專利名稱：熱處理爐用電加熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及熱處理爐用電加熱器，涉及例如特別適用于進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的氧化、擴(kuò)散、CVD熱處理的熱處理裝置的電加熱器。
背景技術(shù)：
以往，已知的電加熱器在圓筒狀主隔熱體的內(nèi)周面上安裝有金屬線材制的發(fā)熱體元件，作為金屬線材，可采用加工成線圈狀的線直徑為7～10mm的稱為粗直徑(ヘ一ビ一·ゲ一ジ)的線材。
另外，以前，作為代替上述電加熱器的方案，本申請(qǐng)人提出了在日本特開2001-267261號(hào)公報(bào)中披露的電加熱器。其在主隔熱體的內(nèi)周面上，沿主隔熱體的長(zhǎng)度方向延伸且在圓周方向隔開間隔地形成有多個(gè)并列狀槽，由一根金屬線材制成的發(fā)熱體元件形成為具有比槽的寬度大的振幅的波形，并以使其寬度方向兩側(cè)部分從對(duì)應(yīng)的各個(gè)槽的兩個(gè)側(cè)面進(jìn)入主隔熱體內(nèi)、且依次橫跨到全部的槽的相鄰的槽的方式沿主隔熱體周向蛇形延伸的同時(shí)、一體地支承在主隔熱體上，作為金屬線材，采用線徑為1～3mm的稱為細(xì)直徑(ライト·ゲ一ジ)的金屬線材。
在以上已知的電加熱器中，由于使用了粗直徑的金屬線材，因此，存在的問題為加大了發(fā)熱體元件的重量，增大了熱容量，不能使加熱器高速升降溫。因此，每一次熱循環(huán)的能量損失也較大。
針對(duì)這一問題，在本申請(qǐng)人提出的上述電加熱器中，通過使用細(xì)直徑金屬線材消除上述問題。
但是，在前者、后者電加熱器中，由于電流的規(guī)格是不同的，因此，在這種狀態(tài)下，不能在設(shè)置了前者加熱器的原有熱處理裝置中使用后者加熱器。其原因是，在想要使兩個(gè)電加熱器的輸出功率相同時(shí)，因線材直徑不同，在前者電加熱器中由低電壓·大電流驅(qū)動(dòng)，而后者電加熱器中由高電壓·小電流驅(qū)動(dòng)。例如，在以低電壓·大電流驅(qū)動(dòng)時(shí)，需要降壓變壓器，而以高電壓·小電流驅(qū)動(dòng)的前提則是無需變壓器。
以上，談到了以往的兩種加熱器的電源規(guī)格的差異。因此，對(duì)于使用粗直徑加熱器的原有熱處理裝置而言，為了可以使用改進(jìn)了熱特性的細(xì)直徑電加熱器，除了考慮電源規(guī)格以外，還需要物理結(jié)構(gòu)面的互換性。即，要求與加熱器的外徑、內(nèi)徑、長(zhǎng)度等相關(guān)的互換性，以及用于實(shí)現(xiàn)溫度曲線的溫度區(qū)的分割、電力分配等的互換性。
本發(fā)明的目的在于提供能夠高速使加熱器升降溫并且可以實(shí)現(xiàn)以低電壓·大電流驅(qū)動(dòng)的電加熱器。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的熱處理爐用電加熱器，在主隔熱體的內(nèi)表面上安裝有金屬線材制的發(fā)熱體元件，其特征在于發(fā)熱體元件由多個(gè)電阻發(fā)熱部構(gòu)成，這些電阻發(fā)熱部通過一對(duì)連接部件相并聯(lián)。
在本發(fā)明的熱處理爐用電加熱器中，在主隔熱體的內(nèi)表面上安裝有金屬線材制成的發(fā)熱體元件，其中，發(fā)熱體元件由多個(gè)并聯(lián)狀電阻發(fā)熱部構(gòu)成，該發(fā)熱體元件與一根的發(fā)熱體元件相比，發(fā)熱體元件的電阻低。作為發(fā)熱體元件，即使使用了細(xì)直徑的金屬線材，仍可以由與使用了一根粗直徑金屬線材的發(fā)熱體元件相同的低電壓·大電流驅(qū)動(dòng)。另外，可以使線材的重量為粗直徑的大約1/10。因此，使線材的熱容量成為大約1/10，從而能夠高速對(duì)加熱器升降溫。并且，可提供可以以低電壓·大電流驅(qū)動(dòng)的電加熱器。
另外，由于在多個(gè)電阻發(fā)熱部之間安裝有一對(duì)連接部件，因此，即使不直接相互連接電阻發(fā)熱部彼此間，仍能夠獲得良好的結(jié)構(gòu)。
