專利名稱：在布線板上形成布線的布線形成系統(tǒng)和布線形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在包括半導(dǎo)體封裝的布線板或其它類型板上形成布線的布線形成系統(tǒng)和布線形成方法。
背景技術(shù)：
隨著在布線板上形成的布線圖形向著更加小型化和復(fù)雜化發(fā)展的趨勢，存在對發(fā)展高精度布線形成技術(shù)的需求。
此外，各種類型的元件尺寸的縮小和性能的增強(qiáng)推動向著多層布線板發(fā)展的趨勢。多層布線板通過多個板的疊置而構(gòu)成。特別是通常稱作"buildup"的技術(shù)在最近幾年得到了普遍應(yīng)用；在該技術(shù)中，形成含有玻璃纖維織物的剛性層作為多層板的中心板，隨后在中心板上疊置形成有精細(xì)外形布線的薄絕緣層，并且再以類似的方式疊置薄絕緣層，重復(fù)該過程完成多層板的制造。
在這種多層板中，因為除了在各層的表面上形成布線之外，還要形成連接各疊置層上的布線圖形的通路，所以在形成多層板的布線中要求非常高的精度。
通常，通過基于限定布線圖形的設(shè)計數(shù)據(jù)對板曝光，和通過顯影布線圖形將需要的圖形印在板上并將不需要的部分腐蝕掉，在多層板上形成布線。
圖33示出了現(xiàn)有技術(shù)中布線形成工藝的流程圖。
通常，在例如半導(dǎo)體封裝布線板的制造工藝中，在一個大尺寸板上形成用于多個封裝或布線板的布線，然后，將大尺寸板切割為單個的單元封裝或單元布線板。
首先，在步驟S901中，用CAD設(shè)計用于單元布線板的電路布線，產(chǎn)生電路設(shè)計數(shù)據(jù)。即，電路設(shè)計數(shù)據(jù)的意思是用于一個單元的含有電路設(shè)計信息的數(shù)據(jù)。要在布線板上形成的布線圖形由導(dǎo)電部分(通常稱作線)和導(dǎo)體之間的區(qū)域(通常稱作間隔)構(gòu)成。
然后，在步驟S902中，除了說明每個單元布線板的電路設(shè)計數(shù)據(jù)應(yīng)當(dāng)在大尺寸布線板上如何排列的作業(yè)卡片信息之外還要考慮腐蝕線的寬度，采用CAM進(jìn)行板布局設(shè)計(安放作業(yè))，以產(chǎn)生板設(shè)計數(shù)據(jù)。
在步驟S903中，基于在步驟S902中產(chǎn)生的板設(shè)計數(shù)據(jù)制造一組光掩模。更具體的，選擇在板上的線和間隔作為要曝光和不要曝光的部分，并遮蔽不要曝光的部分。
在步驟S904中，通過光掩模曝光抗蝕劑層。在本說明書中，這種曝光的板被稱作“曝光后的板”。
通常，在板曝光工藝中，由于物理和化學(xué)參數(shù)極大地影響曝光工藝，所以往往得不到準(zhǔn)確的符合板設(shè)計數(shù)據(jù)的曝光后的板。圖34示出了扭曲的板的頂視圖作為例子。由于環(huán)境溫度、加到板上的機(jī)械應(yīng)力等，在板200中出現(xiàn)例如扭曲、收縮/膨脹等變形。
圖35和36是說明在扭曲的板上進(jìn)行曝光時的示意圖圖35示出了在沒有扭曲的理想條件下曝光的曝光后的板201，圖36示出了在扭曲的條件下曝光的曝光后的板202。
當(dāng)圖35中所示的沒有扭曲的理想板201經(jīng)過忠實于板設(shè)計數(shù)據(jù)的曝光時，圖形250形成在每個指定區(qū)中。另一方面，當(dāng)扭曲的板202經(jīng)過忠實于板設(shè)計數(shù)據(jù)的曝光時，圖形250沒有形成在指定區(qū)中，而是如圖36所示發(fā)生了偏移。因此，當(dāng)在布線板上形成布線時，必須事先考慮板的收縮/膨脹。在常規(guī)布線形成工藝中，計算在曝光后的板上的曝光圖形和板設(shè)計數(shù)據(jù)之間存在的偏移的量，并產(chǎn)生用于修正板設(shè)計數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)(稱作“比例修正值”)。比例修正值反饋到步驟S902中的CAM工序，將比例修正加到板設(shè)計數(shù)據(jù)中。然后，用修正的板設(shè)計數(shù)據(jù)重新制造掩模，并進(jìn)行曝光。通過幾次重復(fù)該過程，建立起適合在曝光工藝期間出現(xiàn)的板收縮/膨脹和扭曲的設(shè)計數(shù)據(jù)。
當(dāng)通過采用考慮板的收縮/膨脹和扭曲而產(chǎn)生的設(shè)計數(shù)據(jù)曝光板，從而成功得到的所希望的曝光后的板之后，在步驟S905中，顯影該曝光后的板，從抗蝕劑層上去掉多余的部分形成抗蝕劑圖形。在減工藝(subtractiveprocess)的情況下，在要形成布線圖形形狀的位置保留抗蝕劑圖形。在半加工藝(semi-additive process)中，以暴露出位于要形成布線圖形形狀處的基礎(chǔ)導(dǎo)電層的方式形成抗蝕劑圖形。
然后，在步驟S906中，腐蝕顯影的曝光后的板。在本說明書中，經(jīng)過腐蝕的板被稱作“腐蝕后的板”。在減工藝的情況下，通過腐蝕去掉通過抗蝕劑圖形暴露出來的導(dǎo)電層部分，然后去掉抗蝕劑圖形，以形成布線。在半加工藝的情況下，形成布線的金屬通過電鍍(銅電鍍)沉積在通過抗蝕劑圖形暴露出來的導(dǎo)電層部分，并且在導(dǎo)電層上形成要形成布線的金屬化圖形。然后，去掉抗蝕劑圖形，腐蝕掉通過形成布線的金屬化圖形暴露出來的導(dǎo)電層部分，從而完成布線的形成。
腐蝕工藝，類似于曝光工藝，受到物理和化學(xué)參數(shù)的極大影響，并且往往無法完成忠實于板設(shè)計數(shù)據(jù)的腐蝕。例如，與板設(shè)計數(shù)據(jù)相比，腐蝕可能偏移，或者形成的腐蝕線太厚或太薄。在本說明書中，這種關(guān)于腐蝕的誤差被稱作“腐蝕誤差”。
在現(xiàn)有技術(shù)中，為了消除腐蝕誤差，計算在腐蝕后的板上的腐蝕圖形和板設(shè)計數(shù)據(jù)之間存在的偏移量，并產(chǎn)生用于修正板設(shè)計數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)(稱作“腐蝕修正值”)。
腐蝕修正值反饋到步驟S902中的CAM工序，將腐蝕修正加到板設(shè)計數(shù)據(jù)中。然后，用這種修正的板設(shè)計數(shù)據(jù)通過步驟S903到S906得到腐蝕后的板。通過重復(fù)該過程，可以得到腐蝕誤差最小的板設(shè)計數(shù)據(jù)。然后，采用這樣得到的最佳板設(shè)計數(shù)據(jù)，可以批量生產(chǎn)具有多個其上形成有所希望的布線的單元布線板的布線板。
如上所述，在現(xiàn)有技術(shù)的布線形成工藝中，比例修正用于修正在曝光工藝期間出現(xiàn)的板扭曲和收縮/膨脹，腐蝕修正用于修正在腐蝕工藝期間出現(xiàn)的腐蝕誤差，從而修正所需的板設(shè)計數(shù)據(jù)并通過反復(fù)試驗找到最佳的板設(shè)計數(shù)據(jù)，并且用這樣得到的板設(shè)計數(shù)據(jù)批量生產(chǎn)布線板。
如上所述，因為包括掩模制造、曝光和曝光后的板測試等一系列的比例修正工藝不得不重復(fù)多次，以便得到考慮在曝光工藝中可能出現(xiàn)的板扭曲和收縮/膨脹的板設(shè)計數(shù)據(jù)，所以現(xiàn)有技術(shù)工藝要花費(fèi)大量時間。此外，由于現(xiàn)有技術(shù)工藝可能產(chǎn)生不能用的板，所以現(xiàn)有技術(shù)工藝是不經(jīng)濟(jì)的和浪費(fèi)的。
此外，雖然采用修正，以便產(chǎn)生如參考圖34到36所說明的適合板的扭曲和收縮/膨脹的板設(shè)計數(shù)據(jù)，但是對于正在生產(chǎn)的試驗板是唯一的，并且可以說是“固定的”修正值。因此，在完全不同的新板的試生產(chǎn)中，過去所用的比例修正在一定程度上對于得到大致的趨勢是有用的，但是因為對于新板不得不采用全新的比例修正，所以它是無效的。
上面所說的比例修正對于用于腐蝕誤差的腐蝕修正也是適用的；即，在腐蝕全部完成之后，才確定用于腐蝕的板設(shè)計數(shù)據(jù)是否是真正適用的數(shù)據(jù)，這是低效率的和不經(jīng)濟(jì)的。
此外，用光掩模曝光涉及的制造光掩模的成本不僅包括板的批量生產(chǎn)，而且包括試生產(chǎn)。特別是，如果完成的板不符合設(shè)計數(shù)據(jù)，則在試生產(chǎn)期間通過采用比例修正而專門為板制造的掩模仍有缺陷，并且不得不丟棄，這是不經(jīng)濟(jì)的。
在現(xiàn)有技術(shù)的布線形成系統(tǒng)中，在布線形成工藝期間的板只有在曝光和腐蝕之后可以測試，而在例如顯影曝光后的板之后不能測試；因此，仍存在改善布線形成中的精度的余地。
此外，在現(xiàn)有技術(shù)的布線形成系統(tǒng)中，在多層板的情況下，不僅多個層難以對準(zhǔn)，而且難以掌握每個疊層的布線條件以及形成層間互聯(lián)。這在需要布線進(jìn)一步小型化的將來會產(chǎn)生問題。
考慮到上面所述的問題，本發(fā)明的目的是提供一種能夠在高速下容易地進(jìn)行布線的設(shè)計、測試和形成、能夠降低在布線形成和布線設(shè)計中的成本、能夠適應(yīng)布線進(jìn)一步小型化并且能夠靈活地應(yīng)付設(shè)計變化的高精度布線形成系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供用于在布線板上形成布線的布線形成方法，包括顯影后的檢查步驟，用于通過采用用于未曝光板的無掩模曝光的設(shè)計數(shù)據(jù)測試沒有用光掩模曝光和顯影的板；以及腐蝕后的檢查步驟，用于測試通過采用所述設(shè)計數(shù)據(jù)通過腐蝕所述顯影后的板得到的腐蝕后的板。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供用于在布線板上形成布線的布線形成方法，包括構(gòu)圖后的檢查步驟，用于測試采用設(shè)計數(shù)據(jù)通過噴墨技術(shù)(inkjet)在板上形成的布線圖形，所述設(shè)計數(shù)據(jù)用于在預(yù)繪圖(pre-drawing)板上通過噴墨形成布線圖形。
首先，介紹本發(fā)明的第一方面。


圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的第一方面在布線板上形成布線的布線形成方法的流程圖。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面布線形成方法包括無掩模曝光步驟S101，用于采用基于關(guān)于布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)直接曝光未曝光的板；顯影后的檢查步驟S102，用于采用在無掩模曝光步驟S101中曝光后和顯影后的板的曝光數(shù)據(jù)和圖像數(shù)據(jù)測試顯影后的板；腐蝕步驟S103，用于腐蝕顯影后的板；以及腐蝕后的檢查步驟S104，用于采用基于設(shè)計數(shù)據(jù)和在腐蝕步驟中腐蝕的板的圖像數(shù)據(jù)產(chǎn)生的腐蝕檢查數(shù)據(jù)測試形成在腐蝕后的板上的腐蝕圖形。
最好，根據(jù)本發(fā)明的第一方面布線形成方法還包括產(chǎn)生設(shè)計數(shù)據(jù)的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生步驟S100。
而且，最好布線形成方法還包括基于設(shè)計數(shù)據(jù)和腐蝕后的板的圖像數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則(resizing rule)產(chǎn)生步驟S105，用于估計得到所希望結(jié)果的腐蝕板的最優(yōu)設(shè)計數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生應(yīng)如何修正目前所用的設(shè)計數(shù)據(jù)以獲得最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則。
圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的第一方面的布線形成系統(tǒng)的原理框圖。
根據(jù)本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)1包括采用基于關(guān)于布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)直接曝光未曝光板的無掩模曝光單元11；采用曝光數(shù)據(jù)和由無掩模曝光單元11曝光并顯影的板的圖像數(shù)據(jù)測試顯影之后的板的顯影后檢查單元12；腐蝕顯影板的腐蝕單元13；以及采用基于設(shè)計數(shù)據(jù)和由腐蝕單元13腐蝕的板的圖像數(shù)據(jù)產(chǎn)生的腐蝕檢查數(shù)據(jù)測試形成在腐蝕板上的腐蝕圖形的腐蝕后檢查單元14。
最好，根據(jù)本發(fā)明第一方面的布線形成系統(tǒng)還包括產(chǎn)生設(shè)計數(shù)據(jù)的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生單元10。
而且，最好布線形成系統(tǒng)還包括尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生單元15，用于基于設(shè)計數(shù)據(jù)和腐蝕板的圖像數(shù)據(jù)，估計得到所希望結(jié)果的腐蝕板的最佳設(shè)計數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生應(yīng)如何修正目前所用的設(shè)計數(shù)據(jù)以獲得最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則。
此外，最好布線形成系統(tǒng)還包括根據(jù)設(shè)計數(shù)據(jù)和在單元布線板上每個元件要安裝在腐蝕板上的位置產(chǎn)生表示應(yīng)當(dāng)如何改變布線以實現(xiàn)所希望的互聯(lián)圖形的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)產(chǎn)生單元16。
無掩模曝光單元16包括測量相對于未曝光板顯影板的收縮/膨脹，并根據(jù)測得的收縮/膨脹產(chǎn)生用于修正曝光數(shù)據(jù)的位置和形狀的比例修正值的比例修正值產(chǎn)生單元17。
布線形成系統(tǒng)1還包括光柵圖像處理器18，用設(shè)計數(shù)據(jù)、通過根據(jù)尺寸調(diào)整規(guī)則修正設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)、動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)、比例修正值等作為輸入，并用存儲在光柵圖像處理器18中的各種數(shù)據(jù)進(jìn)行無掩模曝光、顯影后檢查和腐蝕后檢查。
圖3示出了根據(jù)圖2所示的本發(fā)明第一方面的布線形成系統(tǒng)的變型的原理框圖。
為了驗證在本發(fā)明第一方面的布線形成系統(tǒng)中進(jìn)行的顯影后檢查的精度和腐蝕后檢查的精度，除了圖2所示的各種單元以外，變型還包括根據(jù)與光柵圖像處理器18的算法不同的算法產(chǎn)生驗證曝光數(shù)據(jù)和/或驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)的驗證光柵圖像處理器19，驗證根據(jù)設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)的曝光數(shù)據(jù)驗證單元20，以及根據(jù)設(shè)計數(shù)據(jù)驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)的腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證單元21。這里，可以只提供曝光數(shù)據(jù)驗證單元20或腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證單元21中的一個驗證單元。
下面介紹本發(fā)明的第二方面。
圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的第二方面在布線板上形成布線的布線形成方法的流程圖。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面的布線形成方法包括噴墨構(gòu)圖步驟S1001，用于通過使用基于關(guān)于布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)通過噴墨在預(yù)繪圖板上形成布線圖形；以及構(gòu)圖后檢查步驟S1002，用于通過采用設(shè)計數(shù)據(jù)和其上在噴墨構(gòu)圖步驟S1001中已形成布線圖形的構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)測試用噴墨在板上形成的布線圖形。
最好，根據(jù)本發(fā)明的第二方面的布線形成方法還包括產(chǎn)生設(shè)計數(shù)據(jù)的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生步驟S1000。
另外，最好布線形成方法還包括尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生步驟S1003，用于基于設(shè)計數(shù)據(jù)和構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)，估計得到所希望結(jié)果的構(gòu)圖后的板的最佳設(shè)計數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生表示應(yīng)如何修正目前所用的設(shè)計數(shù)據(jù)以獲得最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則。
圖5示出了根據(jù)本發(fā)明第二方面的布線形成系統(tǒng)的原理框圖。
根據(jù)本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)501包括通過使用基于關(guān)于布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)在預(yù)繪圖板上通過噴墨形成布線圖形的噴墨構(gòu)圖單元511；以及通過采用設(shè)計數(shù)據(jù)和其上由噴墨構(gòu)圖單元511形成布線圖形的構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)測試用噴墨在板上形成的布線圖形的構(gòu)圖后檢查單元512。
最好，根據(jù)本發(fā)明的第二方面的布線形成系統(tǒng)還包括產(chǎn)生設(shè)計數(shù)據(jù)的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生單元510。
而且，最好布線形成系統(tǒng)還包括尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生單元515，用于基于設(shè)計數(shù)據(jù)和構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)，估計得到所希望結(jié)果的構(gòu)圖后的板的最佳設(shè)計數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生表示應(yīng)如何修正目前所用的設(shè)計數(shù)據(jù)以獲得最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則。
此外，最好布線形成系統(tǒng)還包括根據(jù)設(shè)計數(shù)據(jù)和在單元布線板上每個元件要安裝或形成在構(gòu)圖后的板上的位置產(chǎn)生表示應(yīng)當(dāng)如何改變布線以實現(xiàn)所希望的互聯(lián)圖形的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)產(chǎn)生單元516。
噴墨構(gòu)圖單元511包括測量相對于預(yù)構(gòu)圖的板，構(gòu)圖后的板的收縮/膨脹，并根據(jù)測得的收縮/膨脹產(chǎn)生用于修正繪圖數(shù)據(jù)的位置和形狀的比例修正值的比例修正值產(chǎn)生單元517。
布線形成系統(tǒng)501還包括光柵圖像處理器518，用設(shè)計數(shù)據(jù)、根據(jù)尺寸調(diào)整規(guī)則修正設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)、動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)、比例修正值等作為輸入，并用存儲在光柵圖像處理器518中的各種數(shù)據(jù)進(jìn)行噴墨構(gòu)圖工藝和構(gòu)圖后檢查。
圖6示出了根據(jù)圖5所示的本發(fā)明第二方面的布線形成系統(tǒng)的變型的原理框圖。
