專利名稱：一種拉晶管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種拉晶管。
背景技術(shù)：
拉晶管的形狀決定了生產(chǎn)出晶棒的形狀，現(xiàn)有技術(shù)中，拉晶管的截面是圓形的，生產(chǎn)出的晶棒需要線切割才能制出晶粒，圓形的晶棒具有產(chǎn)出率低，固定的不是很牢固的缺點(diǎn)，晶棒的形狀有待于改進(jìn)，這就決定了拉晶管的形狀需要改進(jìn)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是針對上述缺點(diǎn)，提供一種生產(chǎn)出的晶棒容易固定、產(chǎn)出率高的拉晶管。本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是這樣的，一種拉晶管，包括拉晶管本體，拉晶管本體的截面大體上是圓形的，其特征是在所述的拉晶管本體的內(nèi)側(cè)壁上還有一個(gè)沿著拉晶管本體長度方形的凹槽。較好的技術(shù)效果是所述的凹槽的上開口具有變窄的結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的有益效果是這樣結(jié)構(gòu)的拉晶管具有生產(chǎn)出的晶棒容易固定、產(chǎn)出率高的的優(yōu)點(diǎn)。

圖1為本實(shí)用新型拉晶管的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、拉晶管本體2、凹槽3、變窄的結(jié)構(gòu)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。如圖1所示，一種拉晶管，包括拉晶管本體1，拉晶管本體1的截面大體上是圓形的，其特征是在所述的拉晶管本體1的內(nèi)側(cè)壁上還有一個(gè)沿著拉晶管本體長度方形的凹槽2。較好的技術(shù)效果是所述的凹槽2的上開口具有變窄的結(jié)構(gòu)3。這樣的拉晶管生產(chǎn)出的晶棒凹槽部分就是一個(gè)凸起棱，凸起棱具有固定的作用。
權(quán)利要求1.一種拉晶管，包括拉晶管本體，拉晶管本體的截面大體上是圓形的，其特征是在所述的拉晶管本體的內(nèi)側(cè)壁上還有一個(gè)沿著拉晶管本體長度方形的凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶管，其特征是所述的凹槽的上開口具有變窄的結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種拉晶管，一種拉晶管，包括拉晶管本體，拉晶管本體的截面大體上是圓形的，在所述的拉晶管本體的內(nèi)側(cè)壁上還有一個(gè)沿著拉晶管本體長度方形的凹槽，所述的凹槽的上開口具有變窄的結(jié)構(gòu)，這樣結(jié)構(gòu)的拉晶管具有生產(chǎn)出的晶棒容易固定、產(chǎn)出率高的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號C30B15/00GK202226958SQ20112036614
公開日2012年5月23日 申請日期2011年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月18日
發(fā)明者陳建衛(wèi), 陳建民, 陳磊 申請人:河南鴻昌電子有限公司