專利名稱:一種在硅基底上生長(zhǎng)單晶鐵納米線的方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于納米材料制備技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種在硅基底上生長(zhǎng)鐵納米線的方法。
背景技術(shù):
鐵納米線是由鐵原子形成的直徑小,長(zhǎng)度大的一維結(jié)構(gòu)。鐵納米線由于兼具納米材料尺寸上的特性和鐵元素的磁性,可以用于制備超高密度磁性存儲(chǔ)器件、磁性探測(cè)器、微型馬達(dá)等等,并在作為制備硅納米線的催化劑方面,有著廣泛的應(yīng)用。
目前實(shí)現(xiàn)生長(zhǎng)磁性納米結(jié)構(gòu)的方法主要為濺射法、化學(xué)氣相沉積法、電鍍法和閃急蒸發(fā)法等。這些方法在生長(zhǎng)納米材料的時(shí)候溫度較高,并且操作較為復(fù)雜,有些甚至耗時(shí)較長(zhǎng),因此這種直接蒸發(fā)方法相比較之下具有很大的優(yōu)勢(shì)。
本發(fā)明使用鐵絲為蒸發(fā)源,實(shí)現(xiàn)了在較低溫度下直接生長(zhǎng)單晶鐵納米線。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供在較低溫度下的一種在硅基底上生長(zhǎng)鐵納米線的方法。其特征在于該方法為直接蒸發(fā)法,通過控制蒸發(fā)電流、蒸發(fā)時(shí)間和鐘罩內(nèi)氣壓,在硅基底上得到鐵納米線。
其制備方法包括以下步驟(1)將鐵絲做成螺旋,接在電極上。將(001)或(111)晶向的硅基底用丙酮、酒精、去離子水逐一超聲清洗并晾干后,固定于鐵絲螺旋上方,落下鐘罩密封;(2)開啟機(jī)械泵,使系統(tǒng)氣壓達(dá)到10Pa以下;(3)當(dāng)鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到上述步驟(2)中的目標(biāo)氣壓后,接通電源,調(diào)節(jié)變壓器,使通過鐵絲螺旋的電流達(dá)到20~35安培,加熱鐵絲進(jìn)行蒸發(fā);(4)蒸發(fā)1~5分鐘,將變壓器調(diào)至零,切斷電源,結(jié)束蒸發(fā)過程;(5)繼續(xù)抽真空至材料自然冷卻至室溫;(6)關(guān)閉機(jī)械泵,鐘罩內(nèi)外通氣,開鐘罩取出材料并保存。
本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明使用鐵絲為蒸發(fā)源的直接蒸發(fā)方法克服了現(xiàn)有方法在生長(zhǎng)納米材料的時(shí)候溫度較高,并且操作較為復(fù)雜,有些甚至耗時(shí)較長(zhǎng)的缺陷,實(shí)現(xiàn)了在較低溫度下直接生長(zhǎng)單晶鐵納米線。因此相比較之下具有很大的優(yōu)勢(shì)。
圖1為在硅基底上沉積的鐵納米線的SEM圖像。
圖2為在硅基底上沉積鐵納米線的HRTEM圖像。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的目的是提供在較低溫度下的一種在硅基底上生長(zhǎng)鐵納米線的方法。其特征在于該方法為直接蒸發(fā)法,通過控制蒸發(fā)電流、蒸發(fā)時(shí)間和鐘罩內(nèi)氣壓,在硅基底上得到鐵納米線。
其制備方法包括以下步驟(1)將鐵絲做成螺旋,接在電極上。將(001)或(111)晶向的硅基底用丙酮、酒精、去離子水逐一超聲清洗并晾干后,固定于鐵絲螺旋上方,落下鐘罩密封;(2)開啟機(jī)械泵,使系統(tǒng)氣壓達(dá)到10Pa以下;(3)當(dāng)鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到上述步驟(2)中的目標(biāo)氣壓后,接通電源,調(diào)節(jié)變壓器,使通過鐵絲螺旋的電流達(dá)到20~35安培,加熱鐵絲進(jìn)行蒸發(fā);(4)蒸發(fā)1~5分鐘,將變壓器調(diào)至零,切斷電源,結(jié)束蒸發(fā)過程;(5)繼續(xù)抽真空至材料自然冷卻至室溫;(6)關(guān)閉機(jī)械泵,鐘罩內(nèi)外通氣,開鐘罩取出材料并保存。
