專(zhuān)利名稱(chēng)：處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及進(jìn)行試驗(yàn)用半導(dǎo)體IC(以后簡(jiǎn)稱(chēng)為DUT)的試驗(yàn)時(shí)將放置DUT的托盤(pán)可靠地并且出入容易地供給IC試驗(yàn)系統(tǒng)的處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)。
對(duì)于將放置DUT的托盤(pán)放置在托盤(pán)安裝臺(tái)上、自動(dòng)地將DUT供給IC試驗(yàn)系統(tǒng)并根據(jù)試驗(yàn)結(jié)果自動(dòng)地分類(lèi)存放的處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)而言，必須可靠地承載放置DUT的托盤(pán)，從而要求正確地定位。
另外，在IC試驗(yàn)系統(tǒng)中，必須處理大量的DUT及托盤(pán)，從而要求能夠容易而安全地出入。
第1個(gè)先有的例子示于圖3、4、5。
這一例子是主要著眼于進(jìn)行正確地定位而設(shè)置的處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)。
圖3是托盤(pán)安裝臺(tái)的斜視圖，圖4是托盤(pán)安裝臺(tái)的側(cè)視圖。
多個(gè)DUT放置在托盤(pán)90的內(nèi)部，處理器裝置接收到各個(gè)DUT后，移動(dòng)到進(jìn)行電氣試驗(yàn)的位置。多個(gè)該托盤(pán)90重疊地放置到托盤(pán)安裝臺(tái)上，利用升降機(jī)構(gòu)沿高度方向上升到指定的位置。
另外，根據(jù)DUT的種類(lèi)不同，有各種大小不同的托盤(pán)，為了適應(yīng)多種托盤(pán)的大小，具有用于沿X方向和Y方向進(jìn)行定位的定位機(jī)構(gòu)。
處理器裝置的主座80確定處理器裝置的位置基準(zhǔn)。沿處理器裝置的主座80的X方向的一邊和Y方向的一邊放置的托盤(pán)90，利用可移動(dòng)式托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25分別從X方向和Y方向擠壓進(jìn)行定位。
通常，承載托盤(pán)90的升降機(jī)35越大越容易確保托盤(pán)的水平位置。圖5是承載托盤(pán)90的升降機(jī)35的平面圖。將托盤(pán)90向上推升的升降機(jī)35的平面，呈除去托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25移動(dòng)的部分的擴(kuò)展?fàn)?。即，具有凸凹的平面a、b、c、d、f、g、h、i、j、k、l的平面，設(shè)置有除去托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25移動(dòng)的部分d、e、f、g和i、j、k、l的平面。并且，托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25配置成可以沿X方向和Y方向移動(dòng)到最小的托盤(pán)尺寸位置。另外，升降機(jī)35的平面a、b、c、h具有可以將最大的托盤(pán)尺寸覆蓋的大小。因此，不論托盤(pán)90小還是大，由于確保升降機(jī)35具有足夠的面積，所以，總是可以將托盤(pán)90水平地向上推升。
托盤(pán)90由升降機(jī)35按如下方式上升或下降到指定的位置。
線性齒條76連接成可以使升降機(jī)35上下移動(dòng)，利用升降機(jī)齒輪75的轉(zhuǎn)動(dòng)而上升或下降。另外，為了將升降機(jī)35保持為水平而設(shè)置有線性導(dǎo)軌45。
為了將提升到指定高度的托盤(pán)90頂住，在托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25上設(shè)置有托盤(pán)推桿26。
托盤(pán)推桿26如圖4所示的那樣，擠壓住最上部的托盤(pán)將其固定，防止處理器裝置吸附DUT時(shí)吸附灰塵，將DUT放置到托盤(pán)內(nèi)時(shí)可以正確地放置到托盤(pán)的DUT放置部分。
另外，通常為了處理大量的DUT，處理器裝置使用多個(gè)托盤(pán)90。并且，這些托盤(pán)90向托盤(pán)安裝臺(tái)內(nèi)的裝入和取出由人工進(jìn)行。
如上所述，按照第1個(gè)先有的例子，當(dāng)正確地將處理器裝置的主座80定好位時(shí)，可以將托盤(pán)90固定。但是，托盤(pán)90向托盤(pán)安裝臺(tái)內(nèi)的裝入和取出由人工進(jìn)行，由于在托盤(pán)安裝臺(tái)的上部有處理器裝置的可動(dòng)部分，所以，不能確保寬闊的空間，從而托盤(pán)90的更換作業(yè)不便。
其次，第2個(gè)先有的例子示于圖6、7。
