專利名稱：能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于多晶硅加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種多晶硅設(shè)備硅芯爐中一種能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器。
背景技術(shù)：
隨著太陽能行業(yè)的蓬勃發(fā)展，多晶硅市場得以迅猛發(fā)展，國內(nèi)外有實(shí)力的商業(yè)巨頭紛紛投入巨資介入多晶硅行業(yè)，發(fā)展規(guī)模越來越大，硅芯爐是多晶硅生產(chǎn)鏈條上的一個重要環(huán)節(jié)，需求也越來越大，因此，研發(fā)更新型、性能更為卓越的硅芯設(shè)備具有重要意義。隨著多晶硅生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大，硅芯爐數(shù)量很大，需要投入大量的人力、物力及能源消耗，占用面積越來越大，而能源消耗也已成為多晶硅生產(chǎn)廠家的考量指標(biāo)之一，因此，從提高設(shè)備效率，節(jié)能降耗，節(jié)約成本方面考慮，很有必要研發(fā)產(chǎn)能更優(yōu)的硅芯制備設(shè)備。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器，該加熱器實(shí)現(xiàn)一次同時拉制七根硅芯，顯著提高了工作效率，節(jié)能降耗。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是，一種能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器， 包括聚流板、連接座和銅管；聚流板內(nèi)沿其圓周纏繞有銅管，銅管的進(jìn)口端、出口端分別與連接座連接；聚流板的軸心設(shè)有化料孔，聚流板上沿化料孔圓周外側(cè)均勻設(shè)置有七個拉制孔，每個拉制孔內(nèi)圓壁靠近化料孔的一邊開有凹槽形的小切孔；相鄰兩個拉制孔之間設(shè)置有一分流槽，每個分流槽背向化料孔的外端頭各設(shè)置有一個小孔；七個分流槽與化料孔彼此相通連接；其中一個分流槽的外端頭與聚流板的邊緣之間設(shè)置有斜切口，該分流槽通過斜切口與聚流板的邊緣接通。上述聚流板上還設(shè)置有接地板。上述銅管、聚流板、連接座和接地板四部分通過銀焊或銅焊焊接為一體。其中，連接座由兩塊獨(dú)立的半圓板組成，兩塊半圓板之間設(shè)置有間隙；每個半圓板上各設(shè)置有一個接口及一個安裝孔，銅管的進(jìn)口端與出口端分別與兩塊半圓板的接口連接。另外，斜切口及與斜切口連通的分流槽朝向連接座的兩個半圓板之間的間隙。其特征進(jìn)一步在于，聚流板上部沿軸心設(shè)置為凹形的大錐面，聚流板下部沿軸心設(shè)置有兩級臺階面。上述的化料孔的上端口為倒角狀。 上述每個拉制孔上端口為倒角狀。 本實(shí)用新型的有益效果是，一次可同時拉制七根硅芯，可大大提高硅芯設(shè)備的生產(chǎn)效率，降低了單根硅芯的能耗，減少了用戶人力，物力的投入，從而降低了多晶硅生產(chǎn)過程的成本。
圖1是本實(shí)用新型高頻感應(yīng)加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的A向視圖；圖3是本實(shí)用新型高頻感應(yīng)加熱器工作中某個瞬間電流分布以及磁力線分布示意圖。圖中，1.連接座，2.銅管，3.聚流板，4.接地板，5.化料孔，6.拉制孔，7.小切孔， 8.分流槽，9.小孔，10.斜切口，11.大錐面，12.臺階面。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型提供一種能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器， 由聚流板3、連接座1、銅管2和接地板4四部分焊接而成，這四部分在專用工裝下，通過銀焊或銅焊焊接成一體。聚流板3上部沿軸心設(shè)置為凹形的大錐面11，聚流板3下部沿軸心設(shè)置有兩級臺階面12 ；聚流板3上還設(shè)置有接地板4 ；聚流板3內(nèi)沿其圓周纏繞有銅管2， 銅管2的進(jìn)口端、出口端與連接座1連接，連接座1由兩塊獨(dú)立的半圓板組成，兩塊半圓板之間設(shè)置有間隙；每個半圓板上各設(shè)置有一個接口和一個安裝孔，銅管2的進(jìn)口端和出口端分別與兩個半圓板上的接口連接；聚流板3的軸心開有化料孔5，化料孔5的上端口為倒角狀，聚流板3上沿化料孔5圓周外側(cè)均勻設(shè)置有七個拉制孔6，每個拉制孔6上端口為倒角狀，每個拉制孔6內(nèi)圓壁靠近化料孔5的一邊開有凹槽形的小切孔7，相鄰兩個拉制孔6 之間設(shè)置有一分流槽8，共有七個分流槽8，每個分流槽8背向化料孔5的外端頭各設(shè)置有一個小孔9，七個分流槽8與化料孔5彼此相通連接；聚流板3上正對連接座1兩個半圓板之間間隙的一個分流槽8通過斜切口 10與聚流板3的圓周邊緣接通，相當(dāng)于從化料孔5中間貫通到聚流板3的圓周邊緣兩極間。聚流板3是加熱多晶硅原料棒用，連接座1、銅管2、聚流板3以及接地板4通過銀焊或銅焊焊接成一體。銅管2的作用是通入循環(huán)的冷卻水，對聚流板3進(jìn)行冷卻；孔接地板 4為高頻感應(yīng)加熱器接地用。