當(dāng)在主隔熱體的外側(cè)覆蓋層狀內(nèi)隔熱件及外隔熱件，使兩個(gè)連接部件介于內(nèi)隔熱件以及外隔熱件之間時(shí)，能夠?qū)⑦B接部件與加熱器的高溫區(qū)隔離，因此，能夠避免并聯(lián)對(duì)溫度分布圖的不良影響，同時(shí)不易產(chǎn)生熱變形，能夠獲得熱穩(wěn)定性高的結(jié)構(gòu)。
另外，若在各個(gè)電阻發(fā)熱部的兩個(gè)端部分別嵌套套筒或罩，并通過鉚接或焊接進(jìn)行固定，在兩個(gè)連接部件上分別開設(shè)有對(duì)應(yīng)于電阻發(fā)熱部數(shù)量的貫通孔，在對(duì)應(yīng)的端部，使套筒或罩穿入貫通孔，焊接套筒或罩及貫通孔的周緣部，用相同種類的材料形成電阻發(fā)熱部、連接部件及套筒或罩，則能夠避免電阻發(fā)熱部、連接部件及套筒或罩之間的物性的不連續(xù)、特別是冶金學(xué)以及熱膨脹系數(shù)的不連續(xù)，能夠進(jìn)一步提高熱穩(wěn)定性。
若在主隔熱體的內(nèi)表面上形成數(shù)量大于或等于電阻發(fā)熱部的數(shù)量的多個(gè)并列狀槽。各個(gè)電阻發(fā)熱部形成為具有大于槽寬度的振幅的波形，并將其寬度方向兩側(cè)部分從對(duì)應(yīng)的各個(gè)槽的兩個(gè)側(cè)面進(jìn)入主隔熱體內(nèi)，并且以從一個(gè)橫跨到相鄰的至少一個(gè)槽的方式一體地支承在主隔熱體上，則作為發(fā)熱體元件，可以實(shí)現(xiàn)易于使用細(xì)直徑金屬線材的結(jié)構(gòu)。
另外，若內(nèi)隔熱件以及外隔熱件由套構(gòu)成，這些套在耐熱性布覆蓋材料中封入了許多由微孔質(zhì)隔熱材料制成的微小中空球體，則通過微小中空球體的作用，內(nèi)隔熱件以及外隔熱件能夠發(fā)揮出極高的隔熱性。


圖1為本發(fā)明的電加熱器的分解透視圖。
圖2為該電加熱器的橫剖面圖。
圖3為該電加熱器的主隔熱體以及發(fā)熱體元件的局部透視圖。
圖4為該電加熱器的發(fā)熱體元件的展開圖。
圖5為放大橫剖面圖，其顯示了該發(fā)熱體元件的端部的連接狀態(tài)。
圖6為放大橫剖面圖，其顯示了與圖5不同的部分的連接狀態(tài)。
圖7為圖5中所示部分的放大剖面圖。
圖8為表示圖8所示部分的變形例的放大剖面圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的例進(jìn)行說明。
參見圖1以及圖2，電加熱器包括圓筒狀主隔熱體11，安裝在主隔熱體11內(nèi)周面上的發(fā)熱體元件12，隔著具有撓性的緩沖用陶瓷纖維制成的墊22覆蓋在主隔熱體11的外周面上的層狀內(nèi)隔熱件13以及外隔熱件14，覆蓋在外隔熱件14外周面上的金屬殼體15。
參見圖4，將電加熱器劃分為從左到右順次排列的左側(cè)區(qū)域L、中心區(qū)域C以及右側(cè)區(qū)域R。在圖1中，僅顯示了左側(cè)區(qū)域L以及中心區(qū)域C的一部分。
主隔熱體11是有作為隔熱材料的陶瓷纖維的真空成形形成的。在主隔熱體11內(nèi)周面上沿主隔熱體11的長(zhǎng)度方向延伸且在周向隔有間隔地形成多個(gè)并列的槽21。具體地說槽21的數(shù)量時(shí)，在此處為20個(gè)。
發(fā)熱體元件12由鐵·鉻·鋁系金屬線材制成，且是在開頭所說明的具有線徑1～3mm的稱為細(xì)直徑的線材。
在圖3中表示了發(fā)熱體元件12的安裝方法的一部分。發(fā)熱體元件12形成為波形。波形發(fā)熱體元件12的振幅大于槽21的寬度。波形發(fā)熱體元件12的寬度方向兩側(cè)部分從槽21的兩側(cè)面進(jìn)入主隔熱體11內(nèi)，從而將發(fā)熱體元件12一體支承在主隔熱體11上。
在圖3中，在最跟前的槽21的左端部，發(fā)熱體元件12的一端穿過該槽21的底部并伸出到主隔熱體11之外。從發(fā)熱體元件12的同端部，在該槽21內(nèi)，發(fā)熱體元件12邊蛇行邊向右延伸，一直延伸至該槽21的右端部。在該槽21的右端部，發(fā)熱體元件12貫通該槽21與和該槽21相鄰的從跟前起第二列槽21之間的隔壁，并從其跟前進(jìn)入第二列槽21內(nèi)。從該處開始，這次，反過來，在所述第二列槽21內(nèi)向左延伸。進(jìn)而，從第二列槽21內(nèi)的左端部進(jìn)入第三列槽21內(nèi)，與最跟前的槽21相同，在第三列槽21內(nèi)向右延伸。這樣，從最跟前的槽21開始，發(fā)熱體元件12沿主隔熱體11的周向邊蛇行、邊順次在相鄰的槽21之間移動(dòng)去，到達(dá)從跟前數(shù)第五列槽21。當(dāng)發(fā)熱體元件12在所述第五列槽21內(nèi)延伸，到達(dá)所述第五列槽21的右端部時(shí)，則從該處開始，貫穿5個(gè)槽21的相鄰槽彼此間的所有隔壁，返回最跟前的槽21的右端部。從最跟前的槽21的右端部，發(fā)熱體元件12的另一端部穿過這列槽21的底部并伸至主隔熱體11之外。
