專利名稱：電容型電氣機(jī)械變換器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及諸如電容型微機(jī)械加工超聲換能器的電容型電氣機(jī)械變換器。
背景技術(shù)：
作為執(zhí)行超聲波的傳送和接收中的至少任一種的電氣機(jī)械變換器，提出電容型微機(jī)械加工超聲換能器(CMUT)(例如，參照PCT日文翻譯專利公開No. 2003-527947)。通過使用被應(yīng)用半導(dǎo)體工藝的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝來制造CMUT。圖7是典型的CMUT的示意性截面圖。參照圖7，一個第一電極102和一個第二電極105的集合被稱為一個單元。第一電極102與第二電極105相對，并且振動膜101和間隙104被夾在它們之間。振動膜101被在基板106上形成的支撐體103支撐。在CMUT中， 所有第一電極102相互電連接。一定水平的直流(DC)電壓被均勻施加到第一電極102，使得在第一電極102和第二電極105之間產(chǎn)生希望的電勢差。對于每個元件(多個單元的群集)，第二電極105電氣分離。交流(AC)驅(qū)動電壓被施加到第二電極105，以在第一和第二電極之間產(chǎn)生AC靜電吸引，這使振動膜101以一定的頻率振動，以傳送超聲波。另外，振動膜101響應(yīng)于接收到的超聲波而振動，以在第二電極105上產(chǎn)生由靜電感應(yīng)導(dǎo)致的微小電流。可以測量該電流的值以對于每個元件獲取接收信號。超聲波的傳送和接收的特性由向第一電極102施加DC電壓時的振動膜101的撓曲量確定。各單元的間隙104中的壓力一般低于大氣壓力，并且振動膜101由于大氣壓力和間隙104中的壓力之間的差而向基板106撓曲(deflection)。振動膜101的撓曲量由基于包括振動膜101的尺寸、形狀、厚度和材料的參數(shù)的機(jī)械特性確定。當(dāng)CMUT工作時，為了增加超聲波的傳送和接收的效率，在兩個電極之間施加一定的電勢差，以在電極之間導(dǎo)致靜電吸引。振動膜101由于該靜電吸引而進(jìn)一步向基板106撓曲。在超聲波的傳送中， 由于靜電吸引與距離的平方成正比，因此，隨著電極之間的距離減小，傳送和接收的效率增力口。作為對比，在超聲波的接收中，由于檢測到的微小電流的大小與電極之間的距離成反比并且與電極之間的電勢差成比例，因此，傳送和接收的效率也隨著電極之間的距離的減小而增加。引文列表專利文獻(xiàn)PTL 1 =PCT 日文翻譯專利公開 No. 2003-527947

發(fā)明內(nèi)容
但是，增加兩個電極之間的電勢差導(dǎo)致由電極之間的靜電力和壓力差導(dǎo)致的力超過振動膜的機(jī)械特性的復(fù)原力。作為結(jié)果，振動膜與基板上的電極接觸以進(jìn)入塌陷狀態(tài)，因此CMUT的特性大大改變。因此，當(dāng)CMUT正常工作(不在塌陷狀態(tài)中被驅(qū)動)時，電極之間的電勢差被設(shè)定為使得實現(xiàn)高的傳送和接收效率并且振動膜具有不導(dǎo)致塌陷狀態(tài)的撓曲量。
在現(xiàn)有技術(shù)中，在CMUT中所有的第一電極相互電連接。因此，在CMUT的工作期間向第一電極施加均勻的電壓。由于振動膜的上述的參數(shù)由于CMUT的制造中的各種因素改變，因此即使電極之間沒有電勢差，也導(dǎo)致振動膜的撓曲量的變化。另外，CMUT的工作期間的振動膜的撓曲量也改變。作為結(jié)果，傳送和接收的效率偏離期望值和/或有時在一些單元中導(dǎo)致塌陷狀態(tài)，從而大大改變每個元件的傳送和接收特性。為了解決以上的問題，本發(fā)明提供了能夠?qū)τ诿總€元件任意地改變振動膜的撓曲量的電容型電氣機(jī)械變換器。根據(jù)本發(fā)明的實施例，電氣機(jī)械變換器包括多個包含至少一個包含第一電極和與第一電極相對且在其間具有間隙的第二電極的單元的元件，和被配置為對于各元件被設(shè)置并且向在各元件中的第一電極單獨地施加直流電壓的直流電壓施加單元。