一種在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)及監(jiān)控方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體生產(chǎn)工藝監(jiān)控技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)及監(jiān)控方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體芯片的生產(chǎn)工藝是一個非常復雜且品質(zhì)管控要求嚴格的工藝流程，對于每一個步驟都需要實行有效的監(jiān)控及量測，才能確保最終生產(chǎn)的半導體芯片具有較高的良率。對于半導體芯片的制造，根據(jù)產(chǎn)品的不同，通常會經(jīng)歷200-300道加工工序，例如蝕刻、研磨、薄膜以及顯影等。每道加工工序所實現(xiàn)的功用不同，對半導體芯片所產(chǎn)生的生產(chǎn)效果也不同。除了加工工序之外，還有一些生產(chǎn)工序用于對芯片進行量測，以實現(xiàn)對產(chǎn)品質(zhì)量的監(jiān)控，最終提升產(chǎn)品的生產(chǎn)良率。
[0003]在半導體芯片的生產(chǎn)工藝中，任何異常情況都會影響到產(chǎn)品的質(zhì)量，甚至造成產(chǎn)品的直接報廢，因此對半導體芯片的生產(chǎn)過程需要進行全程監(jiān)控，并在產(chǎn)品量測值發(fā)生異常時及時處理，以預防或糾正不良產(chǎn)品的產(chǎn)生。如果在量測時遺漏異常情況，或者對量測結(jié)果處理不當，都會影響最終產(chǎn)生的產(chǎn)品的質(zhì)量。
[0004]在現(xiàn)有技術(shù)中，生產(chǎn)系統(tǒng)對于一些量測結(jié)果不合格的產(chǎn)品能夠做到及時響應(yīng)并及時處理，但對于一些雖然合格，但有不合格的隱患或趨勢的產(chǎn)品(即達到“警告”級別的量測數(shù)據(jù)所對應(yīng)的產(chǎn)品)無法進行有效地檢測，從而采取及時的調(diào)整手段，而這些具有隱患的量測結(jié)果在生產(chǎn)工藝繼續(xù)進行下去的情況下有可能會影響到產(chǎn)品的生產(chǎn)速度以及最終成品的生產(chǎn)質(zhì)量，同時大幅增加產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，即無法量測出處于“警告”級別的量測數(shù)據(jù)，從而遺漏潛在的可能影響產(chǎn)品生產(chǎn)過程的因素；現(xiàn)提供一種在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)及監(jiān)控方法，具體包括:
[0006]一種在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)，適用于半導體芯片生產(chǎn)工藝中；其中，包括:
[0007]遷移單元，連接外部的一存儲設(shè)備，用于將所述存儲設(shè)備中保存的半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)復制到所述在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)中；
[0008]數(shù)據(jù)存儲單元，連接所述遷移單元，用于保存所述遷移單元復制的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)；
[0009]輸入單元，供使用者輸入預設(shè)的判斷條件，以及所述判斷條件的判斷等級；
[0010]條件存儲單元，連接所述輸入單元，用于保存所述判斷條件以及對應(yīng)的所述判斷等級；
[0011]處理單元，分別連接所述數(shù)據(jù)存儲單元和所述條件存儲單元，用于在所述條件存儲單元中選擇多個所述判斷條件與所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)進行匹配，并得出相應(yīng)的匹配結(jié)果數(shù)據(jù)，將所述匹配結(jié)果數(shù)據(jù)保存入所述數(shù)據(jù)存儲單元中；
[0012]所述匹配結(jié)果數(shù)據(jù)中包括根據(jù)匹配結(jié)果和對應(yīng)所述判斷條件的所述判斷等級被標記的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)，以及被標記的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)占所有所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)的比值；
[0013]結(jié)果調(diào)用單元，連接所述存儲單元，用于向所述存儲單元發(fā)送調(diào)用命令，以獲取所述存儲單元中保存的相應(yīng)的所述匹配結(jié)果數(shù)據(jù)。
[0014]優(yōu)選的，該在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)，其中，所述判斷條件的判斷等級被區(qū)分為合格等級和警告等級；
[0015]匹配于所述合格等級的所述判斷條件的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)被標記為合格；
[0016]不匹配于所述合格等級的所述判斷條件的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)被標記為不合格；
[0017]匹配于所述警告等級的所述判斷條件的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)被標記為無需警生P=I ;
[0018]不匹配于所述警告等級的所述判斷條件的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)被標記為需要警生口 O
[0019]優(yōu)選的，該在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)，其中，所述遷移單元中包括:
[0020]一數(shù)據(jù)選擇模塊，用于選擇保存于所述存儲設(shè)備的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)中適于量測的量測點數(shù)據(jù)，并復制到所述數(shù)據(jù)存儲單元中保存。
[0021]優(yōu)選的，該在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)，其中，所述結(jié)果調(diào)用單元中預設(shè)有多個調(diào)用顯示模板。