為了驗證在本發(fā)明第二方面的布線形成系統(tǒng)中構(gòu)圖后檢查的精度，除了圖5所示的各種單元以外，變型還包括根據(jù)與用于產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)的光柵圖像處理器518的算法不同的算法產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)并將其輸出作為驗證繪圖數(shù)據(jù)的驗證光柵圖像處理器519；以及通過采用繪圖數(shù)據(jù)和驗證繪圖數(shù)據(jù)驗證繪圖數(shù)據(jù)的精度的繪圖數(shù)據(jù)驗證單元520。
根據(jù)本發(fā)明，高精度布線的設(shè)計、檢查和形成可以在高速下很容易地完成，并且本發(fā)明可以有效地滿足在將來對于布線小型化的進(jìn)一步的需要。此外，通過消除對光掩模的需要，降低了在布線形成和布線設(shè)計中所涉及的成本，此外，因為在比例修正期間本發(fā)明的工藝不涉及丟棄不需要的板，所以可以節(jié)約資源。此外，因為比例修正和路徑選擇可以動態(tài)進(jìn)行，本發(fā)明可以靈活的應(yīng)付設(shè)計的改變。
附圖簡要介紹通過結(jié)合附圖的說明可以更清楚地理解本發(fā)明，其中圖1示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面在布線板上形成布線的布線形成方法的流程圖；圖2示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的布線形成系統(tǒng)的原理框圖；圖3示出了根據(jù)圖2所示的本發(fā)明第一方面的布線形成系統(tǒng)的變型的原理框圖；圖4示出了根據(jù)本發(fā)明第二方面在布線板上形成布線的布線形成方法的流程圖；圖5示出了根據(jù)本發(fā)明第二方面的布線形成系統(tǒng)的原理框圖；圖6示出了根據(jù)圖5所示的本發(fā)明第二方面的布線形成系統(tǒng)的變型的原理框圖；圖7示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分1)；圖8示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分2)；圖9示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分3)；圖10示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分4)；圖11示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分5)；圖12示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分6)；圖13示出了由本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)產(chǎn)生的腐蝕后的板的示意圖；圖14和15是用于說明根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)與現(xiàn)有技術(shù)的例子相比較的圖；圖16示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的第一修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分1)；
圖17示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的第一修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分2)；圖18示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的第一修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分3)；圖19示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的第二修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分1)；圖20示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的第二修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分2)；圖21示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的第二修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分3)；圖22示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分1)；圖23示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分2)；圖24示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分3)；圖25示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分4)；圖26示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分5)；圖27示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的第一修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分1)；圖28示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的第一修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分2)；圖29示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的第一修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分3)；圖30示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的第二修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分1)；
圖31示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的第二修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分2)；圖32示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的第二修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖(部分3)；圖33示出了現(xiàn)有技術(shù)布線形成工藝的流程圖；圖34示出了作為例子的扭曲板的頂視圖；以及圖35和36是說明當(dāng)在扭曲板上進(jìn)行曝光時的示意圖圖35示出了在沒有扭曲的理想條件下曝光的曝光后的板，圖36示出了在扭曲條件下曝光的曝光后的板。
優(yōu)選實施例介紹首先，介紹根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)。
圖7到12示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖。
通常，在例如半導(dǎo)體封裝等布線板的布線形成系統(tǒng)中，在一個大尺寸板上設(shè)計多個封裝，并且在整個板上同時形成布線；形成布線之后，切割板，同時得到其上形成所希望的布線的單個封裝或單元布線板。
下面通過用于電子元件(IC)封裝的布線形成系統(tǒng)作為例子介紹本發(fā)明的第一實施例，但是應(yīng)當(dāng)理解本發(fā)明的第一實施例不僅適用于半導(dǎo)體封裝產(chǎn)品而且適用于常規(guī)布線板產(chǎn)品。
首先，在圖7中，單元布線板布局CAD模塊31對布線板上的半導(dǎo)體封裝或單元布線板進(jìn)行電特性模擬并選擇路徑。所得到的設(shè)計數(shù)據(jù)以標(biāo)準(zhǔn)的Gerber格式32輸出。該設(shè)計數(shù)據(jù)構(gòu)成布線形成系統(tǒng)的主要輸入數(shù)據(jù)。
電子元件(IC)封裝用于將IC芯片安裝到單元布線板上。由圖7的ULSI布局CAD模塊33產(chǎn)生在要安裝IC芯片的位置形成的焊盤的布局信息。所得到的設(shè)計數(shù)據(jù)以IC布局設(shè)計中常用的GDS2流格式34輸出。
CAM模塊35以Gerber格式32和GDS2流格式34作為輸入，并從后面將要介紹的尺寸調(diào)整規(guī)則數(shù)據(jù)庫67接收尺寸調(diào)整規(guī)則，進(jìn)行可變尺寸調(diào)整(下文中稱作“尺寸調(diào)整”)，以便用腐蝕修正來修正由于腐蝕引起的布線的尺寸變化。這樣，通過根據(jù)腐蝕規(guī)則修正上述設(shè)計數(shù)據(jù)得到“尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)”。尺寸調(diào)整(即，腐蝕修正)的細(xì)節(jié)將在后面介紹。
此外，CAM模塊35通過進(jìn)行通常稱作“安放”的用于限定“在大尺寸布線板上如何放置關(guān)于每個單元布線板的數(shù)據(jù)”的工作來編輯關(guān)于作業(yè)卡片信息的數(shù)據(jù)。如上所述，在現(xiàn)有技術(shù)的布線形成系統(tǒng)中，安放工作(對應(yīng)于比例修正)是通過假設(shè)當(dāng)完成單個大尺寸布線板的曝光時出現(xiàn)的單元布線板自身的偏移、在單元布線板內(nèi)布線的輕微偏移等來進(jìn)行的；相反，在本發(fā)明中因為只需要確定在布線板上排列的各個單元布線板的行和列，所以本發(fā)明的安放工作很簡單。
CAM模塊35還編輯例如關(guān)于對準(zhǔn)信息等附加信息的數(shù)據(jù)。
這樣，在本發(fā)明的第一實施例中，非尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)、尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)、作業(yè)卡片信息數(shù)據(jù)和附加信息數(shù)據(jù)統(tǒng)一作為布線形成系統(tǒng)1的輸入數(shù)據(jù)。這里，如上所述，設(shè)計數(shù)據(jù)包括要形成在大尺寸布線板上的多個單元布線板的預(yù)定布線信息和在每個單元布線板上要安裝的電子元件(IC)的預(yù)定焊盤布局信息。這些數(shù)據(jù)以統(tǒng)一的形式存儲在輸入數(shù)據(jù)庫(GXG)36中。當(dāng)在單元布線板上要與上述IC芯片等電子元件一起安裝例如電容器等無源元件時，將該元件的原理圖數(shù)據(jù)也存儲到輸入數(shù)據(jù)庫36中。
在本發(fā)明中所用的無掩模曝光單元50(在圖9中示出)包括放置的一個或多個用于曝光未曝光板，即，仍要曝光的板表面的指定區(qū)域的曝光頭(即，曝光引擎)，并以并行的方式進(jìn)行曝光。對于以并行方式曝光指定區(qū)域的各曝光頭，與常規(guī)曝光裝置相比，以較快的速度完成曝光。DMD(數(shù)字微鏡器件)或電子束曝光器件等可用作無掩模曝光單元。
對于具有多個曝光頭的無掩模曝光單元，輸入數(shù)據(jù)庫36存儲空間上分開的上面所列的各個數(shù)據(jù)，從而數(shù)據(jù)可以分配到各指定的曝光頭。
光柵圖像處理器41為分配到各無掩模曝光單元的各曝光頭的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，并以并行的方式進(jìn)行曝光操作。在本說明書中，為了簡化說明，在圖8中只顯示出了一個光柵圖像處理器(RIP#1)，但是實際上，光柵圖像處理器至少與曝光頭一樣多。
每個光柵圖像處理器41包括與無掩模曝光單元的操作同步的讀出單元，讀出分配到曝光頭的設(shè)計數(shù)據(jù)和尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)、后面將介紹的比例修正值以及后面將介紹的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)。
采用后面將介紹的自動比例數(shù)據(jù)52(即，比例修正值)和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)66，光柵圖像處理器41扭曲尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)，移位圖形數(shù)據(jù)的位置，并由此產(chǎn)生在未曝光板表面上的指定曝光區(qū)域的曝光數(shù)據(jù)。通過將尺寸調(diào)整的圖形數(shù)據(jù)與用于補(bǔ)償移位和扭曲的數(shù)據(jù)(下文中稱作“偏置數(shù)據(jù)(bias data)”)配對來產(chǎn)生曝光數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)具有提取圖形輪廓的矢量數(shù)據(jù)格式，即，它包含幾何信息。通過采用矢量數(shù)據(jù)格式，可以減少數(shù)據(jù)量，并由此可以增加處理器的處理速度。無掩模曝光單元根據(jù)曝光數(shù)據(jù)直接曝光未曝光板。
這里，自動比例數(shù)據(jù)52是用于精確修正將用于曝光(即，用于繪圖)的圖形數(shù)據(jù)的位置和形狀的數(shù)據(jù)；產(chǎn)生該數(shù)據(jù)的方法將在后面介紹。另一方面，動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)是根據(jù)設(shè)計數(shù)據(jù)和關(guān)于每個元件在腐蝕板，即，腐蝕后的板上的安裝位置與元件正常安裝應(yīng)處的位置之間的偏移估計為了實現(xiàn)所需要的互聯(lián)圖形布線應(yīng)當(dāng)如何改變的數(shù)據(jù)；產(chǎn)生該數(shù)據(jù)的方法將在后面介紹。
由光柵圖像處理器41產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)，即，尺寸調(diào)整的數(shù)據(jù)對存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備42中，也存儲在用于后續(xù)處理的中間格式文件43中。為每個光柵圖像處理器提供內(nèi)部存儲設(shè)備42和中間格式文件43，但是在本說明書中，類似于光柵圖像處理器41，為了簡化說明只顯示出了其中的一個。
在光柵圖像處理器41中，圖形數(shù)據(jù)的扭曲和偏移也通過采用上述偏置數(shù)據(jù)加到非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)，即，未加工的設(shè)計數(shù)據(jù)。施加了扭曲和偏移的非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)用作腐蝕后檢查中的腐蝕檢查數(shù)據(jù)；將在后面詳細(xì)介紹。
類似于上述曝光數(shù)據(jù)，通過將非尺寸調(diào)整的未加工的圖形數(shù)據(jù)與用于補(bǔ)償偏移和扭曲的偏置數(shù)據(jù)配對來產(chǎn)生腐蝕檢查數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)具有提取圖形輪廓的矢量數(shù)據(jù)格式，即，它包含幾何信息。
由光柵圖像處理器41產(chǎn)生的腐蝕檢查數(shù)據(jù)存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備44中，也存儲在用于后續(xù)處理的中間格式文件45中。為每個光柵圖像處理器提供內(nèi)部存儲設(shè)備44和中間格式文件45，但是在本說明書中，類似于光柵圖像處理器，為了簡化說明只顯示出了其中的一個。
在圖8中的位圖發(fā)生器46讀出存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備42中的曝光數(shù)據(jù)，并將矢量數(shù)據(jù)格式的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為所需的位圖數(shù)據(jù)47。位圖數(shù)據(jù)47為尺寸調(diào)整的圖形數(shù)據(jù)和上述的偏置數(shù)據(jù)。
在圖8中的位圖數(shù)據(jù)47發(fā)送到驅(qū)動器51，即，在圖9中的無掩模曝光單元50中的每個曝光頭驅(qū)動系統(tǒng)，并進(jìn)行直接曝光53。用在本發(fā)明第一實施例中的無掩模曝光單元50具有在曝光期間測量板的例如收縮/膨脹和扭曲等條件的功能。該功能計算通過捕捉板的圖像獲得的數(shù)據(jù)與參考數(shù)據(jù)之間的差別，并檢測作為關(guān)于板的收縮或膨脹、扭曲等的信息的結(jié)果。在本實施例中，用于精確修正將用于曝光(即，用于繪圖)的圖形數(shù)據(jù)的位置和形狀的自動比例數(shù)據(jù)52由這樣獲得的關(guān)于例如收縮或膨脹和扭曲等條件的信息產(chǎn)生。自動比例數(shù)據(jù)52發(fā)送到圖8中的光柵圖像處理器41。
光學(xué)檢查器件55通過照相機(jī)讀出在曝光后的板上的圖形，并產(chǎn)生圖形的位圖數(shù)據(jù)56。
矢量化儀57讀出位圖數(shù)據(jù)56，提取圖形的輪廓，并將其轉(zhuǎn)換為矢量數(shù)據(jù)格式。轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)存儲在中間格式文件58中。
在圖12中的圖形數(shù)據(jù)比較單元81構(gòu)成了通過使用曝光數(shù)據(jù)和顯影板的圖像數(shù)據(jù)檢查顯影板的顯影后檢查單元。
圖形數(shù)據(jù)比較單元81從顯影后檢查規(guī)則數(shù)據(jù)庫87讀出用于顯影后檢查的顯影后檢查規(guī)則。然后，根據(jù)顯影后檢查規(guī)則，將通過開關(guān)單元80中的“a”接收到的圖9中的中間格式文件58的數(shù)據(jù)，即，顯影板的圖像數(shù)據(jù)，與圖8中的中間格式文件43的數(shù)據(jù)，即，曝光數(shù)據(jù)，進(jìn)行比較。
這里，由于通過處理設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)才是在進(jìn)行無掩模曝光時實際使用的數(shù)據(jù)，如上所述，所以理想情況下曝光和顯影板的圖像數(shù)據(jù)應(yīng)當(dāng)與曝光數(shù)據(jù)相符。
但是，在曝光工藝期間，由于物理或化學(xué)因素，板可能遭受扭曲或收縮或膨脹，或者其中可能混入雜質(zhì)。因此，實際上，在曝光數(shù)據(jù)和顯影板的圖像數(shù)據(jù)之間可能出現(xiàn)差異。如上所述，因為無掩模曝光單元50具有測量曝光板的例如收縮或膨脹和扭曲條件的功能，所以無掩模曝光單元50根據(jù)關(guān)于例如收縮或膨脹和扭曲等條件的信息產(chǎn)生自動比例數(shù)據(jù)52，并反饋到光柵圖像處理器41，從而在曝光數(shù)據(jù)的比例修正中反映結(jié)果。因此，與現(xiàn)有技術(shù)相比極大地改善了精確性，同時，顯著降低了在曝光數(shù)據(jù)修正過程中所需的時間和成本。
此外，如上所述，中間格式文件43的數(shù)據(jù)具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)，并且中間格式文件58已經(jīng)由矢量化儀57轉(zhuǎn)換為具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)。由于矢量數(shù)據(jù)格式是包含從圖形中提取的輪廓的幾何信息的數(shù)據(jù)，所以數(shù)據(jù)量與位圖格式的圖形數(shù)據(jù)相比非常小。此外，中間格式文件43包含用于高速搜索檢測到的差別和設(shè)計圖形之間的位置關(guān)系的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。因此，圖形數(shù)據(jù)比較單元81可以進(jìn)行高速比較，并能夠減輕計算裝置的負(fù)擔(dān)。
如果在顯影板的圖像數(shù)據(jù)和曝光數(shù)據(jù)之間的信息內(nèi)容中存在幾何差別，則根據(jù)讀出的顯影后檢查規(guī)則作出是否允許該差別的決定。如果不能允許，則報告錯誤。
例如，如果在曝光工藝期間任何雜質(zhì)下落(到板上)并粘附在圖形之間，則將作為差別被檢測到。但是，如果該差別在尺寸上足夠小，或如果相當(dāng)大，但在它和與其相鄰的圖形之間有足夠的空間，則在制造工藝中可以允許該差別。用于這種檢查的決定規(guī)則存儲在顯影后檢查規(guī)則數(shù)據(jù)庫87中。
如果圖形數(shù)據(jù)比較單元81檢測到不允許的錯誤，則第一檢查結(jié)果指示單元82指示檢測結(jié)果。第一檢查結(jié)果指示單元82通過向打印機(jī)或顯示器等輸出文本信息或圖像向用戶報告結(jié)果，或者可以將檢測結(jié)果存儲到數(shù)據(jù)庫中。
如果在上述顯影后檢查中確定顯影板包含錯誤，則應(yīng)當(dāng)去掉板表面上的光致抗蝕劑，并重復(fù)一遍曝光工藝。由于包含錯誤的板沒有進(jìn)入到后續(xù)工藝中，所以改善了布線形成系統(tǒng)的精度；此外，重新使用板能夠節(jié)省資源。
