專利名稱：一種剪式提升裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及升降裝置，具體的說，是一種剪式提升裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)代化生產(chǎn)需要精密提升的剪式提升裝置，比如在光刻機整機研發(fā)或者集 成過程中，大多數(shù)光刻機結(jié)構(gòu)都需要精密提升，以實現(xiàn)機械接口的連接或者實 驗時的高度調(diào)整，調(diào)焦調(diào)平就是一個精密光機電設(shè)備，在安裝過程中，不能有 大的震動，并且要實現(xiàn)機械接口的準確對接?，F(xiàn)有技術(shù)的剪式提升裝置，其本 身的最小高度一般較小，提升高度大，外形尺寸也較大，在提升過程中，提升 速度和下降速度一樣，沒有慢升快降功能，在有載荷時提升，需要的驅(qū)動力較 大。此外，現(xiàn)有技術(shù)的剪式提升裝置，通過直接驅(qū)動梯形螺紋或者滾珠絲杠使 承載臺上下運動，其提升分辨率較低，各關(guān)節(jié)處直接采用銷軸連接，由于軸與 孔存在間隙，承載臺面會搖晃，不能保證承載工件的平穩(wěn)提升，所以無法滿足 現(xiàn)代化生產(chǎn)對精密提升的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，改變現(xiàn)有技術(shù)剪式提升裝置的不足，提供 一種適用于精密光機設(shè)備的升降速度可調(diào)且平穩(wěn)提升的剪式提升裝置。
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用了如下技術(shù)手段 一種剪式提升裝置， 包括承載板、底板、兩組呈X狀交叉相連的連桿、連桿驅(qū)動部件；所述的兩組 連桿，其中一對同向連桿的下端通過驅(qū)動滑塊與所述底板滑動連接，上端與所 述承栽板固定連接，另一對同向連桿的上端通過滑塊與所述承栽板滑動連接， 下端與所述底板固定連接，所述驅(qū)動滑塊具有螺孔， 一螺桿穿過所述螺孔并與 驅(qū)動滑塊螺紋副嚙合；所述連桿驅(qū)動部件包括大齒輪、小齒輪、粗調(diào)旋鈕、精 調(diào)旋鈕，所述螺桿的一端固定在底板上，另一端和大齒輪同軸連接，所述小齒
輪與所述大齒輪齒輪副嚙合，所述粗調(diào)旋鈕和大齒輪同軸連接，所述精調(diào)旋鈕 和小齒輪同軸連接。
在上述的剪式提升裝置中，所述承載板和底板的兩側(cè)沿縱向分別設(shè)有兩根 導向滑軌，所述驅(qū)動滑塊可沿底板上的兩根導向滑軌滑動，所述滑塊可沿承載 板上的兩根導向滑軌滑動，所述兩組連桿的一端分別通過固定轉(zhuǎn)軸座固定在底 板或承載板上。
在上述的剪式提升裝置中，所述連桿與驅(qū)動滑塊之間、連桿與滑塊之間、 連桿與固定轉(zhuǎn)軸座之間、以及兩根交叉連桿之間采用軸承連接。
在上述的剪式提升裝置中，所述兩組連桿的交叉點之間通過一銷軸連接。
在上述的剪式提升裝置中，所述底板上設(shè)有一螺桿座，所述螺桿的一端通 過該螺桿座固定在底板上。
在上述的剪式提升裝置中，所述底板上還設(shè)有一齒輪支架板，所述大齒輪、 小齒輪、粗調(diào)旋鈕和精調(diào)旋鈕均安裝在齒輪支架板上。
在上述的剪式提升裝置中，所述大齒輪的齒數(shù)是小齒輪齒數(shù)的2倍或大于2倍。
在上述的剪式提升裝置中，所述粗調(diào)旋鈕和精調(diào)旋鈕的端部具有方孔，通 過將一驅(qū)動曲柄插在方孔內(nèi)可對粗調(diào)旋鈕或精調(diào)旋鈕進行旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)。
