專利名稱：：安裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種將電氣元件安裝到基板上的安裝方法。
背景技術(shù)：
：以往，在將半導(dǎo)體元件等電氣元件連接到基板上的安裝工序中，使用了一邊以按壓頭將電氣元件按壓到基板上一邊進(jìn)行加熱的壓接裝置。圖14(a)的符號(hào)101表示的是現(xiàn)有技術(shù)的壓接裝置，壓接裝置101具有臺(tái)座126和按壓頭120。按壓頭120包括在金屬框內(nèi)嵌入按壓橡膠而形成的按壓頭；以粘合劑將按壓橡膠粘貼到金屬板上而形成的按壓頭；將液態(tài)橡膠注入到金屬框內(nèi)、使橡膠在金屬框內(nèi)硬化而形成的按壓頭等。對(duì)于將按壓橡膠122嵌入到由金屬框構(gòu)成的頭本體121中而形成的按壓頭進(jìn)行如下說明按壓橡膠122的表面與頭本體121的表面^立平，或者使按壓橡膠122的表面突出至頭本體121的表面下方，當(dāng)將按壓頭120按壓到臺(tái)座126上的壓接對(duì)象物110上時(shí)，按壓橡膠122的表面與壓接對(duì)象物110接觸。壓接對(duì)象物UO具有基板111和配置在基板111上的厚度不同的電氣元件116、118，利用電氣元件116、118的厚度差在基板111上形成高低差。按壓橡膠122是由受力后會(huì)發(fā)生變形的彈性材料構(gòu)成的，按壓橡膠122首先與最厚的電氣元件116接觸，按壓橡膠122發(fā)生變形后按照從厚到薄的順序依次與電氣元件116和電氣元件118接觸，結(jié)果是，全部電氣元件116、118都被按壓橡膠122所按壓。在以壓接裝置101按壓電氣元件116、118之前，進(jìn)行電氣元件116、118與基板111的對(duì)位(位置對(duì)準(zhǔn))，電氣元件116、118的端子包夾著粘合劑115而位于基板111端子的正上方。臺(tái)座126的表面大致呈水平，基板111水平配置在該表面上，如果一邊加熱壓接對(duì)象物IIO—邊向鉛垂下方移動(dòng)按壓頭120從而纟姿壓電氣元件116、118,則由于電氣元件116、118壓退粘合劑115向正下方移動(dòng)，因此，電氣元件116、118的端子與基板111的端子接觸，電氣元件116、118與基板111形成電氣連接(圖14(b))。按照這種方式，現(xiàn)有的壓接裝置101可以將高度不同的電氣元件同時(shí)連接到一片基板上。然而，按壓橡膠122具有當(dāng)按壓電氣元件116、118時(shí)產(chǎn)生凹陷、其周圍部分因其反作用力而膨脹的性質(zhì)，按壓橡膠122的膨脹部分會(huì)越過頭本體121的框，按壓橡膠122的表面會(huì)在水平方向上擴(kuò)展。圖15是表示按壓橡膠122的表面在水平方向上的擴(kuò)展?fàn)顟B(tài)的平面圖，按壓橡膠122以其平面形狀的中心C為中心向放射方向流動(dòng)。與4姿壓橡膠122的中心C附近相比，在端部的移動(dòng)量較多，因此，按壓橡膠122的端部被按壓后的電氣元件116、118隨著按壓橡膠的擴(kuò)展而在水平方向移動(dòng)，電氣元件116、118的端子會(huì)偏離基板111的端子的正上方位置。當(dāng)電氣元件116、118發(fā)生位置偏移時(shí)，電氣元件116、118的端子與基板111的端子變成非接觸，電氣元件116、118與基板111的連接可靠性降低。另外，當(dāng)不僅在基板111的單個(gè)面、而是在兩個(gè)面上安裝電氣元件116、118時(shí)，必須對(duì)單面逐一地分2次進(jìn)行電氣元件116、118的安裝，所需的安裝時(shí)間變長。而且，當(dāng)在單面上安裝了電氣元件116、118之后接著在另一個(gè)面上安裝電氣元件116、118時(shí)，由于已安裝了電氣元件116、118的面與臺(tái)座126相面對(duì)，因此必須在臺(tái)座126上形成與電氣元件116、118的形狀相應(yīng)的凹凸，以使已完成安裝的電氣元件116、118不容易因按壓而損傷。但是，這種方法在每次電氣元件116、118和基板111的種類或者電氣元件116、118的接觸位置發(fā)生改變時(shí)必須重新制作臺(tái)座126。另外，當(dāng)在另一個(gè)面上連接電氣元件116、118時(shí)，在單面上已完成安裝的電氣元件116、118會(huì)再次被加熱按壓，有時(shí)候會(huì)因反復(fù)加熱按壓而導(dǎo)致電氣元件116、118損傷。專利文獻(xiàn)1:特開2002-359264號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:特開2005-32952號(hào)公才艮
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的是提供一種可以可靠地連接電氣元件和基板的安裝方法。為了解決上述課題，在本發(fā)明的安裝方法中，在具有第一、第二按壓板和配置在上述第一、第二按壓板上的第一、第二按壓橡膠的壓接裝置的、上述第一、第二按壓橡膠之間配置壓接對(duì)象物，該壓接對(duì)象物是在基板的表面和背面上分別配置著電氣元件而形成的，以上述第一、第二按壓橡膠按壓上述電氣元件，將上述各電氣元件固定到上述基板上；在將阻擋構(gòu)件定位于比上述第一、第二按壓橡膠周圍的表面更高的位置的狀態(tài)下，以上述第一、第二按壓橡膠按壓上述按壓對(duì)象物，以上述阻擋構(gòu)件阻擋因上述按壓而變形的上述第一、第二按壓橡膠的側(cè)面。在本發(fā)明的安裝方法中，上述電氣元件是利用配置在上述基板表面和上述基板背面的各向異性導(dǎo)電性膜的粘接力而配置的，在以上述第一、第二按壓橡膠按壓上述電氣元件時(shí)，對(duì)上述各向異性導(dǎo)電性膜進(jìn)行力口熱。在本發(fā)明的安裝方法中，在以上述第一、第二按壓橡膠按壓上述電氣元件之前，上述第一按壓橡膠與上述壓接對(duì)象物之間、以及上述第二按壓橡膠與上述壓接對(duì)象物之間，預(yù)先配置能夠從上述各向異性導(dǎo)電性膜剝離的保護(hù)膜。本發(fā)明按照上述方式構(gòu)成，將第一、第二按壓橡膠表面與電氣元件接觸，當(dāng)使第一、第二按壓橡膠發(fā)生變形時(shí)，笫一、第二按壓橡膠的表面部分和第一、第二按壓橡膠表面上的空間分別被阻擋構(gòu)件包圍。即使第一、第二按壓橡膠的側(cè)面膨脹變形，第一、第二按壓橡膠的表面部分直接或經(jīng)由保護(hù)膜與阻擋構(gòu)件接觸，不會(huì)進(jìn)一步膨脹；另外，即使第一、第二按壓橡膠的表面隆起，由于該隆起部分無法越過阻擋構(gòu)件，因此按壓時(shí)電氣元件不會(huì)移動(dòng)，可以防止位置偏移。