專利名稱：一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及LED藍寶石襯底片的加工制作過程中藍寶石晶體生長爐的必需部件，尤其是一種隔熱保溫系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
LED行業(yè)在國外已經(jīng)有幾十年的發(fā)展歷程，在國內(nèi)從2010年開始剛剛起步，而藍寶石襯底片經(jīng)過幾十年的的生產(chǎn)實踐證明，是迄今為止最為經(jīng)濟的一種襯底材料，為降低LED制造成本起著關(guān)鍵的作用。而藍寶石晶體生長設(shè)備是必要的載體。目前國內(nèi)已經(jīng)大量引進了藍寶石晶體生長設(shè)備，工藝方法包括KY法，HEM法，EFG法，TGT法等，其中KY工藝生產(chǎn)效率高，技術(shù)成熟，可生長大尺寸高質(zhì)量晶錠，生產(chǎn)成本低，但是在嚴峻的經(jīng)濟形勢下，LED的加工制造對于襯底片的成本要求更加苛刻，而藍寶石襯底片的加工成本主要來自長晶環(huán)節(jié)，在長晶的過程中，晶體生長爐的耗材成本直接決定著藍寶石襯底片的加工成本。在初期，國內(nèi)的晶體生長廠家大多采購國外隔熱屏和發(fā)熱體，雖然這些廠家都已經(jīng)將這些耗材國產(chǎn)化，成本有了明顯的下降，但是沒有從根本上降低耗材的成本。目前國內(nèi)采用的熱場結(jié)構(gòu)三組隔熱屏多為一體式結(jié)構(gòu)，在達到報廢期后，整套熱場需要全部更換。耗材成本極聞。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，用于改善藍寶石晶體生長系統(tǒng)進行晶體生長的耗材成本。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案為:一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，包括側(cè)隔熱屏，頂部隔熱屏和底部隔熱屏，其特征在于，所述側(cè)隔熱屏由10-20層板材組成，通過懸掛件懸掛于爐殼上，所述頂部隔熱屏由10-15層板材組成，直接放置于側(cè)隔熱屏上，所述底部隔熱屏由10-15層板材組成，通過支架放置于下爐蓋上。上述一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述側(cè)隔熱屏分為兩部分，內(nèi)層靠近發(fā)熱體部分1-8層材質(zhì)為鎢，其余層材質(zhì)為鑰，所述頂部隔熱屏分為兩部分，最底層1-3層材質(zhì)為鎢，其余層材質(zhì)為鑰，所述底部隔熱屏分為兩部分，最上面1-3層材質(zhì)為鎢，其余層材質(zhì)為鑰。側(cè)隔熱屏到了報廢期，拆掉兩組發(fā)熱體，更換第一組的1-8層鎢屏即可，頂部隔熱屏和底部隔熱屏在達到報廢期后，直接更換鎢屏即可。上述一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述側(cè)隔熱屏通過公母懸掛件懸掛于爐殼上，懸掛件材質(zhì)為鑰，其上有懸掛件通孔6個，發(fā)熱體電極槽6個，側(cè)隔熱屏各層中間通過波浪板保持各層間距，所述頂部隔熱屏各層通過鑰桿連接成為一個整體，用小型鑰塊穿在鑰桿上，置于各層之間，保持各層板材的間距，所述底部隔熱屏各層通過鑰桿連接組成一個整體，用小型鑰塊穿在鑰桿上，置于各層之間，保持各層板材的間距。上述一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述頂部隔熱屏在中心部位開有籽晶通孔，以使籽晶桿和籽晶能從中通過。上述一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述側(cè)隔熱屏，頂部隔熱屏和底部隔熱屏所使用的鎢板和鑰板，純度均為99.95%,厚度均為0.5mm至5mm，板間距均為0.5mm至5_。本發(fā)明的優(yōu)點在于:復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)采用分體式可拆卸結(jié)構(gòu)，極大地降低了藍寶石生長系統(tǒng)的耗材成本。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步詳細的說明。

圖1是監(jiān)寶石晶體生長系統(tǒng)整體不意圖。圖2是側(cè)隔熱屏俯視圖示意圖。圖3是側(cè)隔熱屏側(cè)視圖示意圖。圖4是側(cè)隔熱屏懸掛件示意圖。圖5是頂部隔熱屏主視圖示意圖。圖6是頂部隔熱屏俯視圖示意圖。圖7是底部隔熱屏主視圖示意圖。圖8是底部隔熱屏俯視圖不意圖。
具體實施方式