通過顯影后檢查的顯影板送到圖10中的腐蝕單元60，用與現(xiàn)有技術(shù)相同的技術(shù)腐蝕板。
由腐蝕單元60腐蝕后的板由光學(xué)檢查裝置61測試。
光學(xué)檢查裝置61用照像裝置讀出腐蝕后的板的布線圖形，并產(chǎn)生圖形的位圖數(shù)據(jù)62。
矢量化儀63讀出位圖數(shù)據(jù)62，提取圖形的輪廓，并轉(zhuǎn)換為矢量數(shù)據(jù)格式。轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)作為腐蝕后的板的矢量格式圖像數(shù)據(jù)存儲在中間格式文件64中。
存儲在中間格式文件64中的腐蝕后的板的圖像數(shù)據(jù)經(jīng)過腐蝕后檢查。
在圖12中的圖形數(shù)據(jù)比較單元84構(gòu)成了通過使用腐蝕檢查數(shù)據(jù)和腐蝕后的板的圖像數(shù)據(jù)檢查腐蝕后的板的腐蝕后檢查單元。
圖形數(shù)據(jù)比較單元84從腐蝕后檢查規(guī)則數(shù)據(jù)庫88讀出用于腐蝕后檢查的腐蝕后檢查規(guī)則。然后，根據(jù)腐蝕后檢查規(guī)則，將通過開關(guān)單元83中的“a”接收到的圖10中的中間格式文件64的數(shù)據(jù)，即，腐蝕后的板的圖像數(shù)據(jù)，與圖8中的中間格式文件45的數(shù)據(jù)，即，腐蝕檢查數(shù)據(jù)，進(jìn)行比較。
這里，腐蝕檢查數(shù)據(jù)通過按如上所述處理數(shù)據(jù)而產(chǎn)生。更具體的，在圖8中的光柵圖像處理器41中，通過使用偏置數(shù)據(jù)，扭曲和偏移加到非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)，即，未加工的設(shè)計數(shù)據(jù)上，并且產(chǎn)生的數(shù)據(jù)與用來補(bǔ)償偏移和扭曲的偏置數(shù)據(jù)配對，并作為腐蝕檢查數(shù)據(jù)存儲在中間格式文件45中。該數(shù)據(jù)具有包括從圖形中提取的輪廓的矢量數(shù)據(jù)格式。
在腐蝕后檢查中用中間格式文件45進(jìn)行比較的原因如下。
如上所述，CAM模塊35以Gerber格式32和GDS2流格式34作為輸入，并進(jìn)行尺寸調(diào)整(腐蝕修正)，以便修正由于腐蝕引起的尺寸變化。如果正確進(jìn)行該尺寸調(diào)整，則腐蝕后的板的圖像數(shù)據(jù)應(yīng)當(dāng)與非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)的腐蝕檢查數(shù)據(jù)非常相似。但是，尺寸調(diào)整與板的收縮/膨脹和扭曲無關(guān)，并且當(dāng)進(jìn)行腐蝕后檢查時，必須考慮板的收縮/膨脹和扭曲。
圖13示出了由本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)產(chǎn)生的腐蝕后的板的示意圖。
在本發(fā)明中，因為將用尺寸調(diào)整規(guī)則、自動比例、動態(tài)路徑選擇規(guī)則等修正設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)用在曝光、顯影和腐蝕工藝中，所以，即使在腐蝕后的板203扭曲的情況下，所形成的布線圖形也不會偏離分配給各單元布線板的區(qū)域。但是，如果將用由光學(xué)檢查裝置61通過拍攝板的整個表面產(chǎn)生的腐蝕后的板203的圖像數(shù)據(jù)直接與最初的布局設(shè)計數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以檢查腐蝕后的板203的腐蝕正確性，而不考慮板的扭曲，則即使正確地進(jìn)行了腐蝕，由于板的扭曲或收縮/膨脹，也會確定板包含錯誤。在本說明書中，這種錯誤被稱為虛假錯誤。
如上所述，無掩模曝光單元50具有測量板在曝光期間的例如收縮/膨脹和扭曲等條件的功能；因此，如果像在腐蝕后檢查中那樣使用用于補(bǔ)償這里測量到的扭曲和變形的偏置數(shù)據(jù)，則導(dǎo)致虛假錯誤的機(jī)會可以降低到最小。
由于以上的原因，在本發(fā)明中，中間格式文件45，即，由非尺寸調(diào)整圖形數(shù)據(jù)與用于補(bǔ)償扭曲和變形的偏置數(shù)據(jù)構(gòu)成的腐蝕檢查數(shù)據(jù)，用在腐蝕后檢查中。
如上所述，中間格式文件45的數(shù)據(jù)具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)，中間格式文件64也已經(jīng)由矢量化儀63轉(zhuǎn)換為具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)。此外，中間格式文件45包含用于高速搜索檢測到的差別和設(shè)計圖形之間的位置關(guān)系的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。因此，圖形數(shù)據(jù)比較單元84可以進(jìn)行高速比較，并能夠減輕計算裝置的負(fù)擔(dān)。
如果在腐蝕后的板的圖像數(shù)據(jù)和腐蝕檢查數(shù)據(jù)之間存在差別，則根據(jù)讀出的腐蝕后檢查規(guī)則作出是否允許該差別的決定。如果不能允許，則報告錯誤。
例如，如果在腐蝕工藝期間任何雜質(zhì)下落(到板上)并粘附在圖形之間，則將作為差別被檢測到。但是，如果該差別在尺寸上足夠小，或者如果相當(dāng)大，但在它和與其相鄰的圖形之間有足夠的空間，則在制造工藝中該差別可以允許。用于這種檢查的決定規(guī)則存儲在腐蝕后檢查規(guī)則數(shù)據(jù)庫88中。
如果圖形數(shù)據(jù)比較單元84檢測到不允許的錯誤，則第二檢查結(jié)果指示單元85指示檢測結(jié)果。第二檢查結(jié)果指示單元85通過向打印機(jī)或顯示器等輸出文本信息或圖像向用戶報告結(jié)果。如果在上述腐蝕后檢查中確定腐蝕后的板含有錯誤，則該板存在缺陷，并從沒有缺陷的板中挑出，并且結(jié)果存儲在結(jié)果存儲單元86中。
如上所述，腐蝕后的板的圖形以矢量數(shù)據(jù)格式存儲在中間格式文件64中。存儲在中間格式文件64中的數(shù)據(jù)不僅經(jīng)過上述的腐蝕后檢查，而且輸入到圖10中的規(guī)則數(shù)據(jù)庫發(fā)生器65中。
根據(jù)設(shè)計數(shù)據(jù)和在指定的單元布線板上要安裝的每個元件在腐蝕后的板上的安裝位置，規(guī)則數(shù)據(jù)庫發(fā)生器65產(chǎn)生表示布線應(yīng)當(dāng)如何改變以實現(xiàn)所希望的互聯(lián)圖形的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)66。更具體的，用存儲在中間格式文件64中的腐蝕后的板的圖像數(shù)據(jù)和存儲在輸入數(shù)據(jù)庫36中的非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)產(chǎn)生動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)66。當(dāng)在多層布線板上形成布線時，也用規(guī)則數(shù)據(jù)庫65產(chǎn)生表示為了連接，上層布線應(yīng)當(dāng)如何改變以對準(zhǔn)下層布線的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)66。所產(chǎn)生的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)66發(fā)送到圖8中的光柵圖像處理器41。
如上所述，希望腐蝕后的板的圖像數(shù)據(jù)與非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)非常接近，并且在理想情況下與其一致。
如果輸入到布線形成系統(tǒng)的各種數(shù)據(jù)和對它們起作用的各種參數(shù)可以模擬，并且可以預(yù)測(模擬)產(chǎn)生的腐蝕后的板，則估計理想設(shè)計數(shù)據(jù)成為可能。
但是，通常，由于在布線形成工藝中的曝光和腐蝕工藝受化學(xué)參數(shù)的影響極大，系統(tǒng)的模擬極其困難，所以難以通過模擬估計最佳設(shè)計數(shù)據(jù)。
鑒于此，在本實施例中，為了優(yōu)化尺寸調(diào)整(腐蝕修正)，還提供規(guī)則數(shù)據(jù)庫發(fā)生器65作為產(chǎn)生用于通過解決如何修改輸入數(shù)據(jù)以便得到所需要的結(jié)果的逆問題，同時固定關(guān)于曝光和腐蝕的全部參數(shù)來得到最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則的尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生單元。
規(guī)則數(shù)據(jù)庫發(fā)生器65首先在存儲在中間格式文件64中的腐蝕后的板的圖像數(shù)據(jù)和存儲在輸入數(shù)據(jù)庫36中的非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)之間進(jìn)行多個比較。根據(jù)比較結(jié)果，通過采用已知的數(shù)學(xué)技術(shù)，解決如何修正當(dāng)前的設(shè)計數(shù)據(jù)以便得到為獲得所需要的腐蝕后的板而優(yōu)化設(shè)計數(shù)據(jù)的逆問題；然后，根據(jù)獲得的解，將要加到設(shè)計數(shù)據(jù)上的修正轉(zhuǎn)換為規(guī)則，存儲為尺寸調(diào)整規(guī)則67。
在本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)中，離線使用尺寸調(diào)整規(guī)則67，并發(fā)送到圖7中的CAM模塊35。即，CAM模塊35通過使用尺寸調(diào)整規(guī)則67，將尺寸調(diào)整(腐蝕修正)加到設(shè)計數(shù)據(jù)上。
以上介紹了在根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)中從設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生到腐蝕后檢查的系統(tǒng)。
接下來，將給出用于驗證根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)的精度的系統(tǒng)的介紹。
當(dāng)改變設(shè)計數(shù)據(jù)時，或者當(dāng)在全新的板上形成布線時，從保持系統(tǒng)可靠性的觀點(diǎn)出發(fā)，最好驗證新構(gòu)成的布線形成系統(tǒng)的精度。
在圖11中的驗證光柵圖像處理器70具有與圖8中的光柵圖像處理器41完全不同的算法。更具體的，假設(shè)對應(yīng)于位圖數(shù)據(jù)發(fā)生器46的系統(tǒng)。對于位圖數(shù)據(jù)的產(chǎn)生，驗證光柵圖像處理器70與光柵圖像處理器41具有相同的功能，但是其操作的算法和實現(xiàn)的方法是完全不同的。在本實施例中，計算裝置的相同功能用不同的算法和不同的實現(xiàn)方法實現(xiàn)，并且在本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)中的顯影后檢查和腐蝕后檢查的精度通過檢查用具有完全不同的算法的計算裝置產(chǎn)生的數(shù)據(jù)是否互相匹配來驗證。驗證光柵圖像處理器70通過使用與光柵圖像處理器41相同的輸入產(chǎn)生曝光數(shù)據(jù)和腐蝕檢查數(shù)據(jù)。這些數(shù)據(jù)分別被稱為驗證曝光數(shù)據(jù)和驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)。
每個數(shù)據(jù)是空間分開的，并存儲在圖7中的輸入數(shù)據(jù)庫36中，并且也加到圖11中的驗證光柵圖像處理器(RIP#2)70上。
驗證光柵圖像處理器70讀出存儲在圖7中的輸入數(shù)據(jù)庫36中的尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)，并將其轉(zhuǎn)換為存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備71中的位圖數(shù)據(jù)。由矢量化儀72將位圖數(shù)據(jù)進(jìn)一步轉(zhuǎn)化為具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)作為驗證曝光數(shù)據(jù)存儲在中間格式文件73中。
此外，驗證光柵圖像處理器70讀出存儲在圖7中的輸入數(shù)據(jù)庫36中的非尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)，并將其轉(zhuǎn)換為存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備74中的位圖數(shù)據(jù)。由矢量化儀75將位圖數(shù)據(jù)進(jìn)一步轉(zhuǎn)化為具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)。轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)作為驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)存儲在中間格式文件76中。
另一方面，如已經(jīng)說明的，用在圖8中的光柵圖像處理器41產(chǎn)生中間格式文件43和中間格式文件45。如上所述，在中間格式文件43中的數(shù)據(jù)對應(yīng)于曝光數(shù)據(jù)，在中間格式文件45中的數(shù)據(jù)對應(yīng)于腐蝕驗證數(shù)據(jù)；兩種數(shù)據(jù)都具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)。
當(dāng)驗證本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)的曝光工藝時，激活例如下面介紹的曝光數(shù)據(jù)驗證單元。首先，在圖12中的開關(guān)單元80中的開關(guān)從“a”切換到“b”。與曝光數(shù)據(jù)一起輸入到圖形數(shù)據(jù)比較單元81中的數(shù)據(jù)由此從顯影板的圖像數(shù)據(jù)切換到驗證曝光數(shù)據(jù)。
圖形數(shù)據(jù)比較單元81將曝光數(shù)據(jù)，即，在圖8中的中間格式文件43的數(shù)據(jù)，與通過開關(guān)單元80中的“b”輸入的驗證曝光數(shù)據(jù)，即，在圖11中的中間格式文件73的數(shù)據(jù)，相比較。
如果確定曝光數(shù)據(jù)和驗證曝光數(shù)據(jù)互相匹配，則意味著布線形成系統(tǒng)的曝光工藝是可靠的；另一方面，如果確定它們不匹配，則意味著在包括數(shù)據(jù)處理的曝光工藝中存在某些問題。
當(dāng)驗證本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)的腐蝕工藝時，激活例如下面介紹的腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證單元。首先，在圖12中的開關(guān)單元83中的開關(guān)從“a”切換到“b”。要與腐蝕檢查數(shù)據(jù)一起輸入到圖形數(shù)據(jù)比較單元84中的數(shù)據(jù)由此從腐蝕后的板的圖像數(shù)據(jù)切換到驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)。
圖形數(shù)據(jù)比較單元84將腐蝕檢查數(shù)據(jù)，即，在圖8中的中間格式文件45的數(shù)據(jù)，與通過開關(guān)單元83中的“b”輸入的驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)，即，在圖11中的中間格式文件76的數(shù)據(jù)，相比較。
如果確定腐蝕檢查數(shù)據(jù)和驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)互相匹配，則意味著布線形成系統(tǒng)的腐蝕工藝是可靠的；另一方面，如果確定它們不匹配，則意味著在腐蝕工藝中存在某些問題。
通過如上所述驗證本實施例的布線形成系統(tǒng)的精度，能夠增強(qiáng)系統(tǒng)的可靠性。特別是，當(dāng)改變設(shè)計數(shù)據(jù)時，或者當(dāng)對全新的板形成布線時，例如如果在布線形成系統(tǒng)進(jìn)入完整操作之前執(zhí)行上述驗證過程，可以形成高精度的布線。完成驗證之后，在各個開關(guān)單元中的開關(guān)分別切換回用于顯影后檢查和腐蝕后檢查的位置。
在本實施例中，雖然用與光柵圖像處理器具有不同算法的單個驗證光柵圖像處理器實現(xiàn)了驗證單元，但是應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，可以提供兩個或更多個驗證光柵圖像處理器；在這種情況下，隨著驗證處理器數(shù)量的增加，驗證工藝的可靠性也相應(yīng)增加。
此外，可以只提供曝光數(shù)據(jù)驗證單元或腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證單元中的一個驗證單元。
在本實施例中，提供開關(guān)單元80和83，以便用于顯影后檢查和腐蝕后檢查的圖形數(shù)據(jù)比較單元81和84也可以分別用于曝光數(shù)據(jù)驗證和腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證，但是也可以提供分別用于曝光數(shù)據(jù)驗證和腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證的專用圖形數(shù)據(jù)比較單元。
圖14和15是用來說明根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)與現(xiàn)有技術(shù)的例子相比較的圖。
在現(xiàn)有技術(shù)的布線形成系統(tǒng)中，對于產(chǎn)生的試驗板固定比例修正和腐蝕修正，并且最佳的比例修正值和腐蝕修正值通過多次重復(fù)掩模制造(S903)、曝光(S904)和修正/重制步驟的實驗和錯誤來確定。
與此相比，在根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)中，通過處理所需的設(shè)計數(shù)據(jù)并積累修正信息動態(tài)地進(jìn)行比例修正。
此外，在現(xiàn)有技術(shù)的例子中的板布局工作(S902)在本實施例中由簡單地產(chǎn)生作業(yè)卡片文件來代替；這能夠節(jié)省勞動力并降低布局設(shè)計工作所需的成本和時間。
而且，在根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)中，因為采用了不使用光掩模的無掩模曝光(S101)，所以在現(xiàn)有技術(shù)中所要求的通過試驗品來確定工藝、使用前定期清潔以及由于光掩模的有限的壽命需要重制的問題可以完全消除。
此外，在根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)中，由于可以動態(tài)進(jìn)行路徑選擇，所以容易實現(xiàn)與下層圖形的對準(zhǔn)，特別是當(dāng)形成多層板的布線時。此外，因為用于對準(zhǔn)的余量可以減小，所以布線安裝密度增加。此外，采用動態(tài)路徑選擇提供了能夠?qū)崿F(xiàn)以前所不知道的全新安裝方法的潛力。
此外，在本發(fā)明的第一實施例中，因為顯影(S905)之后可以進(jìn)行板檢查(S102)，所以容易增強(qiáng)布線形成系統(tǒng)的可靠性。在顯影后檢查(S102)中，因為用在曝光工藝中實際使用的數(shù)據(jù)測試顯影板，所以可以減小造成虛假錯誤的機(jī)會。
同樣，在本發(fā)明的第一實施例中，因為用考慮在曝光和腐蝕期間可能出現(xiàn)的各種因素產(chǎn)生的數(shù)據(jù)進(jìn)行腐蝕后檢查，所以可以減小在腐蝕后檢查期間造成虛假錯誤的機(jī)會。
此外，因為腐蝕修正(尺寸調(diào)整)通過使用“逆問題的解”的數(shù)學(xué)技術(shù)而轉(zhuǎn)變?yōu)橐?guī)則，可以消除對依賴于熟練工人的經(jīng)驗的實驗和錯誤來修正誤差的需要，并由此增加工作效率和精度。
接下來，將給出本發(fā)明第一實施例的第一修改例的介紹。
如上所述，用在本發(fā)明第一實施例中的無掩模曝光單元具有在曝光期間測量板的例如收縮或膨脹和扭曲等條件的功能。該功能計算通過捕捉板的圖像獲得的數(shù)據(jù)與參考數(shù)據(jù)之間存在多大的差別，并檢測作為關(guān)于板的收縮或膨脹、扭曲等的信息的結(jié)果。如前面所說明的，在本發(fā)明第一實施例中，用于對將用于曝光(即，用于繪圖)的圖形數(shù)據(jù)的位置和形狀進(jìn)行精確修正的自動比例數(shù)據(jù)由關(guān)于曝光板的例如收縮或膨脹和扭曲等條件的信息產(chǎn)生。