既可以以不同的阻擋構(gòu)件分別包圍第一、第二按壓橡膠的周圍，也可以僅以阻擋構(gòu)件包圍第一按壓橡膠的周圍從而使前端從第一按壓橡膠的表面突出出來，然后將第二按壓橡膠插入到阻擋構(gòu)件的前端與第一按壓橡膠的表面之間的空間，以與第一按壓橡膠相同的阻擋構(gòu)件包圍第二按壓橡膠的周圍。進(jìn)而也可以使用一個(gè)阻擋構(gòu)件同時(shí)包圍第一、第二按壓橡膠的周圍。只要在第一、第二按壓橡膠發(fā)生變形之前以阻擋構(gòu)件包圍第一、第二按壓橡膠即可，既可以在笫一、第二按壓橡膠與電氣元件接觸之前完成，也可以在與電氣元件接觸后完成。發(fā)明效果由于電氣元件可以同時(shí)接觸基板表面和背面，因此安裝工序所需的時(shí)間縮短，因加熱按壓而造成的電氣元件的損傷也減少。由于第一、第二按壓橡膠的表面部分不會(huì)在水平方向上移動(dòng)，因此無論在基板的表面還是背面上都不會(huì)發(fā)生電氣元件的位置偏移。另外，當(dāng)?shù)谝弧⒌诙磯合鹉z不在水平方向擴(kuò)展時(shí)，第一、第二按壓橡膠發(fā)生變形的力大部分都變成按壓壓接對(duì)象物的力，因此在按壓時(shí)不再有加壓力的浪費(fèi)。圖1是用于說明第一例壓接裝置的剖視圖。圖2是用于說明按壓頭和臺(tái)座形狀的平面圖。圖3(a)~(c)是用于說明在基板上安裝電氣元件的工序的剖視圖。圖4(a)~(b)是用于說明在將電氣元件連接到基板上的工序的放大剖—見圖。圖5(a)~(c)是用于說明使用第二例壓接裝置安裝電氣元件時(shí)的工序的剖視圖。圖6是用于說明壓縮構(gòu)件的另一個(gè)實(shí)例的剖視圖。圖7是用于說明第三例壓接裝置的剖視圖。圖8(a)~(c)是用于說明在基板上安裝電氣元件的工序的剖視圖。圖9(a)~(c)是用于說明使用第四例壓接裝置在基板上安裝電氣元件的工序的剖^L圖。圖10(a)是表示第一、第二阻擋構(gòu)件與第一、第二按壓橡膠分離開的狀態(tài)的剖視圖，(b)是表示第一、第二阻擋構(gòu)件包圍第一、第二按壓橡膠的狀態(tài)的剖視圖。圖11是用于說明阻擋構(gòu)件的一個(gè)實(shí)例的平面圖。圖12是用于說明阻擋構(gòu)件的另一個(gè)實(shí)例的平面圖。圖13是用于說明在阻擋構(gòu)件中設(shè)置了缺口時(shí)的狀態(tài)的側(cè)面圖。圖14(a)、(b)是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的安裝方法的剖視圖。圖15是用于說明按壓橡膠的擴(kuò)展的平面圖。符號(hào)的說明1、4、6-8......壓接裝置5…...保護(hù)膜12...…第一按壓板15...…第一按壓橡膠16......第一阻擋構(gòu)件22...…第—按壓板25...…第-按壓橡膠66......第-阻擋構(gòu)件30...…壓接對(duì)象物31......基板35......各向異性導(dǎo)電性膜32、33......電氣元件具體實(shí)施例方式圖1的符號(hào)1表示的是本發(fā)明中所使用的壓接裝置的第1例，該壓接裝置1具備第一、第二按壓頭10、20;作業(yè)臺(tái)9;及驅(qū)動(dòng)裝置2。第一按壓頭10具有金屬材料制成的頭本體11;形成在該頭本體ll上的有底的孔19;及配置在孔19內(nèi)的第一按壓橡膠5。第一按壓橡膠15在水平方向上被截?cái)鄷r(shí)的截面形狀是與被第一阻擋構(gòu)件16所包圍的區(qū)域的截面形狀大致相同的柱狀，底面緊密地固定在孔19的底面上，側(cè)面與孔19的側(cè)壁接觸。第一按壓橡膠15從底面到表面的高度低于孔19的深度，第一按壓橡膠15的周圍處于由孔19的側(cè)壁所構(gòu)成的第一阻擋構(gòu)件16包圍的狀態(tài)，第一按壓橡膠15表面與第一阻擋構(gòu)件16的前端13之間形成有以第一^安壓棉J交15的表面為底面、以第一阻擋構(gòu)件16為側(cè)面的凹部17。第一按壓頭IO是以凹部17的開口18朝向下側(cè)、第一按壓橡膠15的表面大致呈水平的方式配置的。第一頭本體11之中，與第一按壓橡膠15的底面緊密接合的部分是第一按壓板12,第一按壓板12通過軸3安裝在驅(qū)動(dòng)裝置2上，在使驅(qū)動(dòng)裝置2動(dòng)作、使軸3伸縮時(shí)，第一按壓橡膠15的表面保持大致水平，同時(shí)第一按壓板12與第一按壓橡膠15和第一阻擋構(gòu)件16—起沿著鉛垂方向上下移動(dòng)。在第一按壓頭10的正下方位置配置了作業(yè)臺(tái)9，第二按壓頭20配置在作業(yè)臺(tái)9上。第二按壓頭20具有由金屬材料制成的按壓板構(gòu)成的第二頭本體21(第二按壓板)及配置在第二頭本體21表面上的第二按壓橡膠25,第二按壓頭20在第二頭本體21側(cè)的面與作業(yè)臺(tái)9緊密接合，第二按壓橡膠25側(cè)的面則朝向上側(cè)。因而，第二按壓橡膠25的表面暴露在第二按壓頭20上側(cè)的面上。這里，第二按壓橡膠25的周圍未配置任何元件，第二按壓橡膠25的平面形狀或者與上述凹部17的開口18相同、或者是比該開口18小的相似形狀(圖2)，第二按壓頭20中，至少第二按壓橡膠25的上端可以插入到凹部17。接著，說明能以該壓接裝置1壓接的壓接對(duì)象物及對(duì)該壓接對(duì)象物30進(jìn)行壓接的工序。圖4(a)的符號(hào)30表示的是壓接對(duì)象物，壓接對(duì)象物30具有基板31和各向異性導(dǎo)電性膜35及電氣元件32、33?；?1的表面和背面上分別形成有端子37,各向異性導(dǎo)電性膜35分別配置在基板31表面的端子37上和基板31背面的端子37上。電氣元件32、33具有凸塊或焊區(qū)等的端子38、39，各電氣元件32、33在以端子38、39位于基板31的端子37上的方式進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)后，利用未圖示的裝載頭將電氣元件32、33分別置放到各向異性導(dǎo)電性膜35上，一邊以較低溫度進(jìn)行加熱，一邊利用裝載頭以較小壓力按壓，利用各向異性導(dǎo)電性膜35所顯現(xiàn)的粘接力臨時(shí)粘接到基板31的表面和背面上(臨時(shí)壓接)。但是，該粘接力較弱，電氣元件32、33因物理性沖擊而容易從基板31上脫落，另外，基板31的端子37和電氣元件32、33的端子38、!39既未物理性接觸亦未機(jī)械性接觸，該端子37、38、39之間存在著各向異性導(dǎo)電性膜35。各向異性導(dǎo)電性膜35形成為比電氣元件32、33的平面形狀大，一部分超出電氣元件32、33而露出在電氣元件32、33之間。另外，即使在各向異性導(dǎo)電性膜35沒有從電氣元件32、33中露出的情況下，當(dāng)后述的按壓時(shí)各向異性導(dǎo)電性膜35會(huì)因按壓而從電氣元件32、33外圍露出一部分。