依據(jù)，提高熱能的使用效率，以提高沉積效率和沉積速率，減少料的損耗，提高合成石英玻璃錠的產(chǎn)品質(zhì)量，降低能耗。


圖1為本發(fā)明測(cè)控系統(tǒng)的組成示意圖。
圖2為本發(fā)明測(cè)控系統(tǒng)工作程序框圖。
圖3為本發(fā)明測(cè)控系統(tǒng)信息流示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明發(fā)現(xiàn)，在四氯化硅汽相沉積合成石英玻璃過程中會(huì)產(chǎn)生HCl氣體和SiO2粉末，還有尾氣必須抽走至尾氣吸收塔進(jìn)行尾氣處理，避免污染環(huán)境。但是，抽風(fēng)過大，會(huì)導(dǎo)致熱量和SiO2粉末的損失，使?fàn)t膛溫度下降和沉積速率低下，抽風(fēng)過小，有會(huì)導(dǎo)致SiO2粉末大量沉積在爐膛壁上形成積料，而在爐膛上方的積料，在氣流波動(dòng)的時(shí)候，容易掉到砣面上，使石英砣容易粘住，影響生產(chǎn)的進(jìn)行。本發(fā)明研究發(fā)現(xiàn)，爐膛內(nèi)的環(huán)境氣氛對(duì)于石英玻璃的沉積有一定影響，其中，當(dāng)爐膛中保持微正壓時(shí)(1.5～3.0mm水柱)，能提高石英玻璃沉積的效率和速率，并且能更好的穩(wěn)定爐膛中的氣流場(chǎng)，溫度場(chǎng)和濃度場(chǎng)?；诖?，發(fā)明人提出一種能夠準(zhǔn)確測(cè)試和控制爐膛內(nèi)氣體與大氣壓力差壓的方法和測(cè)試系統(tǒng)。以下以一具體實(shí)施例詳述本發(fā)明。
圖1和圖3示出本發(fā)明微正壓控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)對(duì)爐體4內(nèi)的氣壓進(jìn)行監(jiān)控。在該爐體4中，垂直設(shè)有基礎(chǔ)桿和基礎(chǔ)桿端頭的沉積砣面5，(基礎(chǔ)桿隨爐體4外設(shè)的電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng))爐體4外側(cè)設(shè)保溫層6，在爐體4上部設(shè)有向沉積砣面5投料的燃燒器3，在爐體4下部設(shè)有排風(fēng)通道10，工作時(shí)，由燃燒器3從爐體4頂部向旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的沉積砣面5上端投料，分散在爐腔內(nèi)的二氧化硅顆粒在高溫下逐漸沉積到沉積砣面5上形成使用玻璃，爐腔內(nèi)的煙氣通過排風(fēng)通道10排出爐體4。
本發(fā)明中，為了隨時(shí)監(jiān)控爐體4內(nèi)的壓力情況，在爐體4靠近沉積砣面5的部位設(shè)一連通爐體4內(nèi)部和外界的測(cè)試管2，該測(cè)試管2為耐高溫耐腐蝕的石英玻璃管，該測(cè)試管另一端其中一支通過一氮?dú)饨刂归y17連通一氮?dú)夤?，另一支依次連通一過濾器15和通過一軟細(xì)氣管連接到一差壓變送開關(guān)16，差壓變送開關(guān)16的另一個(gè)口保持與大氣連通；差壓變送開關(guān)16有一差壓傳感元件，該元件可以將測(cè)得的爐膛內(nèi)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)輸出給置于爐體4外部的控制單元；另外，在排風(fēng)通道10中設(shè)有可調(diào)節(jié)開口尺寸的閘板8，在排風(fēng)通道10端部設(shè)排風(fēng)風(fēng)機(jī)7，排風(fēng)風(fēng)機(jī)7與一電控柜11電連接。
參見圖1和圖3，在本發(fā)明中，控制單元包括依次電連接的信號(hào)調(diào)理箱一14、控制計(jì)算機(jī)12、信號(hào)調(diào)理箱二14’、以及一電控柜11，差壓變送器接收測(cè)試2的壓力信號(hào)，經(jīng)其中的傳感元件把壓力差轉(zhuǎn)換成電流信號(hào)傳送至信號(hào)調(diào)理箱一14，信號(hào)調(diào)理箱一14再將電流信號(hào)轉(zhuǎn)為計(jì)算機(jī)可接受的數(shù)字信號(hào)輸入控制計(jì)算機(jī)12，經(jīng)控制計(jì)算機(jī)12將該數(shù)值與計(jì)算機(jī)內(nèi)設(shè)置的微正壓值進(jìn)行比較，將比較結(jié)果以數(shù)字信號(hào)的形式輸出給信號(hào)調(diào)理箱二14’，由信號(hào)調(diào)理箱二14’將該數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換為模擬電流信號(hào)后傳送給電控柜11；由電控柜11控制排風(fēng)風(fēng)機(jī)7的轉(zhuǎn)速?gòu)亩刂崎l板8開口的大小來保持爐體4內(nèi)恒定的差壓。
