專利名稱：多晶硅芯酸洗連體槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅料、硅芯、電池片等材料的酸洗處理設(shè)備，尤其涉及一種多晶硅料、硅芯等材料的酸洗連體槽。
背景技術(shù)：
在硅料、電池片的化學(xué)處理過程中，為保證產(chǎn)品質(zhì)量，需要嚴(yán)格控制工藝條件，尤其是對(duì)于酸洗設(shè)備。由于使用的是高腐蝕、高揮發(fā)性的HF、HN03，所以必須防止因化學(xué)液體和氣體泄露，對(duì)人體和環(huán)境造成危害和污染。而加工過程中，槽體須接觸溫差變化較大的環(huán)境，對(duì)于槽體本身的要求也比較高。零部件接口過多或者循環(huán)運(yùn)輸管道過長均會(huì)影響工藝條件的穩(wěn)定性、增加設(shè)備損耗、和化學(xué)品泄露的風(fēng)險(xiǎn)。因此，設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性、安全性以及工作效率的提高是急需解決的技術(shù)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型是要解決上述技術(shù)問題，提出了一種具有高效、穩(wěn)定、安全的結(jié)構(gòu)簡單化的多晶硅芯酸洗連體槽。本實(shí)用新型提出的多晶硅芯酸洗連體槽，其包括主槽、副槽。主槽設(shè)于副槽腔內(nèi)的上部，形成主、副槽的一體化槽體；所述主槽外壁與副槽的內(nèi)壁留有間隙，主槽的上部邊緣設(shè)有矩形溢流口，所述主、副槽之間還聯(lián)通有可冷卻主槽內(nèi)的藥液的冷卻系統(tǒng)。較優(yōu)的，所述的冷卻系統(tǒng)包括:設(shè)于所述主槽內(nèi)底部的輸液管、聯(lián)通該輸液管和所述副槽的藥液循環(huán)管、與該藥液循環(huán)管串接的熱交換器、控制閥及循環(huán)磁力泵并接于熱交換器和副槽之間。較優(yōu)的，所述的主槽內(nèi)還設(shè)有與一控制器連接的測(cè)溫探頭，所述的循環(huán)磁力泵與該控制器連接。較優(yōu)的，所述的主槽內(nèi)還設(shè)有與所述控制器連接的第一浮球式液位開關(guān)，所述的副槽與自動(dòng)供酸機(jī)聯(lián)通。較優(yōu)的，所述的主槽壁體上設(shè)有主槽抽風(fēng)口連接外部的抽風(fēng)系統(tǒng)。較優(yōu)的，所述的副槽壁體上設(shè)有副槽抽風(fēng)口連接外部的抽風(fēng)系統(tǒng)。較優(yōu)的，所述副槽的底部還裝有與外部相連的快排閥。本實(shí)用新型有著矩形溢流和快排的功能，具有強(qiáng)大的處理能力。本實(shí)用新型將原本處于主槽之外的副槽合二為一，不僅在保證功能完整性的同時(shí)使結(jié)構(gòu)簡單化，而且減少了主槽和副槽之間的循環(huán)傳輸系統(tǒng)，直接通過主槽的溢流口實(shí)現(xiàn)了主、副槽之間的液體輸送。整體性的加強(qiáng)增加了槽體酸洗的穩(wěn)定性和安全性，提高了效率。部件和機(jī)構(gòu)的減少也實(shí)現(xiàn)了材料上的節(jié)約。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做出詳細(xì)的說明，其中:[0014]

圖1為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的橫向剖視圖；圖2為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的縱向剖視圖。
具體實(shí)施方式
圖1和圖2示出了本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的基本結(jié)構(gòu)，所述的多晶硅芯酸洗連體槽，包括主槽1、副槽6。主槽I連接于副槽6腔內(nèi)的上部，形成主、副槽的一體化槽體。主槽I的外壁與副槽6的內(nèi)壁留有間隙，主槽的上部邊緣設(shè)有矩形的溢流口 2(也可以設(shè)置成波浪狀的溢流口)。主、副槽之間還聯(lián)通有可冷卻主槽I內(nèi)的藥液的冷卻系統(tǒng)。本實(shí)施例中，冷卻系統(tǒng)包括:設(shè)于主槽I內(nèi)底部的輸液管7、聯(lián)通該輸液管和副槽6的藥液循環(huán)管8、與該藥液循環(huán)管串接的在線式的熱交換器9，還有控制閥11和循環(huán)磁力泵10并接于熱交換器9和副槽6之間。主槽I內(nèi)還設(shè)有與一控制器(未示出)連接的測(cè)溫探頭4，循環(huán)磁力泵10與該控制器連接。主槽I內(nèi)還設(shè)有與控制器連接的第一浮球式液位開關(guān)5，副槽6與外部的自動(dòng)供酸機(jī)(配制藥液的設(shè)備)聯(lián)通。副槽6內(nèi)還設(shè)有與控制器連接的:高液位浮球式液位開關(guān)12和低液位浮球式液位開關(guān)13以及液位檢測(cè)儀14。主槽I壁體上設(shè)有主槽抽風(fēng)口 20連接外部的抽風(fēng)系統(tǒng)。副槽6壁體上設(shè)有副槽抽風(fēng)口 21連接外部的抽風(fēng)系統(tǒng)。副槽6的底部還裝有與外部聯(lián)通的快排閥22。參見圖1和圖2，處理多晶硅芯時(shí)，將裝有多晶硅芯的清洗籃放在盛有化學(xué)處理藥液的處理主槽I內(nèi)。清洗多晶硅芯時(shí)可以對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)化控制。