這個(gè)例子是主要著眼于容易進(jìn)行托盤(pán)的裝入和取出而設(shè)置的處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)。
圖6是托盤(pán)安裝臺(tái)的斜視圖，圖7是托盤(pán)安裝臺(tái)的側(cè)視圖。在托盤(pán)安裝臺(tái)中，在托盤(pán)移動(dòng)座5上設(shè)置有托盤(pán)90定位用的托盤(pán)導(dǎo)引桿15。沿托盤(pán)導(dǎo)引桿15放置的托盤(pán)90由托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25從X方向或者Y方向進(jìn)行擠壓而定位。
為了將托盤(pán)水平地上升或下降到指定的位置而設(shè)置有升降機(jī)35。
在本先有技術(shù)中，為了將托盤(pán)移動(dòng)座5從處理器裝置中拉出或者送入而設(shè)置有滑動(dòng)壓力滾子6。
因此，可以將托盤(pán)安裝臺(tái)和托盤(pán)90一起拉出，在將托盤(pán)安裝臺(tái)拉出的狀態(tài)下可以將托盤(pán)裝入和取出。所以，在將托盤(pán)90裝入和取出時(shí)，在該托盤(pán)安裝臺(tái)上確保具有寬闊的空間，從而可以容易地進(jìn)行托盤(pán)90的更換作業(yè)。此外，這時(shí)由于在托盤(pán)安裝臺(tái)的周?chē)鷽](méi)有處理器裝置等的可移動(dòng)部分，所以，可以安全地進(jìn)行作業(yè)。
下面，參照?qǐng)D7說(shuō)明將托盤(pán)90水平地提升到指定的位置的狀況。
在托盤(pán)移動(dòng)座5上設(shè)置有托盤(pán)導(dǎo)引桿15和托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25，為了將托盤(pán)90頂住而在托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25上設(shè)置有托盤(pán)推桿26。
線性齒條76連接成可以使升降機(jī)35上下移動(dòng)，利用升降機(jī)35的轉(zhuǎn)動(dòng)而上升或下降。
為了將升降機(jī)35保持為水平而設(shè)置有線性導(dǎo)軌45。
托盤(pán)90的定位始終是相對(duì)于托盤(pán)導(dǎo)引桿15進(jìn)行的。但是，由于滑動(dòng)壓力滾子6是利用滑動(dòng)機(jī)構(gòu)的可移動(dòng)式，所以，通常存在微小的搖動(dòng)等，對(duì)于處理器本體難于定位。對(duì)于處理器裝置的主座80，托盤(pán)90的位置存在誤差x。
這樣，由于相對(duì)于處理器裝置沒(méi)有托盤(pán)安裝臺(tái)的托盤(pán)移動(dòng)座的定位基準(zhǔn)，所以，不能正確地進(jìn)行托盤(pán)的定位。
為了給出托盤(pán)移動(dòng)座的正確位置，在托盤(pán)移動(dòng)座上，在移動(dòng)壓力滾子的周?chē)仨毷褂冒嘿F的線性移動(dòng)導(dǎo)軌。
本發(fā)明的目的旨在實(shí)現(xiàn)可以將放置DUT的托盤(pán)按正確的位置供給處理器裝置并且可以容易而安全地進(jìn)行托盤(pán)向托盤(pán)安裝臺(tái)的裝入和取出作業(yè)的處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)。
為了達(dá)到上述目的，在本發(fā)明中，相對(duì)于托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25的長(zhǎng)度，將托盤(pán)導(dǎo)引桿15的長(zhǎng)度縮短。在該托盤(pán)導(dǎo)引桿15的上部，與處理器裝置的主座80一體地設(shè)置有托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)。
因此，托盤(pán)90由升降機(jī)35向上推，當(dāng)?shù)竭_(dá)最上部時(shí)，此前由托盤(pán)導(dǎo)引桿15定位的托盤(pán)90就轉(zhuǎn)換為由托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)進(jìn)行定位。在與托盤(pán)基準(zhǔn)桿的高度對(duì)應(yīng)的位置，將托盤(pán)推桿26安裝到X方向和Y方向的各托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25上。并且，利用托盤(pán)推桿26的氣壓泵的作用由托盤(pán)基準(zhǔn)桿將該最上部的托盤(pán)擠壓住。由于托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)與處理器裝置的主座80安裝成一體，所以，托盤(pán)90可以與處理器裝置正確地定位。另外，可以將托盤(pán)安裝臺(tái)與托盤(pán)90一起拉出，從而可以在將托盤(pán)安裝臺(tái)拉出的狀態(tài)下將托盤(pán)取出和裝入。因此，在進(jìn)行托盤(pán)90的取出和裝入時(shí)，在該托盤(pán)安裝臺(tái)的上部可以確保寬闊的空間，從而可以容易而安全地進(jìn)行托盤(pán)90的更換作業(yè)。