未曝光的板通過放在無掩模曝光單元內(nèi)的曝光臺上的預(yù)定位置曝光。但是，存在當(dāng)未曝光板實際在曝光臺上時，從曝光頭看過去的位置相對于曝光臺上從曝光頭看過去未曝光板通常放置的參考位置發(fā)生偏移的情況。在這種情況下，在上述的本發(fā)明的第一實施例中，產(chǎn)生對應(yīng)于在曝光臺上未曝光板通常放置的參考位置與在曝光臺上未曝光板實際放置的位置之間的偏移的自動比例數(shù)據(jù)，并且該自動比例數(shù)據(jù)用于在光柵圖像處理器中的曝光數(shù)據(jù)的修正。
相反，在本發(fā)明第一實施例的第一修改例中，通過直接旋轉(zhuǎn)和/或移動在無掩模曝光單元中的曝光臺的方式施加修正，從而使未曝光板相對于曝光頭的實際位置與板通常所處的參考位置盡量接近。這里，在曝光臺上未曝光板通常所處的參考位置由例如設(shè)計數(shù)據(jù)、曝光數(shù)據(jù)和無掩模曝光單元的機(jī)械特性確定。
圖16到18示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的第一修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖。
如上所述，無掩模曝光單元具有在曝光期間測量板的例如收縮/膨脹和扭曲等條件的功能。在本修改例中，在圖17中的無掩模曝光單元50測量在曝光臺上未曝光板通常放置的參考位置與在曝光臺上未曝光板實際放置的位置之間的偏差。然后，根據(jù)該偏差，產(chǎn)生錯位數(shù)據(jù)59。錯位數(shù)據(jù)59是以包括表示在旋轉(zhuǎn)方向中的差的角δθ和表示在水平方向中的空間差的距離(δx，δy)為參數(shù)的函數(shù)形式描述差別的數(shù)據(jù)。
在本修改例中，最好無掩模曝光單元還包括根據(jù)上述錯位數(shù)據(jù)機(jī)械移動實際放置未曝光板的曝光臺的機(jī)械修正單元(為示出)。機(jī)械修正單元在水平方向中旋轉(zhuǎn)和/或移動曝光臺，以修正位置，從而使未曝光板的安裝位置盡量接近參考位置。機(jī)械修正單元可以用已知的技術(shù)構(gòu)成，例如，步進(jìn)電機(jī)及其驅(qū)動電路。
這樣，修改例可以完成兩種類型的修正，即，通過使用自動比例數(shù)據(jù)修正曝光數(shù)據(jù)的“數(shù)據(jù)處理修正”和根據(jù)錯位數(shù)據(jù)通過移動曝光臺修正位置的“機(jī)械修正”。這兩種修正可以組合進(jìn)行，也可以單獨(dú)進(jìn)行。
當(dāng)數(shù)據(jù)處理修正和機(jī)械修正組合進(jìn)行時，可以以補(bǔ)充機(jī)械修正工作的方式使用數(shù)據(jù)處理修正。或者，對曝光數(shù)據(jù)相對較大的修正用機(jī)械修整進(jìn)行，而剩余的修正用數(shù)據(jù)處理修正實現(xiàn)。與單獨(dú)使用數(shù)據(jù)處理修正的情況相比具有減少處理時間的作用，特別是當(dāng)實際板和曝光數(shù)據(jù)之間存在大的偏差時。
錯位數(shù)據(jù)59與自動比例數(shù)據(jù)52一起發(fā)送到圖16的光柵圖像處理器41。
光柵圖像處理器41的細(xì)節(jié)已經(jīng)參考第一實施例進(jìn)行了介紹。在修改例中，在圖16的光柵圖像處理器41中的讀出單元(未示出)除了讀出前面介紹的設(shè)計數(shù)據(jù)、尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)、自動比例數(shù)據(jù)52(比例修正值)和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)之外還與無掩模曝光單元的操作同步讀出錯位數(shù)據(jù)。
使用自動比例數(shù)據(jù)52、動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)66和錯位數(shù)據(jù)59，光柵圖像處理器41扭曲尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)和非尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)，移位圖形數(shù)據(jù)的位置，并由此產(chǎn)生用于未曝光板表面上的指定曝光區(qū)域的曝光數(shù)據(jù)。這里，當(dāng)已經(jīng)由機(jī)械修正單元進(jìn)行過機(jī)械修正時，光柵圖像處理器41通過使用自動比例數(shù)據(jù)52和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)66扭曲尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)和非尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)并移位圖形數(shù)據(jù)的位置，但不使用錯位數(shù)據(jù)59。另一方面，當(dāng)未進(jìn)行過機(jī)械修正時，光柵圖像處理器41通過使用錯位數(shù)據(jù)59、自動比例數(shù)據(jù)52和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)66扭曲尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)和非尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)并移位圖形數(shù)據(jù)的位置。
隨后，以與第一實施例相同的方式處理如上所述產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)。
錯位數(shù)據(jù)59與自動比例數(shù)據(jù)52一起也發(fā)送到圖18的驗證光柵圖像處理器70。
驗證光柵圖像處理器70的細(xì)節(jié)已經(jīng)參考第一實施例進(jìn)行了介紹。驗證光柵圖像處理器70通過使用與圖16的光柵圖像處理器41相同的輸入產(chǎn)生驗證曝光數(shù)據(jù)。這里，當(dāng)已經(jīng)由機(jī)械修正單元進(jìn)行過機(jī)械修正時，光柵圖像處理器70，類似于光柵圖像處理器41，通過使用自動比例數(shù)據(jù)52和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)66扭曲尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)和非尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)并移位圖形數(shù)據(jù)的位置，但不使用錯位數(shù)據(jù)59。另一方面，當(dāng)未進(jìn)行過機(jī)械修正時，光柵圖像處理器70，類似于光柵圖像處理器41，通過使用錯位數(shù)據(jù)59、自動比例數(shù)據(jù)52和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)66扭曲尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)和非尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)并移位圖形數(shù)據(jù)的位置。
隨后，以與第一實施例相同的方式處理如上所述產(chǎn)生的驗證曝光數(shù)據(jù)。
如上所述，在本發(fā)明第一實施例的第一修改例中，通過直接旋轉(zhuǎn)和/或移動在無掩模曝光單元中的曝光臺施加機(jī)械修正，從而使未曝光板相對于曝光頭的實際位置與板通常所處的參考位置盡量接近。該機(jī)械修正與單獨(dú)使用數(shù)據(jù)處理修正的情況相比具有減少處理時間的作用，特別是當(dāng)實際板和曝光數(shù)據(jù)之間存在大的偏差時。如果根據(jù)要(大量)制造的板的數(shù)量、目的、特性等，將機(jī)械修正與已介紹的數(shù)據(jù)處理修正有機(jī)的結(jié)合起來，則能夠更有效地形成布線。
接下來，將給出本發(fā)明第一實施例的第二修改例的介紹。
圖19到21示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的第二修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖。
在圖19中的驗證光柵圖像處理器70與圖19中用于產(chǎn)生位圖數(shù)據(jù)的光柵圖像處理器41的功能相同，但是其操作算法及其實現(xiàn)的方法是完全不同的。
如上所述，在本發(fā)明的第一實施例中，通過幾何比較和檢查曝光后的板和腐蝕后的板來驗證本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)的精度。
相反，在修改例中，用不同算法和不同實現(xiàn)方法實現(xiàn)計算裝置的相同功能，并且通過檢查用具有完全不同的算法的計算裝置產(chǎn)生的位圖格式的曝光數(shù)據(jù)是否互相匹配，來進(jìn)一步驗證在根據(jù)本發(fā)明第一實施例的布線形成系統(tǒng)中以位圖格式產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)的精度，從而以實現(xiàn)更高精度的布線形成系統(tǒng)為目的。
如上所述，在本發(fā)明的第一實施例中，圖8中的位圖發(fā)生器46讀出存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備42中的曝光數(shù)據(jù)，并將矢量數(shù)據(jù)格式的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為所需的位圖數(shù)據(jù)47。本實施例的第二修改例還包括驗證位圖數(shù)據(jù)47的精確性的處理。
如圖19所示，修改例與圖8中所示的系統(tǒng)模塊的不同之處在于包括開關(guān)單元48。當(dāng)圖19中的開關(guān)單元48從“b”切換到“a”時，位圖數(shù)據(jù)47發(fā)送到無掩模曝光單元50，與圖8中的情況相同。另一方面當(dāng)圖19中的開關(guān)單元48從“a”切換到“b”時，位圖數(shù)據(jù)47發(fā)送到圖21中的位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元22。
此外，如圖20所示，修改例與圖11中所示的系統(tǒng)模塊的不同之處在于包括開關(guān)單元77。當(dāng)圖20中的開關(guān)單元77從“b”切換到“a”時，由驗證光柵圖像處理器70產(chǎn)生的并臨時存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備71中的位圖數(shù)據(jù)發(fā)送到矢量化儀72，并且當(dāng)圖20中的開關(guān)單元77從“a”切換到“b”時，位圖數(shù)據(jù)發(fā)送到圖21中的位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元22。
圖21中的位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元22通過使用由圖15中的光柵圖像處理器41產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由圖20中的驗證光柵圖像處理器70產(chǎn)生的驗證曝光數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)在位級驗證在本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)中產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)的精確性。
位圖數(shù)據(jù)比較單元91在位級比較由光柵圖像處理器41產(chǎn)生的并通過圖19中的開關(guān)單元48中的“b”傳送的曝光數(shù)據(jù)與由驗證光柵圖像處理器70產(chǎn)生的并通過圖20中的開關(guān)單元77中的“b”傳送的驗證曝光數(shù)據(jù)。這里，可以對整個曝光數(shù)據(jù)的位圖進(jìn)行比較，也可以對其中的一部分進(jìn)行比較。
如果確定曝光數(shù)據(jù)和驗證曝光數(shù)據(jù)互相匹配，則意味著在本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)中產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)在位級也是可靠的；另一方面，如果確定它們不匹配，則意味著在存在某些問題。
在修改例中，位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元22還包括存儲限定由圖19中的光柵圖像處理器41產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由圖20中的驗證光柵圖像處理器70產(chǎn)生的驗證曝光數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)之間的差別的允許程度的檢查規(guī)則的位圖數(shù)據(jù)規(guī)則數(shù)據(jù)庫92。在位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元22中的位圖數(shù)據(jù)比較單元91根據(jù)存儲在位圖數(shù)據(jù)規(guī)則數(shù)據(jù)庫92中的檢查規(guī)則在位級驗證曝光數(shù)據(jù)的精確性。
如果位圖數(shù)據(jù)比較單元91檢測到不允許的錯誤，則在位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元22中的第三驗證結(jié)果指示裝置93指示位級驗證的結(jié)果。第三驗證結(jié)果指示裝置93通過向打印機(jī)或顯示器等輸出文本信息或圖像向用戶報告結(jié)果。此外，驗證的結(jié)果存儲在結(jié)果存儲單元94中。
如上所述，通過在本實施例的布線形成系統(tǒng)中驗證曝光數(shù)據(jù)的位級精確性，可以進(jìn)一步增強(qiáng)系統(tǒng)的可靠性。
正如在所述的驗證工藝的情況下，當(dāng)改變設(shè)計數(shù)據(jù)時，或者當(dāng)對全新的板形成布線時，例如，如果在布線形成系統(tǒng)進(jìn)入完整操作之前執(zhí)行修改例的驗證過程，可以形成高精度的布線。完成驗證之后，在各個開關(guān)單元中的開關(guān)分別切換回正常的操作位置。
在修改例中，位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元用具有與光柵圖像處理器不同算法的單個驗證光柵圖像處理器來實現(xiàn)，但是應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，可以提供兩個或更多個驗證光柵圖像處理器；在這種情況下，隨著驗證處理器數(shù)量的增加，驗證工藝的可靠性也相應(yīng)增加。
可以組合實現(xiàn)第一修改例和第二修改例。
下面，介紹根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)。
在前述本發(fā)明第一實施中，用無掩模曝光形成用于布線板的布線。作為對比，在本發(fā)明第二實施例中，用噴墨技術(shù)形成用于布線板的布線。
圖22到26示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖。
下面通過用于電子元件(IC)封裝的布線形成系統(tǒng)作為例子介紹本發(fā)明的第二實施例，但是應(yīng)當(dāng)理解本發(fā)明的第二實施例不僅適用于半導(dǎo)體封裝產(chǎn)品而且適用于常規(guī)布線板產(chǎn)品。
首先，在圖22中，單元布線板布局CAD模塊531對布線板上的半導(dǎo)體封裝或單元布線板進(jìn)行電特性模擬并選擇路徑。所得到的設(shè)計數(shù)據(jù)以標(biāo)準(zhǔn)的Gerber格式532輸出。該設(shè)計數(shù)據(jù)構(gòu)成布線形成系統(tǒng)的主要輸入數(shù)據(jù)。
由圖22中的ULSI布局CAD模塊533產(chǎn)生在要安裝IC芯片的位置形成的焊盤的布局信息。所得到的設(shè)計數(shù)據(jù)以IC布局設(shè)計中常用的GDS2流格式534輸出。
CAM模塊535以Gerber格式532和GDS2流格式534作為輸入，并從尺寸調(diào)整規(guī)則數(shù)據(jù)庫567接收尺寸調(diào)整規(guī)則，進(jìn)行可變尺寸調(diào)整(尺寸調(diào)整)，以便修正在噴墨構(gòu)圖期間出現(xiàn)的布線尺寸變化。這樣，通過根據(jù)尺寸調(diào)整規(guī)則修正上述設(shè)計數(shù)據(jù)得到尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)。
此外，CAM模塊535通過進(jìn)行安放工作編輯關(guān)于作業(yè)卡片信息的數(shù)據(jù)。在本發(fā)明中因為只需要確定在布線板上排列的各個單元布線板的行和列，所以本發(fā)明的安放工作很簡單。
CAM模塊535還編輯例如關(guān)于對準(zhǔn)信息等附加信息的數(shù)據(jù)。
這樣，在本發(fā)明的第二實施例中，如前述的第一實施例，未尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)、尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)、作業(yè)卡片信息數(shù)據(jù)和附加信息數(shù)據(jù)統(tǒng)一作為布線形成系統(tǒng)501的輸入數(shù)據(jù)。這里，如上所述，設(shè)計數(shù)據(jù)包括要形成在大尺寸布線板上的多個單元布線板的預(yù)定布線信息和在每個單元布線板上要安裝的電子元件(IC)的預(yù)定焊盤布局信息。這些數(shù)據(jù)以統(tǒng)一的形式存儲在輸入數(shù)據(jù)庫(GXG)536中。當(dāng)在單元布線板上要與例如上述IC芯片等電子元件一起安裝例如電容器等無源元件時，該元件的原理圖數(shù)據(jù)也存儲到輸入數(shù)據(jù)庫536中。
在本發(fā)明中所用的噴墨構(gòu)圖單元550(在圖24中示出)包括放置的一個或多個用于在預(yù)構(gòu)圖的板，即，要形成圖形的板，表面的指定區(qū)域形成圖形的噴墨頭(即繪圖引擎)，并以并行的方式進(jìn)行構(gòu)圖。對于以并行方式在指定區(qū)域形成圖形的各噴墨頭，可以以比常規(guī)曝光單元快的速度完成圖形的形成。
噴墨技術(shù)就是通過開口極小的噴嘴噴射液滴的技術(shù)。通常，噴墨技術(shù)用于打印機(jī)，但是當(dāng)像本實施例這樣用噴墨直接打印形成布線圖形時，要從噴嘴中噴出的液滴應(yīng)當(dāng)由含有細(xì)微金屬顆?；蚪饘傺趸锊牧系囊后w形成。有兩種主要類型的噴墨打印一種是壓電型，利用壓電元件，當(dāng)施加電壓時，導(dǎo)致變形，在墨水室中使液體壓力突然增加，從而迫使液滴通過噴嘴；另一種是加熱型，通過安裝在頭部的加熱器在液體中形成氣泡，從而推出液滴。兩種類型都可用于本發(fā)明。
對于具有多個噴墨頭的噴墨構(gòu)圖單元(繪圖引擎)，輸入數(shù)據(jù)庫536存儲由空間分開的上面所列的各個數(shù)據(jù)，從而數(shù)據(jù)可以分配到各指定的噴墨頭。
在圖23中的光柵圖像處理器541為分配到噴墨構(gòu)圖單元的各噴墨頭的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，并以并行的方式進(jìn)行構(gòu)圖操作。在本說明書中，為了簡化說明，在圖23中只顯示出了一個光柵圖像處理器(RIP#1)，但是實際上，光柵圖像處理器至少與噴墨頭一樣多。
每個光柵圖像處理器541包括讀出單元，與噴墨構(gòu)圖單元550的繪圖臺操作同步地讀出分配到噴墨頭的設(shè)計數(shù)據(jù)、尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)、比例修正值以及動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)。
這里，自動比例數(shù)據(jù)552是用于精確修正將由噴墨打印繪圖的圖形數(shù)據(jù)的位置和形狀的數(shù)據(jù)；用與第一實施例相同的方式產(chǎn)生該數(shù)據(jù)。另一方面，動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)是根據(jù)設(shè)計數(shù)據(jù)和關(guān)于在之前的工藝中安裝和/或形成的IC芯片和/或無源元件在構(gòu)圖后的板上的位置與這些元件正常的安裝位置之間的偏移的信息，估計為了實現(xiàn)所需要的互聯(lián)圖形布線應(yīng)當(dāng)如何改變的數(shù)據(jù)；用與第一實施例相同的方式產(chǎn)生該數(shù)據(jù)。