以上內(nèi)容僅是一個(gè)例子，為了實(shí)現(xiàn)最佳設(shè)計(jì)，可以改變發(fā)熱體元件1 2的適當(dāng)設(shè)置。例如，也可以代替發(fā)熱體元件12穿過相鄰的槽21之間的隔壁，構(gòu)成為發(fā)熱體元件12跨過這些槽21。
內(nèi)隔熱件13由成形為半圓筒狀的2種長(zhǎng)套31以及短套32構(gòu)成。半圓筒狀的長(zhǎng)短套31、32夾著主隔熱體11，使每2個(gè)相同種類的套彼此的緣部31a、32a接觸而形成為圓筒狀的長(zhǎng)短套31、32。圓筒狀的長(zhǎng)短套31、32從主隔熱體11的左端、以長(zhǎng)短的順序在主隔熱體11的長(zhǎng)度方向上交替排列，從而由長(zhǎng)短套31、32包圍主隔熱體11的整個(gè)外表面。另外，相鄰的半圓筒狀的長(zhǎng)短套31，32的對(duì)接邊緣部31a，32a在主隔熱體11的周向上錯(cuò)開。
長(zhǎng)短套31，32分別是以在二氧化硅或玻璃纖維布制成的耐熱覆蓋材料中封入了由微孔質(zhì)的隔熱材料制成的微小中空球體的、例如壓縮成型為半圓筒狀的長(zhǎng)短套，幾乎沒有撓性，從而不易變形。微小中空球體具有微米單位的尺寸，由以二氧化硅為主要成分、且具有許多微孔的材料形成。覆蓋材料的二氧化硅纖維布能夠承受大于或等于600℃的高溫。微小中空球體的內(nèi)徑小于空氣中氣體分子的平均自由行程。因此，空氣中的氣體分子被微小中空球體的壁隔離，氣體分子由所述壁彈回的概率較高并且能夠抑制球體分子彼此之間的碰撞，結(jié)果，長(zhǎng)短套31、32能夠發(fā)揮優(yōu)良的隔熱性。
外隔熱件14雖然與內(nèi)隔熱件13的直徑等不同，但由與內(nèi)隔熱件13相同的長(zhǎng)短套31′、32′構(gòu)成。這些長(zhǎng)短套31′、32′仿照內(nèi)隔熱件13的長(zhǎng)短套31、32排列設(shè)置，并包圍內(nèi)隔熱件13的整個(gè)外表面。但是，在內(nèi)隔熱件13和外隔熱件14中，對(duì)于長(zhǎng)短套31、32、31′、32′的主隔熱體11長(zhǎng)度方向的排列方式而言，長(zhǎng)短是相反的，相鄰圓筒狀長(zhǎng)短套31、32、31′、32的相對(duì)的端部31a、32b、31a′、32b′的位置在主隔熱體11長(zhǎng)度方向上錯(cuò)開。另外，在外隔熱件14的左端的短套32′上開設(shè)有2個(gè)狹縫32c、32d。
殼體15由形成為半圓筒狀的多塊不銹鋼制成的外板41形成。每2塊外板41與套31、32、31′、32′相同，使緣部41a彼此對(duì)接，以覆蓋外隔熱件14。在左端的外板41中的一塊上設(shè)置與短套32′的狹縫32c、32d對(duì)齊的狹縫41c，41d。
下面，參照附圖4，對(duì)發(fā)熱體元件12的整個(gè)結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。圖4為沿周向展開主隔熱體11并從主隔熱體11外側(cè)觀察發(fā)熱體元件12的視圖。
發(fā)熱體元件12由左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L、中心區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51C以及右側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51R構(gòu)成。這些元件群51L、51C、51R如下所述采用了可以相互獨(dú)立控制的結(jié)構(gòu)。
