板材抽氣貼合方法及抽氣基座的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種板材抽氣貼合方法及抽氣基座，特別是涉及一種利用抽氣方式使兩個(gè)相疊置的板材相貼合固定的板材貼合方法，以及該方法所使用到的抽氣基座。
【背景技術(shù)】
[0002]磁控濺鍍鍍膜方式，主要是通過一轟擊氣體(例如氬氣)的離子撞擊一靶材，使靶材材料被濺射出而沉積在一欲鍍膜的基板上，進(jìn)而使該基板上形成薄膜。而實(shí)際上該靶材在使用上，會(huì)先將一金屬制的背板結(jié)合于其背面，以構(gòu)成一靶材與背板的組合件。通過該金屬背板，一方面可提供該靶材足夠的機(jī)械強(qiáng)度作為支撐，另一方面該背板可以與一冷卻水循環(huán)系統(tǒng)連接，以通過該背板帶走該靶材于濺鍍過程中產(chǎn)生的熱。
[0003]而現(xiàn)有技術(shù)中，該靶材與該背板之間主要是透過焊接方式結(jié)合，但由于焊接過程中該靶材容易氧化，如此會(huì)影響靶材材料純度。而若要避免氧化問題，例如可以在真空環(huán)境下進(jìn)行焊接，但要額外提供一可供焊接的真空設(shè)備，又會(huì)造成整體制程成本高。而且焊接結(jié)合制程較為麻煩、不方便進(jìn)行，因此已知靶材與背板結(jié)合的方式有待改良。
[0004]另外，在觸控面板、太陽(yáng)能電池或其他光電元件，在制作上會(huì)有需要將軟材與軟材(film to film)貼合的需求，或者需要將軟材與硬材(例如玻璃基板，此稱為film toglass)貼合，或者其他種需要貼合至少兩個(gè)板材以構(gòu)成一板材組合件的需求。有鑒于兩個(gè)板材間的貼合于許多產(chǎn)業(yè)中皆有所應(yīng)用，因此本案申請(qǐng)人認(rèn)為有必要開發(fā)出一種步驟簡(jiǎn)單且易于進(jìn)行的板材貼合方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種步驟創(chuàng)新、設(shè)備成本較低，而且步驟簡(jiǎn)單、方便進(jìn)行的板材抽氣貼合方法及抽氣基座。
[0006]本發(fā)明板材抽氣貼合方法，包含:步驟A:提供一個(gè)抽氣基座，該抽氣基座包含一個(gè)呈環(huán)形的圍壁，該圍壁包括內(nèi)外間隔的一個(gè)內(nèi)周緣與一個(gè)外周緣、一個(gè)自該內(nèi)周緣朝該外周緣凹設(shè)且沿著該圍壁環(huán)繞設(shè)置的插槽，以及一個(gè)自該外周緣朝該插槽延伸連通的抽氣孔。步驟B:將一個(gè)第一板材與一個(gè)第二板材上下疊置，并一同插設(shè)于該抽氣基座的該插槽，且該抽氣基座的該圍壁圍繞該第一板材與該第二板材。步驟C:經(jīng)由該抽氣基座的該抽氣孔對(duì)該抽氣基座抽氣，使該第一板材與該第二板材吸附在一起。
[0007]本發(fā)明所述板材抽氣貼合方法，該第一板材與該第二板材之間還設(shè)有一個(gè)黏膠層，該步驟C在抽氣后，還對(duì)該抽氣基座加熱，使該黏膠層呈熔融態(tài)，并且待該黏膠層冷卻硬化后，該第一板材與該第二板材會(huì)黏結(jié)固定在一起。
[0008]本發(fā)明所述板材抽氣貼合方法，該步驟C的加熱溫度為130°C?160°C。
[0009]本發(fā)明所述板材抽氣貼合方法，該抽氣基座的材質(zhì)為硅膠。
[0010]本發(fā)明抽氣基座，包含:一個(gè)呈環(huán)形的圍壁，該圍壁包括內(nèi)外間隔的一個(gè)內(nèi)周緣與一個(gè)外周緣、一個(gè)自該內(nèi)周緣朝該外周緣凹設(shè)且沿著該圍壁環(huán)繞設(shè)置的插槽，以及一個(gè)自該外周緣朝該插槽延伸連通的抽氣孔。