第一、第二按壓橡膠15、25是由可粘接各向異性導(dǎo)電性膜35的材料構(gòu)成的，在以第二按壓橡膠25不接觸各向異性導(dǎo)電性膜35的方式將相對(duì)于各向異性導(dǎo)電性膜35的粘接性較低的保護(hù)膜5配置在第二按壓橡膠25的表面之后，將壓接對(duì)象物30以基板31的表面朝上、背面朝下的狀態(tài)配置到第二按壓橡膠25上(圖3(a))。這里，第二按壓橡膠25的表面呈水平，保護(hù)膜5的厚度均勻。因而，保護(hù)膜5表面位于第二按壓橡膠25上的部分呈大致水平。基板31的背面上粘接了厚度不同的電氣元件32、33,但在基板31的背面上相互隔開距離配置多個(gè)最厚的電氣元件32、或當(dāng)不是這種情形時(shí)，在第二按壓橡膠25上配置支承基板31的輔助部件，通過以電氣元件32或輔助部件加以保持，從而基板31呈大致水平。接著，以第一按壓橡膠15與各向異性導(dǎo)電性膜35不發(fā)生接觸的方式在壓接對(duì)象物30上也配置保護(hù)膜5，以保護(hù)膜5分別覆蓋壓接對(duì)象物30的表面和背面。當(dāng)保護(hù)膜5比第二按壓橡膠25的平面形狀更寬廣、第二按壓橡膠25上的保護(hù)膜5、或壓接對(duì)象物30上的保護(hù)膜5沿第二按壓橡膠25的側(cè)面下垂時(shí)，使第二按壓橡膠25的平面形狀小于凹部17的開口18，包含下垂的保護(hù)膜5的笫二按壓橡膠25的外形與開口18的大小大致相同。壓接對(duì)象物30的平面形狀與第二按壓橡膠25的平面形狀相同或較小，壓接對(duì)象物30位于外周不會(huì)從第二按壓橡膠25露出的位置，將第二、第二按壓頭10、20的方向?qū)R，使包含保護(hù)膜5的第二按壓橡膠25的外周與開口18—致后，當(dāng)?shù)谝话磯侯^10下降時(shí)，壓接對(duì)象物30就會(huì)插入到第一按壓頭10的凹部17內(nèi)。如果將壓接對(duì)象物30的厚度設(shè)定為基板31表面上最厚的電氣元件32的厚度、基板31背面上最厚的電氣元件32的厚度、以及基板31的厚度的總和，則凹部17的深度，即第一阻擋構(gòu)件16的前端13自第一按壓橡膠15表面開始的高度，與壓接對(duì)象物30的厚度和覆蓋著其表面及背面的保護(hù)膜5的厚度之和相同或大于等于該厚度，壓接對(duì)象物30從表面到背面全部收存于凹部17內(nèi)。當(dāng)凹部17的深度大于壓接對(duì)象物30的厚度與保護(hù)膜5的厚度之和時(shí)，壓接對(duì)象物30收存于凹部17之后，第一按壓頭10也會(huì)下降，但如上所述，由于包含保護(hù)膜5的笫二按壓橡膠25的外形與開口18的大小大致相等，因此第一阻擋構(gòu)件16的前端13不接觸第二按壓橡膠25的表面，第一按壓頭IO的下降不會(huì)停止。此外，保護(hù)膜5是由可壓縮變形的材料構(gòu)成的，即使當(dāng)包含保護(hù)膜5的第二按壓橡膠25的外形比開口18僅大少許的情況下，由于保護(hù)膜5發(fā)生壓縮變形并進(jìn)入到第二按壓橡膠25與第一阻擋構(gòu)件16的間隙之中，因此，第一按壓頭10的下降不會(huì)停止。當(dāng)?shù)谝话磯侯^10持續(xù)下降時(shí)，壓接對(duì)象物30與第一按壓橡膠15相對(duì)接近。當(dāng)基板31的表面上粘接著厚度不同的多種電氣元件32、33時(shí)，由于該厚度差而在基板31表面上形成了高低差。這里，第一按壓橡膠15的表面呈大致水平，由于第一按壓頭10沿垂直方向下降，因此，當(dāng)?shù)谝话磯侯^IO持續(xù)下降時(shí)，第一按壓橡膠15的表面隔著保護(hù)膜5與粘接在基板31表面上的電氣元件32、33之中最厚的電氣元件32接觸。圖3(b)表示的是第一按壓橡膠15在按壓基板31表面上的各電氣元件32、33之前僅與最厚的電氣元件32相接觸的狀態(tài)，凹部17的深度與包含保護(hù)膜5的壓接對(duì)象物30的厚度相同或大于等于該厚度，因此，在第一按壓橡膠15與最厚的電氣元件32相接觸的狀態(tài)下，第一阻擋構(gòu)件16的前端13與第二按壓橡膠25的表面所處的平面H相同或位于其下方。第一、第二按壓橡膠15、25由受力時(shí)發(fā)生變形、受力去除后會(huì)恢復(fù)原來形狀的彈性材料(例如彈性體)構(gòu)成的，第一按壓橡膠15的側(cè)面與孔19的內(nèi)壁接觸，但并沒有固定在該內(nèi)壁上，另外，第二按壓橡膠25的周圍未配置任何元件，因此，第一、第二按壓橡膠15、25不僅中央部分可以變形，其邊緣部分也可以變形。因而，在從圖3(b)所示的狀態(tài)開始使第一按壓頭IO下降后，以第一、第二按壓橡膠15、25按壓壓接對(duì)象物30時(shí)，無論在邊緣部分還是中央部分，第一、第二按壓橡膠15、25與電氣元件32相接觸的部分將凹陷。進(jìn)而，如果使第一按壓頭10下降從而使第一、第二按壓橡膠15、25進(jìn)一步相對(duì)接近，則從厚度較厚的電氣元件32朝向厚度薄的電氣元件33，依次被第一、第二按壓橡膠15、25按壓，結(jié)果是，全部電氣元件32、33都被按壓到基板31上。第一、第二按壓橡膠15、25是由內(nèi)部均勻的彈性材料等、受力部分凹陷后其他部分將膨脹的材料構(gòu)成的，第一按壓橡膠15中不與電氣元件32、33相接觸的部分朝下方膨脹，第二按壓橡膠25中不與電氣元件32、33相接觸的部分朝上方膨脹(圖3(c))。由于第一、第二按壓橡膠15、25較之發(fā)生變形前相對(duì)地更加接近，因此，即使變形前第二按壓橡膠25的表面與第一阻擋構(gòu)件16的前端13拉平的情形，變形后，第二按壓橡膠25中至少表面部分被收存到凹部17內(nèi)，^皮收存到凹部17內(nèi)的部分的側(cè)面凈皮第一阻擋構(gòu)件16包圍。該側(cè)面與第一阻擋構(gòu)件16緊密接合、或即使該側(cè)面與第一阻擋構(gòu)件16之間存在間隙，該間隙也^艮窄，狹窄到不會(huì)使朝下方膨脹的第一按壓橡膠15流出的程度。因而，第一按壓橡膠15朝下方膨脹的部分被第一阻擋構(gòu)件16阻擋而不會(huì)在水平方向上擴(kuò)展，第二按壓橡膠25的側(cè)面之沖收存在凹部17內(nèi)的部分被第一阻擋構(gòu)件16阻擋而不會(huì)進(jìn)一步膨脹。第二按壓橡膠25側(cè)面與第一阻擋構(gòu)件16之間的間隙較狹窄，因此，收存在第二按壓橡膠25側(cè)面的凹部17的部分的膨脹d、到可以忽略的程度。這樣，即使第一、第二按壓橡膠15、25膨脹而填充了電氣元件32、33之間的凹陷，第一、第二按壓橡膠15、25的表面部分也不會(huì)在水平方向，即與按壓方向正交的方向上膨脹。因而，電氣元件32、33在與按壓方向正交的方向上不受力、電氣元件32、33不會(huì)發(fā)生位置偏移，因此，電氣元件32、33在與臨時(shí)壓接時(shí)相同的部位被各向異性導(dǎo)電性膜35按壓。