熱處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種對(duì)工件進(jìn)行熱處理的熱處理裝置，特別涉及在室內(nèi)對(duì)工件進(jìn)行加熱而進(jìn)行熱處理的熱處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，如圖6所示那樣，已知一種加熱裝置300，設(shè)置有將包圍工件200而氣密地封閉的腔室310貫通的玻璃管301。在該裝置中，通過(guò)密封部件304將腔室310與玻璃管301之間封閉，在與密封部件304對(duì)應(yīng)的區(qū)域的玻璃管301的表面上形成有紅外線反射膜301a。此外，在玻璃管301的內(nèi)部流通冷卻風(fēng)330并且配置有白熾燈320 (參照專利文獻(xiàn)1、例如權(quán)利要求I以及圖2)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本專利申請(qǐng)公開第2011-190511號(hào)公報(bào)(例如，參照權(quán)利要求1、圖2)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本專利申請(qǐng)公開第2009-88105號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的課題
[0008]然而，在以往的加熱裝置300中，玻璃管301以及密封部件304的軸直角方向的投影面積較大，而腔室310的容積變得較大。因此，室內(nèi)的氣氛的調(diào)整所需要的時(shí)間變長(zhǎng)，不能夠成為生產(chǎn)率較高的優(yōu)良的加熱裝置。本發(fā)明是鑒于這些課題而進(jìn)行的，其目的在于提供一種熱處理裝置，使熱放射加熱器的安裝機(jī)構(gòu)以及密封機(jī)構(gòu)的軸直角方向的投影面積減少而使腔室的容積減少。
[0009]用于解決課題的手段
[0010]為了解決上述課題，本發(fā)明的第一方式的熱處理裝置例如是圖1、圖2A以及圖2B所示的熱處理裝置100，具備:腔室10，對(duì)熱處理對(duì)象的工件200進(jìn)行收容，且具有將腔室的內(nèi)部與外部分隔的隔壁1a ;以及熱放射加熱器20，貫通隔壁1a而設(shè)置；熱放射加熱器20具有:熱放射部2，放射對(duì)工件200進(jìn)行加熱的熱；以及圓筒形狀的玻璃管1，對(duì)熱放射部2進(jìn)行覆蓋，且具有使熱放射部2向軸向的外側(cè)越過(guò)而延長(zhǎng)的延長(zhǎng)部3 ;并且，熱處理裝置100具備:環(huán)狀密封4，配置在延長(zhǎng)部3的外周面3a，且內(nèi)周面4a與延長(zhǎng)部3的外周面3a接觸而將腔室10的內(nèi)部與外部氣密地密封；以及熱遮擋板5，在玻璃管I的軸向上配置在熱放射部2與環(huán)狀密封4之間，對(duì)環(huán)狀密封4相對(duì)于熱放射部2進(jìn)行熱遮擋，形成有沿著延長(zhǎng)部3的內(nèi)周面5d。
[0011]當(dāng)如此構(gòu)成時(shí)，與以往的熱放射加熱器的密封機(jī)構(gòu)相比較，能夠?qū)⑹篃岱派浼訜崞鳉饷艿孛芊?封閉)在室內(nèi)的熱放射加熱器的密封機(jī)構(gòu)(環(huán)狀密封)的軸直角方向的投影面積設(shè)置得較小。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)將相同輸出的熱放射加熱器收容到更小地設(shè)置的室內(nèi)、具有較高的氣氛調(diào)整效率、生產(chǎn)率較高、優(yōu)良的熱處理裝置。此外，即使在設(shè)置多個(gè)相鄰接的熱放射加熱器的情況下，也能夠?qū)⑺鼈兏芗嘏渲谩Ｒ虼?，能夠?qū)崿F(xiàn)具有較高加熱效率的優(yōu)良的熱處理裝置。
[0012]此外，本發(fā)明的第二方式的熱處理裝置為，在本發(fā)明的第一方式的熱處理裝置100中，例如圖1以及圖2B所示那樣，具備對(duì)熱遮擋板5進(jìn)行保持的冷卻塊30，且是覆蓋延長(zhǎng)部3、并沿玻璃管I的軸向延伸到腔室10的隔壁的外側(cè)的冷卻塊30 ;環(huán)狀密封4的外周面4b構(gòu)成為，與冷卻塊30接觸而氣密地密封。
