熱處理裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體處理裝置，公開(kāi)了一熱處理裝置，包括熱處理加熱結(jié)構(gòu)、第二保溫部、第三保溫部及外殼，其中：熱處理加熱結(jié)構(gòu)包括第一保溫部及加熱部，第一保溫部環(huán)繞待加熱樣品形成一加熱腔，加熱部部分嵌入所述第一保溫部?jī)?nèi)，加熱部朝向待加熱樣品的一側(cè)裸露。本實(shí)用新型提供的熱處理裝置包括置于內(nèi)層的第一保溫部、置于外層的第二保溫部、以及置于頂部的第三保溫部，具有全方位的良好保溫性能，且該熱處理裝置包括多個(gè)長(zhǎng)度可根據(jù)需求靈活定義的熱處理加熱結(jié)構(gòu)，在簡(jiǎn)化熱處理裝置成型制作過(guò)程、提高熱處理裝置生產(chǎn)效率的同時(shí)，還可通過(guò)對(duì)各熱處理加熱結(jié)構(gòu)的分別控制實(shí)現(xiàn)分段控溫，提高了熱處理裝置的熱處理質(zhì)量和效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】熱處理裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及熱處理【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種半導(dǎo)體晶圓立式熱處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，晶圓的熱處理裝置起著重要作用，工藝過(guò)程中，晶圓放置在熱處理裝置內(nèi)的晶圓支撐裝置上，通常在晶圓與熱處理裝置之間還設(shè)置有石英管，用來(lái)將晶圓與熱處理腔室分開(kāi)。熱處理裝置主要由加熱絲和保溫材料構(gòu)成，加熱絲用來(lái)給晶圓加熱，以完成工藝，保溫材料則起著絕熱的作用，將熱處理裝置內(nèi)部的熱與外部隔絕開(kāi)，以保證環(huán)境溫度不過(guò)高，同時(shí)對(duì)熱處理裝置的能耗及控溫效果都有著不同程度的影響作用。
[0003]加熱部通過(guò)不同的方式固定在熱處理裝置內(nèi)部,例如,通過(guò)支撐架固定在熱處理裝置的頂部，或者通過(guò)機(jī)械構(gòu)件固定在保溫層中。
[0004]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中加熱部與絕熱部件固定的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0005]中國(guó)專(zhuān)利CN102842523A公開(kāi)了一種熱處理裝置，如圖1所示，加熱部18沿絕熱部件16的內(nèi)周面配置，絕熱部件16具有平滑的內(nèi)周面。在所述絕熱部件16的內(nèi)周面16a上設(shè)有防脫用的谷部支承銷(xiāo)構(gòu)件20a和防傾倒用的峰部支承銷(xiāo)構(gòu)件20b。所述谷部支承銷(xiāo)構(gòu)件20a及峰部支承銷(xiāo)構(gòu)件20b分別與加熱部18的谷部18a及峰部18b連接，用于將加熱部18固定在絕熱部件16上并防止加熱部18向絕熱部件16傾倒。
[0006]此外，中國(guó)專(zhuān)利CN102383112A也公開(kāi)了一種熱處理裝置，該熱處理裝置包括:上表面和側(cè)面形成為一體、且在下表面開(kāi)口的筒狀的反應(yīng)管，環(huán)繞反應(yīng)管且用于對(duì)該反應(yīng)管的內(nèi)部進(jìn)行加熱的加熱器，以及設(shè)于加熱器的外周、以覆蓋反應(yīng)管的上表面的周?chē)头磻?yīng)管的側(cè)面的真空絕熱層形成體。所述加熱器及真空絕熱層形成體被反應(yīng)管底部凸緣支撐。
[0007]然而，上述現(xiàn)有的熱處理裝置中，加熱絲及保溫材料的結(jié)構(gòu)復(fù)雜且制造成本較高，熱處理裝置的生產(chǎn)效率也難以滿(mǎn)足目前半導(dǎo)體生產(chǎn)的需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種熱處理裝置，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能夠簡(jiǎn)化熱處理裝置的制作過(guò)程，提高熱處理裝置的生產(chǎn)效率。