這里，在第二頭本體21中內(nèi)置了加熱器28，通過對(duì)加熱器28通電將壓接對(duì)象物30加熱至規(guī)定溫度，通過加熱使各向異性導(dǎo)電性膜35的流動(dòng)性提高。因而，當(dāng)電氣元件32、33被各向異性導(dǎo)電性膜35按壓時(shí)，各向異性導(dǎo)電性膜35被壓退，電氣元件32、33的端子陷入到各向異性導(dǎo)電性膜35(圖4(b))。各向異性導(dǎo)電性膜35中散布著導(dǎo)電性粒子34，當(dāng)各向異性導(dǎo)電性膜35被壓退時(shí)，電氣元件32、33的端子38、39包夾著導(dǎo)電性粒子34與基板31的端子37相接觸，電氣元件32、33與基板31形成電氣連接。當(dāng)各向異性導(dǎo)電性膜35含有熱硬化性樹脂時(shí)，通過加熱使各向異性導(dǎo)電性膜35硬化，另外，當(dāng)各向異性導(dǎo)電性膜35含有熱塑性樹脂時(shí)，加熱結(jié)束后溫度下降時(shí)，各向異性導(dǎo)電性膜35會(huì)固化。因而，電氣元件32、33經(jīng)由硬化或固化的各向異性導(dǎo)電性膜35而被機(jī)械性固定在基板31上，制造出電氣裝置30a。如果在按壓電氣元件32、33時(shí)發(fā)生位置偏移，則電氣元件32、33的端子38、39就不再與基板31的端子37接觸，因此，電氣裝置30a的可靠性下降，但如果使用本發(fā)明的壓接裝置1,就不會(huì)發(fā)生上述電氣元件32、33的位置偏移，因而，可以獲得可靠性高的電氣裝置30a。由于保護(hù)膜5位于第一按壓橡膠15與壓接對(duì)象物30之間、及第二按壓橡膠25與壓接對(duì)象物30之間，因此，在按壓電氣元件32、33時(shí)即使各向異性導(dǎo)電性膜35從電氣元件32、33的外周露出，第一、第二按壓橡膠15、25也不會(huì)直接接觸到各向異性導(dǎo)電性膜35。因而，第一、第二按壓橡膠15、25不會(huì)粘接到各向異性導(dǎo)電性膜35上，當(dāng)?shù)谝话磯侯^10向上方移動(dòng)時(shí)，第一按壓橡膠15與電氣裝置30a分離開，接著，當(dāng)拿起電氣裝置30a時(shí)，電氣裝置30a與第二按壓橡膠25分離開，從而能夠從壓接裝置1中取出電氣裝置30a。以上說明的是在將壓接對(duì)象物30收存在預(yù)先形成在第一按壓頭10上的凹部17之后，使第一按壓橡膠15接觸到壓接對(duì)象物30的情形，但本發(fā)明并不限于此。圖5(a)的符號(hào)4表示的是本發(fā)明中使用的壓接裝置的第二例，該壓接裝置4除了在第一按壓橡膠15與第一按壓板12之間配置了第一壓縮構(gòu)件46之外，還具有與第一例的壓接裝置1相同的結(jié)構(gòu)，笫一、第二按壓頭10、20的配置也相同。第一按壓橡膠15是以上述的內(nèi)部均勻的彈性材料構(gòu)成的，與此不同的是，第一壓縮構(gòu)件46是以如海綿狀的橡膠這樣的內(nèi)部具有空隙、受力后該空隙被擠壓而使體積減小的材料構(gòu)成的。第一按壓橡膠15和第一壓縮構(gòu)件46之間配置有可動(dòng)板47，第一壓縮構(gòu)件46的上端安裝在第一按壓板12的表面、下端安裝在可動(dòng)板47的表面，第一按壓橡膠15的上端安裝在可動(dòng)板47的背面。因而，第一壓縮構(gòu)件46、可動(dòng)板47和第一按壓橡膠15按照所記載的順序從第一按壓板12向鉛垂下方排列。第一壓縮構(gòu)件46與第一按壓橡膠15相同，其在水平方向上截?cái)鄷r(shí)的截面形狀是與被第一阻擋構(gòu)件16包圍的區(qū)域的截面形狀相同的柱狀，第一壓縮構(gòu)件46的側(cè)面與第一阻擋構(gòu)件16接觸。但是，第一壓縮構(gòu)件46未固定在第一阻擋構(gòu)件16上，另外，第一按壓橡膠15也未固定在第一阻擋構(gòu)件16上。因而，第一按壓橡膠15和可動(dòng)板47構(gòu)成為，當(dāng)?shù)谝粔嚎s構(gòu)件46的厚度改變時(shí)，其可以在第一阻擋構(gòu)件16所包圍的區(qū)域內(nèi)移動(dòng)。當(dāng)使用該壓接裝置4制造電氣裝置時(shí)，與使用第一例的壓接裝置1的情形相同，將壓接對(duì)象物30配置在第二按壓橡膠25上，使第一按壓橡膠15通過保護(hù)膜5與最厚的電氣元件32接觸。使第一壓縮構(gòu)件46發(fā)生變形所需的力比使第一、第二按壓橡膠15、25發(fā)生變形所需的力小，當(dāng)使第一按壓頭10進(jìn)一步下降從而將第一按壓板12按壓到第一壓縮構(gòu)件46上時(shí)，在第一、第二按壓橡膠15、25發(fā)生變形之前，第一壓縮構(gòu)件被壓縮，其厚度變小。如上所述，第一按壓橡膠15構(gòu)成為可以在第一阻擋構(gòu)件16所包圍的區(qū)域內(nèi)移動(dòng)，因此，當(dāng)?shù)谝粔嚎s構(gòu)件46的厚度減小時(shí)，第一按壓橡膠15向上方移動(dòng)，出現(xiàn)第一壓縮構(gòu)件46壓縮前所沒有的凹部，壓接對(duì)象物30被收存在該凹部內(nèi)。第一壓縮構(gòu)件46的變形量有其限度，因此，當(dāng)?shù)谝粔嚎s構(gòu)件46變形到某種程度時(shí)壓縮會(huì)停止。圖5(b)是第一壓縮構(gòu)件46的壓縮停止后的狀態(tài)，其表示的是第一、第二按壓橡膠15、25變形前的狀態(tài)；在這種狀態(tài)下，第一阻擋構(gòu)件16的前端13突出到第一按壓橡膠15表面下方，其突出量是第一按壓橡膠15向上方移動(dòng)的量，該前端13與第二按壓橡膠25表面所處的平面H相同或突出到更下方。第一壓縮構(gòu)件46的變形停止后，如果第一按壓頭IO進(jìn)一步下降，則第一、第二按壓橡膠15、25被電氣元件32、33按壓而凹陷，未與電氣元件32、33接觸的部分膨脹，但與第一例的壓接裝置1的情形相同，第一按壓橡膠15和第二按壓橡膠25的表面部分被第一阻擋構(gòu)件16包圍，另外，第二按壓橡膠25與第一阻擋構(gòu)件16之間的間隙小，因此，第一按壓橡膠15的表面不會(huì)在水平方向擴(kuò)展。另外，利用第一、第二按壓橡膠15、25的變形，第二按壓橡膠25至少表面部分被收存到凹部17內(nèi)，因此，即使第二按壓橡膠25的表面向上方膨脹，也不會(huì)在水平方向擴(kuò)展，因此，在該壓接裝置4中也不會(huì)出現(xiàn)電氣元件32、33的水平方向移動(dòng)，可以獲得可靠性高的電氣裝置30a。第一壓縮構(gòu)件46只要是能夠利用按壓而減小體積即可，并沒有特別限定，如圖6所示，也可以使用彈簧48構(gòu)成壓縮構(gòu)件，當(dāng)以第一按壓板12進(jìn)行按壓從而使彈簧48收縮后，第一按壓橡膠15的表面被往上推，出現(xiàn)凹部。