使用自動比例數(shù)據(jù)552(即，比例修正值)和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)566，光柵圖像處理器541扭曲尺寸的調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)，移位圖形數(shù)據(jù)的位置，并由此產(chǎn)生用于在預(yù)繪圖板表面上的指定構(gòu)圖區(qū)域的繪圖數(shù)據(jù)。
通過將尺寸調(diào)整的圖形數(shù)據(jù)與用于補(bǔ)償移位和扭曲的偏置數(shù)據(jù)配對來產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)具有提取圖形輪廓的矢量數(shù)據(jù)格式，即，它包含幾何信息。通過采用矢量數(shù)據(jù)格式，可以減少數(shù)據(jù)量，并由此可以增加處理器的處理速度。噴墨構(gòu)圖單元根據(jù)繪圖數(shù)據(jù)通過噴墨打印在預(yù)繪圖板上形成布線圖形。繪圖數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為用在噴墨裝置中的數(shù)據(jù)。
對于噴墨技術(shù)，通過噴射細(xì)小的金屬微?？梢孕纬删?xì)的布線線條，例如，線寬10μm或更小。這有助于進(jìn)一步減小半導(dǎo)體封裝的尺寸。
此外，因為多種材料可以噴射到板上，所以如果需要的話，具有例如電容器、電阻或電感功能的元件可以形成在板上。例如，當(dāng)形成布線線條時，采用含有細(xì)小金屬微粒的液體，而當(dāng)形成電容器時，通過噴墨噴射金屬氧化物材料；這樣，應(yīng)當(dāng)根據(jù)要形成的元件選擇要噴射的材料。此外，隨著要噴射的材料的尺寸的減小，由噴墨裝置噴射的金屬微粒的數(shù)量可以穩(wěn)定，因此，可以減小布線線條電阻的變化。
由光柵圖像處理器541產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)，即，尺寸調(diào)整的數(shù)據(jù)集存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備542中，也存儲在用于后續(xù)處理的中間格式文件543中。為每個光柵圖像處理器提供內(nèi)部存儲設(shè)備542和中間格式文件543，但是在本說明書中，類似于光柵圖像處理器541，為了簡化說明只顯示出了其中的一個。
在光柵圖像處理器541中，圖形數(shù)據(jù)的扭曲和偏移也通過采用上述偏置數(shù)據(jù)加到非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)，即，未加工的設(shè)計數(shù)據(jù)。施加了扭曲和偏移的非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)用作構(gòu)圖后檢查中的構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)；將在后面詳細(xì)介紹。
類似于上述繪圖數(shù)據(jù)，通過將非尺寸調(diào)整的未加工數(shù)據(jù)與用于補(bǔ)償偏移和扭曲的偏置數(shù)據(jù)配對來產(chǎn)生構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)具有提取圖形輪廓的矢量數(shù)據(jù)格式，即，它包含幾何信息。
由光柵圖像處理器541產(chǎn)生的構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備544中，也存儲在用于后續(xù)處理的中間格式文件545中。為每個光柵圖像處理器提供內(nèi)部存儲設(shè)備544和中間格式文件545，但是在本說明書中，類似于光柵圖像處理器，為了簡化說明只顯示出了其中的一個。
在圖23中的位圖發(fā)生器546讀出存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備542中的繪圖數(shù)據(jù)，并將矢量數(shù)據(jù)格式的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為所需的位圖數(shù)據(jù)547。位圖數(shù)據(jù)547為尺寸調(diào)整的圖形數(shù)據(jù)和上述偏置的數(shù)據(jù)。
在圖23中的位圖數(shù)據(jù)547發(fā)送到驅(qū)動器551，即，在圖24中的噴墨構(gòu)圖單元550中的每個噴墨頭驅(qū)動系統(tǒng)，并進(jìn)行直接繪圖553。在本發(fā)明第二實施例中所用的噴墨構(gòu)圖單元550具有在繪圖期間測量板的例如收縮/膨脹和扭曲等條件的功能。該功能計算通過捕捉板的圖像得到的數(shù)據(jù)與參考數(shù)據(jù)之間的差別多大，并檢測作為關(guān)于板的收縮或膨脹、扭曲等的信息的結(jié)果。在本實施例中，用于精確修正將用于繪圖的圖形數(shù)據(jù)的位置和形狀的自動比例數(shù)據(jù)552由這樣獲得的關(guān)于例如收縮或膨脹和扭曲等條件的信息產(chǎn)生。自動比例數(shù)據(jù)552發(fā)送到圖23中的光柵圖像處理器541。
光學(xué)檢查器件561通過照相裝置讀出在構(gòu)圖后的板上的布線圖形，并產(chǎn)生圖形的位圖數(shù)據(jù)562。
矢量化儀563讀出位圖數(shù)據(jù)562，提取圖形的輪廓，并轉(zhuǎn)換為矢量數(shù)據(jù)格式。轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)作為構(gòu)圖后的板的矢量格式圖像數(shù)據(jù)存儲在中間格式文件564中。
存儲在中間格式文件564中的構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)經(jīng)過構(gòu)圖后檢查。
在圖26中的圖形數(shù)據(jù)比較單元584構(gòu)成了通過使用構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)和由光柵圖像處理器541產(chǎn)生的構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)測試構(gòu)圖后的板的構(gòu)圖后檢查單元。
圖形數(shù)據(jù)比較單元584從構(gòu)圖后檢查規(guī)則數(shù)據(jù)庫588讀出用于構(gòu)圖后檢查的構(gòu)圖后檢查規(guī)則。然后，根據(jù)構(gòu)圖后檢查規(guī)則，將通過開關(guān)單元583中的“a”接收到的圖24中的中間格式文件564的數(shù)據(jù)，即，構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)，與圖23中的中間格式文件545的數(shù)據(jù)，即，構(gòu)圖后的檢查數(shù)據(jù)，進(jìn)行比較。
這里，如上所述，通過處理設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)。更具體的，在圖23中的光柵圖像處理器541中，通過使用偏置數(shù)據(jù)，將扭曲和偏移加到非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)，即，未加工的設(shè)計數(shù)據(jù)上，并且產(chǎn)生的數(shù)據(jù)與用來補(bǔ)償偏移和扭曲的偏置數(shù)據(jù)配對，并作為構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)存儲在中間格式文件545中。該數(shù)據(jù)具有提取圖形輪廓的矢量數(shù)據(jù)格式。
在構(gòu)圖后檢查中用中間格式文件545進(jìn)行比較的原因如下。
如上所述，CAM模塊535以Gerber格式532和GDS2流格式534作為輸入，并進(jìn)行尺寸調(diào)整，以便修正在構(gòu)圖期間布線的尺寸變化。如果正確進(jìn)行該尺寸調(diào)整，則構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)應(yīng)當(dāng)與非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)的構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)非常相似。但是，尺寸調(diào)整與板的收縮或膨脹和扭曲無關(guān)，當(dāng)進(jìn)行構(gòu)圖后檢查時，必須考慮板的收縮或膨脹和扭曲。
如上所述，噴墨構(gòu)圖單元550具有測量板在繪圖期間例如收縮/膨脹和扭曲等條件的功能；因此，如果像在構(gòu)圖后檢查中那樣使用用于補(bǔ)償這里測量到的扭曲和變形的偏置數(shù)據(jù)，則導(dǎo)致虛假錯誤的機(jī)會可以降低到最小。
由于以上的原因，在本發(fā)明中，中間格式文件545，即，由非尺寸調(diào)整圖形數(shù)據(jù)與用于補(bǔ)償扭曲和變形的偏置數(shù)據(jù)構(gòu)成的構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)，用在構(gòu)圖后檢查中。
如上所述，中間格式文件545數(shù)據(jù)具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)，中間格式文件564也已經(jīng)由矢量化儀563轉(zhuǎn)換為具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)。此外，中間格式文件545包含用于高速搜索檢測到的差別和設(shè)計圖形之間的位置關(guān)系的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。因此，在圖26中的圖形數(shù)據(jù)比較單元584可以進(jìn)行高速比較，并能夠減輕計算裝置的負(fù)擔(dān)。
如果在構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)和構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)之間存在差別，則根據(jù)從構(gòu)圖后檢查規(guī)則數(shù)據(jù)庫588中讀出的構(gòu)圖后檢查規(guī)則作出該差別是否允許的決定。如果不能允許，則報告錯誤。
如果圖形數(shù)據(jù)比較單元584檢測到不允許的錯誤，則第二檢查結(jié)果指示單元585指示檢測結(jié)果。第二檢查結(jié)果指示單元585通過向打印機(jī)或顯示器等輸出文本信息或圖像向用戶報告結(jié)果。如果在上述構(gòu)圖后檢查中確定構(gòu)圖后的板含有錯誤，則該板存在缺陷，并從沒有缺陷的板中挑出，并且將結(jié)果存儲在結(jié)果存儲單元586中。
如上所述，構(gòu)圖后的板的圖形以矢量數(shù)據(jù)格式存儲在中間格式文件564中。存儲在中間格式文件564中的數(shù)據(jù)不僅經(jīng)過上述的構(gòu)圖后檢查，而且輸入到圖24中的規(guī)則數(shù)據(jù)庫發(fā)生器565中。
根據(jù)設(shè)計數(shù)據(jù)和在指定的單元布線板上要安裝的每個元件在構(gòu)圖后的板上的位置，規(guī)則數(shù)據(jù)庫發(fā)生器565產(chǎn)生表示布線應(yīng)當(dāng)如何改變以實現(xiàn)所希望的互聯(lián)圖形的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)566。更具體的，用存儲在中間格式文件564中的構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)和存儲在輸入數(shù)據(jù)庫536中的非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)產(chǎn)生動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)566。當(dāng)在多層布線板上形成布線時，也用規(guī)則數(shù)據(jù)庫565產(chǎn)生表示為了連接上層布線應(yīng)當(dāng)如何改變以對準(zhǔn)下層布線的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)566。所產(chǎn)生的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)566發(fā)送到圖23中的光柵圖像處理器541。
如上所述，希望構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)與非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)非常接近，并且在理想情況下與其一致。
但是，由于噴墨構(gòu)圖布線形成工藝受流體力學(xué)和化學(xué)參數(shù)的影響極大，系統(tǒng)建模極其困難，所以難以通過使用各種參數(shù)的模型的模擬來估計最佳設(shè)計數(shù)據(jù)。
鑒于此，在本實施例中，為了優(yōu)化尺寸調(diào)整，還提供規(guī)則數(shù)據(jù)庫發(fā)生器565作為產(chǎn)生用于通過解決如何修改輸入數(shù)據(jù)以便得到所需要的結(jié)果的逆問題，同時固定關(guān)于噴墨布線形成的全部參數(shù)來得到最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則的尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生單元。
規(guī)則數(shù)據(jù)庫發(fā)生器565首先在存儲在中間格式文件564中的構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)和存儲在輸入數(shù)據(jù)庫536中的非尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)之間進(jìn)行多個比較。根據(jù)比較結(jié)果，通過采用已知的數(shù)學(xué)技術(shù)，解決如何修正當(dāng)前的設(shè)計數(shù)據(jù)以便得到為獲得所需要的構(gòu)圖后的板而優(yōu)化的設(shè)計數(shù)據(jù)的逆問題；然后，根據(jù)獲得的解，將要加到設(shè)計數(shù)據(jù)上的修正轉(zhuǎn)換為規(guī)則，存儲為尺寸調(diào)整規(guī)則567。
在本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)中，離線使用尺寸調(diào)整規(guī)則567，并發(fā)送到圖22中的CAM模塊535。即，CAM模塊535通過使用尺寸調(diào)整規(guī)則567，將尺寸調(diào)整加到設(shè)計數(shù)據(jù)上。
以上介紹了在根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)中從設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生到構(gòu)圖后檢查的系統(tǒng)。
接下來，將給出用于驗證根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)的精確性的系統(tǒng)的介紹。用于驗證本實施例的布線形成系統(tǒng)的精確性的系統(tǒng)與在前面所介紹的第一實施例的驗證系統(tǒng)相同。即，計算裝置的相同功能用不同的算法和不同的實現(xiàn)方法來實現(xiàn)，并且在本發(fā)明的系統(tǒng)中構(gòu)圖后檢查的精確性通過檢查用具有完全不同算法的計算裝置產(chǎn)生的數(shù)據(jù)是否互相匹配來驗證。
在圖25中的驗證光柵圖像處理器570具有與圖23中的光柵圖像處理器541完全不同的算法。驗證光柵圖像處理器570與用于產(chǎn)生位圖數(shù)據(jù)的光柵圖像處理器41具有相同的功能，但是其操作的算法和實現(xiàn)的方法是完全不同的。
驗證光柵圖像處理器570通過使用與光柵圖像處理器541相同的輸入產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)。這些數(shù)據(jù)分別被稱為驗證繪圖數(shù)據(jù)和驗證繪圖后檢查數(shù)據(jù)。
空間分開并存儲在圖22中的輸入數(shù)據(jù)庫536中的每個數(shù)據(jù)也加到圖25中的驗證光柵圖像處理器(RIP#2)570上。
圖25中的驗證光柵圖像處理器570讀出存儲在圖22中的輸入數(shù)據(jù)庫536中的尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)，并將其轉(zhuǎn)換為存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備571中的位圖數(shù)據(jù)。由矢量化儀572將位圖數(shù)據(jù)進(jìn)一步轉(zhuǎn)化為具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)作為驗證繪圖數(shù)據(jù)存儲在中間格式文件573中。
此外，驗證光柵圖像處理器570讀出存儲在圖22中的輸入數(shù)據(jù)庫536中的非尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)，并將其轉(zhuǎn)換為存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備574中的位圖數(shù)據(jù)。由矢量化儀575將位圖數(shù)據(jù)進(jìn)一步轉(zhuǎn)化為具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)。轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)作為驗證構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)存儲在中間格式文件576中。
另一方面，如已經(jīng)說明的，用在圖23中的光柵圖像處理器541產(chǎn)生中間格式文件543和中間格式文件545。如上所述，在中間格式文件543中的數(shù)據(jù)對應(yīng)于繪圖數(shù)據(jù)，在中間格式文件545中的數(shù)據(jù)對應(yīng)于構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)；兩種數(shù)據(jù)都具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)。
當(dāng)驗證在本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)中的繪圖數(shù)據(jù)時，激活例如下面介紹的繪圖數(shù)據(jù)驗證單元。當(dāng)布線形成系統(tǒng)正常工作時，在圖26中的開關(guān)單元580中的開關(guān)在位置“a”。這里，為了激活繪圖數(shù)據(jù)驗證單元，在圖26中的開關(guān)單元580中的開關(guān)從“a”切換到“b”。由此，驗證繪圖數(shù)據(jù)與繪圖數(shù)據(jù)一起輸入到圖形數(shù)據(jù)比較單元581中。
圖形數(shù)據(jù)比較單元581從繪圖數(shù)據(jù)檢查數(shù)據(jù)庫587中讀出用于測試?yán)L圖數(shù)據(jù)的繪圖數(shù)據(jù)檢查規(guī)則。根據(jù)繪圖數(shù)據(jù)檢查規(guī)則，圖形數(shù)據(jù)比較單元581將繪圖數(shù)據(jù)，即，在圖23中的中間格式文件543的數(shù)據(jù)，與通過開關(guān)單元580中的“b”輸入的驗證繪圖數(shù)據(jù)，即，在圖25中的中間格式文件573的數(shù)據(jù)，相比較。
如果確定繪圖數(shù)據(jù)和驗證繪圖數(shù)據(jù)互相匹配，則意味著布線形成系統(tǒng)的繪圖工藝是可靠的；另一方面，如果確定它們不匹配，則意味著在繪圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生中存在某些問題。
此外，如上所述，中間格式文件543的數(shù)據(jù)具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)，中間格式文件573也已經(jīng)由矢量化儀572轉(zhuǎn)換為具有矢量數(shù)據(jù)格式結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)。因為矢量數(shù)據(jù)格式是包含從圖形輪廓中提取的幾何信息的數(shù)據(jù)，所以數(shù)據(jù)量與位圖格式的圖形數(shù)據(jù)相比相當(dāng)小。此外，中間格式文件543包含用于高速搜索檢測到的差別和設(shè)計圖形之間的位置關(guān)系的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。因此，圖形數(shù)據(jù)比較單元581可以進(jìn)行高速比較，并能夠減輕計算裝置的負(fù)擔(dān)。