圖1和圖7所不,藍寶石晶體生長系統(tǒng)包括側(cè)隔熱屏I,頂部隔熱屏2,底部隔熱屏3，側(cè)發(fā)熱體4，下發(fā)熱體5，鎢坩堝6，電極樁7，側(cè)隔熱屏懸掛件8，上爐蓋9，下爐蓋10，坩堝支架11，爐殼12，上隔熱屏籽晶通孔13，晶體14和熔體15，鎢坩堝6放置于側(cè)發(fā)熱體4的里面，通過坩堝支架11，支撐于下爐蓋10上，是盛裝氧化鋁原料的容器。藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)包括側(cè)隔熱屏1，頂部隔熱屏2和底部隔熱屏3，側(cè)隔熱屏I由20層板材組成，通過懸掛件懸掛于爐殼12上，頂部隔熱屏2由15層板材組成，直接放置于側(cè)隔熱屏I上，底部隔熱屏3由15層板材組成，通過下隔熱屏支架19放置于下爐蓋10上，下發(fā)熱體5通過電極爪16支撐于下爐殼電極樁34上，本晶體生長爐采用下裝料的方式，在開始時通過升降機構(gòu)，將下爐蓋10，底部隔熱屏3和鎢坩堝6 —起送入主腔室內(nèi)。圖2，圖3和圖4所示，側(cè)隔熱屏I分為兩組，第一組靠近發(fā)熱體4的部分由8層鎢板彎曲成圓筒狀構(gòu)成，第二組由12層鑰板彎曲的圓筒組成，側(cè)隔熱屏I通過公母懸掛件懸掛于爐殼12上，懸掛件材質(zhì)為鑰，其上的懸掛件通孔29有6個，發(fā)熱體電極槽30有6個，側(cè)隔熱屏I各層中間通過波浪板26保持各層間距，側(cè)隔熱屏I置于側(cè)發(fā)熱體4的外面。在側(cè)隔熱屏I上有懸掛件開孔29和電極爪開孔30，側(cè)發(fā)熱體4的電極爪通過電極爪通孔30懸掛于爐殼12電極樁7上。懸掛件由3部分組成,第一部分為爐壁連接件33,為不銹鋼314材質(zhì)，焊接與爐殼12上，側(cè)隔熱屏懸掛件由公槽31和母槽32構(gòu)成，材質(zhì)均為鑰，公槽31和爐壁連接件33之間通過螺孔連接，公槽31用于懸掛側(cè)隔熱屏I鑰屏28，母槽32懸掛于公槽31上，用于懸掛側(cè)隔熱屏I鎢屏27。圖5和圖6所示，頂部隔熱屏2分為兩組，第一組由下部3層鎢板27組成，第二組由12層鑰板28組成，兩組隔熱屏上均開有鑰桿連接孔22，兩組隔熱屏通過連接鑰桿17，組成一個整體。在上爐蓋9和上隔熱屏2上開有籽晶通孔24，以保證晶體生長時籽晶的通過。圖7和圖8所示，底部隔熱屏3分為兩組，第一組27為3層鎢板組成，第二組28由12層鑰板組成，在鎢板和鑰板上開有鑰桿連接孔22和電極爪開孔21，兩組隔熱屏通過連接鑰桿17連成一個整體，各層隔熱屏通過小鑰塊18保持間距。側(cè)隔熱屏1，頂部隔熱屏2和底部隔熱屏3在到了報廢期后，只拆除鎢屏27，然后更換即可。
權(quán)利要求1.一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，包括側(cè)隔熱屏，頂部隔熱屏和底部隔熱屏，其特征在于，所述側(cè)隔熱屏由10-20層板材組成，通過懸掛件懸掛于爐殼上，所述頂部隔熱屏由10-15層板材組成，直接放置于側(cè)隔熱屏上，所述底部隔熱屏由10-15層板材組成，通過支架放置于下爐蓋上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述側(cè)隔熱屏分為兩部分，內(nèi)層靠近發(fā)熱體部分1-8層材質(zhì)為鎢，其余層材質(zhì)為鑰，所述頂部隔熱屏分為兩部分，最底層1-3層材質(zhì)為鎢，其余層材質(zhì)為鑰，所述底部隔熱屏分為兩部分，最上面1-3層材質(zhì)為鎢，其余層材質(zhì)為鑰。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述側(cè)隔熱屏通過公母懸掛件懸掛于爐殼上，懸掛件材質(zhì)為鑰，其上有懸掛件通孔6個，發(fā)熱體電極槽6個，側(cè)隔熱屏各層中間通過波浪板保持各層間距，所述頂部隔熱屏各層通過鑰桿連接成為一個整體，用小型鑰塊穿在鑰桿上，置于各層之間，保持各層板材的間距，所述底部隔熱屏各層通過鑰桿連接組成一個整體，用小型鑰塊穿在鑰桿上，置于各層之間，保持各層板材的間距。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述頂部隔熱屏在中心部位開有籽晶通孔，以使籽晶桿，籽晶能從中通過。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述側(cè)隔熱屏，頂部隔熱屏和底部隔熱屏所使用的鎢板和鑰板，純度均為99.95%，厚度均為0.5mm至5mm，板間距均為0.5mm至5mm。
專利摘要本實用新型公開了一種新型藍寶石晶體生長爐復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)，包括側(cè)隔熱屏，頂部隔熱屏和底部隔熱屏，側(cè)隔熱屏由10-20層板材組成，通過懸掛件懸掛于爐殼上，頂部隔熱屏由10-15層板材組成，直接放置于側(cè)隔熱屏上，底部隔熱屏由10-15層板材組成，通過支架放置于下爐蓋上。本實用新型提供的復(fù)合式隔熱屏系統(tǒng)采用分體式可拆卸結(jié)構(gòu)，極大地降低了藍寶石生長系統(tǒng)的耗材成本。
文檔編號C30B29/20GK203049093SQ20122066357
公開日2013年7月10日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者滑喜寶 申請人:蘇州工業(yè)園區(qū)杰士通真空技術(shù)有限公司