[0013]當(dāng)如此構(gòu)成時(shí)，能夠通過(guò)冷卻塊對(duì)熱遮擋板和環(huán)狀密封進(jìn)行高效的冷卻。因此，能夠?qū)?duì)熱放射部和環(huán)狀密封進(jìn)行分離的間隔、以及將熱放射部和熱遮擋板進(jìn)行分離的間隔設(shè)置得較小，因此能夠?qū)岱派浼訜崞鞯拿芊鈾C(jī)構(gòu)沿軸向設(shè)置得較小。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)腔室被設(shè)置得較小的、優(yōu)良的熱處理裝置。
[0014]此外，本發(fā)明的第三方式的熱處理裝置為，在本發(fā)明的第二方式的熱處理裝置100中，例如圖1所示那樣，具備對(duì)冷卻塊30進(jìn)行冷卻的冷卻介質(zhì)循環(huán)裝置40e。
[0015]當(dāng)如此構(gòu)成時(shí)，能夠經(jīng)由冷卻塊通過(guò)冷卻介質(zhì)(例如水、空氣)對(duì)環(huán)狀密封以及熱遮擋板進(jìn)行更高效的冷卻，因此能夠?qū)?duì)熱放射部和環(huán)狀密封進(jìn)行分離的間隔、以及對(duì)熱放射部和熱遮擋板進(jìn)行分離的間隔設(shè)定得更小。因此，能夠?qū)岱派浼訜崞鞯拿芊鈾C(jī)構(gòu)在軸向上設(shè)置得更小，因此能夠?qū)崿F(xiàn)腔室被設(shè)置得更小的、優(yōu)良的熱處理裝置。
[0016]此外，本發(fā)明的第四的方式的熱處理裝置為，在本發(fā)明的第二或者第三方式的熱處理裝置100中，例如圖3A所示那樣，還具備隔離塊40，該隔離塊40具有相對(duì)于工件200 (參照?qǐng)D1)將熱放射加熱器20定位于規(guī)定的位置的、供冷卻塊30貫通的貫通孔40a;隔離塊40構(gòu)成為，將具有比貫通孔40a大的開口面積的、設(shè)置在腔室10的隔壁1a上的貫通開口 1b氣密地堵塞而安裝；冷卻塊30和隔離塊40構(gòu)成為，氣密地密封而安裝。
[0017]當(dāng)如此構(gòu)成時(shí)，能夠設(shè)置為，在適合于熱放射加熱器對(duì)工件進(jìn)行加熱的隨意的位置，配置用于供對(duì)熱放射加熱器進(jìn)行覆蓋而支撐的冷卻塊貫通的隔離塊的貫通孔，而高效地對(duì)工件進(jìn)行加熱。此外，在另一方面，能夠設(shè)置為通過(guò)隔離塊氣密地堵塞設(shè)置在腔室的隔壁上的貫通開口。因此，不按照每個(gè)不同的熱放射加熱器的配置來(lái)設(shè)置專用的腔室，也能夠在適合于對(duì)工件進(jìn)行加熱的隨意的位置配置熱放射加熱器。此外，能夠迅速、容易地變更熱放射加熱器的配置。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)能夠?qū)Ω鄻拥墓ぜM(jìn)行高效的熱處理的生產(chǎn)率較高、優(yōu)良的熱處理裝置。
[0018]此外，本發(fā)明的第五方式的熱處理裝置為，在本發(fā)明的第一方式的熱處理裝置100中，例如圖4所示那樣，具備隔離塊40，該隔離塊40具有相對(duì)于工件200 (參照?qǐng)D1)將熱放射加熱器20定位于規(guī)定的位置而安裝的貫通孔40a ;隔離塊40構(gòu)成為，將具有比貫通孔40a更大的開口面積的、設(shè)置在腔室10的隔壁1a上的貫通開口 1b氣密地堵塞而安裝；環(huán)狀密封4(參照?qǐng)D2B)的外周面4b (參照?qǐng)D2B)構(gòu)成為，與貫通孔40a的內(nèi)周面40b抵接而氣密地進(jìn)行密封。
[0019]當(dāng)如此構(gòu)成時(shí)，即使在不具備冷卻塊的情況下，也能夠與第四方式的熱處理裝置同樣，在設(shè)置在隔離塊的隨意位置的貫通孔中配置熱放射加熱器而高效對(duì)工件進(jìn)行熱處理。因此，不按照每個(gè)不同的熱放射加熱器的配置來(lái)設(shè)置專用的腔室，就能夠在適合于對(duì)工件進(jìn)行加熱的隨意的位置配置熱放射加熱器。此外，能夠迅速、容易地變更熱放射加熱器的配置。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)能夠?qū)Ω鄻拥墓ぜM(jìn)行高效的熱處理的生產(chǎn)率較高、優(yōu)良的熱處理