本發(fā)明剪式提升裝置由于采用了上迷技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具 有以下優(yōu)點和積極效果
1、 提升裝置各關(guān)節(jié)處直接采用軸承連接，既保證了連桿轉(zhuǎn)動的靈活性，減 小了摩擦力，降低螺桿的驅(qū)動力，又使得連桿相對驅(qū)動滑塊、滑塊、固定轉(zhuǎn)軸 座及銷軸在轉(zhuǎn)動過程中沒有間隙，提高了承載板的穩(wěn)定性；
2、 由于大小齒輪齒數(shù)比不一樣，當驅(qū)動精調(diào)旋鈕時，可實現(xiàn)承載板的慢速 升降運動，當驅(qū)動粗調(diào)旋^組時，可實現(xiàn)承載板的快速升降運動。


本發(fā)明剪式提升裝置由以下的實施例及附圖給出 圖1為本發(fā)明剪式提升裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明剪式提升裝置仰視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明的剪式提升裝置作詳細說明。
結(jié)合圖1、圖2，本發(fā)明包括承載板l、底板2、導向滑軌3、驅(qū)動滑塊4、 固定轉(zhuǎn)軸座5、連桿6、軸承7、螺桿座8、大齒輪9、螺桿IO、粗調(diào)旋鈕ll、 驅(qū)動曲柄12、精調(diào)旋鈕13、齒輪支架板14、小齒輪15、銷軸16、滑塊17。
承載板1和底板2通過兩組相交叉呈X狀的連桿6相連，四根導向滑軌3 分別沿縱向平行安裝在承載板1和底板2的兩邊。驅(qū)動滑塊4通過軸承7連接 至兩根同向連桿6的兩端，并可以沿底板2上的導向滑軌3滑動，滑塊17通過 軸承7連接至另兩根同向連桿6的兩端，并可以沿承載板1上的導向滑軌3滑 動。該四根連桿6的另一端分別通過固定轉(zhuǎn)軸座5固定在底板2或承載板1上。 每組連桿6的中心通過軸承7與銷軸16連接且平行隨動。
螺桿座8固定在底板2上。螺桿10連接帶有螺紋的驅(qū)動滑塊4,螺桿10與 驅(qū)動滑塊4之間是螺紋副嚙合，螺桿10 —端固定在螺桿座8上，另 一端和安裝 在齒輪支架板14上的大齒輪9同軸連接。齒輪支架板14上另有一小齒輪15， 小齒輪15與大齒輪9齒輪副嚙合，粗調(diào)旋鈕11和大齒輪9同軸連接，精調(diào)旋 鈕13和小齒輪15同軸連接，粗調(diào)旋鈕11和精調(diào)旋鈕13分別安裝在齒輪支架 板14上，驅(qū)動曲柄12可以自由插在粗調(diào)旋鈕11或精調(diào)旋鈕13端部的方孔內(nèi) 用于旋轉(zhuǎn)粗調(diào)旋鈕11或精調(diào)旋鈕13,以驅(qū)動螺桿10或小齒輪15。
由于剪式提升裝置各關(guān)節(jié)處直接采用軸承7連接，這樣既保證了連桿6轉(zhuǎn) 動的靈活性，減小了摩擦力，降低螺桿10的驅(qū)動力；又使得連桿6相對驅(qū)動滑 塊4、滑塊17、固定轉(zhuǎn)軸座5及銷軸16在轉(zhuǎn)動過程中沒有間隙，提高了承載板 1的穩(wěn)定性。
大齒輪9齒數(shù)是小齒輪15齒數(shù)的2倍或者更多，由于大小齒輪齒數(shù)比不一 樣，當驅(qū)動精調(diào)旋鈕13時，將實現(xiàn)承載板l的慢速升降運動，當驅(qū)動粗調(diào)旋鈕 11時，將實現(xiàn)承載板1的快速升降運動。
本發(fā)明剪式提升裝置工作時，將被提升工件放在承載板1上，將驅(qū)動曲柄 12插在精調(diào)旋鈕13端部的方孔內(nèi)，轉(zhuǎn)動驅(qū)動曲柄12,精調(diào)旋鈕13驅(qū)動小齒輪 15轉(zhuǎn)動，通過齒輪副嚙合，驅(qū)動大齒輪9轉(zhuǎn)動，從而驅(qū)動螺桿10轉(zhuǎn)動，螺桿