[0011]本發(fā)明所述抽氣基座，還包含一個(gè)對(duì)應(yīng)該抽氣孔而連接于該圍壁的外周緣的抽氣管，該抽氣管與該圍壁一體連接。
[0012]本發(fā)明所述抽氣基座，該抽氣基座的材質(zhì)為硅膠。
[0013]本發(fā)明所述抽氣基座，該抽氣基座包括二個(gè)可拆離地上下對(duì)接的座體，所述座體對(duì)接后共同界定出該圍壁。
[0014]本發(fā)明的有益效果在于:通過該抽氣基座供該第一板材與第二板材插置，并能進(jìn)行抽氣使該第一板材與第二板材緊密吸附結(jié)合，能提升結(jié)合穩(wěn)固性。本發(fā)明以創(chuàng)新的制程步驟與設(shè)備，相對(duì)于傳統(tǒng)結(jié)合方式而言，所需要使用的設(shè)備成本較低，而且各步驟簡(jiǎn)單、方便進(jìn)行。而該抽氣基座的創(chuàng)新結(jié)構(gòu)，可使本發(fā)明的方法順利進(jìn)行。
【附圖說明】
[0015]圖1是本發(fā)明抽氣基座的一第一實(shí)施例的立體圖；
[0016]圖2是該第一實(shí)施例的一側(cè)視剖視圖；
[0017]圖3是本發(fā)明板材抽氣貼合方法的一第一實(shí)施例的步驟流程方塊圖；
[0018]圖4是本發(fā)明抽氣基座的一第二實(shí)施例的立體圖；
[0019]圖5是該第二實(shí)施例的一側(cè)視剖視圖；
[0020]圖6是該第二實(shí)施例的組合俯視圖，同時(shí)示意數(shù)個(gè)抽氣管連接該第二實(shí)施例。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明，要注意的是，在以下的說明內(nèi)容中，類似的元件以相同的編號(hào)來表示。
[0022]參閱圖1、2，本發(fā)明抽氣基座的第一實(shí)施例，適合供上下疊置的一第一板材11與一第二板材12插置于其中。該抽氣基座的材質(zhì)為可耐熱的硅膠或其他可耐熱的材質(zhì)。該抽氣基座包含:一呈環(huán)形的圍壁2，以及一連該圍壁2的抽氣管3。
[0023]本實(shí)施例的圍壁2大致呈四方環(huán)形，并圍繞界定出一基座空間20。該圍壁2包括二左右間隔的第一壁部21，以及二間隔相對(duì)且分別連接在所述第一壁部21的兩端間的第二壁部22。所述第一壁部21與第二壁部22連接在一起并共同界定出內(nèi)外間隔且呈環(huán)形的一內(nèi)周緣23與一外周緣24、一自該內(nèi)周緣23朝該外周緣24凹設(shè)且沿著該圍壁2環(huán)繞設(shè)置的插槽25，以及一自該外周緣24朝該插槽25延伸連通的抽氣孔26。其中，該插槽25連通該基座空間20。
[0024]該抽氣管3對(duì)應(yīng)該抽氣孔26地連接于該圍壁2的外周緣24，且該抽氣管3與該圍壁2 —體連接，使該抽氣基座形成一個(gè)一體式的構(gòu)件。但在實(shí)施時(shí)，不以設(shè)置該抽氣管3為必要，因?yàn)樵摮闅夤?也可以是一獨(dú)立元件，并且于該抽氣基座需要抽氣時(shí)再接上即可。
[0025]參閱圖1?3，本發(fā)明板材抽氣貼合方法的第一實(shí)施例包含:
[0026]步驟41:提供該抽氣基座。
[0027]步驟42:將該第一板材11與該第二板材12上下疊置，并一同插設(shè)于該抽氣基座的插槽25，此時(shí)該抽氣基座的圍壁2圍繞該第一板材11與該第二板材12，并包覆于該第一板材11與第二板材12的四周緣。該第一板材11與該第二板材12之間可設(shè)置一黏膠層13，該黏膠層13例如OCA光學(xué)膠。由于該抽氣基座由硅膠制成，具有柔軟彈性，因此其圍壁2可被稍微扳開并略微變形，