如果在繪圖數(shù)據(jù)和驗證繪圖數(shù)據(jù)之間的信息內(nèi)容存在幾何差別，則根據(jù)讀出的繪圖檢查規(guī)則作出該差別是否允許的決定。如果不能允許，則報告錯誤。
如果圖形數(shù)據(jù)比較單元581檢測到不允許的錯誤，則第一檢查結(jié)果指示單元582指示檢測結(jié)果。第一檢查結(jié)果指示單元582通過向打印機(jī)或顯示器等輸出文本信息或圖像向用戶報告結(jié)果，或者還將檢測結(jié)果存儲在數(shù)據(jù)庫中。
當(dāng)驗證根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)的噴墨構(gòu)圖工藝時，激活例如下面介紹的構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)驗證單元。首先，在圖26中的開關(guān)單元583中的開關(guān)從“a”切換到“b”。要與構(gòu)圖檢查數(shù)據(jù)一起輸入到圖形數(shù)據(jù)比較單元584中的數(shù)據(jù)由此從構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)切換到驗證構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)。
圖形數(shù)據(jù)比較單元584將構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)，即，在圖23中的中間格式文件545的數(shù)據(jù)，與通過開關(guān)單元583中的“b”輸入的驗證構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)，即，在圖25中的中間格式文件576的數(shù)據(jù)，相比較。
如果確定構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)和驗證構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)互相匹配，則意味著布線形成系統(tǒng)的噴墨構(gòu)圖工藝是可靠的；另一方面，如果確定它們不匹配，則意味著在構(gòu)圖工藝中存在某些問題。
通過如上所述驗證第二實施例的布線形成系統(tǒng)的精確性，能夠增強(qiáng)系統(tǒng)的可靠性。特別是，當(dāng)改變設(shè)計數(shù)據(jù)時，或者當(dāng)對全新的板形成布線時，例如如果在布線形成系統(tǒng)進(jìn)入完整操作之前執(zhí)行上述驗證過程，可以形成高精度的布線。通過操作開關(guān)單元中的開關(guān)可以很容易地實現(xiàn)在布線形成系統(tǒng)的操作和系統(tǒng)精確性的驗證之間的切換。
在本實施例中，提供開關(guān)單元583，以便用于構(gòu)圖后檢查的圖形數(shù)據(jù)比較單元584也可以用于構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)的驗證，但是也可以提供專用圖形數(shù)據(jù)比較單元。
此外，可以提供繪圖數(shù)據(jù)驗證單元或構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)驗證單元中的一個驗證單元。
在本實施例中，雖然用與光柵圖像處理器具有不同算法的單個驗證光柵圖像處理器實現(xiàn)了驗證單元，但是應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，可以提供兩個或更多個驗證光柵圖像處理器；在這種情況下，隨著驗證處理器數(shù)量的增加，驗證工藝的可靠性也相應(yīng)增加。
接下來，將給出本發(fā)明第二實施例的第一修改例的介紹。本修改例對應(yīng)于前面介紹的第一實施例的第一修改例。
在本發(fā)明第二實施例的第一修改例中，通過直接旋轉(zhuǎn)和/或移動噴墨構(gòu)圖單元中的繪圖臺的方式施加修正，從而使預(yù)繪圖板相對于噴墨頭的實際位置與板通常所處的參考位置盡量接近。這里，在繪圖臺上預(yù)繪圖板通常所處的參考位置由例如設(shè)計數(shù)據(jù)、繪圖數(shù)據(jù)和噴墨構(gòu)圖單元的機(jī)械特性等因素確定。
圖27到29示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的第一修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖。
如上所述，噴墨構(gòu)圖單元具有在繪圖期間測量板的例如收縮/膨脹和扭曲等條件的功能。在本修改例中，在圖28中的噴墨構(gòu)圖單元550測量在繪圖臺上預(yù)繪圖板通常放置的參考位置與在繪圖臺上預(yù)繪圖板實際放置的位置之間的偏差。然后，根據(jù)該偏差，產(chǎn)生錯位數(shù)據(jù)559。
在本修改例中，最好噴墨構(gòu)圖單元還包括根據(jù)上述錯位數(shù)據(jù)機(jī)械移動實際放置預(yù)繪圖板的繪圖臺的機(jī)械修正單元(為示出)。機(jī)械修正單元在水平方向中旋轉(zhuǎn)和/或移動繪圖臺，以修正位置，從而使預(yù)繪圖板的安裝位置盡量接近參考位置。機(jī)械修正單元可以用已知的技術(shù)構(gòu)成，例如，步進(jìn)電機(jī)及其驅(qū)動電路。
類似于前面介紹的第一實施例的第一修改例，本修改例可以完成兩種類型的修正，即，通過使用自動比例數(shù)據(jù)修正繪圖數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理修正和根據(jù)錯位數(shù)據(jù)通過移動繪圖臺修正位置的機(jī)械修正。
錯位數(shù)據(jù)559與自動比例數(shù)據(jù)552一起發(fā)送到圖27的光柵圖像處理器541。
光柵圖像處理器541的細(xì)節(jié)已經(jīng)參考第二實施例進(jìn)行了介紹。在修改例中，在圖27的光柵圖像處理器541中的讀出單元(未示出)除了讀出前面介紹的設(shè)計數(shù)據(jù)、尺寸調(diào)整數(shù)據(jù)、自動比例數(shù)據(jù)552(比例修正值)和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)之外還與噴墨構(gòu)圖單元的操作同步讀出錯位數(shù)據(jù)559。
使用自動比例數(shù)據(jù)552、動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)566和錯位數(shù)據(jù)559，光柵圖像處理器541扭曲尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)和非尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)，移位圖形數(shù)據(jù)的位置，并由此產(chǎn)生用于預(yù)繪圖板表面上的指定繪圖區(qū)域的繪圖數(shù)據(jù)。這里，當(dāng)已經(jīng)由機(jī)械修正單元進(jìn)行過機(jī)械修正時，光柵圖像處理器541通過使用自動比例數(shù)據(jù)552和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)566扭曲尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)和非尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)，并移位圖形數(shù)據(jù)的位置，但不使用錯位數(shù)據(jù)559。另一方面，當(dāng)未進(jìn)行過機(jī)械修正時，光柵圖像處理器541通過使用錯位數(shù)據(jù)559、自動比例數(shù)據(jù)552和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)566扭曲尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)和非尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)并移位圖形數(shù)據(jù)的位置。
隨后，以與第二實施例相同的方式處理如上所述產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)。
錯位數(shù)據(jù)559與自動比例數(shù)據(jù)552一起也發(fā)送到圖29的驗證光柵圖像處理器570。
驗證光柵圖像處理器570的細(xì)節(jié)已經(jīng)參考第二實施例進(jìn)行了介紹。驗證光柵圖像處理器570通過使用與圖27的光柵圖像處理器541相同的輸入產(chǎn)生驗證繪圖數(shù)據(jù)。這里，當(dāng)已經(jīng)由機(jī)械修正單元進(jìn)行過機(jī)械修正時，類似于光柵圖像處理器541，光柵圖像處理器570通過使用自動比例數(shù)據(jù)552和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)566扭曲尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)和非尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)，并移位圖形數(shù)據(jù)的位置，但不使用錯位數(shù)據(jù)559。另一方面，當(dāng)未進(jìn)行過機(jī)械修正時，類似于光柵圖像處理器541，光柵圖像處理器570通過使用錯位數(shù)據(jù)559、自動比例數(shù)據(jù)552和動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)566扭曲尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)和非尺寸調(diào)整設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)，并移位圖形數(shù)據(jù)的位置。
隨后，以與第二實施例相同的方式處理如上所述產(chǎn)生的驗證繪圖數(shù)據(jù)。
如上所述，在本發(fā)明第二實施例的第一修改例中，通過直接旋轉(zhuǎn)和/或移動在噴墨構(gòu)圖單元中的繪圖臺施加機(jī)械修正，從而使預(yù)繪圖板相對于繪圖頭的實際位置與板通常所處的參考位置盡量接近。該機(jī)械修正與單獨(dú)使用數(shù)據(jù)處理修正的情況相比具有減少處理時間的作用，特別是當(dāng)實際板和繪圖數(shù)據(jù)之間存在大的偏差時。如果根據(jù)要(大量)制造的板的數(shù)量、目的、特性等，將機(jī)械修正與已介紹的數(shù)據(jù)處理修正有機(jī)的結(jié)合起來，則能夠更有效地形成布線。
接下來，將給出本發(fā)明第二實施例的第二修改例的介紹。本修改例對應(yīng)于前面介紹的第一實施例的第二修改例。即，在本修改例中，用不同算法和不同實現(xiàn)方法實現(xiàn)計算裝置的相同功能，并且通過檢查用具有完全不同的算法的計算裝置產(chǎn)生的位圖格式的繪圖數(shù)據(jù)是否互相匹配來，進(jìn)一步驗證在根據(jù)本發(fā)明第二實施例的布線形成系統(tǒng)中以位圖格式產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)的精確性，從而以實現(xiàn)更高精度的布線形成系統(tǒng)為目的。
圖30到32示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的第二修改例的布線形成系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖。
本發(fā)明的第二修改例還包括用于驗證位圖數(shù)據(jù)547的精確性的工藝。
如圖30所示，修改例與圖23中所示的系統(tǒng)模塊的不同之處在于包括開關(guān)單元548。當(dāng)圖30中的開關(guān)單元548從“b”切換到“a”時，位圖數(shù)據(jù)547發(fā)送到噴墨構(gòu)圖單元550，與圖23中的情況相同。另一方面當(dāng)圖30中的開關(guān)單元548從“a”切換到“b”時，位圖數(shù)據(jù)547發(fā)送到圖32中的位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元522。
此外，如圖31所示，修改例與圖25中所示的系統(tǒng)模塊的不同之處在于包括開關(guān)單元577。當(dāng)圖31中的開關(guān)單元577從“b”切換到“a”時，由驗證光柵圖像處理器570產(chǎn)生的并臨時存儲在內(nèi)部存儲設(shè)備571中的位圖數(shù)據(jù)發(fā)送到矢量化儀572，并且當(dāng)圖31中的開關(guān)單元577從“a”切換到“b”時，位圖數(shù)據(jù)發(fā)送到圖32中的位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元522。
圖32中的位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元522通過使用由圖30中的光柵圖像處理器541產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由圖31中的驗證光柵圖像處理器570產(chǎn)生的驗證繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)在位級驗證在本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)中產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)的精確性。
位圖數(shù)據(jù)比較單元591在位級比較由光柵圖像處理器541產(chǎn)生的并通過圖30中的開關(guān)單元548中的“b”傳送的繪圖數(shù)據(jù)與由驗證光柵圖像處理器570產(chǎn)生的并通過圖31中的開關(guān)單元577中的“b”傳送的驗證繪圖數(shù)據(jù)。這里，可以對整個繪圖數(shù)據(jù)的位圖進(jìn)行比較，也可以對其中的一部分進(jìn)行比較。
如果確定繪圖數(shù)據(jù)和驗證繪圖數(shù)據(jù)互相匹配，則意味著在本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)中產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)在位級也是可靠的；另一方面，如果確定它們不匹配，則意味著存在某些問題。
在修改例中，位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元522還包括存儲限定由圖30中的光柵圖像處理器541產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由圖31中的驗證光柵圖像處理器570產(chǎn)生的驗證繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)之間的差別的允許程度的檢查規(guī)則的位圖數(shù)據(jù)規(guī)則數(shù)據(jù)庫592。在位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元522中的位圖數(shù)據(jù)比較單元591根據(jù)存儲在位圖數(shù)據(jù)規(guī)則數(shù)據(jù)庫592中的檢查規(guī)則在位級驗證繪圖數(shù)據(jù)的精確性。
如果位圖數(shù)據(jù)比較單元591檢測到不允許的錯誤，則在在位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元522中的第三驗證結(jié)果指示裝置593指示位級驗證的結(jié)果。第三驗證結(jié)果指示裝置593通過向打印機(jī)或顯示器等輸出文本信息或圖像向用戶報告結(jié)果。此外，驗證的結(jié)果存儲在結(jié)果存儲單元594中。
如上所述，通過在本實施例的布線形成系統(tǒng)中驗證繪圖數(shù)據(jù)的位級精確性，可以進(jìn)一步增強(qiáng)系統(tǒng)的可靠性。
正如在所述的驗證工藝的情況下，當(dāng)改變設(shè)計數(shù)據(jù)時，或者當(dāng)對全新的板形成布線時，例如，如果在布線形成系統(tǒng)進(jìn)入完整操作之前執(zhí)行修改例的驗證過程，可以形成高精度的布線。完成驗證之后，在各個開關(guān)單元中的開關(guān)分別切換回正常的操作位置。
在修改例中，位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元用與光柵圖像處理器不同算法的單個驗證光柵圖像處理器來實現(xiàn)，但是應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，可以提供兩個或更多個驗證光柵圖像處理器；在這種情況下，隨著驗證處理器數(shù)量的增加，驗證工藝的可靠性也相應(yīng)增加。
可以組合實現(xiàn)第一修改例和第二修改例。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)，可以很容易地高速實現(xiàn)高精度布線的設(shè)計、檢查和形成；此外，由于對準(zhǔn)的余量可以降低，所以布線的安裝密度增加。本發(fā)明可以有效地滿足在將來對于布線小型化的進(jìn)一步的需要。
此外，由于通過處理所需的設(shè)計數(shù)據(jù)并積累修正信息動態(tài)地進(jìn)行比例修正和路徑選擇，本發(fā)明可以靈活地應(yīng)付設(shè)計變化。
特別是，當(dāng)在多層板上形成布線時，動態(tài)路徑選擇使得容易對準(zhǔn)層間的布線圖形。此外，采用動態(tài)路徑選擇提供了能夠?qū)崿F(xiàn)以前所不知道的全新安裝方法的潛力。
在本發(fā)明的布線形成系統(tǒng)中，通過產(chǎn)生簡單的作業(yè)卡片文件來代替板布局工作；這能夠節(jié)省勞動力并降低布局設(shè)計工作所需的成本和時間。
通過采用根據(jù)本發(fā)明的驗證單元驗證布線形成系統(tǒng)的精確性，能夠增強(qiáng)系統(tǒng)的可靠性。特別是，當(dāng)改變設(shè)計數(shù)據(jù)時，或者當(dāng)對全新的板形成布線時，例如如果在布線形成系統(tǒng)進(jìn)入完整操作之前執(zhí)行上述驗證過程，可以形成高精度的布線。
此外，因為腐蝕修正通過使用“逆問題的解”的數(shù)學(xué)技術(shù)而轉(zhuǎn)變?yōu)橐?guī)則，可以消除對依賴于熟練工人的經(jīng)驗的實驗和錯誤來修正誤差的需要，并由此增加工作效率和精度。
而且，因為本發(fā)明不使用在現(xiàn)有技術(shù)中所要求的光掩模，所以可以完全消除對在現(xiàn)有技術(shù)中所需要的根據(jù)試驗品來確定工藝、使用前定期清潔以及由于光掩模有限的壽命需要重制的需要。因為在比例修正期間本發(fā)明的工藝不包括丟棄不需要的板，所以還可以節(jié)約資源。
根據(jù)本發(fā)明的第一實施例，因為顯影之后可以進(jìn)行板檢查，所以可以很容易地增強(qiáng)布線形成系統(tǒng)的可靠性。此外，在顯影后檢查中，因為用在曝光工藝中實際使用的數(shù)據(jù)測試顯影板，所以可以減小造成虛假錯誤的機(jī)會。
此外，在本發(fā)明的第一實施例中，因為用考慮在曝光和腐蝕期間可能出現(xiàn)的各種因素產(chǎn)生的數(shù)據(jù)進(jìn)行腐蝕后檢查，所以可以進(jìn)一步減小在腐蝕后檢查期間造成虛假錯誤的機(jī)會。
根據(jù)本發(fā)明的第二實施例，因為噴墨構(gòu)圖之后可以容易地進(jìn)行板檢查，所以可以很容易地進(jìn)一步增強(qiáng)布線形成系統(tǒng)的可靠性。此外，因為用在噴墨構(gòu)圖工藝中實際使用的數(shù)據(jù)測試構(gòu)圖后的板，所以可以減小造成虛假錯誤的機(jī)會。
權(quán)利要求