第一電極和第二電極對于每個元件電氣分離。根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)τ诿總€元件任意地改變電氣機(jī)械變換器中的振動膜的撓曲量。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的電氣機(jī)械變換器的示意性截面圖。圖2示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的電氣機(jī)械變換器的配置的例子。圖3是根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的電氣機(jī)械變換器的截面圖。圖4示出根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的電氣機(jī)械變換器的配置的例子。圖5示出根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的電氣機(jī)械變換器的配置的例子。圖6A示出根據(jù)本發(fā)明的第五實施例的電氣機(jī)械變換器的配置的例子。圖6B示出根據(jù)本發(fā)明的第五實施例的電氣機(jī)械變換器的配置的另一例子。圖7是現(xiàn)有技術(shù)中的電容型電氣機(jī)械變換器的示意性截面圖。
具體實施例方式這里，將參照附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的實施例的電容型電氣機(jī)械變換器。第一實施例圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的電氣機(jī)械變換器的示意性截面圖。在本發(fā)明的實施例中，第一電極被稱為上電極，并且第二電極被稱為下電極。其上形成第一電極102的振動膜101被在基板106上形成支撐體103支撐。振動膜101連同第一電極102 —起振動。 在基板106上與振動膜101上的第一電極102相對的位置處形成第二電極105，使得在它們之間夾有間隙104。在本發(fā)明的實施例中，包含彼此相對的并且在它們之間夾有間隙104的上電極和下電極的組成(composition)被稱為單元107。元件108包含至少一個單元107。 具體地，元件108是包含一個單元107或包含相互電連接(并聯(lián)連接)的多個(至少兩個) 單元的組成。雖然在圖1中兩個單元構(gòu)成一個元件，但是，本發(fā)明不限于該配置。多個單元可按二維陣列圖案相互連接。在電氣機(jī)械變換器中形成多個(兩個或更多個)元件。在本發(fā)明的實施例中使用的上電極可由包含鋁(Al)、鉻(Cr)、鈦(Ti)、金(Au)、鉬 (Pt)、銅(Cu)、銀(Ag)、鎢(W)、鉬(Mo)、鉭(Ta)和鎳(Ni)的金屬和包含 AlSi、AlCu、AlTi、 MoW和AlCr的合金中的至少一種制成。上電極可被設(shè)置在振動膜的上表面上、振動膜的背面上或振動膜內(nèi)部其中至少之一，或者，當(dāng)振動膜由導(dǎo)電材料或半導(dǎo)體材料制成時，振動膜自身可用作上電極。在本發(fā)明的實施例中使用的下電極可由與上電極相同的金屬或合金制成。當(dāng)基板由諸如硅的半導(dǎo)體材料制成時，基板可用作下電極。圖2示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的電氣機(jī)械變換器的配置的例子。根據(jù)第一實施例的電氣機(jī)械變換器的特征在于對于每個元件，不僅下電極105被電氣分離，而且上電極102被電氣分離。在各元件中，多個上電極102相互電連接，并且多個下電極105相互電連接。雖然在第一實施例中，各元件中的上電極對于每個單元單獨地形成并且通過在振動膜上形成的布線(未示出)相互電連接，但是，可對于每個元件形成一個上電極。下電極也可如在第一實施例中那樣對于每個單元單獨形成，或者可對于每個元件形成一個下電極。DC電壓施加單元201與各元件中的上電極102連接。DC電壓施加單元201對于每個元件向上電極施加希望水平的電壓，以在上電極和下電極之間導(dǎo)致與下電極的電壓的電勢差。