[0009]為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一熱處理裝置，該裝置包括熱處理加熱結(jié)構(gòu)、第二保溫部、第三保溫部及外殼，其中:所述熱處理加熱結(jié)構(gòu)包括第一保溫部及加熱部，所述第一保溫部為空心結(jié)構(gòu)，環(huán)繞待加熱樣品形成一加熱腔，其特征在于，所述加熱部部分嵌入所述第一保溫部?jī)?nèi)并與之固定，所述加熱部朝向待加熱樣品的一側(cè)裸露，以加熱所述待加熱樣品；所述熱處理加熱結(jié)構(gòu)為一個(gè)或多個(gè)，沿所述加熱腔軸向依次疊加放置；
[0010]所述第二保溫部環(huán)繞所述疊加放置的熱處理加熱結(jié)構(gòu)并覆蓋其外表面；
[0011]所述第三保溫部置于所述熱處理裝置的頂部，以實(shí)現(xiàn)熱處理裝置頂部的保溫；
[0012]所述外殼環(huán)繞所述第二保溫部并覆蓋其外表面。
[0013]作為可選擇的技術(shù)方案，所述第三保溫部包括沿加熱腔軸向依次設(shè)置的保溫層、夾層及保溫蓋板，所述保溫蓋板與所述熱處理裝置的外殼扣合。
[0014]作為可選擇的技術(shù)方案，所述第一保溫部為真空成型的保溫塊，所述第一保溫部與所述加熱部一體成型。
[0015]作為可選擇的技術(shù)方案，所述第一保溫部?jī)?nèi)壁設(shè)置有若干凹槽，所述加熱部設(shè)置于所述凹槽內(nèi)。進(jìn)一步地，所述凹槽為沿所述加熱腔軸向方向的長(zhǎng)條形結(jié)構(gòu)，均勻分布在所述第一保溫部?jī)?nèi)壁。進(jìn)一步地，所述凹槽長(zhǎng)度小于所述第一保溫部長(zhǎng)度，所述凹槽寬度小于或等于相鄰兩凹槽之間的間距。
[0016]作為可選擇的技術(shù)方案，所述加熱部包括若干螺旋狀的加熱絲，所述加熱絲置于所述凹槽內(nèi)。進(jìn)一步地，相鄰的加熱絲通過(guò)連接部連接在一起，所述連接部嵌入所述第一保溫部，以將所述加熱部固定在所述第一保溫部上。進(jìn)一步地，所述連接部與所述加熱絲材質(zhì)相同。進(jìn)一步地，所述連接部位于所述加熱絲兩端，且相鄰的連接部交錯(cuò)的位于所述加熱絲的上下兩端。
[0017]作為可選擇的技術(shù)方案，該熱處理裝置還包括頂部保溫塊、頂部金屬環(huán)及底部金屬環(huán)，其中:所述頂部保溫塊置于所述熱處理裝置的頂部，其環(huán)繞熱處理裝置頂部一周，所述第三保溫部的保溫層契合嵌入于所述頂部保溫塊內(nèi)；所述頂部金屬環(huán)置于所述頂部保溫塊外側(cè)；所述底部金屬環(huán)置于所述熱處理裝置底部；所述頂部金屬環(huán)、底部金屬環(huán)均與所述外殼連接在一起。
[0018]作為可選擇的技術(shù)方案，所述第二保溫部、第三保溫部的夾層均為質(zhì)軟的保溫棉。
[0019]作為可選擇的技術(shù)方案，該熱處理裝置還包括一設(shè)置在熱處理裝置頂部的吊裝結(jié)構(gòu)，所述吊裝結(jié)構(gòu)置于所述頂部金屬環(huán)上，并穿過(guò)所述保溫蓋板。
[0020]本發(fā)明提供的熱處理裝置中，所采用的熱處理加熱結(jié)構(gòu)，將所述加熱部嵌入所述第一保溫部，使得所述加熱部與所述第一保溫部之間的安裝固定不需要額外的輔助結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)化了該熱處理加熱結(jié)構(gòu)；而使用該加熱結(jié)構(gòu)的熱處理裝置，包括置于內(nèi)層的第一保溫部、置于外層的第二保溫部、以及置于頂部的第三保溫部，具有全方位的良好保溫性能，且該熱處理裝置包括多個(gè)長(zhǎng)度可根據(jù)需求靈活定義的熱處理加熱結(jié)構(gòu)，在簡(jiǎn)化熱處理裝置成型制作過(guò)程、提高熱處理裝置生產(chǎn)效率的同時(shí)，還可通過(guò)對(duì)各熱處理加熱結(jié)構(gòu)的分別控制實(shí)現(xiàn)分段控溫，提高了熱處理裝置的熱處理質(zhì)量和效率。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中加熱部與絕熱部件固定的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為本發(fā)明提供的熱處理裝置中熱處理加熱結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3為本發(fā)明提供的熱處理裝置中熱處理加熱結(jié)構(gòu)爆炸視圖；