10轉(zhuǎn)動后通過螺桿10與驅(qū)動滑塊4之間的螺紋副帶動驅(qū)動滑塊4在導向?qū)к? 的引導下滑動，通過銷軸16和連桿6，安裝在承載板1上的滑塊17也會同步和 驅(qū)動滑塊4沿導向滑軌3移動，由于大小齒輪齒數(shù)比不一樣，承載板1將做一 個緩升緩降的慢速精密升降運動。當驅(qū)動曲柄12插在粗調(diào)旋鈕11端部方孔內(nèi) 直接驅(qū)動螺桿10時，承載板1可以做快速升降運動。
權(quán)利要求
1.一種剪式提升裝置，其特征在于，包括承載板、底板、兩組呈X狀交叉相連的連桿、連桿驅(qū)動部件；所述的兩組連桿，其中一對同向連桿的下端通過驅(qū)動滑塊與所述底板滑動連接，上端與所述承載板固定連接，另一對同向連桿的上端通過滑塊與所述承載板滑動連接，下端與所述底板固定連接，所述驅(qū)動滑塊具有螺孔，一螺桿穿過所述螺孔并與驅(qū)動滑塊螺紋副嚙合；所述連桿驅(qū)動部件包括大齒輪、小齒輪、粗調(diào)旋鈕、精調(diào)旋鈕，所述螺桿的一端固定在底板上，另一端和大齒輪同軸連接，所述小齒輪與所述大齒輪齒輪副嚙合，所述粗調(diào)旋鈕和大齒輪同軸連接，所述精調(diào)旋鈕和小齒輪同軸連接。
2. 如權(quán)利要求1所述的剪式提升裝置，其特征在于，所述承載板和底板的兩側(cè)沿縱向分別設(shè)有兩根導向滑軌，所述驅(qū)動滑塊可沿底板上的兩根導向 滑軌滑動，所述滑塊可沿承載板上的兩根導向滑軌滑動，所述兩組連桿的一 端分別通過固定轉(zhuǎn)軸座固定在底板或承載板上。
3. 如權(quán)利要求2所述的剪式提升裝置，其特征在于，所述連桿與驅(qū)動滑塊之間、連桿與滑塊之間、連桿與固定轉(zhuǎn)軸座之間、以及兩根交叉連桿之間 采用軸承連接。
4. 如權(quán)利要求1所述的剪式提升裝置，其特征在于，所述兩組連桿的交叉點之間通過一銷軸連接。
5. 如權(quán)利要求1所述的剪式提升裝置，其特征在于，所述底板上設(shè)有一螺桿座，所述螺桿的一端通過該螺桿座固定在底^1上。
6. 如權(quán)利要求1所述的剪式提升裝置，其特征在于，所述底板上還設(shè)有一齒輪支架板，所述大齒輪、小齒輪、粗調(diào)旋鈕和精調(diào)旋鈕均安裝在齒輪支 架板上。
7. 如權(quán)利要求1所述的剪式提升裝置，其特征在于，所述大齒輪的齒數(shù)是小齒輪齒數(shù)的2倍或大于2倍。
8. 如權(quán)利要求1所述的剪式提升裝置，其特征在于，所述粗調(diào)旋鈕和精調(diào)旋鈕的端部具有方孔，通過將一驅(qū)動曲柄插在方孔內(nèi)可對粗調(diào)旋鈕或精調(diào) 旋鈕進行旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種剪式提升裝置，其包括承載板、底板、兩組呈X狀交叉相連的連桿、連桿驅(qū)動部件；所述的兩組連桿，其中一對同向連桿的下端通過驅(qū)動滑塊與底板滑動連接，上端與承載板固定連接，另一對同向連桿的上端通過滑塊與承載板滑動連接，下端與底板固定連接，所述驅(qū)動滑塊具有螺孔，一螺桿穿過該螺孔并與驅(qū)動滑塊螺紋副嚙合；所述連桿驅(qū)動部件包括大齒輪、小齒輪、粗調(diào)旋鈕、精調(diào)旋鈕，螺桿的一端固定在底板上，另一端和大齒輪同軸連接，所述小齒輪與大齒輪齒輪副嚙合，所述粗調(diào)旋鈕和大齒輪同軸連接，所述精調(diào)旋鈕和小齒輪同軸連接。本發(fā)明的剪式提升裝置，各關(guān)節(jié)摩擦力小，負載大，在整個裝置升降時承載臺平穩(wěn)不會搖晃，具有慢升快降功能。
文檔編號B66F7/06GK101195467SQ20071017358
公開日2008年6月11日 申請日期2007年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月28日
發(fā)明者嚴天宏, 肖可云, 袁志揚 申請人:上海微電子裝備有限公司