目.0
[0020]此外，本發(fā)明的第六方式的熱處理裝置為，在本發(fā)明的第一至第五方式的任一個(gè)方式的熱處理裝置100中，例如圖2A所示那樣，熱遮擋板5形成為環(huán)狀，并通過(guò)以徑向的分割面5e將環(huán)分割為多個(gè)，由此分割設(shè)置為多個(gè)部件5a、5b。
[0021]當(dāng)如此設(shè)置時(shí)，即使在端部被壓扁為扁平而重疊、且成為寬度較大的熱放射加熱器上安裝熱遮擋板的情況下，也能夠從熱放射加熱器的軸直角方向容易地組裝被分割的熱遮擋板。此時(shí)，不會(huì)使成為寬度較大的玻璃管的軸向的端部貫通到一體設(shè)置的熱遮擋板所具有的貫通孔內(nèi)而組裝。此外，熱遮擋板被分割設(shè)置為多個(gè)部件，因此能夠?qū)⒍鄠€(gè)被分割的熱遮擋板分別沿著內(nèi)周面而組裝到玻璃管的延長(zhǎng)部的外周面。通過(guò)如此分割的熱遮擋板，也能夠沿軸向?qū)Νh(huán)狀密封進(jìn)行熱遮擋而防止環(huán)狀密封的溫度上升。
[0022]此外，本發(fā)明的第七方式的熱處理裝置為，在本發(fā)明的第二至第四方式的任一個(gè)方式的熱處理裝置100中，例如圖5所示那樣，熱遮擋板5(例如，參照?qǐng)D1)以及冷卻塊30(例如，參照?qǐng)D1)設(shè)置為一體的部件30e。
[0023]當(dāng)如此設(shè)置時(shí)，通過(guò)將熱遮擋板和冷卻塊設(shè)置為一體，由此能夠提高熱傳導(dǎo)而進(jìn)行更高效的冷卻，因此能夠?qū)?duì)熱放射部和環(huán)狀密封進(jìn)行分離的間隔、以及對(duì)熱放射部和熱遮擋板進(jìn)行分離的間隔設(shè)置得更小。因此，能夠?qū)岱派浼訜崞鞯拿芊鈾C(jī)構(gòu)在軸向上設(shè)置得更小，因此能夠?qū)崿F(xiàn)腔室被設(shè)置得更小的、優(yōu)良的熱處理裝置。
[0024]發(fā)明的效果
[0025]根據(jù)本發(fā)明的熱處理裝置，能夠提供一種熱處理裝置，能夠使熱放射加熱器的安裝機(jī)構(gòu)以及密封機(jī)構(gòu)的軸直角方向的投影面積減少而使腔室的容積減少。
【附圖說(shuō)明】
[0026]圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的熱處理裝置的例的主視截面圖。在圖中將例示的熱處理裝置以及工件的長(zhǎng)邊方向的中間部分通過(guò)兩條波線進(jìn)行切斷而省略地表示。此夕卜，將熱放射加熱器的玻璃管和白色陶瓷涂料局部切斷地表示。
[0027]圖2A至圖2C是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的熱處理裝置的例的放大說(shuō)明圖。圖2A是從熱放射加熱器的軸向內(nèi)側(cè)觀察熱遮擋板的圖。
[0028]圖2B是調(diào)整側(cè)冷卻塊的放大主視截面圖。
[0029]圖2C是從軸向外側(cè)觀察熱放射加熱器的圖。
[0030]圖3A以及圖3B是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的熱處理裝置的例的立體圖。圖3A是表示將熱放射加熱器、冷卻塊以及隔離塊組裝于腔室隔壁的狀態(tài)的圖。
[0031]圖3B是表示將熱放射加熱器、冷卻塊以及隔離塊從腔室隔壁拆卸的狀態(tài)下的腔室隔壁的貫通開口的圖。
[0032]圖4是表示本發(fā)明其他實(shí)施方式的熱處理裝置的例的立體圖。
[0033]圖5是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的熱處理裝置的例的主視截面圖。在圖中通過(guò)兩根波線將例示的熱處理裝置以及工件的長(zhǎng)邊方向的中間部分切斷而省略地表示。