[0024]圖4為本發(fā)明提供的熱處理裝置中熱處理加熱結(jié)構(gòu)第一保溫部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖5為本發(fā)明提供的熱處理裝置中熱處理加熱結(jié)構(gòu)的加熱部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖6為本發(fā)明提供的熱處理裝置爆炸視圖；
[0027]圖7為本發(fā)明提供的熱處理裝置剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖8為本發(fā)明提供的熱處理裝置中熱處理加熱結(jié)構(gòu)疊加設(shè)置示意圖。
【具體實(shí)施方式】[0029]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0030]本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0031]本發(fā)明提供的熱處理裝置200包括熱處理加熱結(jié)構(gòu)100、第二保溫部220、第三保溫部260及外殼230。
[0032]圖2為本發(fā)明提供的熱處理裝置中熱處理加熱結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為本發(fā)明提供的熱處理裝置中熱處理加熱結(jié)構(gòu)爆炸視圖。
[0033]如圖2、圖3所示，本【具體實(shí)施方式】提供的熱處理加熱結(jié)構(gòu)100包括第一保溫部101及加熱部102。所述第一保溫部101為中空結(jié)構(gòu)，環(huán)繞所述待加熱樣品(附圖中未標(biāo)示)形成一加熱腔103。所述加熱部102部分嵌入所述第一保溫部101內(nèi)，與所述第一保溫部101固定在一起，所述加熱部102朝向待加熱樣品的一側(cè)裸露，以加熱所述待加熱樣品。作為可選實(shí)施方式，第一保溫部101為圓柱形的中空結(jié)構(gòu)，其剖面為圓環(huán)形。
[0034]在本【具體實(shí)施方式】中，所述待加熱樣品可以為半導(dǎo)體晶圓，所述半導(dǎo)體晶圓通過(guò)一晶圓支撐裝置(附圖中未標(biāo)示)放置于所述加熱腔103中，在所述半導(dǎo)體晶圓與所述加熱腔103間設(shè)置一石英管(附圖中未標(biāo)示)，以保護(hù)所述半導(dǎo)體晶圓。
[0035]作為可選實(shí)施方式，所述第一保溫部101為由耐火隔熱材料通過(guò)真空成型形成的保溫塊，所述保溫塊經(jīng)過(guò)成型固化后，其表面做硬化處理，使得保溫塊強(qiáng)度較高。在保溫塊成型的同時(shí)，將加熱部102置于成型裝置中，所述加熱部102與所述第一保溫部101成型在一起，形成一體成型結(jié)構(gòu)。固化后，所述加熱部102便直接嵌入第一保溫部101內(nèi)，所述第一保溫部101對(duì)加熱部102起到固定支撐的作用。因此，本【具體實(shí)施方式】中，所述加熱部102與所述第一保溫部101之間的安裝固定不需要額外的輔助結(jié)構(gòu)。
[0036]圖4為本發(fā)明提供的熱處理加熱結(jié)構(gòu)第一保溫部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0037]本【具體實(shí)施方式】中，如圖3、圖4所示，所述第一保溫部101內(nèi)壁設(shè)置有凹槽104，所述加熱部102即設(shè)置于所述凹槽104內(nèi)，以節(jié)省所述加熱腔103的空間，從而使得熱處理加熱結(jié)構(gòu)100小型化。
[0038]作為最佳實(shí)施例，所述凹槽104為沿加熱腔103軸向方向的長(zhǎng)條形結(jié)構(gòu)，均勻分布在所述第一保溫部101內(nèi)壁。所述凹槽104的長(zhǎng)度略小于第一保溫部101的高度，凹槽104的寬度小于或等于相鄰兩凹槽104之間的間隔。作為可選實(shí)施例，所述凹槽104可以在第一保溫部101成型時(shí)同時(shí)形成，也可以在第一保溫快101成型后再加工形成；所述凹槽104的寬度與相鄰兩凹槽104之間的間隔基本相當(dāng)。
[0039]圖5為本發(fā)明提供的熱處理裝置中熱處理加熱結(jié)構(gòu)的加熱部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0040]本【具體實(shí)施方式】中，如圖2、圖3及圖5所示，所述加熱部102包括若干個(gè)螺旋狀的加熱絲105，所述一個(gè)加熱絲105對(duì)應(yīng)一個(gè)凹槽104，該包括若干個(gè)螺旋狀加熱絲105的加熱部102繞所述加熱腔103 —周，從而實(shí)現(xiàn)較佳的加熱效果和較高的熱處理效率。