1.一種用于在布線板上形成布線的布線形成系統(tǒng)，包括采用根據(jù)所述布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)直接曝光未曝光板的無掩模曝光單元；采用所述曝光數(shù)據(jù)和由所述無掩模曝光單元曝光并顯影的所述板的圖像數(shù)據(jù)測試顯影之后的所述板的顯影后檢查單元；腐蝕所述顯影板的腐蝕單元；以及采用根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)和由所述腐蝕單元腐蝕的所述板的圖像數(shù)據(jù)產(chǎn)生的腐蝕檢查數(shù)據(jù)測試形成在所述腐蝕板上的腐蝕圖形的腐蝕后檢查單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，其中所述設(shè)計數(shù)據(jù)包括用于在所述布線板中要形成的至少一個單元布線板的預(yù)定布線信息和在所述單元布線板上要安裝或形成的電子元件的預(yù)定焊盤布局信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，還包括根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)和所述單元布線板上要安裝或形成的所述電子元件在所述腐蝕板上的位置產(chǎn)生表示所述布線應(yīng)當(dāng)如何改變以實現(xiàn)所希望的互聯(lián)圖形的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)產(chǎn)生單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，還包括基于所述設(shè)計數(shù)據(jù)和由所述腐蝕單元腐蝕的所述板的圖像數(shù)據(jù)估計得到所希望結(jié)果的所述腐蝕板的最佳設(shè)計數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生表示應(yīng)如何修正目前所用的所述設(shè)計數(shù)據(jù)以獲得所述最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則的尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，其中所述無掩模曝光單元包括測量相對于所述未曝光板所述顯影板的收縮/膨脹，并根據(jù)所述測得的收縮/膨脹產(chǎn)生用于修正所述曝光數(shù)據(jù)的位置和形狀的比例修正值的比例修正值產(chǎn)生單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，其中所述無掩模曝光單元包括測量在曝光臺上為曝光所述未曝光板通常放置的參考位置與在所述曝光臺上所述未曝光板實際放置的位置之間的偏移并根據(jù)該測得的偏移產(chǎn)生錯位數(shù)據(jù)的錯位數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的布線形成系統(tǒng)，其中所述無掩模曝光單元包括根據(jù)所述錯位數(shù)據(jù)機(jī)械移動實際放置所述未曝光板的所述曝光臺來進(jìn)行修正，從而使所述未曝光板的位置盡量接近所述參考位置的機(jī)械修正單元。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，其中所述無掩模曝光單元包括排列的多個曝光頭，用于分別曝光所述未曝光板表面上的指定區(qū)域，并以并行的方式進(jìn)行曝光。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的布線形成系統(tǒng)，還包括存儲通過根據(jù)所述尺寸調(diào)整規(guī)則修正所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)的輸入數(shù)據(jù)庫。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的布線形成系統(tǒng)，其中所述輸入數(shù)據(jù)庫還存儲從由表示在所述布線板上應(yīng)當(dāng)如何排列每個單元布線板數(shù)據(jù)的作業(yè)卡片信息數(shù)據(jù)；位置對準(zhǔn)信息數(shù)據(jù)以及要安裝或形成在所述單元布線板上的無源元件的布線和放置信息數(shù)據(jù)構(gòu)成的組中選擇的至少一種數(shù)據(jù)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的布線形成系統(tǒng)，其中所述輸入數(shù)據(jù)庫通過劃分每種類型的數(shù)據(jù)，從而為所述各曝光頭分配數(shù)據(jù)來存儲所述數(shù)據(jù)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的布線形成系統(tǒng)，還包括為每個所述曝光頭提供的光柵圖像處理器，所述光柵圖像處理器以分配給所述曝光頭的所述每種數(shù)據(jù)為輸入，驅(qū)動所述曝光頭。
13.根據(jù)權(quán)利要求12的布線形成系統(tǒng)，其中所述光柵圖像處理器包括讀出單元，與所述無掩模曝光單元的操作同步地讀出分配到所述曝光頭的所述設(shè)計數(shù)據(jù)、所述尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)、所述比例修正值以及所述動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的布線形成系統(tǒng)，其中所述讀出單元還與所述無掩模曝光單元的操作同步地讀出所述錯位數(shù)據(jù)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的布線形成系統(tǒng)，其中所述光柵圖像處理器采用所述比例修正值、所述動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)和所述錯位數(shù)據(jù)中的至少一個，扭曲所述尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)、偏移所述圖形數(shù)據(jù)的位置，并由此產(chǎn)生分配到所述未曝光板的表面上的所述指定區(qū)的所述曝光數(shù)據(jù)。
16.根據(jù)權(quán)利要求14的布線形成系統(tǒng)，其中所述光柵圖像處理器采用所述比例修正值、所述動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)和所述錯位數(shù)據(jù)中的至少一個，扭曲所述設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)、偏移所述圖形數(shù)據(jù)的位置，從而產(chǎn)生所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)。
17.根據(jù)權(quán)利要求15的布線形成系統(tǒng)，其中所述曝光數(shù)據(jù)具有提取所述圖形數(shù)據(jù)的輪廓的矢量數(shù)據(jù)格式。
18.根據(jù)權(quán)利要求16的布線形成系統(tǒng)，其中所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)具有提取所述圖形數(shù)據(jù)的輪廓的矢量數(shù)據(jù)格式。
19.根據(jù)權(quán)利要求17的布線形成系統(tǒng)，還包括提取所述顯影板的所述圖像數(shù)據(jù)的輪廓并產(chǎn)生具有矢量數(shù)據(jù)格式的圖像數(shù)據(jù)的矢量化儀。
20.根據(jù)權(quán)利要求18的布線形成系統(tǒng)，還包括提取由所述腐蝕單元腐蝕的所述腐蝕板的圖像數(shù)據(jù)并產(chǎn)生具有矢量數(shù)據(jù)格式的圖像數(shù)據(jù)的矢量化儀。
21.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，其中所述顯影后檢查單元包括輸出所述顯影板的檢查結(jié)果的第一檢查結(jié)果輸出裝置。
22.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，其中所述腐蝕后檢查單元包括輸出所述腐蝕板的檢查結(jié)果的第二檢查結(jié)果輸出裝置。
23.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，其中所述腐蝕后檢查單元包括如果測試的所述腐蝕板有缺陷，則存儲相關(guān)所述腐蝕板的信息的結(jié)果存儲單元。
24.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，還包括驗證根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的所述曝光數(shù)據(jù)的精確性的曝光數(shù)據(jù)驗證單元。
25.根據(jù)權(quán)利要求24的布線形成系統(tǒng)，其中所述曝光數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述曝光數(shù)據(jù)精確性的驗證結(jié)果的第一驗證結(jié)果輸出裝置。
26.根據(jù)權(quán)利要求1的布線形成系統(tǒng)，還包括驗證根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)的精確性的腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證單元。
27.根據(jù)權(quán)利要求26的布線形成系統(tǒng)，其中所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)精確性的驗證結(jié)果的第二驗證結(jié)果輸出裝置。
28.根據(jù)權(quán)利要求15的布線形成系統(tǒng)，還包括根據(jù)與用于產(chǎn)生所述曝光數(shù)據(jù)的所述光柵圖像處理器的算法不同的算法產(chǎn)生曝光數(shù)據(jù)并作為驗證曝光數(shù)據(jù)輸出的驗證光柵圖像處理器，其中所述顯影后檢查單元包括在所述顯影板的圖像數(shù)據(jù)和所述驗證曝光數(shù)據(jù)之間切換要與所述曝光數(shù)據(jù)一起輸入的數(shù)據(jù)的開關(guān)單元，以及當(dāng)通過所述開關(guān)單元將所述顯影后檢查單元的輸入切換到所述驗證曝光數(shù)據(jù)時，用所述曝光數(shù)據(jù)和所述驗證曝光數(shù)據(jù)驗證所述曝光數(shù)據(jù)的精確性的曝光數(shù)據(jù)驗證單元。
29.根據(jù)權(quán)利要求28的布線形成系統(tǒng)，其中所述曝光數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述曝光數(shù)據(jù)精確性的驗證結(jié)果的第一驗證結(jié)果輸出裝置。
30.根據(jù)權(quán)利要求16的布線形成系統(tǒng)，還包括根據(jù)與用于產(chǎn)生所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)的所述光柵圖像處理器的算法不同的算法產(chǎn)生腐蝕檢查數(shù)據(jù)并作為驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)輸出的驗證光柵圖像處理器，其中所述腐蝕后檢查單元包括在所述腐蝕板的圖像數(shù)據(jù)和所述驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)之間切換要與所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)一起輸入的數(shù)據(jù)的開關(guān)單元，以及當(dāng)通過所述開關(guān)單元將所述腐蝕后檢查單元的輸入切換到所述驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)時，用所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)和所述驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)的精確性的腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證單元。
31.根據(jù)權(quán)利要求30的布線形成系統(tǒng)，其中所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)精確性的驗證結(jié)果的第二驗證結(jié)果輸出裝置。
32.根據(jù)權(quán)利要求15的布線形成系統(tǒng)，還包括根據(jù)與用于產(chǎn)生所述曝光數(shù)據(jù)的所述光柵圖像處理器的算法不同的算法產(chǎn)生曝光數(shù)據(jù)并作為驗證曝光數(shù)據(jù)輸出的驗證光柵圖像處理器；以及用所述曝光數(shù)據(jù)和所述驗證曝光數(shù)據(jù)驗證所述曝光數(shù)據(jù)的精確性的曝光數(shù)據(jù)驗證單元。
33.根據(jù)權(quán)利要求32的布線形成系統(tǒng)，其中所述曝光數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述曝光數(shù)據(jù)精確性的驗證結(jié)果的第一驗證結(jié)果輸出裝置。
34.根據(jù)權(quán)利要求16的布線形成系統(tǒng)，還包括根據(jù)與用于產(chǎn)生所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)的所述光柵圖像處理器的算法不同的算法產(chǎn)生腐蝕檢查數(shù)據(jù)并作為驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)輸出的驗證光柵圖像處理器；以及用所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)和所述驗證腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)的精確性的腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證單元。
35.根據(jù)權(quán)利要求34的布線形成系統(tǒng)，其中所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)精確性的驗證結(jié)果的第二驗證結(jié)果輸出裝置。
36.根據(jù)權(quán)利要求28的布線形成系統(tǒng)，還包括為所述曝光數(shù)據(jù)產(chǎn)生位圖數(shù)據(jù)的第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置；為所述驗證光柵圖像處理器產(chǎn)生的所述驗證曝光數(shù)據(jù)產(chǎn)生位圖數(shù)據(jù)的第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置；以及通過使用由所述第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由所述第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述驗證繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)在位級驗證所述曝光數(shù)據(jù)的精確性的位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元。
37.根據(jù)權(quán)利要求36的布線形成系統(tǒng)，其中所述位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述曝光數(shù)據(jù)在位級的精確性的驗證結(jié)果的第三驗證結(jié)果輸出裝置。
38.根據(jù)權(quán)利要求36的布線形成系統(tǒng)，其中所述位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元還包括存儲限定由所述第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由所述第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述驗證繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)之間的差別的允許程度的檢查規(guī)則的檢查規(guī)則數(shù)據(jù)庫，并且其中所述位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元根據(jù)所述檢查規(guī)則在位級驗證所述曝光數(shù)據(jù)的精確性。
39.根據(jù)權(quán)利要求32的布線形成系統(tǒng)，還包括為所述曝光數(shù)據(jù)產(chǎn)生位圖數(shù)據(jù)的第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置；為所述驗證光柵圖像處理器產(chǎn)生的所述驗證曝光數(shù)據(jù)產(chǎn)生位圖數(shù)據(jù)的第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置；以及通過使用由所述第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由所述第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述驗證繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)在位級驗證所述曝光數(shù)據(jù)的精確性的位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元。
40.根據(jù)權(quán)利要求39的布線形成系統(tǒng)，其中所述位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述曝光數(shù)據(jù)在位級的精確性的驗證結(jié)果的第三驗證結(jié)果輸出裝置。
41.根據(jù)權(quán)利要求39的布線形成系統(tǒng)，其中所述位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元還包括存儲限定由所述第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由所述第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述驗證繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)之間的差別的允許程度的檢查規(guī)則的檢查規(guī)則數(shù)據(jù)庫，并且其中所述位級曝光數(shù)據(jù)驗證單元根據(jù)所述檢查規(guī)則在位級驗證所述曝光數(shù)據(jù)的精確性。
42.一種用于在布線板上形成布線的布線形成系統(tǒng)，包括采用根據(jù)所述布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)直接曝光未曝光板的無掩模曝光單元；以及采用所述曝光數(shù)據(jù)和由所述無掩模曝光單元曝光并顯影的所述板的圖像數(shù)據(jù)測試顯影之后的所述板的顯影后檢查單元。
43.根據(jù)權(quán)利要求42的布線形成系統(tǒng)，還包括腐蝕所述顯影板的腐蝕單元；以及采用根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)和由所述腐蝕單元腐蝕的所述板的圖像數(shù)據(jù)產(chǎn)生的腐蝕檢查數(shù)據(jù)測試形成在所述腐蝕板上的腐蝕圖形的腐蝕后檢查單元。
44.一種在布線板上形成布線的布線形成方法，包括顯影后的檢查步驟，用于通過采用用于未曝光板的無掩模曝光的設(shè)計數(shù)據(jù)測試曝光和顯影的板；以及腐蝕后的檢查步驟，用于測試通過采用所述設(shè)計數(shù)據(jù)腐蝕所述顯影后的板得到的腐蝕后的板。
45.根據(jù)權(quán)利要求44的布線形成方法，還包括驗證根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的所述曝光數(shù)據(jù)的精確性的曝光數(shù)據(jù)驗證步驟。
46.根據(jù)權(quán)利要求44的布線形成方法，還包括驗證根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)的精確性的腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證步驟。
47.根據(jù)權(quán)利要求44的布線形成方法，還包括基于所述設(shè)計數(shù)據(jù)和所述腐蝕板的圖像數(shù)據(jù)估計得到所希望結(jié)果的所述腐蝕板的最優(yōu)設(shè)計數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生表示應(yīng)如何修正目前所用的設(shè)計數(shù)據(jù)以獲得最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則的尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生步驟。
48.一種在布線板上形成布線的布線形成方法，包括采用根據(jù)所述布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)直接曝光未曝光板的無掩模曝光步驟；采用所述曝光數(shù)據(jù)和在所述無掩模曝光步驟中曝光并顯影的所述板的圖像數(shù)據(jù)測試顯影之后的所述板的顯影后檢查步驟；腐蝕所述顯影板的腐蝕步驟；以及采用根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)和在所述腐蝕步驟中腐蝕的所述板的圖像數(shù)據(jù)產(chǎn)生的腐蝕檢查數(shù)據(jù)測試形成在所述腐蝕板上的腐蝕圖形的腐蝕后檢查步驟。
49.根據(jù)權(quán)利要求48的布線形成方法，還包括驗證根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的所述曝光數(shù)據(jù)的精確性的曝光數(shù)據(jù)驗證步驟。
