專利名稱：一種用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的hvpe反應(yīng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于氫化物氣相外延法(Hydride Vapor Phase Epitaxy ，簡(jiǎn)稱HVPE) 反應(yīng)器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用HVPE法生長(zhǎng)氮化物半導(dǎo)體襯底的生長(zhǎng)設(shè)備。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，m/v族寬禁帶化合物半導(dǎo)體正在受到越來(lái)越多人的重視。氮化鎵
(GaN)作為其中的代表，具有高飽和電子遷移速度、高擊穿電場(chǎng)、禁帶較寬等 物理特性和化學(xué)穩(wěn)定性，這些特點(diǎn)使其成為制備大功率LED、 LD、 HEMT、紫外探 測(cè)器的理想材料。
由于制備大功率LED、 LD對(duì)GaN晶體的質(zhì)量要求較高，所以GaN自支撐襯 底就成為外延高質(zhì)量GaN的理想平臺(tái)。如采用標(biāo)準(zhǔn)的高壓溶解法，由于高質(zhì)量 GaN的生長(zhǎng)需要非常高的溫度和氮?dú)鈮毫?，氮?dú)獾恼羝麎涸诘壍钠胶馊埸c(diǎn)處 超過(guò)了 6GPa,而較低的生長(zhǎng)速率也限制了規(guī)模生產(chǎn)，所以目前只有以波蘭的高 壓物理所為代表的少數(shù)機(jī)構(gòu)在進(jìn)行此方面的研究?，F(xiàn)階段被廣泛使用的金屬有 機(jī)物化學(xué)氣相沉積法(MOCVD)和分子數(shù)外延法(MBE)方法也由于生長(zhǎng)速率較 低，從而制備高質(zhì)量的厚膜氮化鎵自支撐襯底也較為困難。另外，氨熱、電解 等方法目前也只是處在試驗(yàn)階段。
氫化物氣相外延法是最早被用來(lái)生長(zhǎng)氮化鎵的方法，但由于其生長(zhǎng)速率快， 無(wú)法生長(zhǎng)高質(zhì)量量子阱等精細(xì)器件結(jié)構(gòu)，后來(lái)即被MOCVD、 MBE等方法替代。然 而正是由于其具有生長(zhǎng)速率快、設(shè)備簡(jiǎn)單、便于實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，近年來(lái)又被 人們重新重視，成為制備氮化鎵等氮化物襯底的首選方法。
普通的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器包括立式懸掛結(jié)構(gòu)和倒置 支撐結(jié)構(gòu)，其中立式懸掛結(jié)構(gòu)如圖1所示，其包括舟體l、異質(zhì)襯底基座2、石 英壁3、氨氣進(jìn)氣管、金屬氯化物送氣管、氯化氫進(jìn)氣管和尾氣排氣口等。其中舟體1用于置放金屬反應(yīng)物，該金屬反應(yīng)物與通入舟體1的氯化氫反應(yīng)生成金 屬氯化物氣體，該金屬氯化物氣體經(jīng)由金屬氯化物送氣管到達(dá)置于所述異質(zhì)村
底基座2上的異質(zhì)襯底處與氨氣反應(yīng)，從而能夠在異質(zhì)襯底上生長(zhǎng)金屬氮化物。 其倒置支撐結(jié)構(gòu)如圖2所示，倒置支撐結(jié)構(gòu)與立式懸掛結(jié)構(gòu)的區(qū)別在于，立式 懸掛結(jié)構(gòu)的異質(zhì)襯底基座2位于反應(yīng)器的下部，舟體1則位于該異質(zhì)襯底基座2 的上方；而倒置支撐結(jié)構(gòu)的異質(zhì)襯底基座2則位于反應(yīng)器的上部，其舟體1則 位于該異質(zhì)襯底基座2的上方。