[0041]本【具體實(shí)施方式】中，相鄰的兩加熱絲105通過(guò)一連接部106連接，所述連接部106位于靠近第一保溫部101的一側(cè)，并嵌入所述第一保溫部101，以將所述加熱部102固定在所述第一保溫部101上。[0042]作為可選實(shí)施方式，所述連接部106與所述加熱絲105 —體成型，所述連接部106也為加熱絲，以將所述加熱絲105連接為一整體。因此，所述加熱部102不必每個(gè)加熱絲105都通過(guò)外部線纜相連，加熱部102最多只需引出兩段連接線與外部線纜相連即可，從而簡(jiǎn)化所述加熱部102與外部的連接，使得所述熱處理加熱結(jié)構(gòu)100更加簡(jiǎn)單。作為最佳實(shí)施例，相鄰的連接部106上下交錯(cuò)排列，以便于所述加熱部102與第一保溫部101的連接更加穩(wěn)定。優(yōu)選地，所述連接部106徑向朝向第一保溫部101突出，以便于所述加熱部102更好地固定在所述第一保溫部101中。
[0043]圖6為本發(fā)明提供的熱處理裝置爆炸視圖，圖7為本發(fā)明提供的熱處理裝置剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0044]如圖6、圖7所示，本【具體實(shí)施方式】提供的熱處理裝置200包括一個(gè)或多個(gè)上述熱處理加熱結(jié)構(gòu)100，所述熱處理加熱結(jié)構(gòu)100沿所述加熱腔103軸向依次疊加設(shè)置，在本【具體實(shí)施方式】中，所述熱處理裝置200包括五個(gè)疊加設(shè)置的熱處理加熱結(jié)構(gòu)，在本發(fā)明其他【具體實(shí)施方式】中，所述熱處理裝置200也可以包括其他數(shù)量的熱處理加熱結(jié)構(gòu)100疊放組成，例如，二個(gè)或四個(gè)等。
[0045]圖8為本發(fā)明提供的熱處理加熱結(jié)構(gòu)疊加設(shè)置示意圖。
[0046]如圖8所示，本【具體實(shí)施方式】中，多個(gè)熱處理加熱結(jié)構(gòu)100通過(guò)簡(jiǎn)單的堆積組裝起來(lái)，裝配簡(jiǎn)單。此外，本【具體實(shí)施方式】所采用的熱處理加熱結(jié)構(gòu)100中，將加熱部102嵌入所述第一保溫部101，使得加熱部102與所述第一保溫部101之間的安裝固定不需要額外的輔助結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)化了熱處理裝置200的結(jié)構(gòu)，也簡(jiǎn)化了熱處理裝置200的成型制作過(guò)程，提高了熱處理裝置200的生產(chǎn)效率。每個(gè)熱處理加熱結(jié)構(gòu)100的長(zhǎng)度可以不相同，根據(jù)設(shè)計(jì)和工藝需求，可制作不同長(zhǎng)度的熱處理加熱結(jié)構(gòu)100，工作中對(duì)熱處理裝置200中的各熱處理加熱結(jié)構(gòu)100單獨(dú)控制，可實(shí)現(xiàn)熱處理裝置200工作中的分段控溫，這在制作和裝配上都不會(huì)增加難度。
[0047]在本【具體實(shí)施方式】中，如圖6、圖7所示，所述熱處理裝置200還包括第二保溫部220及外殼230，所述第二保溫部220位于所述熱處理加熱結(jié)構(gòu)100與外殼230之間，圍繞并覆蓋所述熱處理加熱結(jié)構(gòu)100的外壁。在本【具體實(shí)施方式】中，所述第二保溫部220為質(zhì)軟的保溫棉，例如，塞拉毯；所述外殼230為金屬外殼。本【具體實(shí)施方式】提供的熱處理裝置中，設(shè)置第二保溫部220的優(yōu)點(diǎn)在于:由于多個(gè)熱處理加熱結(jié)構(gòu)100疊加組裝后，在相鄰的兩個(gè)熱處理加熱結(jié)構(gòu)100之間會(huì)存在安裝縫隙，縫隙會(huì)帶來(lái)額外的對(duì)流熱損失，造成加熱腔103內(nèi)這一區(qū)域熱場(chǎng)的不均勻，本【具體實(shí)施方式】通過(guò)在所述熱處理加熱結(jié)構(gòu)100與外殼230之間設(shè)置第二保溫部220，則可以解決這一問(wèn)題。此外，由于真空成型的第一保溫部101較硬，直接在疊加設(shè)置的熱處理加熱結(jié)構(gòu)100外面安裝與之接觸并覆蓋其外壁的外殼230，很容易對(duì)第一保溫部101造成破壞，安裝效果不佳，而通過(guò)在所述熱處理加熱結(jié)構(gòu)100與外殼230之間設(shè)置第二保溫部220，在進(jìn)一步提高熱處理質(zhì)量和效率的同時(shí)，還可以改善外殼230的安裝效果，提高熱處理裝置200的安裝質(zhì)量。
