專利名稱：Tft-lcd玻璃基板清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種TFT-LCD玻璃基板超聲波多頻清洗方法。
背景技術(shù)：
在TFT-IXD的制造工序中，當(dāng)玻璃基板表面存在的顆粒粒徑為線寬1/3左右時(shí)，短線、短路等缺陷的出現(xiàn)頻率倍增，為了克服這一缺陷，在對(duì)玻璃基板的表面供給給定的處理液進(jìn)行處理后，對(duì)該玻璃基板進(jìn)行洗凈工序?，F(xiàn)有的TFT-IXD行業(yè)采用洗凈玻璃基板的流程為先等離子體清洗(Plasma)、或遠(yuǎn)紫外線清洗(EUV)、或深紫外線清洗(DUV),然后刷洗劑沖淋(brush+shower)及壓力射流清洗(Jet)，最后再進(jìn)行二流體清洗，其分別對(duì)應(yīng)的清除物質(zhì)為有機(jī)殘留物與顆粒，該顆粒的尺寸分別為IOum以上、l-10um、l_5um。而隨著面板大尺寸化、高開口率、及低線寬等技術(shù)發(fā)展要求，采用現(xiàn)有的多機(jī)臺(tái)來清除不同粒徑顆粒的技術(shù)存在以下的缺陷I、采用數(shù)臺(tái)機(jī)臺(tái)，分別除去不同粒徑的顆粒，造成了機(jī)臺(tái)較高的成本投入，且基板在各種機(jī)臺(tái)間的轉(zhuǎn)換造成工時(shí)的浪費(fèi)，并易在基板轉(zhuǎn)換過程中引入新的顆粒；2、機(jī)臺(tái)清洗原理主要為物理沖擊的作用機(jī)制，對(duì)于粒徑較小及頑固附著的顆粒清洗效果并不明顯，且對(duì)清洗采用的蒸餾水及添加溶劑消耗較大，增加了生產(chǎn)成本。為了提高洗凈效果，超聲波清洗技術(shù)逐漸出現(xiàn)在TFT-LCD玻璃基板流程中，超聲波清洗技術(shù)是一種多應(yīng)用于精密機(jī)械及特種精細(xì)機(jī)構(gòu)領(lǐng)域的清洗方法，超聲波清洗是利用了超聲波的空蝕作用，空蝕定義為溶液中的微型氣泡的內(nèi)爆裂，它是由超聲場(chǎng)內(nèi)的壓力變化導(dǎo)致的。壓力差是通過一個(gè)液體區(qū)域中正負(fù)壓力的交替變換產(chǎn)生的，當(dāng)液體處于負(fù)壓力時(shí)，它的沸點(diǎn)會(huì)降低，并且會(huì)產(chǎn)生許多小蒸汽泡。當(dāng)壓力變?yōu)檎禃r(shí)，小氣泡會(huì)發(fā)生猛烈的內(nèi)爆，由換能器釋放的高頻電能產(chǎn)生了機(jī)械波，這種空蝕現(xiàn)象提供了機(jī)械攪拌和洗滌作用。 超聲波清洗技術(shù)的應(yīng)用，在很大程度上提高了 TFT-LCD玻璃基板的洗凈效果。但是，為了清除不同粒徑的顆粒，需使用不同頻率的機(jī)臺(tái)，造成了機(jī)臺(tái)較高的成本投入，且基板在各種機(jī)臺(tái)間的轉(zhuǎn)換造成工時(shí)的浪費(fèi)，并易在基板轉(zhuǎn)換過程中引入新的顆粒。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其成本低，清洗范圍廣， 且清洗能力強(qiáng)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種TFT-IXD玻璃基板清洗方法，其包括如下步驟步驟I、提供超聲波清洗機(jī)、玻璃基板輸入傳送機(jī)、及玻璃基板輸出傳送機(jī)，該超聲波清洗機(jī)包括清洗槽、容納于清洗槽內(nèi)的清洗液、及設(shè)于清洗槽的數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器，該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率不同；
步驟2、玻璃基板輸入傳送機(jī)傳送待清洗的玻璃基板進(jìn)入清洗槽；步驟3、待清洗的玻璃基板浸沒在清洗槽的清洗液內(nèi)；步驟4、該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器產(chǎn)生的不同頻率超聲波施加給清洗液對(duì)玻璃基板進(jìn)行超聲波清洗；步驟5、玻璃基板輸出傳送機(jī)將清洗過的玻璃基板從清洗槽運(yùn)送出來。該清洗槽的相對(duì)兩側(cè)壁分別設(shè)有該數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器，清洗槽的該相對(duì)兩側(cè)壁與傳送玻璃基板的方向平行。該數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器分別排成列，且依次間隔設(shè)置在清洗槽的相對(duì)兩側(cè)壁。該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率分別為40KHz與 120KHZ，相鄰的第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器之間的間距為25-50cm。該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率分別為68KHz與 170KHZ，相鄰的第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器之間的間距為15-40cm。