但是目前制備氮化物半導(dǎo)體村底的HVPE設(shè)備還沒(méi)有達(dá)到最優(yōu)化，其存在的 問(wèn)題主要包括反應(yīng)器內(nèi)金屬反應(yīng)物的更換非常復(fù)雜費(fèi)時(shí)；氮化物易在反應(yīng)器 上產(chǎn)生寄生沉積，從而影響氮化物的生長(zhǎng)，并會(huì)使反應(yīng)器壽命縮短。因此，為 了使HVPE設(shè)備更加簡(jiǎn)潔、高效，進(jìn)一步提高反應(yīng)氣體利用率和氮化物厚度的均 勻性，需要對(duì)生長(zhǎng)設(shè)備作進(jìn)一步的優(yōu)化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種便于添加及更換金屬反應(yīng)物的用于制 備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器包
括
舟體、氯化氫進(jìn)氣管、氨氣進(jìn)氣管、金屬氯化物送氣管和異質(zhì)襯底基座；
其中，所述舟體用于盛放金屬反應(yīng)物，該舟體能夠拆分為兩部分，以便于 添加及更換其中的金屬反應(yīng)物；
所述氯化氫進(jìn)氣管用于引入氯化氬氣體到所述舟體中與金屬反應(yīng)物反應(yīng)， 從而生成金屬氯化物氣體，該金屬氯化氫氣體被所述金屬氯化物送氣管帶到置 于所述異質(zhì)襯底基座上的異質(zhì)襯底處；
所述氨氣進(jìn)氣管用于引入氨氣到置于所述異質(zhì)襯底基座上的異質(zhì)襯底處， 以與所述金屬氯化物氣體反應(yīng)生長(zhǎng)氮化物；所述氨氣進(jìn)氣管的結(jié)構(gòu)應(yīng)保證在所 述舟體拆分為兩部分的時(shí)候其不會(huì)阻礙這種拆分。例如所述氨氣進(jìn)氣管的長(zhǎng)度
能夠伸縮改變，又例如其為柔性管，或者其包括分離的兩部分管路，再例如其 為能夠拆分為兩部分管路的鋼性管。并且，所述氨氣進(jìn)氣管最好通過(guò)所述舟體。 所述金屬氯化物送氣管可以采用單管路結(jié)構(gòu)，在氨氣離開(kāi)舟體之后，所述
氨氣進(jìn)氣管可以分為若干支管，圍繞在所述金屬氯化物送氣管的四周；在靠近 置于所述異質(zhì)村底基座上的異質(zhì)襯底處，所述氨氣進(jìn)氣管的各支管與所述金屬 氯化物送氣管之間保持一定距離，以阻止氨氣與金屬氯化物氣體的過(guò)早混合， 這樣有利于降低管口處的寄生沉積。
所述氨氣進(jìn)氣管具體可以分為三個(gè)支管。
本發(fā)明HVPE反應(yīng)器可以采用立式懸掛結(jié)構(gòu)，也可以采用倒置支撐結(jié)構(gòu)。 對(duì)于立式懸掛結(jié)構(gòu)而言，所述異質(zhì)襯底基座位于反應(yīng)器的下部，而所述舟
體、氯化氫進(jìn)氣管、氨氣進(jìn)氣管和金屬氯化物送氣管均位于該異質(zhì)村底基座的上方。
對(duì)于該立式懸掛結(jié)構(gòu)而言，在氨氣離開(kāi)舟體之前，所述氯化氫進(jìn)氣管和氨 氣進(jìn)氣管可以采用套管結(jié)構(gòu)，其中內(nèi)管通入氯化氫氣體，外管則通入氨氣；該 套管下部管口可以被所述舟體內(nèi)的液態(tài)金屬反應(yīng)物淹沒(méi)，從而在舟體內(nèi)形成兩 個(gè)相互隔離的氣室，即內(nèi)氣室和外氣室。
作為上述方案的一種改進(jìn)，在所述內(nèi)氣室即內(nèi)管壁與液面形成的氣室內(nèi)， 所述金屬氯化物送氣管的進(jìn)氣管口上方遮有一個(gè)傘狀結(jié)構(gòu)，該傘狀結(jié)構(gòu)用于阻 擋氯化氫氣體以避免其進(jìn)入所述金屬氯化物送氣管，而金屬氯化物氣體則能夠 從所述金屬氯化物送氣管的進(jìn)氣管口進(jìn)入該送氣管。