另外，只要施加在第一按壓橡膠15上的力能夠傳遞到第一壓縮構(gòu)件46,則不需要特別設(shè)置可動(dòng)板47。以上將第一按壓板12安裝在驅(qū)動(dòng)裝置2的軸3上，移動(dòng)第一按壓頭10使第一、第二按壓橡膠15、25相對(duì)接近，但本發(fā)明并不限于此，只要第一、第二按壓一象膠15、25可以相對(duì)接近，則既可以在第一按壓頭IO靜止的狀態(tài)下移動(dòng)第二按壓頭20，也可以移動(dòng)第一、第二按壓頭10、20雙方。以上說明的是在第二按壓橡膠25的表面上配置壓接對(duì)象物30后使第一按壓頭10下降的情形，但本發(fā)明并不限于此。也可以將笫二按壓頭20的配置有第二按壓橡膠25的一側(cè)的面朝下側(cè)配置，將第一按壓頭10的位于第二按壓頭20下方位置并且形成有凹部17的面朝上側(cè)配置，在凹部17的底面，即第一按壓橡膠15的表面上配置壓接對(duì)象物30后，移動(dòng)第一、第二按壓頭10、20之中的任意一方或雙方，使第一、第二按壓橡膠15、25相對(duì)接近，將第二按壓橡膠25的表面按壓到壓接對(duì)象物30上。第一、第二^安壓;f象膠15、25的表面方向并不限于水平，也可以以第一、第二按壓橡膠15、25的表面呈大致垂直的方式配置第一、第二按壓頭10、20。對(duì)第一、第二按壓頭10、20的移動(dòng)方向也沒有特別限定，但為了防止電氣元件32、33的位置偏移，優(yōu)選是相對(duì)于基板31的表面和背面呈大致垂直地移動(dòng)，因此，當(dāng)基板31與第一、第二按壓橡膠15、25的表面平行時(shí)，第一、第二按壓頭10、20的移動(dòng)方向相對(duì)于第一、第二按壓橡膠15、25的表面呈大致垂直。以上說明的是第二按壓橡膠25周圍未配置任何元件、其側(cè)面露出的情形，但本發(fā)明并不限于此，也可以以第二按壓橡膠25不摩擦第一阻擋構(gòu)件16的方式以薄板(滑動(dòng)板)覆蓋第二按壓橡膠25的側(cè)面。在以滑動(dòng)板覆蓋第二按壓橡膠25側(cè)面的情況下，當(dāng)該第二按壓頭20收存在凹部17內(nèi)時(shí)，滑動(dòng)板與第一阻擋構(gòu)件16緊密接合、或者，即使滑動(dòng)板與第一阻擋構(gòu)件16之間存在間隙，由于該間隙狹窄到不會(huì)使膨脹的第一按壓橡膠15流出的程度，因此，第一按壓橡膠15不會(huì)在水平方向上擴(kuò)展?；瑒?dòng)板的膜厚很小，即使與第二按壓橡膠25—起變形，與第一阻擋構(gòu)件16接觸后其變形也會(huì)停止。變形前，第一阻擋構(gòu)件16與滑動(dòng)板的間隙較小，因此其變形量小，故第二按壓橡膠25的水平方向擴(kuò)展小到可以忽略的程度。另外，即使第二按壓橡膠25的表面邊緣部分膨脹后越過滑動(dòng)板，由于滑動(dòng)板的膜厚小，如上所述滑動(dòng)板與第一阻擋構(gòu)件16的間隙也小，因此，越過滑動(dòng)板的部分在水平方向上的擴(kuò)展量小。這樣，第一、第二按壓橡膠15、25在水平方向上不會(huì)擴(kuò)展，即使發(fā)生了擴(kuò)展，其擴(kuò)展量也小到可以忽略的程度，因此，不容易發(fā)生電氣元件32、33的位置偏移。第一、第二例的壓接裝置1、4中，當(dāng)?shù)谝蛔钃鯓?gòu)件16與第二按壓橡膠25之間的間隙較大時(shí)，如果以保護(hù)膜5覆蓋第二按壓橡膠25的側(cè)面，則該間隙即被保護(hù)膜5所填埋。因而，不使用模具等、以低成本制造第一、第二阻擋構(gòu)件16,即使其成形精度較差，通過適當(dāng)選擇保護(hù)膜5的膜厚，可以填埋第一阻擋構(gòu)件16與第二按壓橡膠25之間的間隙，第一按壓橡膠15不會(huì)從間隙流出去。以上說明的是僅在第一按壓頭10上設(shè)置了阻擋構(gòu)件的情形，但本發(fā)明并不限于此。圖7的符號(hào)6表示的是本發(fā)明中所使用的壓接裝置的第三例，該壓接裝置6具備第一、第二按壓頭10、60。第一、第二按壓頭10、60具備第一、第二頭本體ll、61和第一、第二按壓橡膠15、65。第一、笫二頭本體11、61與第一例的壓接裝置1的第一按壓頭10相同，其上分別形成有有底的孔(第一、第二孔)19、69。第一、第二按壓橡膠15、65的配置也與第一例的壓接裝置1的第一按壓橡膠15相同，第一、第二按壓橡膠15、65被由第一、第二孔19、69的側(cè)壁所構(gòu)成的第一、第二阻擋構(gòu)件16、66包圍，形成了以第一、第二按壓橡膠15、65的表面為底面、以第一、第二阻擋構(gòu)件16、66為側(cè)面的第一、第二凹部17、67。第一、第二孔19、69的開口18、68的形狀大致相同，當(dāng)以開口18、68的邊緣一致的方式對(duì)準(zhǔn)并相互按壓第一、笫二按壓頭10、60時(shí)，第一、第二阻擋構(gòu)件16、66的前端彼此接觸。這里，第一按壓頭10的配置和與驅(qū)動(dòng)裝置2的連接與第一例的壓接裝置1的第一按壓頭IO相同，第一按壓頭10在第一按壓橡膠15表面保持大致水平朝向的狀態(tài)下，借助于驅(qū)動(dòng)裝置2，可以將作業(yè)臺(tái)9沿垂直方向上下移動(dòng)。第二按壓頭60以第二凹部67的開口68朝向上側(cè)的方式配置在作業(yè)臺(tái)9上，構(gòu)成第二凹部67的底面的第二按壓橡膠65的表面呈大致水平，其表面成為載放壓接對(duì)象物30的裝載面。如果對(duì)使用該壓接裝置6連接上述壓接對(duì)象物30的情形加以說明，即為，為了避免第一、第二按壓橡膠15、65與各向異性導(dǎo)電性膜35發(fā)生接觸，在第二按壓橡膠65的表面上配置保護(hù)膜5之后，以基板31的表面朝上、背面朝下的方式將壓接對(duì)象物30配置在第二按壓橡膠65上，進(jìn)而在壓接對(duì)象物30表面上也配置保護(hù)膜5(圖8(a))。第一、第二凹部17、67的合計(jì)深度，即從第一按壓橡膠15的表面到第一阻擋構(gòu)件16前端為止的高度與從第二按壓橡膠65的表面到第二阻擋構(gòu)件66的前端為止的高度之和，小于壓接對(duì)象物30的厚度與覆蓋著其表面、背面的保護(hù)膜5的厚度之和。因而，在將壓接對(duì)象物30載放于裝載面上的保護(hù)膜5、使開口18、68的邊緣一致后使第一按壓頭IO下降時(shí)，在第一、第二阻擋構(gòu)件16、66的前端接觸前，第一按壓橡膠15的表面隔著保護(hù)膜5與壓接對(duì)象物30接觸。圖8(b)表示的是第一按壓橡膠15隔著保護(hù)膜5與壓接對(duì)象物30的表面接觸的狀態(tài)、即第一、第二按壓橡膠15、65按壓壓接對(duì)象物30之前的狀態(tài)，第一阻擋構(gòu)件16的前端與第二阻擋構(gòu)件66的前端之間存在間隙。