[0048]在本【具體實(shí)施方式】中，如圖6、圖7所示，所述熱處理裝置200還包括頂部保溫塊240、頂部金屬環(huán)250及底部金屬環(huán)(附圖中未標(biāo)示)。所述頂部保溫塊240設(shè)置在熱處理裝置200的頂部并環(huán)繞所述熱處理裝置200頂部一周。所述頂部金屬環(huán)250設(shè)置在頂部保溫塊240外側(cè)，所述底部金屬環(huán)設(shè)置在熱處理裝置200的底部。所述外殼230與所述頂部金屬環(huán)250及底部金屬環(huán)焊接，以形成熱處理裝置200的外部構(gòu)件。
[0049]在本【具體實(shí)施方式】中，如圖6、圖7所示，所述熱處理裝置200還包括第三保溫部260，所述第三保溫部260置于所述熱處理裝置200的頂部，以實(shí)現(xiàn)熱處理裝置200頂部的保溫。所述第三保溫部260包括沿加熱腔103軸向依次設(shè)置的保溫層601及保溫蓋板602。所述保溫層601由保溫材料真空成型制作而成，所述保溫層601與所述頂部保溫塊240契合并嵌入至所述頂部保溫塊240內(nèi)，以封閉所述熱處理裝置200。所述保溫蓋板602與所述熱處理裝置200的外殼230扣合，進(jìn)一步封閉所述熱處理裝置200。在所述保溫層601與所述保溫蓋板602間設(shè)置有一夾層603，所述夾層603為質(zhì)軟的保溫棉，以便進(jìn)一步對(duì)熱處理裝置200頂部保溫。作為優(yōu)選實(shí)施例，所述夾層603可以與所述保溫蓋板602連接為一體，且所述保溫蓋板602表面光亮，對(duì)電磁波具有一定的反射作用，能夠更好的起到保溫作用，提高熱處理效率，降低熱處理裝置的工作能耗。
[0050]本【具體實(shí)施方式】中，熱處理裝置200設(shè)置第三保溫部260的優(yōu)點(diǎn)在于，根據(jù)熱場(chǎng)的特性，受熱的氣流會(huì)上行，較冷的氣流下降，形成對(duì)流，熱量會(huì)不斷的向上補(bǔ)充，這樣，熱處理裝置200頂部會(huì)不斷的有熱量補(bǔ)充過(guò)來(lái)，如果頂部保溫性較差，就會(huì)有大量的熱量從這里散失掉，影響控溫效果，同時(shí)加大了熱處理裝置200的能耗。為解決這一問(wèn)題，本【具體實(shí)施方式】在熱處理裝置200的頂部設(shè)置第三保溫部260，用來(lái)實(shí)現(xiàn)熱處理裝置200頂部的保溫。
[0051]在本【具體實(shí)施方式】中，在所述熱處理裝置200的頂部還設(shè)置有一吊裝結(jié)構(gòu)(附圖中未標(biāo)示)。所述吊裝結(jié)構(gòu)置于所述頂部金屬環(huán)250上，并穿過(guò)所述保溫蓋板602，可用于安裝固定保溫蓋板602，同時(shí)也可用于熱處理裝置200的吊裝搬運(yùn)。
[0052]本【具體實(shí)施方式】提供的熱處理裝置200中，所采用的熱處理加熱結(jié)構(gòu)100將所述加熱部102嵌入所述第一保溫部101，使得所述加熱部102與所述第一保溫部101之間的安裝固定不需要額外的輔助結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)化了該熱處理加熱結(jié)構(gòu)100 ;而使用該加熱結(jié)構(gòu)100的熱處理裝置200，包括置于內(nèi)層的第一保溫部101、置于外層的第二保溫部220、以及置于頂部的第三保溫部260，具有全方位的良好保溫性能，且該熱處理裝置200包括多個(gè)熱處理加熱結(jié)構(gòu)100，在簡(jiǎn)化熱處理裝置200成型制作過(guò)程、提高熱處理裝置生產(chǎn)效率的同時(shí)，還可通過(guò)對(duì)各熱處理加熱結(jié)構(gòu)100的分別控制實(shí)現(xiàn)分段控溫，提高了熱處理裝置200的熱處理質(zhì)量和效率。