作為上述方案的另一種改進(jìn)，所述氨氣進(jìn)氣管可以分為上下兩部分，其上 半部分即為所述套管的外管，其下半部分與上半部分分離，該氨氣進(jìn)氣管的下 半部分的進(jìn)氣管口位于所述外氣室內(nèi)，并高出所述金屬反應(yīng)物的液面。這樣， 在所述外氣室內(nèi)，氨氣基本不被消耗，能夠直接通過(guò)所述氨氣進(jìn)氣管的下半部 分達(dá)到異質(zhì)襯底處。
對(duì)于倒置支撐結(jié)構(gòu)而言，所述異質(zhì)襯底基座位于反應(yīng)器的上部，而所述舟
體、氯化氫進(jìn)氣管、氨氣進(jìn)氣管和金屬氯化物送氣管均位于該異質(zhì)襯底基座的 下方。
在該倒置支撐結(jié)構(gòu)的反應(yīng)器中，所述舟體內(nèi)部還具有擋板，該擋板用于與 液態(tài)金屬反應(yīng)物一起，將舟體內(nèi)部分為兩個(gè)相互隔離的氣室，即內(nèi)氣室與外氣
室；在氨氣離開(kāi)舟體之前，所述氯化氫進(jìn)氣管和氨氣進(jìn)氣管采用套管結(jié)構(gòu)，其 中內(nèi)管通入氯化氫氣體，內(nèi)管進(jìn)入所述舟體的內(nèi)氣室中，并高出金屬反應(yīng)物的 液面；外管通入氨氣，外管進(jìn)入所述舟體的外氣室中，并高出金屬反應(yīng)物的液 面。所述外管可以分為若干支管，例如三路支管。
所述氯化氫進(jìn)氣管即所述內(nèi)管的出氣管口的上端遮有一傘狀結(jié)構(gòu)，以阻止 生長(zhǎng)的金屬氮化物氣體進(jìn)入該管中。
更進(jìn)一步地，所述氨氣進(jìn)氣管可以分為上下兩部分，其下半部分即為所述 套管的外管，其下半部分與上半部分分離，該氨氣進(jìn)氣管的上半部分的進(jìn)氣管 口位于所述外氣室內(nèi)。
本發(fā)明的有益效果為
本發(fā)明針對(duì)傳統(tǒng)的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器更換金屬反應(yīng) 物困難的缺點(diǎn)進(jìn)行了改進(jìn)，使舟體能夠拆分，從而保證了金屬反應(yīng)物添加及更 換的方便；同時(shí)，本發(fā)明對(duì)反應(yīng)氣體進(jìn)氣管結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)，大大降低了管口 處的寄生沉積，從而提高了反應(yīng)氣體的利用率，以及氮化物在異質(zhì)襯底上的生 長(zhǎng)均勻性。


圖1是普通的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器的立式懸掛結(jié)構(gòu)示
意圖2是普通的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器的倒置支撐結(jié)構(gòu)示 意圖3是采用立式懸掛結(jié)構(gòu)的本發(fā)明HVPE反應(yīng)器的部分結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4是圖3所示結(jié)構(gòu)沿AA線的剖視圖5是采用倒置支撐結(jié)構(gòu)的本發(fā)明HVPE反應(yīng)器的部分結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6是圖5所示結(jié)構(gòu)沿CC線的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖，并以氮化鎵半導(dǎo)體襯底的制備為例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì) 說(shuō)明。