所述步驟3中，玻璃基板對(duì)應(yīng)于所述清洗槽的相對(duì)兩側(cè)壁傾斜置于清洗槽內(nèi)，且該玻璃基板與水平面之間的夾角為30-45°。所述清洗液為去離子水。本發(fā)明的有益效果本發(fā)明所提供的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其在同一清洗槽設(shè)置不同頻率的超聲波頻率發(fā)生器，每個(gè)頻率波段的超聲波頻率發(fā)生器對(duì)應(yīng)一定范圍粒徑的顆粒進(jìn)行清洗，不需更換清洗槽，縮短清洗制程時(shí)間，節(jié)約了成本，且TFT-LCD玻璃基板相對(duì)于該些超聲波頻率發(fā)生器傾斜設(shè)置，更有效的清除附著于TFT-LCD玻璃基板的顆粒。為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對(duì)本發(fā)明加以限制。


下面結(jié)合附圖，通過對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見。附圖中，圖I為本發(fā)明TFT-IXD玻璃基板清洗方法的流程圖；圖2為本發(fā)明TFT-IXD玻璃基板清洗方法中各裝置的位置關(guān)系示意圖；圖3為圖2中清洗槽側(cè)壁超聲波頻率發(fā)生器的局部分布示意圖。
具體實(shí)施例方式為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。請(qǐng)參閱圖1，并結(jié)合圖2至圖3，本發(fā)明提供一種TFT-IXD玻璃基板清洗方法，其包括如下步驟步驟I、提供超聲波清洗機(jī)、玻璃基板輸入傳送機(jī)(未圖示)、及玻璃基板輸出傳送機(jī)(未圖示)。
所述超聲波清洗機(jī)包括清洗槽12、容納于清洗槽12內(nèi)的清洗液14及設(shè)于清洗槽 12的數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器16與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器18。在本實(shí)施例中所采用的清洗液14為去離子水。所述第一超聲波頻率發(fā)生器16與第二超聲波頻率發(fā)生器18 的頻率不同，清洗槽12的相對(duì)兩側(cè)壁122、124分別設(shè)有所述數(shù)個(gè)第一、第二超聲波頻率發(fā)生器16、18，清洗槽12的該相對(duì)兩側(cè)壁122、124與傳送玻璃基板20的方向平行。其中，數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器16與第二超聲波頻率發(fā)生器18分別排成列，且依次間隔設(shè)置在清洗槽12的與玻璃基板20的傳送方向平行的相對(duì)兩側(cè)壁122、124上，相鄰的第一、第二超聲波頻率發(fā)生器16、18之間的間距設(shè)為15-50cm。步驟2、玻璃基板輸入傳送機(jī)傳送待清洗的玻璃基板20進(jìn)入清洗槽12內(nèi)。所述的玻璃基板20為TFT-IXD玻璃基板。步驟3、待清洗的玻璃基板20浸沒在清洗槽12的清洗液14內(nèi)。其中，待清洗的玻璃基板20對(duì)應(yīng)于所述清洗槽12的相對(duì)兩側(cè)壁傾斜設(shè)置于清洗槽12內(nèi)，也就是待清洗的玻璃基板20相對(duì)第一、第二超聲波頻率發(fā)生器16、18傾斜置于清洗槽12內(nèi)，該玻璃基板20 與水平面之間的夾角α為30-45°。所述待清洗的玻璃基板20具有相對(duì)的待清洗面22、 24，待清洗面22、24分別對(duì)應(yīng)清洗槽12的相對(duì)兩側(cè)壁122、124傾斜設(shè)置，從而使得附著于玻璃基板20待清洗面22、24上的顆粒在垂直于玻璃基板20方向上與超聲波發(fā)生方向呈一定角度，有利于超聲空蝕作用，從而提高洗凈度。步驟4、該第一、第二超聲波頻率發(fā)生器16、18產(chǎn)生的不同頻率超聲波施加給清洗液14對(duì)玻璃基板20進(jìn)行超聲波清洗。該第一與第二超聲波頻率發(fā)生器16、18的頻率可分別為40ΚΗζ與120ΚΗζ，相鄰的第一超聲波頻率發(fā)生器16與第二超聲波頻率發(fā)生器18之間的間距優(yōu)選為25-50cm。該第一、第二超聲波頻率發(fā)生器16、18分別發(fā)生40KHz與120KHz 頻率的超聲波施加給清洗液14對(duì)玻璃基板20進(jìn)行超聲波清洗，其中，40KHz頻率的超聲波主要針對(duì)于粒徑為2. 2-2. 5um的顆粒進(jìn)行清除，120KHz頻率的超聲波主要針對(duì)于粒徑為I. 4-1. Sum的顆粒進(jìn)行清除。該第一、第二超聲波頻率發(fā)生器16、18還可以分別選用頻率為68KHz與170KHz的超聲波頻率發(fā)生器，相鄰的第一超聲波頻率發(fā)生器16與第二超聲波頻率發(fā)生器18之間的間距優(yōu)選為15-40cm，其中68KHz頻率的超聲波主要用于對(duì)粒徑為