左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L由沿長(zhǎng)度方向分割發(fā)熱體元件12而成的4個(gè)第1～第4電阻發(fā)熱部61～64構(gòu)成。第1～第4電阻發(fā)熱部61～64通常使用具有相同電阻的元件，在圖4中，從上向下順次排列且電并聯(lián)連接。第4電阻發(fā)熱部64相當(dāng)于參照?qǐng)D3說明的發(fā)熱體元件12。第1～第3電阻發(fā)熱部61～63與第4電阻發(fā)熱部64相同，支承在主隔熱體11上。如以前說明的那樣，主隔熱體11的槽21為20個(gè)，對(duì)于第1～第4電阻發(fā)熱部61～64而言，每一個(gè)對(duì)應(yīng)于5個(gè)槽21。
與左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L相同，中心區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51C由第1～第4電阻發(fā)熱部71～74構(gòu)成，右側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51R由第1～第4電阻發(fā)熱部81～84構(gòu)成。這些電阻發(fā)熱部71～74以及81～84與左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L的第4電阻發(fā)熱部64一樣，支承在主隔熱體11上。
上下兩個(gè)帶板狀第1連接部件91、92以沿上下方向延伸的方式設(shè)置在左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L的左側(cè)。由第1連接桿93連接上下第1連接部件91、92。在左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L的右側(cè)，同樣設(shè)有上下兩個(gè)帶板狀第1連接部件94、95。上下第2連接部件94、95由第2連接桿96連接。
與左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L相同，在中心區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51C上也設(shè)有連接部件101、102、104、105以及連接桿103、106，同時(shí)，在右側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51R上也設(shè)有連接部件111、112、114、115以及連接桿113、116。
左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L的第1以及第2電阻發(fā)熱部61、62的左端部與上第1連接部件91相連，同時(shí)，其右端部與上第2連接部件94相連。所述左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L的第3以及第4電阻發(fā)熱部63、64的左端部與下第1連接部件92相連，同時(shí)，其右端部與下第2連接部件95相連。雖然通過以上方式，能夠?qū)崿F(xiàn)左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L的并聯(lián)，但這種連接形態(tài)同樣也適用于中心區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51C以及右側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51R。
在左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L的下第1連接部件92上連接L字狀第1端子121。在左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L的上第2連接部件94以及中心區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51C的上第1連接部件101上橫跨這些部件地連接L字板狀左側(cè)中間端子122。