下面的實(shí)施例旨在舉例說明本發(fā)明,而不是要以任何方式限制本發(fā)明。
實(shí)施例1(1)將鐵絲做成螺旋,接在電極上。將(001)晶向的硅基底用丙酮、酒精、去離子水逐一超聲清洗并晾干后,固定于鐵絲螺旋上方,落下鐘罩密封。
(2)開啟機(jī)械泵,使系統(tǒng)氣壓達(dá)到5Pa。
(3)當(dāng)鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到上述步驟(2)中的目標(biāo)氣壓后,接通電源,調(diào)節(jié)變壓器,使通過鐵絲螺旋的電流達(dá)到20安培,加熱鐵絲進(jìn)行蒸發(fā)。
(4)蒸發(fā)5分鐘,將變壓器調(diào)至零,切斷電源,結(jié)束蒸發(fā)過程。
(5)繼續(xù)抽真空至材料自然冷卻至升溫。
(6)關(guān)閉機(jī)械泵,鐘罩內(nèi)外通氣,開鐘罩取出材料并保存。
實(shí)施例2(1)將鐵絲做成螺旋,接在電極上。將(001)晶向的硅基底用丙酮、酒精、去離子水逐一超聲清洗并晾干后,固定于鐵絲螺旋上方,落下鐘罩密封。
(2)開啟機(jī)械泵,使系統(tǒng)氣壓達(dá)到3Pa。
(3)當(dāng)鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到上述步驟(2)中的目標(biāo)氣壓后,接通電源,調(diào)節(jié)變壓器,使通過鐵絲螺旋的電流達(dá)到35安培,加熱鐵絲進(jìn)行蒸發(fā)。
(4)蒸發(fā)4分鐘,將變壓器調(diào)至零,切斷電源,結(jié)束蒸發(fā)過程。
后面步驟與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例3(1)將鐵絲做成螺旋,接在電極上。將(001)晶向的硅基底用丙酮、酒精、去離子水逐一超聲清洗并晾干后,固定于鐵絲螺旋上方,落下鐘罩密封。
(2)開啟機(jī)械泵,使系統(tǒng)氣壓達(dá)到7Pa。
(3)當(dāng)鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到上述步驟(2)中的目標(biāo)氣壓后,接通電源,調(diào)節(jié)變壓器,使通過鐵絲螺旋的電流達(dá)到30安培,加熱鐵絲進(jìn)行蒸發(fā)。
(4)蒸發(fā)1分鐘,將變壓器調(diào)至零,切斷電源,結(jié)束蒸發(fā)過程。
后面步驟與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例4(1)將鐵絲做成螺旋,接在電極上。將(111)晶向的硅基底用丙酮、酒精、去離子水逐一超聲清洗并晾干后,固定于鐵絲螺旋上方,落下鐘罩密封。
(2)開啟機(jī)械泵,使系統(tǒng)氣壓達(dá)到5Pa。
(3)當(dāng)鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到上述步驟(2)中的目標(biāo)氣壓后,接通電源,調(diào)節(jié)變壓器,使通過鐵絲螺旋的電流達(dá)到30安培,加熱鐵絲進(jìn)行蒸發(fā)。
(4)蒸發(fā)5分鐘,將變壓器調(diào)至零,切斷電源,結(jié)束蒸發(fā)過程。
后面步驟與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例5(1)將鐵絲做成螺旋,接在電極上。將(001)晶向的硅基底用丙酮、酒精、去離子水逐一超聲清洗并晾干后,固定于鐵絲螺旋上方,落下鐘罩密封。
(2)開啟機(jī)械泵,使系統(tǒng)氣壓達(dá)到4Pa。
(3)當(dāng)鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到上述步驟(2)中的目標(biāo)氣壓后,接通電源,調(diào)節(jié)變壓器,使通過鐵絲螺旋的電流達(dá)到25安培,加熱鐵絲進(jìn)行蒸發(fā)。