振動膜101的撓曲量由該電勢差確定。驅(qū)動檢測單元202與各元件中的下電極105 連接。驅(qū)動檢測單元202包含AC電壓產(chǎn)生單元203、電流檢測單元205和保護(hù)開關(guān)204。當(dāng)電氣機(jī)械變換器包含N個元件時，在第一實施例的配置中包括N個DC電壓施加單元201。在第一實施例的配置中還包括數(shù)量與元件的數(shù)量相同的驅(qū)動檢測單元202?，F(xiàn)在將描述超聲波傳送中的各驅(qū)動檢測單元202的工作和超聲波接收中的各驅(qū)動檢測單元202的工作。在超聲波的傳送中，通過與下電極105連接的AC電壓產(chǎn)生單元 203施加AC電壓。AC電壓的施加在上電極102和下電極105之間導(dǎo)致AC電勢差，以在振動膜101上產(chǎn)生AC靜電吸引。靜電吸引導(dǎo)致振動膜101振動以傳送超聲波。由于與下電極105連接的保護(hù)開關(guān)204在超聲波的傳送中被關(guān)斷，因此，保護(hù)電流檢測單元205的輸入部分免受由AC電壓產(chǎn)生單元203產(chǎn)生的電壓影響。在超聲波的接收中，AC電壓產(chǎn)生單元203處于高阻抗?fàn)顟B(tài)，并且對于下電極105的電勢沒有影響。保護(hù)開關(guān)204被接通以連接下電極105與AC電壓產(chǎn)生單元203的輸入部分。從外面施加的超聲波導(dǎo)致振動膜101振動以改變上電極和下電極之間的靜電電容。由于上電極被固定于一定的電勢，因此，在下電極105出現(xiàn)的感應(yīng)電荷導(dǎo)致微小電流通過用于下電極105的布線?？赏ㄟ^電流檢測單元205檢測微小電流的變化以檢測導(dǎo)致電容變化的超聲波的大小。除了傳送超聲波時以外，下電極的電勢通過驅(qū)動檢測單元202被固定到一定的值。由于在第一實施例的配置中，對于每個元件不僅下電極被電氣分離而且上電極被電氣分離，并且DC電壓施加單元與每個元件的上電極連接，因此，能夠分別向各元件中的上電極施加DC電壓。因此，可向不同的元件施加不同的靜電吸弓丨，以調(diào)整振動膜的撓曲量。 因此，能夠減少超聲波的傳送和接收特性的變化。雖然在第一實施例中DC電壓施加單元201與上電極102連接并且電流檢測單元 205與下電極I05連接，但是，DC電壓施加單元可與下電極連接，并且電流檢測單元可與上電極連接。另外，驅(qū)動檢測單元的配置不限于在本說明書中描述的配置，可以使用其他配置、僅用于傳送的配置或僅用于接收的配置。第二實施例現(xiàn)在將參照圖3描述本發(fā)明的第二實施例。第二實施例涉及來自上電極和下電極的布線的配置。第二實施例中的其它配置與第一實施例中的配置相同。
圖3是根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的電氣機(jī)械變換器的截面圖。貫通布線基板303 包括兩種類型的貫通基板的布線下電極貫通布線301(第二電極貫通布線)和上電極貫通布線302(第一電極貫通布線)。每一元件中的所有的下電極105與一個下電極貫通布線 301連接。下電極貫通布線301從貫通布線基板303的向著下電極的面延伸到該貫通布線機(jī)板303的向著印刷電路板的面，以與相應(yīng)的凸塊電極304連接。每一元件中的上電極102 也與一個上電極貫通布線302連接，該上電極貫通布線302與相應(yīng)的凸塊電極304連接。在貫通布線基板303的向著印刷電路板的面上形成的凸塊電極304中的每一個上形成凸塊305。下電極貫通布線301和上電極貫通布線302通過凸塊305與印刷電路板306 上的布線連接。來自各下電極105的電信號通過與下電極貫通布線301電連接的印刷電路板306上的布線被供給到驅(qū)動檢測單元202。來自各上電極102的電信號通過與上電極貫通布線302電連接的印刷電路板306上的布線被供給到DC電壓施加單元201。第二實施例中的配置的特征是存在數(shù)量與元件的數(shù)量相同的下電極貫通布線301 和上電極貫通布線302。