另外，在中心區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51C的上第2連接部件104以及右側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51R的上第2連接部件111上橫跨這些部件地連接L字板狀右側(cè)中間端子123。在右側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51R的下連接部件115上連接L字板狀第2端子124。通過以上方式，發(fā)熱體元件12實(shí)現(xiàn)了可以獨(dú)立電控制左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L、中心區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51C以及右側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51R的連接。
圖5顯示了左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L的第1以及第2電阻發(fā)熱部61、62的左端部與上第1連接部件91的連接部位。在第1以及第2電阻發(fā)熱部61、62的同一端部，分別嵌套有筒狀第1以及第2套筒131、132。各個(gè)套筒131、132通過鉚焊固定在對(duì)應(yīng)的電阻發(fā)熱部61，62的端部。在連接部件91中開有1個(gè)圓孔141以及1個(gè)長(zhǎng)孔142。在內(nèi)隔熱件13中開設(shè)2個(gè)與這些圓孔141及深孔142重合的圓孔143、144。第1套筒131穿入2個(gè)圓孔141、143。對(duì)該套筒131的外表面以及圓孔141、143的周緣部進(jìn)行焊接。第2套筒132穿入深孔142及圓孔144。對(duì)該套管132的外表面、長(zhǎng)孔142以及圓孔144的周緣部進(jìn)行焊接。
在圖7中，詳細(xì)顯示了第1套筒131的上述焊接形態(tài)。在第1套筒131的周壁上開設(shè)貫通狀焊接孔145。以充滿在焊接孔145中的方式形成焊接部146。另外，以覆蓋第1電阻發(fā)熱部61以及第1套筒131的端面及其周邊部的方式形成焊接部147。
圖6顯示了左側(cè)區(qū)域用電阻發(fā)熱部群51L的第3電阻發(fā)熱部63的左端部與下第1連接部件92的連接。在第3電阻發(fā)熱部63的左端部上還嵌套并鉚焊有筒狀套筒151，在該連接部件92上形成長(zhǎng)孔162。在內(nèi)隔熱件13上開設(shè)與所述長(zhǎng)孔162重合的圓孔163。該套筒92穿到長(zhǎng)孔162以及圓孔163中并且通過焊接與該連接部件92相連接。另外，圖6還顯示了在該連接部件92上焊接了第1端子121的狀態(tài)。雖然省略了說明，但是其它的電阻發(fā)熱部64、71～74、81～84與連接件91、94、95、104、105、111、112、114、115連接的形式、連接部件94、101、104、111、115與端子122、123、124的連接形式與上述相同。
圖8顯示了代替圖7所示的筒狀套筒131，采用帽181的例子。在所述帽181的周壁上開設(shè)有焊接孔182。使焊接部183充滿于焊接孔182，并使焊接部184擴(kuò)展到該罩181的頂面及其周圍。
另外，如圖5所示，第1以及第2套筒131、132穿過內(nèi)隔熱件13向其外方伸出，并在該處被焊接在上第1連接部件91上。上第1連接部件91夾在內(nèi)隔熱件13和外隔熱件14之間。參見圖6，以相同的方式，使嵌套在第3電阻發(fā)熱部63上的套筒151也穿過內(nèi)隔熱件13向其外方伸出，并在該處，將其焊接在上第1連接部件91上。另外，下第1連接部件92夾在內(nèi)隔熱件13和外隔熱件14之間。其它的連接部件94、101、104、111、115雖然未在圖中顯示，但是，它們同樣也夾在內(nèi)隔熱件13和外隔熱件14之間。
再參見圖1，可以理解第1端子121穿到外隔熱件14以及殼體15中一者的狹縫32d、41d中，使左側(cè)中間端子122穿到另一者的狹縫32c、41c中。
所有的連接件91、92、94、95、104、105、111、112、114、115、連接桿93、96、103、106、113、116、端子121、122、123、124、套筒131、132、151以及罩181均由與發(fā)熱體元件12相同的材料(即，鐵·鉻·鋁系金屬)制成。通過這種結(jié)構(gòu)，能夠改善這種材料中特有的難以應(yīng)付的σ脆性，即一旦被高溫加熱便會(huì)變脆的特性。