[0053]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種熱處理裝置，其特征在于，包括熱處理加熱結(jié)構(gòu)、第二保溫部、第三保溫部及外殼，其中: 所述熱處理結(jié)構(gòu)包括第一保溫部及加熱部，所述第一保溫部為空心結(jié)構(gòu)，環(huán)繞待加熱樣品形成一加熱腔，其特征在于，所述加熱部部分嵌入所述第一保溫部?jī)?nèi)并與之固定，所述加熱部朝向待加熱樣品的一側(cè)裸露，以加熱所述待加熱樣品；該熱處理裝置中，所述熱處理加熱結(jié)構(gòu)為一個(gè)或多個(gè)，沿所述加熱腔軸向依次疊加放置； 所述第二保溫部環(huán)繞所述疊加放置的熱處理加熱結(jié)構(gòu)并覆蓋其外表面； 所述第三保溫部置于所述熱處理裝置的頂部，以實(shí)現(xiàn)熱處理裝置頂部的保溫； 所述外殼環(huán)繞所述第二保溫部并覆蓋其外表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，所述第三保溫部包括沿加熱腔軸向依次設(shè)置的保溫層、夾層及保溫蓋板，所述保溫蓋板與所述熱處理裝置的外殼扣合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，所述第一保溫部為真空成型的保溫塊，所述第一保溫部與所述加熱部一體成型。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，所述第一保溫部?jī)?nèi)壁設(shè)置有若干凹槽，所述加熱部設(shè)置于所述凹槽內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱處理裝置，其特征在于，所述凹槽為沿所述加熱腔軸向方向的長(zhǎng)條形結(jié)構(gòu)，均勻分布在所述第一保溫部?jī)?nèi)壁。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的熱處理裝置，其特征在于，所述凹槽長(zhǎng)度小于所述第一保溫部長(zhǎng)度，所述凹槽寬度小于或等于相鄰兩凹槽之間的間距。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或5或6所述的熱處理裝置，其特征在于，所述加熱部包括若干螺旋狀的加熱絲，所述加熱絲置于所述凹槽內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的熱處理裝置，其特征在于，相鄰的加熱絲通過(guò)連接部連接在一起，所述連接部嵌入所述第一保溫部，以將所述加熱部固定在所述第一保溫部上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的熱處理裝置，其特征在于，所述連接部與所述加熱絲材質(zhì)相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的熱處理裝置，其特征在于，所述連接部位于所述加熱絲兩端，且相鄰的連接部交錯(cuò)的位于所述加熱絲的上下兩端。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱處理裝置，其特征在于，還包括頂部保溫塊、頂部金屬環(huán)及底部金屬環(huán)，其中: 所述頂部保溫塊置于所述熱處理裝置的頂部，其環(huán)繞熱處理裝置頂部一周，所述第三保溫部的保溫層契合嵌入于所述頂部保溫塊內(nèi)； 所述頂部金屬環(huán)置于所述頂部保溫塊外側(cè)； 所述底部金屬環(huán)置于所述熱處理裝置底部； 所述頂部金屬環(huán)、底部金屬環(huán)均與所述外殼連接在一起。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱處理裝置，其特征在于，所述第二保溫部和所述夾層均為質(zhì)軟的保溫棉。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的熱處理裝置，其特征在于，還包括一設(shè)置在熱處理裝置頂部的吊裝結(jié)構(gòu)，所述吊裝結(jié)構(gòu)置于所述頂部金屬環(huán)上，并穿過(guò)所述保溫蓋板。
【文檔編號(hào)】C30B33/02GK203795020SQ201420074350
【公開(kāi)日】2014年8月27日 申請(qǐng)日期:2014年2月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月20日
【發(fā)明者】孫少東, 周厲穎, 王艾 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司