存在數(shù)量與元件的數(shù)量相同的下電極貫通布線301和上電極貫通布線302允許即使當(dāng)設(shè)置多個元件時，仍在對于各元件用于上電極102的布線被分離的情況下用于上電極的布線被引向貫通布線基板的背面。因此，能夠在用于超聲波的傳送和接收的元件的面積幾乎不減小(傳送和接收效率幾乎不降低)的情況下連接用于上電極的布線與多個DC電壓施加單元201。第三實施例現(xiàn)在將參照圖4描述本發(fā)明的第三實施例。第三實施例的特征在于設(shè)置控制信號產(chǎn)生單元以向DC電壓施加單元201指示要被施加的DC電壓。第三實施例中的其它配置與第一和第二實施例中的任一個中的配置相同。圖4示出根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的電氣機(jī)械變換器的配置的例子。振動膜狀態(tài)檢測單元401檢測振動膜101的撓曲量(這等同于檢測上電極和相應(yīng)的下電極之間的距離)。由于在各下電極處檢測到的電流的大小與上電極和下電極之間的距離(以下，簡稱為電極距離)的平方成反比并且與電極之間的電勢差成比例，因此，在第三實施例中，與下電極連接的電流檢測單元用作振動膜狀態(tài)檢測單元。第三實施例的振動膜狀態(tài)檢測單元401的使用允許通過例如從外部傳送單一頻率的超聲波并且檢測從每個元件的下電極輸出的電流來檢測元件之間的振動膜的撓曲量的差。作為替代方案，AC電壓可重疊于要被施加到上電極的DC電壓上，以檢測由重疊的AC 電壓產(chǎn)生的電流(后面作為第四實施例描述)。除用于檢測電流的單元以外的單元可被用作振動膜狀態(tài)檢測單元，以例如直接測量振動膜的撓曲量。具體地，可以使用通過利用壓阻效應(yīng)檢測振動膜的撓曲的方法或光學(xué)檢測撓曲量的方法。由各振動膜狀態(tài)檢測單元401檢測到的信號被供給到相應(yīng)的控制信號產(chǎn)生單元 402?？刂菩盘柈a(chǎn)生單元402基于檢測到的信號向DC電壓施加單元201提供指示要施加的 DC電壓的信號，使得CMUT中的振動膜101具有希望的撓曲量。DC電壓施加單元201基于由控制信號產(chǎn)生單元402指示的信號產(chǎn)生DC電壓并且向上電極102施加產(chǎn)生的DC電壓。 可通過使用例如電壓控制信號傳送電路和電容器容易地形成執(zhí)行以上的工作的DC電壓施加單元201。根據(jù)第三實施例，能夠?qū)τ诿總€元件檢測振動膜101的撓曲量。另外，由于DC電壓可被施加到各元件中的上電極以減少元件之間的撓曲量的變化，因此可以進(jìn)一步減少振動膜之間的撓曲量的差。并且，即使影響振動膜101的參數(shù)由于時間變化和/或環(huán)境變化而改變，也能夠?qū)τ诿總€元件調(diào)整振動膜101的狀態(tài)。第四實施例現(xiàn)在將參照圖5描述本發(fā)明的第四實施例。第四實施例的特征在于設(shè)置AC電壓重疊單元403以在要被施加到上電極的DC電壓上重疊AC電壓。第四實施例中的其它配置與第三實施例中的配置相同。圖5示出根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的電氣機(jī)械變換器的配置的例子。每一元件中的上電極102與一個AC電壓重疊單元403連接。僅在檢測振動膜的撓曲量(測量撓曲量的變化)的時段期間，AC電壓重疊單元403在要由DC電壓施加單元 201施加到上電極102的DC電壓上重疊AC電壓。即使振動膜101不振動，在要被施加到上電極102的DC電壓上重疊的AC電壓也在每一個下電極105上感應(yīng)電荷，以從下電極105 引起電流。如果要重疊的AC電壓具有恒定的水平，則該電流具有其大小與上電極102和下電極105之間的電極距離對應(yīng)的值。因此，通過電流檢測單元205的電流檢測允許作為電極距離檢測振動膜101的撓曲量。要重疊的AC電壓可具有不等于振動膜101振動的頻率的頻率。這允許僅檢測電極距離而不會通過重疊的AC電壓使振動膜101振動。信號切換單元404與各電流檢測單元205的輸出部分連接。信號切換單元404在測量撓曲量的變化的時段期間向控制信號產(chǎn)生單元402供給輸出信號。