專利名稱：單晶爐籽晶觸液檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種單晶爐籽晶觸液檢測裝置。
背景技術(shù)：
單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料。 單晶爐籽晶觸液檢測裝置的作用如下在硅單晶拉制過程中，使用籽晶觸液檢測裝置可精確的測量晶棒斷線問題，降低晶棒的拉制的損耗。一般的單晶爐籽晶觸液檢測裝置，都是采用繁瑣的程序來實現(xiàn)的，其傳輸不靈敏，容易造成晶棒斷線而檢測不到的現(xiàn)象。發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，有必要提供一種可靠性、安全系數(shù)高的單晶爐籽晶觸液檢測裝置。一種單晶爐籽晶觸液檢測裝置，包括真空接頭、傳輸線、端蓋、絕緣件、籽晶組件、PLC及電源。真空接頭與端蓋的進(jìn)線口固定連接。真空接頭的一端通過傳輸線與PLC電性連接，真空接頭的另一端通過另一條傳輸線與籽晶組件電性連接。籽晶組件包括收容部、籽晶繩、壓輪軸、繩輪及籽晶繩引導(dǎo)部。收容部的頂部與端蓋固定連接，傳輸線從端蓋內(nèi)穿入收容部。收容部內(nèi)收容壓輪軸及繩輪，且收容部與壓輪軸、繩輪相對固定，傳輸線與壓輪軸以焊接方式相互固定連接，籽晶繩纏繞在繩輪上。收容部的底部與絕緣件固定連接，籽晶繩引導(dǎo)部固定在絕緣件上且位于收容部正下方，籽晶繩的一端從籽晶繩引導(dǎo)部內(nèi)穿出，與晶棒連接。優(yōu)選的，真空接頭為具有真空度的九芯接頭。優(yōu)選的，籽晶繩由鎢材質(zhì)制成。優(yōu)選的，端蓋采用不銹鋼材料制成。優(yōu)選的，傳輸線與真空接頭連接方式是焊接。本實用新型提供的單晶爐籽晶觸液檢測裝置，采用PLC (Programmable LogicController，可編程邏輯控制器)通過傳輸線將電源的電信號提供給單晶爐籽晶觸液檢測裝置的籽晶組件，籽晶組件再將電信號傳遞給籽晶繩，籽晶繩下端的晶棒通過與晶液組成一個閉合回路，當(dāng)晶棒脫離晶液時，不能構(gòu)成一個閉合回路，這時就會將短路信號傳遞PLC，PLC輸出報警信號，提示現(xiàn)場操作人員斷線，使現(xiàn)場操作人員能及時的處理問題，故該單晶爐籽晶觸液檢測裝置操作方便，可靠性高，能降低拉晶成本。


附圖I是一較佳實施方式的單晶爐籽晶觸液檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖2是圖I中單晶爐籽晶觸液檢測裝置另一角度的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中單晶爐籽晶觸液檢測裝置10、真空接頭11、傳輸線12、端蓋13、進(jìn)線口 131、絕緣件15、籽晶組件16、收容部160、籽晶繩161、壓輪軸162、繩輪163、籽晶繩引導(dǎo)部165、PLC18、電源 19具體實施方式
本實用新型在單晶爐上設(shè)置單晶爐籽晶觸液檢測裝置，該單晶爐籽晶觸液檢測裝置米用PLC (Programmable Logic Controller,可編程邏輯控制器)通過傳輸線將電源的電信號提供給單晶爐籽晶觸液檢測裝置的籽晶組件，籽晶組件再將電信號傳遞給籽晶繩，籽晶繩下端的晶棒通過與晶液組成一個閉合回路，當(dāng)晶棒脫離晶液時，不能構(gòu)成一個閉合回路，這時就會將短路信號傳遞PLC，PLC輸出報警信號，提示現(xiàn)場操作人員斷線，使現(xiàn)場操作人員能及時的處理問題。如圖I及圖2所示的單晶爐籽晶觸液檢測裝置結(jié)構(gòu)示意圖，單晶爐籽晶觸液檢測裝置10包括真空接頭11、傳輸線12、端蓋13、絕緣件15、籽晶組件16、PLC18及電源19。真空接頭11與端蓋13的進(jìn)線口 131固定連接，該進(jìn)線口設(shè)置在端蓋13的側(cè)面上。真空接頭11的一端通過傳輸線12與PLC18電性連接，真空接頭11的另一端通過另一條傳 輸線12與籽晶組件16電性連接。其中，傳輸線12與真空接頭11連接方式是焊接。在本實施方式中，真空接頭11為具有一定真空度的九芯接頭；端蓋13采用不銹鋼材料制成。籽晶組件16包括收容部160、籽晶繩161、壓輪軸162、繩輪163及籽晶繩引導(dǎo)部165。