從以上說明可知，本發(fā)明不限定于圓筒狀加熱器，也不限定于半導(dǎo)體熱處理爐，例如，還可適用于平板型加熱器，并能夠應(yīng)用于許多工程領(lǐng)域。
另外，本發(fā)明不限定于所披露的內(nèi)容，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下，可作出各種變形。
工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的電加熱器特別適用于熱處理用電加熱器、例如進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的氧化、擴(kuò)散、CVD熱處理的熱處理裝置。
權(quán)利要求
1.熱處理爐用電加熱器，其中，在主隔熱體的內(nèi)表面上安裝有金屬線材制的發(fā)熱體元件，其特征在于發(fā)熱體元件由多個(gè)電阻發(fā)熱部構(gòu)成，這些電阻發(fā)熱部通過一對(duì)連接部件并聯(lián)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理爐用電加熱器，其特征在于在主隔熱體的外側(cè)覆蓋層狀內(nèi)隔熱件以及外隔熱件，兩個(gè)連接部件介于內(nèi)隔熱件及外隔熱件之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理爐用電加熱器，其特征在于在各電阻發(fā)熱部的兩端部分別嵌套有套筒，并通過鉚接和焊接中的至少任意一種方式將該套筒固定，在兩個(gè)連接部件上分別開設(shè)有對(duì)應(yīng)于電阻發(fā)熱部數(shù)量的貫通孔，在對(duì)應(yīng)的端部，套筒穿到貫通孔中，并焊接套筒與貫通孔周緣部，由同種材料形成電阻發(fā)熱部、連接部件及套筒。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理爐用電加熱器，其特征在于在各電阻發(fā)熱部的兩個(gè)端部分別嵌套帽，并通過鉚接和焊接中的至少任意一種方式將該帽固定，在兩個(gè)連接部件上分別開設(shè)有對(duì)應(yīng)于電阻發(fā)熱部數(shù)量的貫通孔，在對(duì)應(yīng)的端部，使帽穿到貫通孔中，并焊接套筒以及貫通孔的周緣部，由同種材料形成電阻發(fā)熱部、連接部件及套筒。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的熱處理爐用電加熱器，其特征在于在主隔熱體的內(nèi)表面上形成有數(shù)量大于或等于電阻發(fā)熱部數(shù)量的多個(gè)并列狀槽，各電阻發(fā)熱部形成為具有大于槽寬度的振幅的波形，并從所對(duì)應(yīng)的各個(gè)槽的兩個(gè)側(cè)面使所述各電阻發(fā)熱部的寬度方向兩側(cè)部分進(jìn)入主隔熱體內(nèi)，且以從一個(gè)槽橫跨到相鄰的至少一個(gè)槽的方式一體支承在主隔熱體上。
6.根據(jù)權(quán)利要求2～5中任意一項(xiàng)所述的熱處理爐用電加熱器，其特征在于內(nèi)隔熱件以及外隔熱件由套構(gòu)成，這些套在耐熱性布制的覆蓋材料中封入了許多由微孔質(zhì)隔熱材料制的微小中空球體。
全文摘要
本發(fā)明的電加熱器在圓筒狀主隔熱體(11)的內(nèi)周面安裝有金屬線材制成的發(fā)熱體元件(12)。發(fā)熱體元件(12)由沿長(zhǎng)度方向?qū)ζ溥M(jìn)行分割而成的電阻發(fā)熱部(61)～(64)(71)～(74)(81)～(84)構(gòu)成。電阻發(fā)熱部(61)～(64)(71)～(74)(81)～(84)并聯(lián)連接。
文檔編號(hào)H05B6/64GK1610815SQ0282648
公開日2005年4月27日 申請(qǐng)日期2002年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月19日
發(fā)明者上森進(jìn), 藍(lán)谷隆 申請(qǐng)人:光洋熱系統(tǒng)株式會(huì)社