相反，在不測量撓曲量的變化(基于振動膜的振動測量超聲波)的時段期間，信號切換單元404向例如外部圖像處理裝置提供輸出信號來自傳感器的輸出。信號切換單元404的設(shè)置允許在撓曲量的變化的測量和超聲波的測量兩者中使用電流檢測單元205?？刂菩盘柈a(chǎn)生單元402基于接收到的信號向DC電壓施加單元201提供指示DC電壓的信號，使得振動膜101具有希望的撓曲量。通過第四實施例的配置，AC電壓的重疊和通過電流檢測單元的對下電極上產(chǎn)生的電流的檢測允許對于每個元件檢測振動膜的撓曲量。另外，通過將要被重疊的AC電壓的頻率設(shè)為不等于振動膜的振動頻率值的值，允許在不使振動膜振動的情況下檢測振動膜的撓曲量(上電極和下電極之間的電極距離)。因此，振動膜的機(jī)械振動特性可被去除以便以高精度實現(xiàn)測量。由于可對于每個元件向上電極施加DC電壓以減少元件之間的撓曲量的變化，因此，能夠減少振動膜之間的撓曲量的差異。另外，即使影響振動膜101的參數(shù)由于時間變化和/或環(huán)境變化而改變，也能夠?qū)τ诿總€元件調(diào)整振動膜101的撓曲量。并且，由于電流檢測單元205可用于撓曲量的變化的測量和超聲波的測量兩者，因此，能夠以簡單的配置實現(xiàn)電氣機(jī)械變換器。第五實施例現(xiàn)在將參照圖6A和圖6B描述本發(fā)明的第五實施例。第五實施例的特征在于，電流檢測單元205在撓曲量的變化的測量時和超聲波的測量時之間切換電路參數(shù)。第五實施例中的其它配置與第四實施例中的配置相同。使用跨導(dǎo)倒數(shù)(transimpedance)電路以描述第五實施例，該跨導(dǎo)倒數(shù)電路為將微小電流的變化轉(zhuǎn)換成電壓的電流電壓轉(zhuǎn)換電路。圖6A和圖6B示出根據(jù)第五實施例的作為電流檢測單元205的跨導(dǎo)倒數(shù)電路的配置的例子。參照圖6A和圖6B，附圖標(biāo)記601表示運算放大器(op-amp)、附圖標(biāo)記602、604和606表示電阻器，附圖標(biāo)記603、605、607表示電容器，并且，附圖標(biāo)記608表示電路元件切換單元。在圖6A和圖6B中的例子中，op-amp 601與正電源和負(fù)電源連接?，F(xiàn)在將參照圖 6A描述超聲波的測量時的工作。op-amp 601的反相輸入端子-IN通過保護(hù)開關(guān)204與上電極102連接。op-amp 601的輸出端子OUT通過相互并聯(lián)的電阻器602和電容器603以及電路元件切換單元608與反相輸入端子-IN連接，以反饋輸出信號。Op-amp601的非反相輸入端子+IN通過相互并聯(lián)連接的電阻器604和電容器605與接地端子連接。接地端子的電壓等于正電源的電壓值和負(fù)電源的電壓值之間的中間值。電阻器602具有與電阻器604相同的電阻值，并且，電容器603具有與電容器605相同的電容值。電阻器602和604的電阻值以及電容器603和605的電容值是與超聲波測量時的規(guī)定匹配的參數(shù)?，F(xiàn)在將參照圖6B描述撓曲量變化的測量時的工作。在撓曲量變化的測量時，電路元件切換單元608被切換，并且通過相互并聯(lián)連接的電阻器606和電容器607執(zhí)行輸出信號的反饋。電阻器606的電阻值和電容器607的電容值是與撓曲量變化的測量時的規(guī)定匹配的參數(shù)。根據(jù)第五實施例，能夠根據(jù)在撓曲量變化的測量時使用的包括頻率和電流的大小的規(guī)定和在超聲波的測量時使用的包括超聲波的頻率和電流的大小的規(guī)定來執(zhí)行電流檢測。雖然在圖6A和圖6B的例子中電路元件切換單元608僅用于op-amp 601的反饋部分中，但是，可以在op-amp的非反相輸入端子+IN和接地端子之間使用相同的配置，以根據(jù)撓曲量變化的測量時和超聲波的測量時的切換來切換元件常數(shù)。雖然在以上的實施例中振動膜101被描述為在常規(guī)模式中工作，在該常規(guī)模式中在電氣機(jī)械變換器的傳送和接收工作中振動膜101和下電極105之間的間隙恒定地存在， 但是本發(fā)明不限于以上的工作。