參見圖2，本發(fā)明微正壓檢測(cè)系統(tǒng)工作流程如下1)關(guān)閉原料流量控制器1，開啟氮?dú)饨刂归y17往測(cè)試管2中的一支通入氮?dú)?，沖洗管路中的二氧化硅粉末；2)關(guān)閉氮?dú)饨刂灵y17；3)開始打開原料流量控制器1，往爐體4中通入反應(yīng)氣，此時(shí)，爐膛內(nèi)氣體進(jìn)入測(cè)試管2中，該氣體的氣氛與爐膛內(nèi)氣氛相同，氣氛中的HCl氣體被過濾吸收器15吸收，二氧化硅粉塵被過濾吸收器15過濾(保護(hù)差壓變送開關(guān)16不受腐蝕)，氣流經(jīng)過過濾吸收器15后沒有差壓；4)氣流壓力作用于差壓變送開關(guān)16，差壓變送開關(guān)16將爐膛的氣體壓力和外界大氣的壓力進(jìn)行計(jì)算得到壓差，經(jīng)過其中的傳感元件產(chǎn)生一個(gè)電信號(hào)；5)電信號(hào)傳送給信號(hào)調(diào)理箱一14，經(jīng)過信號(hào)調(diào)理箱一14轉(zhuǎn)變成調(diào)理信號(hào)(數(shù)字信號(hào))，調(diào)理信號(hào)經(jīng)數(shù)據(jù)總線13傳送至控制計(jì)算機(jī)12；6)計(jì)算機(jī)12將得到的調(diào)理信號(hào)與其中設(shè)定的微正壓值進(jìn)行比較，若在1.5-3.0mm水柱的范圍，則判斷維持爐膛內(nèi)壓力，此時(shí)將一調(diào)理信號(hào)輸出至信號(hào)調(diào)理箱二14’，經(jīng)信號(hào)調(diào)理箱二14’轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸送至電控柜11，由電控柜11控制排風(fēng)風(fēng)機(jī)7保持原有工作頻率完成一個(gè)檢測(cè)循環(huán)；若計(jì)算機(jī)12判斷結(jié)果為差壓小于1.5mm水柱，則輸出另一組調(diào)理信號(hào)(模擬信號(hào)來減少風(fēng)機(jī)的頻率)，經(jīng)信號(hào)調(diào)理箱二14’和電控柜11控制排風(fēng)風(fēng)機(jī)7減小頻率，關(guān)小閘板8，使?fàn)t膛出氣量減小，增大壓力；若計(jì)算機(jī)12判斷結(jié)果為差壓大于3.0mm水柱，則通過信號(hào)調(diào)理箱二14’和電控柜11控制排風(fēng)風(fēng)機(jī)7增大頻率，開大閘板8，以增加爐膛排氣量，使壓力減小。
本發(fā)明按照上述過程重復(fù)循環(huán)，就可以把爐膛的微正壓控制在需要的范圍內(nèi)。微正壓控制范圍可以在1.5-3.0mm水柱，優(yōu)選1.8-2.2mm水柱，由控制計(jì)算機(jī)設(shè)定該數(shù)值范圍。
從以上介紹可以了解，本發(fā)明是通過控制反應(yīng)時(shí)爐膛氣體氣氛為微正壓來提高石英玻璃沉積的效率和速率。在本發(fā)明中，控制系統(tǒng)控制爐體4中排風(fēng)通道10中的閘板8開啟大小，以此調(diào)整排風(fēng)量，從而保持爐膛具有恒定的差壓。本發(fā)明控制系統(tǒng)中所使用的數(shù)值轉(zhuǎn)換和計(jì)算設(shè)備均為現(xiàn)有配件，其中所述差壓變送器采用美國(guó)Dwyer公司的3000SGT-0產(chǎn)品，信號(hào)調(diào)理箱可采用研華公司的ADAM8231-1BD60工業(yè)I/O模塊，信號(hào)調(diào)理箱14將差壓差壓變送器16輸出的4-20mA的直流模擬信號(hào)，通過低通濾波、放大，把該模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成0-5V的數(shù)字信號(hào)傳送給計(jì)算機(jī)12。電控柜采用上海施耐德工業(yè)控制有限公司的Himel-CRN/CRS型工業(yè)控制箱，控制計(jì)算機(jī)設(shè)定的比較數(shù)值為1.5-3.0mm水柱，優(yōu)選1.8-2.2mm水柱。