收容部160的頂部與端蓋13固定連接，傳輸線12從端蓋13內(nèi)穿入收容部160。收容部160內(nèi)收容壓輪軸162及繩輪163，且收容部160與壓輪軸162、繩輪163相對固定，傳輸線12與壓輪軸162以焊接方式相互固定連接，籽晶繩161纏繞在繩輪163上。收容部160的底部與絕緣件15固定連接，籽晶繩引導(dǎo)部165固定在絕緣件15上且位于收容部160正下方，如此將收容部160、籽晶繩引導(dǎo)部165上下隔離開，不產(chǎn)生導(dǎo)電性，籽晶繩161的一端從籽晶繩引導(dǎo)部165內(nèi)穿出，與晶棒連接。其中，電源的大小及籽晶繩161的長度可根據(jù)具體情況由設(shè)計者自定，籽晶繩161由鎢材質(zhì)制成。以下描述單晶爐籽晶觸液檢測裝置10的工作過程其中單晶爐的熱場件25由多個石墨件和碳?xì)旨?gòu)成，在它的上端裝有石墨坩堝24、石英坩堝23，石英坩堝23內(nèi)裝有融化的高溫硅液22，晶棒21為拉晶過程中結(jié)晶的棒體，在它的上端由籽晶繩161提拉。作業(yè)時，通過+5V的電源19給PLC18—個輸入信號，將電信號通過傳輸線12傳遞給壓輪軸162，壓輪軸14將電信號傳遞給籽晶組件16，通過籽晶組件16上的繩輪163傳遞給籽晶繩161，通過籽晶繩161下端的晶棒21與高溫硅液22組成一個閉合回路。當(dāng)晶棒21脫離高溫硅液22時，不能構(gòu)成一個閉合回路，這時就會將短路信號傳遞PLC18，PLC18輸出報警信號，提示現(xiàn)場操作人員斷線，使現(xiàn)場操作人員能及時的處理問題。
權(quán)利要求1.一種單晶爐籽晶觸液檢測裝置，其特征在于包括真空接頭、傳輸線、端蓋、絕緣件、籽晶組件、PLC及電源；真空接頭與端蓋的進(jìn)線口固定連接；真空接頭的一端通過傳輸線與PLC電性連接，真空接頭的另一端通過另一條傳輸線與籽晶組件電性連接；籽晶組件包括收容部、籽晶繩、壓輪軸、繩輪及籽晶繩引導(dǎo)部；收容部的頂部與端蓋固定連接，傳輸線從端蓋內(nèi)穿入收容部；收容部內(nèi)收容壓輪軸及繩輪，且收容部與壓輪軸、繩輪相對固定，傳輸線與壓輪軸以焊接方式相互固定連接，籽晶繩纏繞在繩輪上；收容部的底部與絕緣件固定連接，籽晶繩引導(dǎo)部固定在絕緣件上且位于收容部正下方，籽晶繩的一端從籽晶繩引導(dǎo)部內(nèi)穿出，與晶棒連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐籽晶觸液檢測裝置，其特征在于真空接頭為具有真空度的九芯接頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐籽晶觸液檢測裝置，其特征在于籽晶繩由鎢材質(zhì)制成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐籽晶觸液檢測裝置，其特征在于端蓋采用不銹鋼材料制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐籽晶觸液檢測裝置，其特征在于傳輸線與真空接頭連接方式是焊接。
專利摘要一種單晶爐籽晶觸液檢測裝置，包括真空接頭、傳輸線、端蓋、絕緣件、籽晶組件、PLC及電源。真空接頭與端蓋的進(jìn)線口固定連接。真空接頭的一端通過傳輸線與PLC電性連接，真空接頭的另一端通過另一條傳輸線與籽晶組件電性連接。籽晶組件的收容部的頂部與端蓋固定連接，傳輸線從端蓋內(nèi)穿入收容部。收容部內(nèi)收容壓輪軸及繩輪，且收容部與壓輪軸、繩輪相對固定，傳輸線與壓輪軸以焊接方式相互固定連接，籽晶繩纏繞在繩輪上。收容部的底部與絕緣件固定連接，籽晶繩引導(dǎo)部固定在絕緣件上且位于收容部正下方，籽晶繩的一端從籽晶繩引導(dǎo)部內(nèi)穿出，與晶棒連接。該單晶爐籽晶觸液檢測裝置操作方便，可靠性高，能降低拉晶成本。
文檔編號C30B15/20GK202543385SQ20122006207
公開日2012年11月21日 申請日期2012年2月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月24日
發(fā)明者吳學(xué)軍, 周凱平 申請人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司