圖3是采用立式懸掛結(jié)構(gòu)的本發(fā)明HVPE反應(yīng)器的部分結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所 示，本發(fā)明用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器主要包括舟體l、氯化 氫進(jìn)氣管4、氨氣進(jìn)氣管、金屬氯化物送氣管7和異質(zhì)襯底基座。
所述舟體1即鎵舟能夠拆分為兩部分，以便于更換其中的金屬鎵。鎵舟的 下半部分可以通過(guò)旋鈕或卡口等方式連接到上班部分。
在本發(fā)明實(shí)施例中，所述氨氣進(jìn)氣管分為上下兩部分，其上半部分與所述 氯化氫進(jìn)氣管4形成套管結(jié)構(gòu)，該套管通過(guò)法蘭固定于鎵舟的上半部分。其中 氯化氫進(jìn)氣管4為套管內(nèi)層，即該套管內(nèi)管通入氯化氫氣體，外管則通入氨氣。 如圖3所示，在進(jìn)入鎵舟后，該套管口徑變大，這樣當(dāng)鎵液8封住套管的出口 時(shí)，鎵舟內(nèi)變形成內(nèi)外兩個(gè)相互隔絕的氣室。通過(guò)控制鎵舟內(nèi)的溫度，氯化氫 與金屬鎵能夠在內(nèi)反應(yīng)室反應(yīng)生成氯化鎵氣體，氯化鎵氣體經(jīng)由金屬氯化物送 氣管7即氯化鎵送氣管到達(dá)異質(zhì)襯底處與氨氣反應(yīng)，從而得到氮化鎵單晶。氯 化鎵送氣管的進(jìn)氣口上端遮有一傘狀結(jié)構(gòu)9,當(dāng)氯化氫從套管外層即外管進(jìn)入鎵 舟內(nèi)氣室時(shí)，其被該傘狀結(jié)構(gòu)9阻擋而擴(kuò)散到四周，這樣氯化氫首先與鎵液8 接觸，并在高溫下快速且較充分地與鎵反應(yīng)，避免了氯化氫氣體從該傘狀結(jié)構(gòu)9 下面的窗口即金屬氯化物送氣管7的進(jìn)氣口進(jìn)入該送氣管，從而到達(dá)異質(zhì)村底 處影響氮化鎵的正常生長(zhǎng)。
氨氣進(jìn)氣管則分為上下兩部分，其上半部分即所述套管的外管，其下半部 分則負(fù)責(zé)將所述鎵舟外氣室內(nèi)的氨氣帶到異質(zhì)襯底處。在本實(shí)施例中，氯化鎵 送氣管采用較細(xì)的單管路結(jié)構(gòu)，這樣能夠增加異質(zhì)襯底表面的氯化鎵濃度，提 高氯化鎵利用率；而氨氣進(jìn)氣管的下半部分則分為三個(gè)支管，氨氣進(jìn)氣管的下
半部分采用多管結(jié)構(gòu)，能夠使異質(zhì)村底上氮化鎵的生長(zhǎng)更加均勻。如圖4所示， 氨氣進(jìn)氣管下半部分的三個(gè)支管6圍繞在氯化鎵送氣管的四周，各支管與氯化 鎵送氣管之間采用石英細(xì)棒作為支撐架予以固定，以防止管路損壞。并且，各 支管與氯化鎵送氣管之間有一定距離，這樣能使各支管管口處的氯化鎵氣體以 及氯化鎵送氣管管口處的氨氣均維持在一個(gè)較低的濃度，阻止氨氣與氯化鎵的 過(guò)早混合，從而大大降低了各管口處的寄生沉積。
圖5是采用倒置支撐結(jié)構(gòu)的本發(fā)明HVPE反應(yīng)器的部分結(jié)構(gòu)示意圖，該圖中 箭頭表示氯化氫氣體的路徑。如圖所示，鎵舟內(nèi)具有擋板11,該擋板與金屬鎵 液一起，將舟體內(nèi)部分為兩個(gè)相互隔離的氣室，即內(nèi)氣室與外氣室。
在本實(shí)施例中，氨氣進(jìn)氣管也分為上下兩部分，其下半部分5與氯化氫進(jìn) 氣管4 一起形成套管結(jié)構(gòu)，該套管位于鎵舟的下方，其中內(nèi)管通入氯化氫，內(nèi) 管進(jìn)入鎵舟的內(nèi)氣室，其出氣口上端也遮有一傘狀結(jié)構(gòu)，該傘狀結(jié)構(gòu)用于阻擋 內(nèi)氣室中生成的氯化鎵氣體進(jìn)入該氯化氫進(jìn)氣管4;套管的外管通入氨氣，外管 分三路進(jìn)入鎵舟的外氣室，如圖6所示。并且如圖6所示，在本發(fā)明實(shí)施例中， 還可以將氨氣或氬氣作為載氣，通入各氣體管路中。