圖1是本發(fā)明的處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)的一個(gè)實(shí)施例的斜視圖。
圖2是本發(fā)明的處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)的一個(gè)實(shí)施例的側(cè)視圖。
圖3是第1個(gè)先有例子的托盤(pán)安裝臺(tái)的斜視圖。
圖4是第1個(gè)先有例子的托盤(pán)安裝臺(tái)的側(cè)視圖。
圖5是承載托盤(pán)90的升降機(jī)35的平面圖。
圖6是第2個(gè)先有例子的托盤(pán)安裝臺(tái)的斜視圖。
圖7是第2個(gè)先有例子的托盤(pán)安裝臺(tái)的側(cè)視圖。
下面，參照


實(shí)施例。
參照?qǐng)D1、2說(shuō)明處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)，圖1是托盤(pán)安裝臺(tái)的一個(gè)實(shí)施例的斜視圖，圖2是托盤(pán)安裝臺(tái)的一個(gè)實(shí)施例的側(cè)視圖。
如圖1所示，在放置多個(gè)托盤(pán)90的托盤(pán)移動(dòng)座5的上面，將定位用的托盤(pán)導(dǎo)引桿15配置在大致90度正交的X方向和Y方向的2個(gè)方向。托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25沿X方向和Y方向?qū)⑼斜P(pán)90向各托盤(pán)導(dǎo)引桿15擠壓而固定。即，進(jìn)行托盤(pán)移動(dòng)座5上相對(duì)于托盤(pán)導(dǎo)引桿15的定位。
在托盤(pán)移動(dòng)座5上，設(shè)置有作為可以將托盤(pán)移動(dòng)座5拉出或壓入的導(dǎo)軌的滑動(dòng)壓力滾子6。因此，托盤(pán)移動(dòng)座5可以拉出到處理器前面，從而可以將承載的托盤(pán)90取出或裝入。
另外，將托盤(pán)90向上推升的升降機(jī)35的平面呈除去托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25移動(dòng)的部分的寬闊狀。即，具有凸凹的平面a、b、c、d、e、f、g、h、i、j、k、l的平面，設(shè)置有除去托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25移動(dòng)的部分d、e、f、g和i、j、k、l的平面，所以，不論托盤(pán)90大小都可以水平地向上提升。
在拾取并吸附DUT的處理器裝置的主座80上，設(shè)置有沿X方向和Y方向用于進(jìn)行托盤(pán)的最終定位的托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)。
托盤(pán)90如上述那樣首先利用托盤(pán)導(dǎo)引桿15進(jìn)行定位。然后，利用升降機(jī)35向上推升。如圖2所示的那樣，相對(duì)于托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25的長(zhǎng)度，將托盤(pán)導(dǎo)引桿15的長(zhǎng)度縮短。在該托盤(pán)導(dǎo)引桿15的上部，設(shè)置托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)。
因此，托盤(pán)90由升降機(jī)35向上推升，當(dāng)?shù)竭_(dá)最上部時(shí)，此前由托盤(pán)導(dǎo)引桿15定位的托盤(pán)90就轉(zhuǎn)換為由托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)進(jìn)行定位。在與托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)的高度對(duì)應(yīng)的位置上，將托盤(pán)推桿26安裝到X方向和Y方向的各托盤(pán)調(diào)節(jié)桿25上。并且，利用托盤(pán)推桿26的氣壓泵的作用，將最上部的托盤(pán)向托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)擠壓。由于托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)與處理器裝置的主座80安裝成一體，所以，托盤(pán)90可以與處理器本體正確地定位。