如，當(dāng)主槽I內(nèi)藥液反應(yīng)溫度過高時(shí)，測(cè)溫探頭4將電訊號(hào)傳給控制器，控制器接到信號(hào)后發(fā)出指令傳到循環(huán)磁力泵10，循環(huán)磁力泵10開始將副槽6中的藥液輸送給在線式熱交換器9進(jìn)行降溫處理,再通過藥液循環(huán)管8和輸液管7輸送到主槽I內(nèi)的下方，主槽I內(nèi)上方的藥液通過溢流口 2流入副槽6內(nèi)，如此循環(huán)，從而實(shí)現(xiàn)主槽I內(nèi)藥液的溫度調(diào)整。參見圖1，當(dāng)主槽I中的處理多晶硅芯的藥液濃度不足或者藥液液面高度不夠時(shí)，第一浮球式液位開關(guān)5通過控制器啟動(dòng)循環(huán)磁力泵10運(yùn)轉(zhuǎn)，將儲(chǔ)存在副槽6的藥液通過藥液循環(huán)管道8和輸液管7抽入主槽I中，如此循環(huán)，從而實(shí)現(xiàn)主槽I內(nèi)藥液濃度或者藥液量的調(diào)整。副槽6內(nèi)的高液位浮球式液位開關(guān)12和低液位浮球式液位開關(guān)13通過控制器控制自動(dòng)供酸機(jī)自動(dòng)補(bǔ)充副槽6內(nèi)藥液的量。主槽和副槽直接通過溢流口實(shí)現(xiàn)酸液傳輸，而且矩形溢流口增加了酸液的溢流面積，更有利于酸液的冷卻。在循環(huán)的過程中抽風(fēng)系統(tǒng)將不斷地抽取主槽I內(nèi)和副槽6內(nèi)的酸性氣體。而快排閥22為酸液的更換帶來了方便。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，具有良好的穩(wěn)定性，安全性和效率。通用于各種多晶硅材料的化學(xué)處理設(shè)備中，可針對(duì)不同的需要采用不同的處理方式。各功能優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，互不干涉，以便達(dá)到最好的處理效果。在滿足顧客的功能需求的同時(shí)，提高了安全性能。以上結(jié)合較佳實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了具體描述，但是本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或變化，這些變更和變化應(yīng)落入本實(shí)用新型保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多晶硅芯酸洗連體槽，包括主槽(I)、副槽(6)，其特征在于，所述的主槽(I)設(shè)于副槽(6)腔內(nèi)的上部，形成主、副槽的一體化槽體；所述主槽(I)外壁與副槽(6)的內(nèi)壁留有間隙，主槽的上部邊緣設(shè)有矩形溢流口(2)，所述主、副槽之間還聯(lián)通有可冷卻主槽(I)內(nèi)的藥液的冷卻系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的多晶硅芯酸洗連體槽，其特征在于，所述的冷卻系統(tǒng)包括設(shè)于所述主槽(I)內(nèi)底部的輸液管(7)、聯(lián)通該輸液管和所述副槽(6)的藥液循環(huán)管(8)、與該藥液循環(huán)管串接的熱交換器(9)，控制閥(11)及循環(huán)磁力泵(10)并接于熱交換器(9)和副槽(6)之間。
3.如權(quán)利要求2所述的多晶硅芯酸洗連體槽，其特征在于，所述的主槽(I)內(nèi)還設(shè)有與一控制器連接的測(cè)溫探頭(4 )，所述的循環(huán)磁力泵(10 )與該控制器連接。
4.如權(quán)利要求3所述的多晶硅芯酸洗連體槽，其特征在于，所述的主槽(I)內(nèi)還設(shè)有與所述控制器連接的第一浮球式液位開關(guān)(5)，所述的副槽(6)與自動(dòng)供酸機(jī)聯(lián)通。
5.如權(quán)利要求1所述的多晶硅芯酸洗連體槽，其特征在于，所述的主槽(I)壁體上設(shè)有主槽抽風(fēng)口(20)連接外部的抽風(fēng)系統(tǒng)。
6.如權(quán)利要求1所述的多晶硅芯酸洗連體槽，其特征在于，所述的副槽(6)壁體上設(shè)有副槽抽風(fēng)口(21)連接外部的抽風(fēng)系統(tǒng)。
7.如專利要求I所述的多晶硅芯酸洗連體槽，其特征在于，所述副槽(6)的底部還裝有與外部相連的快排閥(22)。
專利摘要一種多晶硅芯酸洗連體槽，其包括主槽、副槽。主槽設(shè)于副槽腔內(nèi)的上部，形成主、副槽的一體化槽體。主槽外壁與副槽的內(nèi)壁留有間隙，主槽的上部邊緣設(shè)有矩形溢流口，主、副槽之間還聯(lián)通有可冷卻主槽內(nèi)的藥液的冷卻系統(tǒng)。本實(shí)用新型將原本處于主槽之外的副槽合二為一，使得結(jié)構(gòu)簡單，具有良好的穩(wěn)定性，安全性和效率。通用于各種多晶硅材料的化學(xué)處理設(shè)備中，可針對(duì)不同的需要采用不同的處理方式。各功能優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，互不干涉，以便達(dá)到最好的處理效果。在滿足顧客的功能需求的同時(shí)，提高了安全性能。
文檔編號(hào)C30B33/10GK203021680SQ201220439030
公開日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2012年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月31日
發(fā)明者左國軍 申請(qǐng)人:常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司