氯化鎵送氣管和氨氣進(jìn)氣管的上半部分位于鎵舟的上方，其中氯化鎵送氣 管釆用較細(xì)的單管路結(jié)構(gòu)，而氨氣進(jìn)氣管的上半部分則分為三個(gè)支管，該三個(gè) 支管圍繞在氯化鎵送氣管的四周，各支管與氯化鎵送氣管之間采用石英細(xì)棒支 撐架予以固定。并且，各支管與氯化鎵送氣管之間有一定距離，以阻止氨氣與 氯化鎵的過(guò)早混合。
本文中上半部分與下半部分的概念，不應(yīng)理解為鎵舟或氨氣進(jìn)氣管被均分 為上下兩部分。
以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn) 一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)注意的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，本領(lǐng)
圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求記載的技術(shù)方案
及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器，包括舟體、氯化氫進(jìn)氣管、氨氣進(jìn)氣管、金屬氯化物送氣管和異質(zhì)襯底基座，其中，所述舟體用于盛放金屬反應(yīng)物；所述氯化氫進(jìn)氣管用于引入氯化氫氣體到所述舟體中與金屬反應(yīng)物反應(yīng)，從而生成金屬氯化物氣體，該金屬氯化氫氣體被所述金屬氯化物送氣管帶到置于所述異質(zhì)襯底基座上的異質(zhì)襯底處；所述氨氣進(jìn)氣管用于引入氨氣到置于所述異質(zhì)襯底基座上的異質(zhì)襯底處，以與所述金屬氯化物氣體反應(yīng)生長(zhǎng)氮化物；其特征在于:所述舟體能夠拆分為兩部分，以便于添加及更換其中的金屬反應(yīng)物；所述氨氣進(jìn)氣管的結(jié)構(gòu)應(yīng)保證在所述舟體拆分為兩部分的時(shí)候其不會(huì)阻礙這種拆分。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器，其 特征在于所述氨氣進(jìn)氣管通過(guò)所述舟體。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器，其 特征在于所述金屬氯化物送氣管采用單管路結(jié)構(gòu)，在氨氣離開(kāi)所述舟體之后，所述 氨氣進(jìn)氣管分為若干支管，圍繞在所述金屬氯化物送氣管的四周；在靠近置于 所述異質(zhì)襯底基座上的異質(zhì)村底處，所述氨氣進(jìn)氣管的各支管與所述金屬氯化 物送氣管之間保持一定距離，以阻止氨氣與金屬氯化物氣體的過(guò)早混合。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反 應(yīng)器，其特征在于該HVPE反應(yīng)器采用立式懸掛結(jié)構(gòu)，即所述異質(zhì)襯底基座位于反應(yīng)器的下 部，而所述舟體、氯化氫進(jìn)氣管、氨氣進(jìn)氣管和金屬氯化物送氣管均位于該異 質(zhì)襯底基座的上方。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器，其 特征在于在氨氣離開(kāi)舟體之前，所述氯化氫進(jìn)氣管和氨氣進(jìn)氣管采用套管結(jié)構(gòu)，其 中內(nèi)管通入氯化氫氣體，外管則通入氨氣；所述套管下部管口被所述舟體內(nèi)的液態(tài)金屬反應(yīng)物淹沒(méi)，從而在舟體內(nèi)形 成兩個(gè)相互隔離的氣室，即內(nèi)氣室和外氣室。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器，其 特征在于在所述內(nèi)氣室內(nèi)，所述金屬氯化物送氣管的進(jìn)氣管口上方遮有一個(gè)傘狀結(jié) 構(gòu)，該傘狀結(jié)構(gòu)用于阻擋氯化氫氣體以避免其進(jìn)入所述金屬氯化物送氣管，而 金屬氯化物氣體則能夠從所述金屬氯化物送氣管的進(jìn)氣管口進(jìn)入該送氣管。