[0022]優(yōu)選的，該在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)，其中，還包括:
[0023]用戶顯示單元，連接所述結(jié)果調(diào)用單元，用于向所述結(jié)果調(diào)用單元發(fā)送請求顯示所述調(diào)用顯示模板的請求指令，所述結(jié)果調(diào)用單元從所述數(shù)據(jù)存儲單元中獲取所述匹配結(jié)果數(shù)據(jù)并填充至請求顯示的所述調(diào)用顯示模板的框架內(nèi)，將經(jīng)過填充的所述調(diào)用顯示模板發(fā)送至所述用戶顯示單元中顯示。
[0024]一種在線數(shù)據(jù)監(jiān)控方法，適用于半導體芯片生產(chǎn)工藝中；其中，
[0025]步驟1，復制保存于外部的存儲設(shè)備中的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)并保存；
[0026]步驟2，獲取使用者輸入的預設(shè)的判斷條件，以及對應(yīng)所述判斷條件的判斷等級；
[0027]步驟3，選擇多個所述判斷條件對被復制并保存的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)進行匹配，隨后形成相應(yīng)的匹配結(jié)果數(shù)據(jù)；
[0028]步驟4，保存所述匹配結(jié)果數(shù)據(jù)；
[0029]步驟5，調(diào)用所述匹配結(jié)果數(shù)據(jù)，以供使用者查看。
[0030]優(yōu)選的，該在線數(shù)據(jù)監(jiān)控方法，其中，所述匹配結(jié)果數(shù)據(jù)中包括根據(jù)所述步驟3中的匹配結(jié)果和對應(yīng)所述判斷條件的所述判斷等級被標記的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)，以及被標記的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)占所有所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)的比值。
[0031]優(yōu)選的，該在線數(shù)據(jù)監(jiān)控方法，其中，所述判斷條件的判斷等級被區(qū)分為合格等級和警告等級；
[0032]匹配于所述合格等級的所述判斷條件的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)被標記為合格；
[0033]不匹配于所述合格等級的所述判斷條件的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)被標記為不合格；
[0034]匹配于所述警告等級的所述判斷條件的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)被標記為無需警生P=I ;
[0035]不匹配于所述警告等級的所述判斷條件的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)被標記為需要警生口 ο
[0036]優(yōu)選的，該在線數(shù)據(jù)監(jiān)控方法，其中，所述步驟I中，被復制并保存的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)為保存于外部的所述存儲設(shè)備的所述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)中適于量測的量測點數(shù)據(jù)。
[0037]優(yōu)選的，該在線數(shù)據(jù)監(jiān)控方法，其中，預設(shè)有多個調(diào)用顯示模板；
[0038]所述步驟5具體包括:
[0039]步驟51,預設(shè)多個調(diào)用顯示模板；
[0040]步驟52，獲取外部輸入的請求顯示一個預設(shè)的所述調(diào)用顯示模板的指令；
[0041]步驟53，根據(jù)指令調(diào)用所述匹配結(jié)果數(shù)據(jù)并填充至相應(yīng)的所述調(diào)用顯示模板的框架中；
[0042]步驟54，輸出經(jīng)過填充的所述調(diào)用顯示模板并顯示，以供使用者查看。
[0043]上述技術(shù)方案的有益效果是:準確找到處于“警告”級別的量測數(shù)據(jù)，及時排除潛在的可能影響半導體芯片生產(chǎn)過程的因素，提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率，并降低生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0044]圖1是本發(fā)明的較佳的實施例中，一種在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0045]圖2-3是本發(fā)明的較佳的實施例中，一種在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)的流程示意圖；
【具體實施方式】
[0046]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步說明，但不作為本發(fā)明的限定。
[0047]如圖1所示，本發(fā)明的較佳的實施例中，一種在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)，應(yīng)用于半導體芯片生產(chǎn)工藝中，該在線數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)包括:
[0048]遷移單元1，連接外部的存儲設(shè)備2 ；
[0049]本發(fā)明的較佳的實施例中，外部的存儲設(shè)備2可以為一制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing Execut1n System,MES)的數(shù)據(jù)庫。MES數(shù)據(jù)庫中保存有半導體芯片生產(chǎn)工藝中的各種半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)。本發(fā)明的較佳的實施例中，MES數(shù)據(jù)庫中保存的半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)由人工或自動在半導體生產(chǎn)設(shè)備上采集獲得。遷移單元I從外接的存儲設(shè)備2中獲取上述半導體生產(chǎn)數(shù)據(jù)。
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