第一、第二頭本體ll、61中，當(dāng)以第一、第二按壓橡膠15、65底面緊密接合的部分作為第一、第二按壓板12、62時(shí)，第一、第二按壓橡膠15、65各自的底面分別固定在第一、第二按壓板12、62上，但其側(cè)面并未固定在第一、第二阻擋構(gòu)件16、66上，第一、第二按壓橡膠15、65構(gòu)成為中央部分和邊緣部分都可以變形。因而，當(dāng)使第一按壓頭IO進(jìn)一步下降、使第一、第二按壓橡膠15、25相對(duì)接近時(shí)，與第一例的壓接裝置1相同，從厚度較厚的電氣元件32朝向厚度薄的電氣元件33依次被第一、笫二按壓橡膠15、65按壓，第一、第二按壓橡膠15、65不與電氣元件32、33發(fā)生接觸的部分膨脹，壓接對(duì)象物30受到按壓。按壓壓接對(duì)象物30時(shí)的壓力通過各向異性導(dǎo)電性膜35或電氣元件32、33的厚度、或者各向異性導(dǎo)電性膜35的加熱溫度來設(shè)定。上述第一、第二凹部17、67的合計(jì)深度被設(shè)定為當(dāng)以設(shè)定的壓力按壓壓接對(duì)象物30時(shí)，即使第一、第二按壓橡膠15、65發(fā)生了變形的情況下，第一、第二阻擋構(gòu)件16、66的前端也不會(huì)彼此直接接觸的深度；只要第一、第二按壓橡膠15、65的變形持續(xù)，第一按壓頭10就會(huì)下降，當(dāng)?shù)谝?、第二按壓橡膠15、65的變形停止后，使第一按壓頭10下降的力就成為按壓壓接對(duì)象物30的力(圖8(c))。此外，即使當(dāng)保護(hù)膜5的邊緣部分從開口18、68中露出，第一、第二阻擋構(gòu)件16、66的前端彼此包夾著露出的保護(hù)膜5而相互接觸的情況下，只要保護(hù)膜5是以上述可壓縮變形的材料構(gòu)成的，通過保護(hù)膜5的壓縮變形，就可以保持對(duì)壓接對(duì)象物30的按壓。在按壓壓接對(duì)象物30時(shí)，第一、第二按壓橡膠15、65的表面膨脹，但由于第一、第二按壓橡膠15、65被前端從其表面突出的第一、第二阻擋構(gòu)件16、66所包圍，因此，第一、第二按壓橡膠15、65表面膨脹的部分被第一、第二阻擋構(gòu)件16、66阻擋。因而，該壓接裝置6中，第一、第二按壓橡膠15、65表面也不會(huì)在水平方向擴(kuò)展，不會(huì)發(fā)生電氣元件32、33的位置偏移。在第一、第二按壓頭10、60的任意一方或雙方中設(shè)置了加熱裝置，與第一例的壓接裝置1相同地，一邊加熱壓接對(duì)象物30—邊按壓，由此能夠制造出電氣元件32、33與基板31既電氣連接又機(jī)械性連接的電氣裝置30a。以上說明的是在第一、第二按壓橡膠15、65與壓接對(duì)象物30接觸前就已形成了第一、第二凹部17、67的情形，但本發(fā)明并不限于此。圖9(a)的符號(hào)7表示的是本發(fā)明中使用的壓接裝置的第四例。該壓接裝置7除了在笫一、第二按壓板12、62與第一、第二按壓橡膠15、65之間配置第一、第二壓縮構(gòu)件46、76之外，還具有與第三例的壓接裝置6相同的結(jié)構(gòu)，第一、第二按壓頭10、60的配置也與上述第三例的壓接裝置6相同。第一、第二壓縮構(gòu)件46、76的結(jié)構(gòu)和配置與上述笫二例的壓接裝置4的第一壓縮構(gòu)件46相同，當(dāng)以第一、第二按壓橡膠15、65包夾壓接對(duì)象物30時(shí)，在第一、第二按壓橡膠15、65變形前，第一、第二壓縮構(gòu)件46、76被壓縮而薄膜厚度減小，第一、第二按壓橡膠15、65被第一、第二按壓板12、62按壓，與可動(dòng)板47、77—起在孔19、69內(nèi)移動(dòng)。圖9(b)表示的是第一、第二壓縮構(gòu)件46、76的薄膜厚度減小后的狀態(tài)，即第一、第二按壓橡膠15、65變形前的狀態(tài)，即使在包夾壓接對(duì)象物30之前沒有形成凹部，通過使第一、第二按壓橡膠15、65接近第一、第二按壓板12、62,也可以分別形成以第一、第二按壓橡膠15、65的表面為底面、以第一、第二阻擋構(gòu)件16、66為側(cè)壁的凹部。此時(shí)的凹部的合計(jì)深度，即第一、第二壓縮構(gòu)件46、76被壓縮時(shí)從第一按壓橡膠15的表面到第一阻擋構(gòu)件16的前端為止的高度與從第二按壓橡膠65的表面到第二阻擋構(gòu)件66的前端為止的高度之和，比包含第二按壓橡膠65表面的保護(hù)膜5和壓接對(duì)象物30表面的保護(hù)膜5在內(nèi)的壓接對(duì)象物30的厚度小。當(dāng)?shù)谝?、第二壓縮構(gòu)件46、76被壓縮時(shí)，第一、第二阻擋構(gòu)件16、66的前端不接觸、第一按壓頭10的下降不會(huì)受到妨礙，因此，在使第一按壓頭IO進(jìn)一步下降后，第一、第二按壓橡膠15、65會(huì)靠近，第一、第二按壓橡膠15、65與電氣元件32相接觸的部分凹陷，結(jié)果是，所有電氣元件32、33都被第一、第二按壓橡膠15、65所按壓。上述凹部的合計(jì)深度被設(shè)定為當(dāng)將電氣元件32、33按壓到基板31上時(shí)第一、第二阻擋構(gòu)件16、66的前端也不會(huì)接觸地對(duì)壓接對(duì)象物30施加規(guī)定壓力，因此，只要一邊加熱壓接對(duì)象物30—邊持續(xù)按壓，就能夠與使用上述第一例的壓接裝置1時(shí)同樣地制造出電氣元件32、33連接到基板31上而形成的電氣裝置30a。在以第一、第二按壓橡膠15、65按壓電氣元件32、33時(shí)，第一、笫二按壓橡膠15、65未與電氣元件32、33相接觸的部分會(huì)膨脹，但由于按壓第一、第二電氣元件32、33時(shí)形成了凹部，因此，與上述第三例的壓接裝置6的情形相同，第一、第二按壓橡膠15、65被第一、第二阻擋構(gòu)件16、66阻擋，不會(huì)在水平方向上擴(kuò)展。因而，在使用了該壓接裝置7的情況下，也不會(huì)發(fā)生電氣元件32、33的位置偏移，制造出可靠性較高的電氣裝置30a。以上說明的是第一、第二按壓橡膠15、25的任意一方或雙方預(yù)先被阻擋構(gòu)件包圍的情形，但本發(fā)明并不限于此。圖10(a)的符號(hào)8表示的是本發(fā)明中所使用的壓接裝置的第五例，該壓接裝置8具備第一、第二按壓頭80、90和阻擋構(gòu)件86。第一、第二按壓頭80、90具有金屬制成的第一、第二按壓板82、92和配置在第一、第二按壓板82、92表面上的第一、第二按壓橡膠85、95,第一、第二按壓橡膠85、95的周圍未配置任何元件，第一、第二按壓橡膠85、95的側(cè)面露出。第一、第二按壓橡膠85、95表面的平面形狀相同，或者是相似形狀。