50.根據(jù)權(quán)利要求48的布線形成方法，還包括驗證根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的所述腐蝕檢查數(shù)據(jù)的精確性的腐蝕檢查數(shù)據(jù)驗證步驟。
51.根據(jù)權(quán)利要求48的布線形成方法，還包括基于所述設(shè)計數(shù)據(jù)和所述腐蝕板的圖像數(shù)據(jù)估計得到所希望結(jié)果的所述腐蝕板的最優(yōu)設(shè)計數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生表示應(yīng)如何修正目前所用的設(shè)計數(shù)據(jù)以獲得最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則的尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生步驟。
52.一種在布線板上形成布線的布線形成系統(tǒng)，包括使用根據(jù)關(guān)于所述布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)在預(yù)繪圖板上用噴墨形成布線圖形的噴墨構(gòu)圖單元；以及使用所述設(shè)計數(shù)據(jù)和其上用所述噴墨構(gòu)圖單元形成有所述布線圖形的所述構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)測試用噴墨在所述板上形成的所述布線圖形的構(gòu)圖后檢查單元。
53.根據(jù)權(quán)利要求52的布線形成系統(tǒng)，其中所述設(shè)計數(shù)據(jù)包括用于在所述布線板中要形成的至少一個單元布線板的預(yù)定布線信息和在所述單元布線板上要安裝或形成的電子元件的預(yù)定焊盤布局信息。
54.根據(jù)權(quán)利要求52的布線形成系統(tǒng)，還包括根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)和所述單元布線板上要安裝和形成的所述電子元件在所述構(gòu)圖后的板上的位置產(chǎn)生表示所述布線應(yīng)當(dāng)如何改變以實現(xiàn)所希望的互聯(lián)圖形的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)的動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)產(chǎn)生單元。
55.根據(jù)權(quán)利要求52的布線形成系統(tǒng)，還包括基于所述設(shè)計數(shù)據(jù)和所述構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)估計得到所希望結(jié)果的所述構(gòu)圖后的板的最佳設(shè)計數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生表示應(yīng)如何修正目前所用的所述設(shè)計數(shù)據(jù)以獲得所述最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則的尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生單元。
56.根據(jù)權(quán)利要求52的布線形成系統(tǒng)，其中所述噴墨構(gòu)圖單元包括測量相對于所述預(yù)構(gòu)圖板所述構(gòu)圖后的板的收縮/膨脹，并根據(jù)所述測得的收縮/膨脹產(chǎn)生用于修正所述繪圖數(shù)據(jù)的位置和形狀的比例修正值的比例修正值產(chǎn)生單元。
57.根據(jù)權(quán)利要求52的布線形成系統(tǒng)，其中所述噴墨構(gòu)圖單元包括在噴墨構(gòu)圖之前測量在繪圖臺上所述預(yù)繪圖板通常放置的參考位置與在所述繪圖臺上所述預(yù)繪圖板實際放置的位置之間的偏移并根據(jù)所述測得的偏移產(chǎn)生錯位數(shù)據(jù)的錯位數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置。
58.根據(jù)權(quán)利要求57的布線形成系統(tǒng)，其中所述噴墨構(gòu)圖單元包括在噴墨構(gòu)圖之前根據(jù)所述錯位數(shù)據(jù)機(jī)械移動實際放置所述預(yù)繪圖板的所述繪圖臺來進(jìn)行修正，從而使所述預(yù)繪圖板的位置盡量接近參考位置的機(jī)械修正單元。
59.根據(jù)權(quán)利要求52的布線形成系統(tǒng)，其中所述噴墨構(gòu)圖單元包括排列的多個噴墨頭，從而在所述預(yù)繪圖板表面上的指定區(qū)域分別形成構(gòu)圖，并以并行的方式進(jìn)行繪圖。
60.根據(jù)權(quán)利要求59的布線形成系統(tǒng)，還包括存儲通過根據(jù)所述尺寸調(diào)整規(guī)則修正所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)的輸入數(shù)據(jù)庫。
61.根據(jù)權(quán)利要求60的布線形成系統(tǒng)，其中所述輸入數(shù)據(jù)庫還存儲從由表示在所述布線板上每個單元布線板數(shù)據(jù)應(yīng)當(dāng)如何排列的作業(yè)卡片信息數(shù)據(jù)；位置對準(zhǔn)信息數(shù)據(jù)以及要安裝或形成在所述單元布線板上的無源元件的布線和放置信息數(shù)據(jù)構(gòu)成的組中選擇的至少一種數(shù)據(jù)。
62.根據(jù)權(quán)利要求61的布線形成系統(tǒng)，其中所述輸入數(shù)據(jù)庫通過劃分每種類型的數(shù)據(jù)，從而為所述各噴墨頭分配數(shù)據(jù)來存儲所述數(shù)據(jù)。
63.根據(jù)權(quán)利要求62的布線形成系統(tǒng)，還包括為每個所述噴墨頭提供的光柵圖像處理器，所述光柵圖像處理器以分配給所述噴墨頭的所述每種數(shù)據(jù)為輸入，驅(qū)動所述噴墨頭。
64.根據(jù)權(quán)利要求63的布線形成系統(tǒng)，其中所述光柵圖像處理器包括讀出單元，與所述噴墨構(gòu)圖單元的操作同步地讀出分配到所述噴墨頭的所述設(shè)計數(shù)據(jù)、所述尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)、所述比例修正值以及所述動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)。
65.根據(jù)權(quán)利要求64的布線形成系統(tǒng)，其中所述讀出單元還與所述噴墨構(gòu)圖單元的操作同步地讀出所述錯位數(shù)據(jù)。
66.根據(jù)權(quán)利要求65的布線形成系統(tǒng)，其中所述光柵圖像處理器采用所述比例修正值、所述動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)和所述錯位數(shù)據(jù)中的至少一個，扭曲所述尺寸調(diào)整的設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)、偏移所述圖形數(shù)據(jù)的位置，并由此產(chǎn)生分配到所述預(yù)繪圖板的表面上的所述指定構(gòu)圖區(qū)的所述繪圖數(shù)據(jù)。
67.根據(jù)權(quán)利要求65的布線形成系統(tǒng)，其中所述光柵圖像處理器采用所述比例修正值、所述動態(tài)路徑選擇規(guī)則數(shù)據(jù)和所述錯位數(shù)據(jù)中的至少一個，扭曲所述設(shè)計數(shù)據(jù)的圖形數(shù)據(jù)、偏移所述圖形數(shù)據(jù)的位置，從而產(chǎn)生所述構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)。
68.根據(jù)權(quán)利要求66的布線形成系統(tǒng)，其中所述繪圖數(shù)據(jù)具有提取所述圖形數(shù)據(jù)的輪廓的矢量數(shù)據(jù)格式。
69.根據(jù)權(quán)利要求68的布線形成系統(tǒng)，還包括提取所述構(gòu)圖后的板的所述圖像數(shù)據(jù)的輪廓并產(chǎn)生具有矢量數(shù)據(jù)格式的圖像數(shù)據(jù)的矢量化儀。
70.根據(jù)權(quán)利要求52的布線形成系統(tǒng)，其中所述構(gòu)圖后檢查單元包括輸出所述構(gòu)圖后的板的檢查結(jié)果的檢查結(jié)果輸出裝置。
71.根據(jù)權(quán)利要求52的布線形成系統(tǒng)，其中所述構(gòu)圖后檢查單元包括如果測試的所述構(gòu)圖后的板有缺陷，則存儲相關(guān)所述構(gòu)圖后的板的信息的結(jié)果存儲單元。
72.根據(jù)權(quán)利要求52的布線形成系統(tǒng)，還包括驗證根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的精確性的繪圖數(shù)據(jù)驗證單元。
73.根據(jù)權(quán)利要求72的布線形成系統(tǒng)，其中所述繪圖數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述繪圖數(shù)據(jù)精確性的驗證結(jié)果的第一驗證結(jié)果輸出裝置。
74.根據(jù)權(quán)利要求52的布線形成系統(tǒng)，還包括驗證根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的所述構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)的精確性的構(gòu)圖后檢查數(shù)據(jù)驗證單元。
75.根據(jù)權(quán)利要求66的布線形成系統(tǒng)，還包括根據(jù)與用于產(chǎn)生所述繪圖數(shù)據(jù)的所述光柵圖像處理器的算法不同的算法產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)并作為驗證繪圖數(shù)據(jù)輸出的驗證光柵圖像處理器，其中所述構(gòu)圖后檢查單元包括在所述構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)和所述驗證繪圖數(shù)據(jù)之間切換要與所述繪圖數(shù)據(jù)一起輸入的數(shù)據(jù)的開關(guān)單元，以及當(dāng)通過所述開關(guān)單元將所述構(gòu)圖后檢查單元的輸入切換到所述驗證繪圖數(shù)據(jù)時，用所述繪圖數(shù)據(jù)和所述驗證繪圖數(shù)據(jù)驗證所述繪圖數(shù)據(jù)的精確性的繪圖數(shù)據(jù)驗證單元。
76.根據(jù)權(quán)利要求75的布線形成系統(tǒng)，其中所述繪圖數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述繪圖數(shù)據(jù)的精確性的驗證結(jié)果的第一驗證結(jié)果輸出裝置。
77.根據(jù)權(quán)利要求66的布線形成系統(tǒng)，還包括根據(jù)與用于產(chǎn)生所述繪圖數(shù)據(jù)的所述光柵圖像處理器的算法不同的算法產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)并作為驗證繪圖數(shù)據(jù)輸出的驗證光柵圖像處理器；以及用所述繪圖數(shù)據(jù)和所述驗證繪圖數(shù)據(jù)驗證所述繪圖數(shù)據(jù)的精確性的繪圖數(shù)據(jù)驗證單元。
78.根據(jù)權(quán)利要求77的布線形成系統(tǒng)，其中所述繪圖數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述繪圖數(shù)據(jù)精確性的驗證結(jié)果的第一驗證結(jié)果輸出裝置。
79.根據(jù)權(quán)利要求75的布線形成系統(tǒng)，還包括為所述繪圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生位圖數(shù)據(jù)的第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置；為所述驗證光柵圖像處理器產(chǎn)生的所述驗證繪圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生位圖數(shù)據(jù)的第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置；以及通過使用由所述第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由所述第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述驗證繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)在位級驗證所述繪圖數(shù)據(jù)的精確性的位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元。
80.根據(jù)權(quán)利要求79的布線形成系統(tǒng)，其中所述位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述繪圖數(shù)據(jù)在位級的精確性的驗證結(jié)果的第二驗證結(jié)果輸出裝置。
81.根據(jù)權(quán)利要求79的布線形成系統(tǒng)，其中所述位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元還包括存儲限定由所述第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由所述第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述驗證繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)之間的差別的允許程度的檢查規(guī)則的檢查規(guī)則數(shù)據(jù)庫，并且其中所述位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元根據(jù)所述檢查規(guī)則在位級驗證所述繪圖數(shù)據(jù)的精確性。
82.根據(jù)權(quán)利要求77的布線形成系統(tǒng)，還包括為所述繪圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生位圖數(shù)據(jù)的第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置；為所述驗證光柵圖像處理器產(chǎn)生的所述驗證繪圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生位圖數(shù)據(jù)的第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置；以及通過使用由所述第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由所述第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述驗證繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)在位級驗證所述繪圖數(shù)據(jù)的精確性的位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元。
83.根據(jù)權(quán)利要求82的布線形成系統(tǒng)，其中所述位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元包括輸出所述繪圖數(shù)據(jù)在位級的精確性的驗證結(jié)果的第二驗證結(jié)果輸出裝置。
84.根據(jù)權(quán)利要求82的布線形成系統(tǒng)，其中所述位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元還包括存儲限定由所述第一位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)和由所述第二位圖數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的所述驗證繪圖數(shù)據(jù)的位圖數(shù)據(jù)之間的差別的允許程度的檢查規(guī)則的檢查規(guī)則數(shù)據(jù)庫，并且其中所述位級繪圖數(shù)據(jù)驗證單元根據(jù)所述檢查規(guī)則在位級驗證所述繪圖數(shù)據(jù)的精確性。
85.一種在布線板上形成布線的布線形成系統(tǒng)，包括使用根據(jù)關(guān)于所述布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)在預(yù)繪圖板上用噴墨形成布線圖形的噴墨構(gòu)圖單元；以及使用所述設(shè)計數(shù)據(jù)和其上用所述噴墨構(gòu)圖單元形成有所述布線圖形的所述構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)測試用噴墨在所述板上形成的所述布線圖形的構(gòu)圖后檢查單元。
86.一種在布線板上形成布線的布線形成方法，包括構(gòu)圖后的檢查步驟，用于通過用噴墨在預(yù)繪圖板上形成所述布線圖形的設(shè)計數(shù)據(jù)測試由噴墨在所述板上形成的布線圖形。
87.根據(jù)權(quán)利要求86的布線形成方法，還包括驗證根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的精確性的繪圖數(shù)據(jù)驗證步驟。
88.根據(jù)權(quán)利要求86的布線形成方法，還包括用于產(chǎn)生所述設(shè)計數(shù)據(jù)的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生步驟。
89.根據(jù)權(quán)利要求86的布線形成方法，還包括基于所述設(shè)計數(shù)據(jù)和所述構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)估計得到所希望結(jié)果的所述構(gòu)圖后的板的最優(yōu)設(shè)計數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生表示應(yīng)如何修正目前所用的設(shè)計數(shù)據(jù)以獲得最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則的尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生步驟。
90.一種在布線板上形成布線的布線形成方法，包括使用根據(jù)關(guān)于所述布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)在預(yù)繪圖板上用噴墨形成布線圖形的噴墨構(gòu)圖步驟；以及使用所述繪圖數(shù)據(jù)和其上在所述噴墨構(gòu)圖步驟中形成有所述布線圖形的所述構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)測試用噴墨在所述板上形成的所述布線圖形的構(gòu)圖后檢查步驟。
91.根據(jù)權(quán)利要求90的布線形成方法，還包括驗證根據(jù)所述設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的所述繪圖數(shù)據(jù)的精確性的繪圖數(shù)據(jù)驗證步驟。
92.根據(jù)權(quán)利要求90的布線形成方法，還包括基于所述設(shè)計數(shù)據(jù)和所述構(gòu)圖后的板的圖像數(shù)據(jù)估計得到所希望結(jié)果的所述構(gòu)圖后的板的最優(yōu)設(shè)計數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生表示應(yīng)如何修正目前所用的設(shè)計數(shù)據(jù)以獲得最佳設(shè)計數(shù)據(jù)的尺寸調(diào)整規(guī)則的尺寸調(diào)整規(guī)則產(chǎn)生步驟。
全文摘要
一種布線形成系統(tǒng)，包括采用根據(jù)關(guān)于布線板的設(shè)計數(shù)據(jù)產(chǎn)生的曝光數(shù)據(jù)直接曝光未曝光板的無掩模曝光單元；采用曝光數(shù)據(jù)和由無掩模曝光單元曝光并顯影的板的圖像數(shù)據(jù)測試顯影之后的板的顯影后檢查單元；腐蝕顯影板的腐蝕單元；以及采用根據(jù)設(shè)計數(shù)據(jù)和由腐蝕單元腐蝕的板的圖像數(shù)據(jù)產(chǎn)生的腐蝕檢查數(shù)據(jù)測試形成在腐蝕板上的腐蝕圖形的腐蝕后檢查單元。
文檔編號H05K1/02GK1462065SQ03138379
公開日2003年12月17日 申請日期2003年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月28日
發(fā)明者赤川雅俊, 關(guān)川和成, 若林信一 申請人:新光電氣工業(yè)株式會社