7、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于制備氮化物半導(dǎo)體村底的HVPE反應(yīng)器，其 特征在于所述氨氣進(jìn)氣管分為上下兩部分，其上半部分即為所述套管的外管，其下 半部分與上半部分分離，該氨氣進(jìn)氣管的下半部分的進(jìn)氣管口位于所述外氣室 內(nèi)，并高出所述金屬反應(yīng)物的液面。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反 應(yīng)器，其特征在于該HVPE反應(yīng)器釆用倒置支撐結(jié)構(gòu)，即所述異質(zhì)村底基座位于反應(yīng)器的上 部，而所述舟體、氯化氫進(jìn)氣管、氨氣進(jìn)氣管和金屬氯化物送氣管均位于該異 質(zhì)襯底基座的下方。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于制備氮化物半導(dǎo)體村底的HVPE反應(yīng)器，其特征在于所述舟體內(nèi)部還具有擋板，該擋板用于與液態(tài)金屬反應(yīng)物一起，將舟體內(nèi) 部分為兩個(gè)相互隔離的氣室，即內(nèi)氣室與外氣室；在氨氣離開(kāi)舟體之前，所述 氯化氫進(jìn)氣管和氨氣進(jìn)氣管采用套管結(jié)構(gòu)，其中內(nèi)管通入氯化氫氣體，內(nèi)管進(jìn) 入所述舟體的內(nèi)氣室中，并高出金屬反應(yīng)物的液面；外管通入氨氣，外管進(jìn)入 所述舟體的外氣室中，并高出金屬反應(yīng)物的液面。
10、根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器，其特征在于所述套管外管分為若干支管。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種便于添加及更換金屬反應(yīng)物的用于制備氮化物半導(dǎo)體襯底的HVPE反應(yīng)器，包括舟體、氯化氫進(jìn)氣管、氨氣進(jìn)氣管、金屬氯化物送氣管和異質(zhì)襯底基座。所述舟體能夠拆分為兩部分，以便于更換其中的金屬反應(yīng)物；所述氨氣進(jìn)氣管的結(jié)構(gòu)應(yīng)保證在所述舟體拆分為兩部分的時(shí)候其不會(huì)阻礙這種拆分。所述金屬氯化物送氣管采用單管路結(jié)構(gòu)，在氨氣離開(kāi)所述舟體之后，所述氨氣進(jìn)氣管分為若干支管，圍繞在所述金屬氯化物送氣管的四周；在靠近置于所述異質(zhì)襯底基座上的異質(zhì)襯底處，所述氨氣進(jìn)氣管的各支管與所述金屬氯化物送氣管之間保持一定距離，以阻止氨氣與金屬氯化物氣體的過(guò)早混合，這樣有利于降低各管口處的寄生沉積。
文檔編號(hào)C30B25/00GK101383279SQ20081016762
公開(kāi)日2009年3月11日 申請(qǐng)日期2008年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月21日
發(fā)明者嚴(yán)如岳, 于祥潞, 徐永寬, 巍 楊, 程紅娟, 賴占平 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所