如圖3所示，本實(shí)用新型裝置的工作原理是當(dāng)交變的高頻電流分別通過高頻感應(yīng)加熱器的兩極即連接座1之一進(jìn)入銅管2，通過銅管2導(dǎo)通聚流板3，于是在聚流板3上形成如圖3所示的某瞬間電流分布，交變電流產(chǎn)生交變磁場，交變磁場產(chǎn)生熱，形成熱場， 從而使得放置在高頻感應(yīng)加熱器下方的多晶硅原料棒被加熱熔化，核心部分就是要使得孔及槽間參數(shù)匹配合適，使得所有拉制孔6下產(chǎn)生的七個獨(dú)立的熔區(qū)是一致的，從而保證拉制出的七根硅芯直徑的一致性。圖3中，A所指的是電流分布，B所指的是磁力線分布。根據(jù)該新型高頻感應(yīng)加熱器結(jié)構(gòu)不同，使得加熱器上各部分電流按照要求分布， 形成回路，高頻電流產(chǎn)生交變磁場，交變磁場產(chǎn)生熱，從而使得放置在高頻感應(yīng)加熱器下的多晶硅原料棒被加熱熔化。該七芯高頻感應(yīng)加熱器，中間一個孔為化料用孔，周圍七個為拉制硅芯用孔，多晶硅原料棒熔化后在此七孔下形成各自小熔區(qū)，七個獨(dú)立小熔區(qū)就可以同時拉制七根硅芯。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了一次同時拉制七根硅芯，同等時間內(nèi)硅芯爐的產(chǎn)能大幅提高；同等規(guī)模的多晶硅生產(chǎn)產(chǎn)能大幅提升，硅芯爐數(shù)量大大減少，提高了生產(chǎn)效率，節(jié)省人力、 物力及能源，降低了多晶硅生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求1.一種能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器，其特征在于包括聚流板(3)、連接座 (1)和銅管(2);聚流板(3)內(nèi)沿其圓周纏繞有銅管(2)，銅管(2)的進(jìn)口端、出口端分別與連接座(1)連接；聚流板(3)的軸心設(shè)有化料孔(5)，聚流板(3)上沿化料孔(5)圓周外側(cè)均勻設(shè)置有七個拉制孔(6)，每個拉制孔(6)內(nèi)圓壁靠近化料孔(5)的一邊開有凹槽形的小切孔(7);相鄰兩個拉制孔(6)之間設(shè)置有一分流槽(8)，每個分流槽(8)背向化料孔(5)的外端頭各設(shè)置有一個小孔(9)；七個分流槽(8)與化料孔(5)彼此相通連接；其中一個分流槽 (8)的外端頭與聚流板(3)的邊緣之間設(shè)置有斜切口(10)，該分流槽(8)通過斜切口(10) 與聚流板(3)的邊緣接通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器，其特征在于所述聚流板(3)上還設(shè)置有接地板(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器，其特征在于所述銅管(2)、聚流板(3)、連接座(1)和接地板(4)四部分通過銀焊或銅焊焊接為一體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器，其特征在于所述連接座(1)由兩塊獨(dú)立的半圓板組成，兩塊半圓板之間設(shè)置有間隙；每個半圓板上各設(shè)置有一個接口及一個安裝孔，銅管(2)的進(jìn)口端與出口端分別與兩塊半圓板的接口連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器，其特征在于所述斜切口( 10)及與斜切口( 10)連通的分流槽(8)朝向連接座(1)的兩個半圓板之間的間隙。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器，其特征在于所述聚流板(3)上部沿軸心設(shè)置為凹形的大錐面(11)，聚流板(3)下部沿軸心設(shè)置有兩級臺階面(12)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器，其特征在于所述的化料孔(5)的上端口為倒角狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器，其特征在于所述每個拉制孔(6)上端口為倒角狀。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種能同時拉制七根硅芯的高頻感應(yīng)加熱器，由聚流板、連接座、銅管和接地板焊接而成；聚流板內(nèi)沿其圓周纏繞有銅管，銅管的進(jìn)口端、出口端分別與連接座連接；聚流板的軸心設(shè)有化料孔，聚流板上沿化料孔圓周外側(cè)均勻設(shè)置有七個拉制孔，每個拉制孔內(nèi)圓壁靠近化料孔的一邊開有凹槽形的小切孔；相鄰兩個拉制孔之間設(shè)置有一分流槽，每個分流槽背向化料孔的外端頭各設(shè)置有一個小孔；七個分流槽與化料孔彼此相通連接；其中一個分流槽的端頭與聚流板的邊緣之間設(shè)置有斜切口，該分流槽通過斜切口與聚流板的邊緣接通。本實(shí)用新型一次可同時拉制七根硅芯，明顯提高設(shè)備效率，節(jié)省人力、物力及能源。
文檔編號C30B29/06GK201962411SQ20112004275
公開日2011年9月7日 申請日期2011年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月21日
發(fā)明者原洛渭, 吳斌, 宋艷玲, 王一強(qiáng), 王建春, 程濤, 董淑梅 申請人:西安理工晶體科技有限公司