如圖11所示，阻擋構(gòu)件86是筒狀，筒兩端的開口形狀與第一、第二按壓橡膠85、95表面的形狀相同，或者是更大的相似形狀。因而，第一、第二按壓橡膠85、95的至少表面部分可以分別插入到阻擋構(gòu)件86的開口中。這里，笫一、第二按壓橡膠85、95的側(cè)面相對(duì)于其表面大致垂直，當(dāng)在相對(duì)于表面的平行方向上截?cái)嗟谝?、第二按壓橡膠85、95時(shí)，其平面形狀從表面到背面大致相同。阻擋構(gòu)件86的內(nèi)壁面相對(duì)于兩端的開口呈大致垂直，在平行于該開口截?cái)鄷r(shí)的截面形狀從一端到另一端大致相同，第一、第二按壓橡膠85、95不<又表面部分、而且其側(cè)面也可以插入到阻擋構(gòu)件86中。將配置有第一按壓橡膠85的一側(cè)的面朝向下側(cè)配置第一按壓頭80。第一按壓頭80的下方配置有作業(yè)臺(tái)9，將配置有第二按壓橡膠95的一側(cè)的面朝向上側(cè)，在作業(yè)臺(tái)9上配置第二按壓頭90。利用未圖示的搬運(yùn)裝置將第一按壓橡膠85從阻擋構(gòu)件86的一端插入到筒的內(nèi)部，將阻擋構(gòu)件86安裝到第一按壓板82。在這種狀態(tài)下，第一按壓橡膠85的周圍被阻擋構(gòu)件86包圍，阻擋構(gòu)件86的另一端突出到第一按壓橡膠85表面的下方。在第二按壓橡膠95的表面上配置保護(hù)膜5之后，在該保護(hù)膜5上配置壓接對(duì)象物30，進(jìn)而在壓接對(duì)象物30的表面上配置保護(hù)膜5。當(dāng)?shù)诙磯合鹉z95以位于阻擋構(gòu)件86下端的開口內(nèi)側(cè)的方式對(duì)位后，使阻擋構(gòu)件86與第一按壓頭80—起下降，壓接對(duì)象物30被插入到阻擋構(gòu)件86的內(nèi)部，第一按壓橡膠85隔著保護(hù)膜5與壓接對(duì)象物30接觸。當(dāng)?shù)谝话磯合鹉z85與壓接對(duì)象物30接觸時(shí)，即在第一、第二按壓橡膠85、95發(fā)生變形之前的狀態(tài)下，阻擋構(gòu)件86的筒的長度為，其下端與第二按壓橡膠95的表面拉平，或者突出到第二按壓橡膠95的表面下方，與上述第一例的壓接裝置1的情形相同，在按壓壓接對(duì)象物30時(shí)，第一、第二按壓橡膠85、95不會(huì)在水平方向上擴(kuò)展，因此，不容易發(fā)生電氣元件32、33的位置偏移。以上說明的是阻擋構(gòu)件86成型為一體化的筒狀時(shí)的情形，但本發(fā)明并不限于此。圖12的符號(hào)96表示的是阻擋構(gòu)件的另一個(gè)實(shí)例。該阻擋構(gòu)件96具有多個(gè)板狀的壁材99,利用未圖示的移動(dòng)裝置使各壁材99在表面朝向垂直方向的狀態(tài)下沿第一按壓橡膠85的側(cè)面排列著安裝在第一按壓板82上，形成包圍第一按壓橡膠85周圍的1個(gè)筒。在此狀態(tài)下，各壁材99的下端突出到第一按壓橡膠85表面的下方，因而，包圍第一按壓橡膠85周圍的筒的下端突出到第一按壓橡膠85表面的下方，壓接對(duì)象物30和第二按壓橡膠95可以插入到突出到其下方的部分中。以上說明的是以阻擋構(gòu)件86、96包圍第一按壓橡膠85后在其下端插入第二按壓橡膠95的情形，但本發(fā)明并不限于此。首先，以包圍第二按壓橡膠95的周圍、前端突出到第二按壓橡膠95表面上方的方式將阻擋構(gòu)件86、96安裝到第二按壓頭90,將第一按壓橡膠85從突出到阻擋構(gòu)件86、96上方的開口插入到阻擋構(gòu)件86、96的內(nèi)部亦可。以上說明的是將阻擋構(gòu)件86、96安裝在第一、笫二按壓頭80、90中的任意一方的情形，但本發(fā)明并不限于此，也可以在第一、第二按壓頭80、90的任何一方都不安裝阻擋構(gòu)件86、96,在使第一、第二按壓橡膠85、95與壓接對(duì)象物30接觸后，在開始按壓壓接對(duì)象物30之前，以阻擋構(gòu)件86、96包圍第一、笫二按壓橡膠85、95的周圍。進(jìn)而，也可以將阻擋構(gòu)件86、96分別安裝在第一、第二按壓頭80、90上，以阻擋構(gòu)件86、96包圍第一、第二按壓橡膠85、95的周圍之后，對(duì)壓接對(duì)象物30進(jìn)行按壓。在這種情況下，處于安裝了阻擋構(gòu)件86、96的狀態(tài)下的笫一、第二按壓頭80、90優(yōu)選是采用與上述第三例的壓接裝置6的第一、第二按壓頭10、20相同的結(jié)構(gòu)和配置。阻擋構(gòu)件86、96的筒的長度及阻擋構(gòu)件86、96的配置也沒有特別的限定，當(dāng)按壓壓接對(duì)象物30時(shí)，只要包圍至少第一、第二按壓橡膠85、95的表面部分，則既可以將第一、第二纟妄壓橡膠85、95從表面到背面全部包圍，也可以是不僅包圍第一、第二按壓橡膠85、95、而且包圍第一、笫二按壓板82、92。另外，在上述第五例的壓接裝置8中，既可以將第一、第二按壓橡膠85、95直接安裝在第一、第二按壓板82、92上，也可以按照第四例的壓接裝置7的方式，將壓縮構(gòu)件設(shè)置在第一、第二按壓板82、92和第一、第二按壓橡膠85、95之間。既可以在以第一、第二阻擋構(gòu)件86、96包圍第一、第二按壓橡膠85、95的周圍之前在第一、第二按壓橡膠85、95表面上配置保護(hù)膜5，也可以在以第一、第二阻擋構(gòu)件86、96包圍第一、第二按壓橡膠85、95的周圍之后在第一、第二按壓橡膠85、95表面上配置保護(hù)膜5。以上說明的是以第一、第二阻擋構(gòu)件16、66、86、96包圍第一、第二按壓橡膠15、25、85、95的整個(gè)外周的情形，但本發(fā)明并不限于此，只要能夠防止第一、第二按壓橡膠15、25、85、95在水平方向上的擴(kuò)展，如圖13所示，也可以形成使第一、第二按壓橡膠15、25、65、85、95的側(cè)面的一部分在第一、第二阻擋構(gòu)件16、66、86、96的任意一方或乂又方露出的擊夬口98。保護(hù)膜5的形狀和大小也沒有特別限定，只要能夠避免各向異性導(dǎo)電性膜35與第一、笫二按壓橡膠15、25、65、85、95發(fā)生接觸，則既可以使用不從笫一、第二按壓橡膠15、25、65、85、95的露出的大小的保護(hù)膜5,也可以使用僅覆蓋壓接對(duì)象物30的一部分表面的保護(hù)膜5。當(dāng)所使用的各向異性導(dǎo)電性膜35與第一、第二按壓橡膠15、25、65、85、95的粘接性較低的情況下，也可以不使用保護(hù)膜5，使第一、第二按壓橡膠15、25、65、85、95直接接觸按壓對(duì)象物30。降低第一、第二按壓橡膠15、25、65、85、95與各向異性導(dǎo)電性膜35的粘接性的方法有將第一、第二按壓橡膠15、25、65、85、95的構(gòu)成材料改變?yōu)榕c各向異性導(dǎo)電性膜35的粘接性低的材料，或者在第一、第二按壓橡膠15、25、65、85、95的表面上設(shè)置對(duì)于各向異性導(dǎo)電性膜35具有脫膜性的脫膜層。