本發(fā)明適于在諸如振動膜101和下電極105之間的間隙的一部分被消除的塌陷模式的另一狀態(tài)中工作。雖然已參照示例性實施例描述了本發(fā)明，但應(yīng)理解，本發(fā)明不限于公開的示例性實施例。以下的權(quán)利要求的范圍應(yīng)被賦予最寬的解釋以包含所有的這樣的變更方式、等同的結(jié)構(gòu)和功能。本申請要求在2009年6月19日提交的日本專利申請No. 2009-146936的益處，通過引用將其全文并入此。附圖標(biāo)記列表101振動膜102上電極(第一電極)103支撐體104 間隙105下電極(第二電極)106 基板201 DC電壓施加單元202驅(qū)動檢測單元203 AC電壓產(chǎn)生單元
204保護(hù)開關(guān)205電流檢測單元301下電極貫通布線302上電極貫通布線303貫通布線基板401振動膜狀態(tài)檢測單元402控制信號產(chǎn)生單元403 AC電壓重疊單元404信號切換單元608電路元件切換單元
權(quán)利要求
1.一種電氣機(jī)械變換器，包括多個元件，包含至少一個包含第一電極和第二電極的單元，第二電極與第一電極相對并且在它們之間夾有間隙，第一電極和第二電極對于每個元件電氣分離；以及直流電壓施加單元，被配置為對于各元件被設(shè)置并且分別向各元件中的第一電極施加直流電壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的電氣機(jī)械變換器，其中，在各元件內(nèi)，第一電極的數(shù)量與第二電極的數(shù)量相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的電氣機(jī)械變換器，還包括基板，被配置為在其中對于每個元件形成一個第一電極貫通布線和一個第二電極貫通布線。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的電氣機(jī)械變換器，還包括電流檢測單元，被配置為對于各元件被設(shè)置、與各元件中的第二電極連接并且檢測從第二電極輸出的電流；以及控制信號產(chǎn)生單元，被配置為對于各元件被設(shè)置并且基于檢測到的電流向直流電壓施加單元指示要被施加的直流電壓。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的電氣機(jī)械變換器，還包括交流電壓重疊單元，被配置為對于各元件被設(shè)置、與各元件中的第一電極連接并且在所述直流電壓上重疊交流電壓，其中，由所述交流電壓導(dǎo)致的電流由電流檢測單元檢測，并且，所述直流電壓基于從所述交流電壓產(chǎn)生的電流被指示給控制信號產(chǎn)生單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的電氣機(jī)械變換器，還包括信號切換單元，被配置為對于各元件被設(shè)置，并且切換來自電流檢測單元的輸出信號， 以便在從交流電壓產(chǎn)生的電流的檢測中使所述輸出信號與控制信號產(chǎn)生單元連接，并且在從其上形成第一電極或第二電極的振動膜的振動產(chǎn)生的電流的檢測中使所述輸出信號不與控制信號產(chǎn)生單元連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及能夠?qū)τ诿總€元件任意地改變振動膜的撓曲量的電氣機(jī)械變換器。該電氣機(jī)械變換器包括多個包含至少一個包含第一電極和與第一電極相對且在它們之間夾有間隙的第二電極的單元的元件，以及被配置為對于各元件被設(shè)置并且分別向各元件中的第一電極施加直流電壓的直流電壓施加單元。第一電極和第二電極對于每個元件電氣分離。
文檔編號B06B1/02GK102458692SQ20108002630
公開日2012年5月16日 申請日期2010年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月19日
發(fā)明者真島正男, 香取篤史, 高木誠 申請人:佳能株式會社