經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，本發(fā)明的控制方法和系統(tǒng)，能夠很好地控制爐膛的微正壓氣氛。采用同樣的投料方式和進(jìn)樣手段，利用本發(fā)明進(jìn)行微正壓控制后，石英玻璃沉積效率由原來的約6∶1提高到4∶1，沉積速率由原來的約200g/hr提高到約260g/hr。
權(quán)利要求
1.一種合成石英玻璃中微正壓測(cè)控方法，包括以下步驟1)在合成石英玻璃的爐體側(cè)壁設(shè)一連通爐體內(nèi)外的氣壓傳感元件，在合成石英玻璃的過程中，保持所述氣壓傳感元件與爐體外界連通；2)氣壓傳感元件將爐膛氣流壓力作用于一差壓變送開關(guān)，所述差壓變送開關(guān)將爐膛的氣體壓力和外界大氣的壓力進(jìn)行計(jì)算得到壓差，經(jīng)過其中的傳感元件產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào)；3)所述電流信號(hào)傳送給信號(hào)調(diào)理箱一，所述信號(hào)調(diào)理箱一將電流信號(hào)轉(zhuǎn)變成數(shù)字信號(hào)，經(jīng)數(shù)據(jù)總線傳送至計(jì)算機(jī)；4)計(jì)算機(jī)將得到的數(shù)字信號(hào)與其中設(shè)定的微正壓值進(jìn)行比較，并將判斷結(jié)果以數(shù)字信號(hào)的方式輸出至信號(hào)調(diào)理箱二；5)信號(hào)調(diào)理箱二將數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換成電流信號(hào)后輸出至一電控柜，由該電控柜控制連通爐體的排風(fēng)風(fēng)機(jī)的工作頻率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述合成石英玻璃中微正壓測(cè)控方法，其特征在于，其中步驟4)設(shè)定的微正壓值為1.5～3.0mm水柱。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述合成石英玻璃中微正壓測(cè)控方法，其特征在于，步驟4)計(jì)算機(jī)判斷標(biāo)準(zhǔn)是若比較結(jié)果在1.5-3.0mm水柱的范圍，則判斷維持爐膛內(nèi)壓力，此時(shí)輸出一維持信號(hào)，經(jīng)信號(hào)調(diào)理箱二進(jìn)行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換后由電控柜控制排風(fēng)風(fēng)機(jī)保持原有工作頻率，完成一個(gè)檢測(cè)循環(huán)；若比較結(jié)果為差壓小于1.5mm水柱，則輸出減小信號(hào)，經(jīng)信號(hào)調(diào)理箱二進(jìn)行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換后由電控柜控制排風(fēng)風(fēng)機(jī)減小頻率；若比較結(jié)果為差壓大于3.0mm水柱，則輸出增大信號(hào)，經(jīng)信號(hào)調(diào)理箱二進(jìn)行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換后由電控柜控制排風(fēng)風(fēng)機(jī)增大頻率。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述合成石英玻璃中微正壓測(cè)控方法，其特征在于，計(jì)算機(jī)設(shè)定的微正壓值為1.8～2.2mm水柱。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述合成石英玻璃中微正壓測(cè)控方法，其特征在于，所述氣壓傳感元件為一測(cè)試管，并且所述測(cè)試管通過一過濾吸收器后再將氣流壓力傳送至差壓變送開關(guān)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述合成石英玻璃中微正壓測(cè)控方法，其特征在于，所述差壓變送開關(guān)輸出的電流信號(hào)為4-20mA的直流模擬信號(hào)，該電流信號(hào)經(jīng)所述信號(hào)調(diào)理箱的低通濾波、放大、轉(zhuǎn)換，以0-5V的數(shù)字信號(hào)傳送給所述計(jì)算機(jī)。