設(shè)置加熱裝置的部位沒有特別限定，加熱裝置既可以設(shè)置在第一、第二按壓頭的任意一方或雙方，只要能夠進(jìn)行熱傳導(dǎo)，也可以設(shè)置在作業(yè)臺(tái)9上。本發(fā)明中使用的基板31的種類也沒有特別限定，可以使用硬性基板、柔性基板等各種基板。各向異性導(dǎo)電性膜35中既可以僅含有熱塑性樹脂和熱硬化性樹脂中的任意一方，也可以含有雙方。雖然熱硬化性樹脂和熱塑性樹脂的種類沒有特別限定，但是熱硬化性樹脂可以使用環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、聚氨酯樹脂等l種以上，熱塑性樹脂可以使用例如苯氧樹脂、聚乙烯醇樹脂等l種以上。導(dǎo)電性粒子的種類也沒有特別限定，除金屬粒子之外，也可以使用在樹脂粒子的表面上設(shè)置了金屬層而形成的粒子。另外，作為各向異性導(dǎo)電性膜35的替代品，也可以將漿糊狀各向異性導(dǎo)電性粘合劑涂敷在基板31表面后，將電氣元件粘接到該各向異性導(dǎo)電性粘合劑上，作為壓接對(duì)象物30。另外，根據(jù)電氣元件32、33的安裝條件，也可以使用不含導(dǎo)電性粒子的粘合劑來替代各向異性導(dǎo)電性膜35或各向異性導(dǎo)電性粘合劑。保護(hù)膜的種類雖然沒有特別限定，但優(yōu)選是相對(duì)于上述各向異性導(dǎo)電性膜35具有剝離性的膜，例如，可以使用將聚四氟乙烯成型為膜狀、或者將硅酮橡膠成型為膜狀而形成的膜。構(gòu)成第一、第二按壓橡膠的彈性材料沒有特別限定，就一個(gè)實(shí)例而言，可以使用橡膠硬度(依據(jù)JISS6050)為40、80的彈性體。橡膠硬度通過JISS6050:2002的"6.試驗(yàn)方法"中記載的方法進(jìn)行測定。其內(nèi)容如下所述。試驗(yàn)中使用的樣品是制造完成后經(jīng)過了24小時(shí)以上的樣品。另夕卜，化學(xué)分析中通用的一般事項(xiàng)依據(jù)JISK0050。硬度試驗(yàn)中使用硬度試驗(yàn)機(jī)，在保持水平的試驗(yàn)片的表面上，使試驗(yàn)機(jī)的壓針呈垂直方式接觸加壓面，立即以正數(shù)讀取刻度值。此外，試-瞼片的測定部位是將整個(gè)表面三等分，對(duì)每一等分的中央部分逐一進(jìn)行測定，以其中央值作為試驗(yàn)片的硬度。此外，所謂的硬度試-瞼指的是壓針形狀為直徑5.08mm±0.02mm的半球狀的彈簧硬度試驗(yàn)機(jī)。當(dāng)刻度為0時(shí)壓針的高度為2.54mm±0.22mm,當(dāng)刻度為100時(shí)壓針的高度為0mm?？潭扰c彈力的關(guān)系如下述表1所示。表1表l:刻度與彈力的關(guān)系<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>此外，對(duì)于橡膠硬度分別為40、60、80的彈性體，在測定溫度30°C24(TC的范圍內(nèi)每隔3(TC測定橡膠硬度，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，橡膠硬度的變化為±2。這一數(shù)值可以說是在測定誤差范圍內(nèi)，因此，可知橡膠硬度是不受溫度變化影響的值。第一、第二按壓橡膠中使用的彈性體可以使用天然橡膠、合成橡膠的任意一種，但從耐熱性、耐壓性的角度出發(fā)，最好是使用硅酮橡膠。既可以使用相同材料構(gòu)成第一、第二按壓橡膠從而使該橡膠硬度相同，也可以分別使用不同材料構(gòu)成第一、第二按壓橡膠從而使其橡膠硬度不同。連接到基板31的電氣元件32、33的種類沒有特別限定，具體來說，有半導(dǎo)體元件、阻抗元件、其他基板等。將電氣元件32、33連接到基板31的表面及背面之前，也可以在電氣元件32、33連接到基板31的表面之后、直到開始將電氣元件32、33連接到基板31的背面的期間，或者在將電氣元件32、33連接到基板31的表面及背面雙方之后，在基板31的表面及背面的任意一方或雙方連接CR元件之類的其他電氣元件。以上說明的是在基板31的表面和背面上分別連接厚度不同的多種電氣元件32、33的情形，但本發(fā)明并不限于此，本發(fā)明也包含在基板31的表面和背面上連接厚度相同的電氣元件的情形、以及在基板31的表面或背面其中一者上連接電氣元件的情形。權(quán)利要求1.一種安裝方法，其中在具有第一、第二按壓板和配置在上述第一、第二按壓板上的第一、第二按壓橡膠的壓接裝置的、上述第一、第二按壓橡膠之間配置壓接對(duì)象物，該壓接對(duì)象物是在基板的表面和背面上分別配置了電氣元件而形成的，以上述第一、第二按壓橡膠按壓上述電氣元件，將上述各電氣元件固定到上述基板上，在將阻擋構(gòu)件定位于比上述第一、第二按壓橡膠周圍的表面更高的位置的狀態(tài)下，以上述第一、第二按壓橡膠按壓上述按壓對(duì)象物，以上述阻擋構(gòu)件阻擋因上述按壓而變形的上述第一、第二按壓橡膠的側(cè)面。2.如上述權(quán)利要求1所述的安裝方法，其中，上述電氣元件利用配置在上述基板表面和上述基板背面的各向異性導(dǎo)電性膜的粘接力而配置，在以上述第一、第二按壓橡膠按壓上述電氣元件時(shí)，對(duì)上述各向異性導(dǎo)電性膜進(jìn)行加熱。3.如上述權(quán)利要求1或權(quán)利要求2中任意一項(xiàng)所述的安裝方法，其中，在以上述第一、第二按壓橡膠按壓上述電氣元件之前，上述第一按壓橡膠與上述壓接對(duì)象物之間、以及上述第二按壓橡膠與上述壓接對(duì)象物之間，預(yù)先配置能夠從上述各向異性導(dǎo)電性膜剝離的保護(hù)膜。全文摘要本發(fā)明提供一種在基板的兩面上安裝電氣元件的安裝方法。以第一、第二按壓橡膠(15、25)同時(shí)按壓基板(31)的表面上和背面上的電氣元件(32、33)，由此，能夠一次性地將電氣元件(32、33)連接到基板(31)的表面和背面。當(dāng)?shù)谝?、第二按壓橡膠(15、25)發(fā)生變形時(shí)，其周圍被阻擋構(gòu)件(16)包圍，因此，第一、第二按壓橡膠(15、25)被阻擋構(gòu)件(16)阻擋從而不會(huì)擴(kuò)展，不會(huì)引起電氣元件(32、33)的位置偏移。電氣元件(32、33)在與臨時(shí)壓接時(shí)相同的位置上被連接到基板(31)，故能夠得到連接可靠性高的電氣元件(30a)。文檔編號(hào)H05K3/32GK101390207SQ20078000650公開日2009年3月18日申請(qǐng)日期2007年2月13日優(yōu)先權(quán)日2006年2月23日發(fā)明者松村孝申請(qǐng)人:索尼化學(xué)&信息部件株式會(huì)社