如上述那樣，由于托盤(pán)導(dǎo)引桿15具有將托盤(pán)90定位到某種程度的功能，所以，不使用昂貴的線性移動(dòng)導(dǎo)引桿等也可以完成。
另外，上述托盤(pán)基準(zhǔn)桿只要能確保與處理器裝置的主座80的位置一致就可以，可以在與托盤(pán)調(diào)節(jié)桿相對(duì)的X方向和Y方向設(shè)置成一個(gè)面，也可以細(xì)分為多個(gè)而設(shè)置。
另外，上述托盤(pán)推桿26只要是能提供用于將托盤(pán)頂住的壓力的就可以，如果具有彈性也可以。
由于本發(fā)明是如上述說(shuō)明的那樣構(gòu)成的，所以，具有如下效果。
在拾取并吸附DUT的處理器裝置的主座的X方向和Y方向設(shè)置有托盤(pán)基準(zhǔn)桿，因此，當(dāng)由升降機(jī)將托盤(pán)向上推升時(shí)，轉(zhuǎn)換為托盤(pán)基準(zhǔn)桿，所以，可以保持著水平正確地進(jìn)行X方向和Y方向的定位，將DUT放置到托盤(pán)內(nèi)時(shí)，不存在DUT進(jìn)入不到托盤(pán)的定位槽內(nèi)或者從托盤(pán)吸取DUT時(shí)吸取不到DUT的中心的問(wèn)題。另外，可以將托盤(pán)安裝臺(tái)與托盤(pán)90一起拉出，在將托盤(pán)安裝臺(tái)拉出的狀態(tài)下可以將托盤(pán)裝入和取出。因此，進(jìn)行托盤(pán)90的裝入和取出時(shí)，在該托盤(pán)安裝臺(tái)的上部，可以確保寬闊的空間，從而可以容易地進(jìn)行托盤(pán)90的更換作業(yè)。并且，這時(shí)，在托盤(pán)安裝臺(tái)的周?chē)鷽](méi)有處理器裝置等的可移動(dòng)部分，所以，可以安全地進(jìn)行作業(yè)。
權(quán)利要求
1.一種處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)，包括在放置多個(gè)托盤(pán)(90)的托盤(pán)移動(dòng)座(5)的上面重疊地放置多個(gè)托盤(pán)90并使之上下移動(dòng)的升降機(jī)(35)，其特征在于分別設(shè)置有可以將托盤(pán)移動(dòng)座(5)裝入和取出的滑動(dòng)壓力滾子(6)、固定地配置在托盤(pán)移動(dòng)座(5)的兩邊的用于托盤(pán)90的定位的多個(gè)托盤(pán)導(dǎo)引桿(15)、與在托盤(pán)移動(dòng)座(5)的其他兩邊設(shè)置為可以移動(dòng)的多個(gè)托盤(pán)(90)的外形的大小一致地進(jìn)行定位的托盤(pán)調(diào)節(jié)桿(25)、在托盤(pán)導(dǎo)引桿(15)的上部與處理器裝置的主座(80)成為一體由升降機(jī)(35)將托盤(pán)(90)向上推升并從托盤(pán)導(dǎo)引桿(15)轉(zhuǎn)換過(guò)來(lái)進(jìn)行兩個(gè)方向定位的托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)，以此進(jìn)行正確的定位。
2.如權(quán)利要求1所述的處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)，其特征在于對(duì)于托盤(pán)調(diào)節(jié)桿(25)，在與托盤(pán)基準(zhǔn)桿(50、51、52、53)的高度對(duì)應(yīng)的位置，在各托盤(pán)調(diào)節(jié)桿(25)上附加有由彈性體構(gòu)成的托盤(pán)推桿(26)，以此進(jìn)行正確的定位。
3.如權(quán)利要求2所述的處理器裝置用托盤(pán)安裝臺(tái)，其特征在于托盤(pán)推桿(26)由氣壓泵構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明為一種將放置DUT的托盤(pán)以正確的定位供給處理器裝置而且可以容易地進(jìn)行托盤(pán)的裝入和取出作業(yè)的處理器裝置用安裝臺(tái)。因此，相對(duì)于托盤(pán)調(diào)節(jié)桿的長(zhǎng)度，將托盤(pán)導(dǎo)引桿的長(zhǎng)度縮短，并將托盤(pán)基準(zhǔn)桿配置到該托盤(pán)導(dǎo)引桿的上部。從而，當(dāng)托盤(pán)被升降機(jī)向上推升到最上部時(shí)，就轉(zhuǎn)換為由托盤(pán)基準(zhǔn)桿進(jìn)行定位。在與托盤(pán)基準(zhǔn)桿的高度對(duì)應(yīng)的位置，托盤(pán)推桿安裝在X方向和Y方向的各托盤(pán)調(diào)節(jié)桿上。
文檔編號(hào)H05K13/00GK1134605SQ95117240
公開(kāi)日1996年10月30日 申請(qǐng)日期1995年9月26日 優(yōu)先權(quán)日1995年4月28日
發(fā)明者清川敏之, 大浦溥 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試