(4)蒸發(fā)3分鐘,將變壓器調(diào)至零,切斷電源,結(jié)束蒸發(fā)過程。
后面步驟與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例6(1)將鐵絲做成螺旋,接在電極上。將(001)晶向的硅基底用丙酮、酒精、去離子水逐一超聲清洗并晾干后,固定于鐵絲螺旋上方,落下鐘罩密封。
(2)開啟機(jī)械泵,使系統(tǒng)氣壓達(dá)到6Pa以下。
(3)當(dāng)鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到上述步驟(2)中的目標(biāo)氣壓后,接通電源,調(diào)節(jié)變壓器,使通過鐵絲螺旋的電流達(dá)到35安培,加熱鐵絲進(jìn)行蒸發(fā)。
(4)蒸發(fā)1分鐘,將變壓器調(diào)至零,切斷電源,結(jié)束蒸發(fā)過程。
后面步驟與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例7(1)將鐵絲做成螺旋,接在電極上。將(001)晶向的硅基底用丙酮、酒精、去離子水逐一超聲清洗并晾干后,固定于鐵絲螺旋上方,落下鐘罩密封。
(2)開啟機(jī)械泵,使系統(tǒng)氣壓達(dá)到2Pa以下。
(3)當(dāng)鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到上述步驟(2)中的目標(biāo)氣壓后,接通電源,調(diào)節(jié)變壓器,使通過鐵絲螺旋的電流達(dá)到25安培,加熱鐵絲進(jìn)行蒸發(fā)。
(4)蒸發(fā)2分鐘,將變壓器調(diào)至零,切斷電源,結(jié)束蒸發(fā)過程。
后面步驟與實(shí)施例1相同。
上面各實(shí)施例得到的鐵納米線形貌如圖1和圖2所示。
權(quán)利要求
1.一種在硅基底上生長(zhǎng)鐵納米線的方法,其特征在于該方法為直接蒸發(fā)法,通過控制蒸發(fā)電流、蒸發(fā)時(shí)間和鐘罩內(nèi)氣壓,在硅基底上得到鐵納米線;其制備方法包括以下步驟(1)將鐵絲做成螺旋,接在電極上,將(001)或(111)晶向的硅基底用丙酮、酒精、去離子水逐一超聲清洗并晾干后,固定于鐵絲螺旋上方,落下鐘罩密封;(2)開啟機(jī)械泵,使系統(tǒng)氣壓達(dá)到10Pa以下;(3)當(dāng)鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到上述步驟(2)中的目標(biāo)氣壓后,接通電源,調(diào)節(jié)變壓器,使通過鐵絲螺旋的電流達(dá)到20~35安培,加熱鐵絲進(jìn)行蒸發(fā);(4)蒸發(fā)1~5分鐘,將變壓器調(diào)至零,切斷電源,結(jié)束蒸發(fā)過程;(5)繼續(xù)抽真空至材料自然冷卻至室溫;(6)關(guān)閉機(jī)械泵,鐘罩內(nèi)外通氣,開鐘罩取出材料并保存。
全文摘要
本發(fā)明公開了屬于納米材料制備技術(shù)領(lǐng)域的一種在硅基底上生長(zhǎng)鐵納米線的方法。所用方法為直接蒸發(fā)法,原料為鐵絲。制備時(shí),首先將鐵絲和潔凈的硅基底置于真空鐘罩中,使鐘罩內(nèi)氣壓達(dá)到10Pa以下。隨后給鐵絲通電加熱,使之蒸發(fā),幾分鐘后停止通電,此過程中須利用機(jī)械泵維持真空度。反在結(jié)束后,須保持抽真空狀態(tài)直至鐵絲和材料自然冷卻,以免材料被氧化。此方在硅基底上得到單晶鐵納米線的制備工藝操作簡(jiǎn)單,所用時(shí)間短。在制造高密度存儲(chǔ)材料和催化劑等方面具有廣泛的應(yīng)用前景。
文檔編號(hào)C30B29/62GK1769544SQ20041008842
公開日2006年5月10日 申請(qǐng)日期2004年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月2日
發(fā)明者張政軍, 潘春雨 申請(qǐng)人:清華大學(xué)