7.一種合成石英玻璃中微正壓測(cè)控系統(tǒng)，包括一氣壓傳感單元，與合成石英玻璃爐體連通，用于獲取爐膛氣流壓力；一差壓變送開關(guān)，與氣壓傳感單元連通，該差壓變送開關(guān)可將從氣壓傳感單元獲取的爐膛氣體壓力和外界大氣的壓力進(jìn)行計(jì)算得到壓差，并經(jīng)過其中的傳感元件產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào)；一控制單元，接收差壓變送開關(guān)的電流信號(hào)，并通過與預(yù)設(shè)數(shù)值的比較，發(fā)出控制指令；一排風(fēng)風(fēng)機(jī)，與合成石英玻璃爐體連通，接收控制單元的控制指令而調(diào)整工作頻率，通過工作頻率的改變而改變風(fēng)機(jī)排風(fēng)量。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述合成石英玻璃中微正壓測(cè)控系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元具體包括一信號(hào)調(diào)理箱一，接收差壓變送開關(guān)的電流信號(hào)，并將電流信號(hào)轉(zhuǎn)變成數(shù)字信號(hào)；一計(jì)算機(jī)，接收信號(hào)調(diào)理箱一的數(shù)字信號(hào)，將得到的數(shù)字信號(hào)與其中設(shè)定的微正壓值進(jìn)行比較，并將判斷結(jié)果以數(shù)字信號(hào)的方式輸出；一信號(hào)調(diào)理箱二，接收計(jì)算機(jī)的數(shù)字信號(hào)，并將該數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換成電流信號(hào)后輸出；一電控柜，接收信號(hào)調(diào)理箱二的電流信號(hào)，并通過該電控柜輸出脈沖電流而控制排風(fēng)風(fēng)機(jī)的工作頻率。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述合成石英玻璃中微正壓測(cè)控系統(tǒng)，其特征在于，所述氣壓傳感單元為一測(cè)試管，所述測(cè)試管為耐高溫耐腐蝕的石英玻璃管，一端伸入爐膛，另一端的其中一支通過一氮?dú)饨刂归y連通一氮?dú)夤?，另一支依次連通一過濾器和通過一軟細(xì)氣管連接到差壓變送開關(guān)，差壓變送開關(guān)的另一個(gè)口保持與大氣連通。
10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述合成石英玻璃中微正壓測(cè)控系統(tǒng)，其特征在于，所述差壓變送器為美國(guó)Dwyer公司的3000SGT-0產(chǎn)品，信號(hào)調(diào)理箱采用研華公司的ADAM8231-1BD60工業(yè)I/O模塊。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種在四氯化硅汽相沉積合成石英玻璃時(shí)能夠準(zhǔn)確測(cè)試和控制爐膛內(nèi)氣體與大氣壓力差壓的方法以及可實(shí)現(xiàn)上述方法的微正壓測(cè)控系統(tǒng)，本發(fā)明合成石英玻璃爐膛的內(nèi)壓信號(hào)依次通過氣壓傳感元件、差壓變送開關(guān)、信號(hào)調(diào)理箱一、計(jì)算機(jī)、信號(hào)調(diào)理箱二、以及電控柜進(jìn)行傳輸和轉(zhuǎn)換，最終由電控柜控制連通爐體的排風(fēng)風(fēng)機(jī)的工作頻率而調(diào)整爐膛內(nèi)壓，使壓差在1.5～3.0mm水柱范圍，以此來提高石英玻璃合成過程中的沉積速率和效率。
文檔編號(hào)C03B19/14GK1811648SQ200610000260
公開日2006年8月2日 申請(qǐng)日期2006年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2006年1月10日
發(fā)明者顧真安, 張向鋒, 饒傳東 申請(qǐng)人:中國(guó)建筑材料科學(xué)研究院