2.0-2. 2um的顆粒進(jìn)行清除，170KHz頻率的超聲波主要用于對(duì)粒徑為I. 0-1. 2um的顆粒進(jìn)行清除。通過不同頻率的超聲波對(duì)不同粒徑的顆粒進(jìn)行針對(duì)性清除，增強(qiáng)了洗凈效果。步驟5、玻璃基板輸出傳送機(jī)將清洗過的玻璃基板20從清洗槽12運(yùn)送出來。綜上所述，本發(fā)明所提供的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其在同一清洗槽設(shè)置不同頻率的超聲波頻率發(fā)生器，每個(gè)頻率波段的超聲波頻率發(fā)生器對(duì)應(yīng)一定范圍粒徑的顆粒進(jìn)行清洗，不需更換清洗槽，縮短清洗制程時(shí)間，節(jié)約了成本，且TFT-LCD玻璃基板相對(duì)于該些超聲波頻率發(fā)生器傾斜設(shè)置，更有效的清除附著于TFT-IXD玻璃基板的顆粒。以上所述，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種TFT-IXD玻璃基板清洗方法，其特征在于，包括如下步驟步驟I、提供超聲波清洗機(jī)、玻璃基板輸入傳送機(jī)、及玻璃基板輸出傳送機(jī)，該超聲波清洗機(jī)包括清洗槽、容納于清洗槽內(nèi)的清洗液、及設(shè)于清洗槽的數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器，該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率不同；步驟2、玻璃基板輸入傳送機(jī)傳送待清洗的玻璃基板進(jìn)入清洗槽；步驟3、待清洗的玻璃基板浸沒在清洗槽的清洗液內(nèi)；步驟4、該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器產(chǎn)生的不同頻率超聲波施加給清洗液對(duì)玻璃基板進(jìn)行超聲波清洗；步驟5、玻璃基板輸出傳送機(jī)將清洗過的玻璃基板從清洗槽運(yùn)送出來。
2.如權(quán)利要求I所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，該清洗槽的相對(duì)兩側(cè)壁分別設(shè)有該數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器，清洗槽的該相對(duì)兩側(cè)壁與傳送玻璃基板的方向平行。
3.如權(quán)利要求2所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，該數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器分別排成列，且依次間隔設(shè)置在清洗槽的相對(duì)兩側(cè)壁。
4.如權(quán)利要求3所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率分別為40KHz與120KHz，相鄰的第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器之間的間距為25-50cm。
5.如權(quán)利要求3所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率分別為68KHz與170KHz，相鄰的第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器之間的間距為15-40cm。
6.如權(quán)利要求2所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，所述步驟3中，玻璃基板對(duì)應(yīng)于所述清洗槽的相對(duì)兩側(cè)壁傾斜置于清洗槽內(nèi)，且該玻璃基板與水平面之間的夾角為 30-45°。
7.如權(quán)利要求I所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，所述清洗液為去離子水。
全文摘要
本發(fā)明提供一種TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其包括如下步驟步驟1、提供超聲波清洗機(jī)、玻璃基板輸入傳送機(jī)、及玻璃基板輸出傳送機(jī)，該超聲波清洗機(jī)包括清洗槽、容納于清洗槽內(nèi)的清洗液、及設(shè)于清洗槽的數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器，該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率不同；步驟2、玻璃基板輸入傳送機(jī)傳送待清洗的玻璃基板進(jìn)入清洗槽；步驟3、待清洗的玻璃基板浸沒在清洗槽的清洗液內(nèi)；步驟4、該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器產(chǎn)生的不同頻率超聲波施加給清洗液對(duì)玻璃基板進(jìn)行超聲波清洗；步驟5、玻璃基板輸出傳送機(jī)將清洗過的玻璃基板從清洗槽運(yùn)送出來。
文檔編號(hào)B08B3/12GK102601074SQ20121007289
公開日2012年7月25日 申請(qǐng)日期2012年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月19日
發(fā)明者寇浩 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司