專利名稱：半蝕刻網(wǎng)罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種網(wǎng)罩，特別是涉及一種半蝕刻網(wǎng)罩。
背景技術(shù)：
以前國內(nèi)外的電腦音箱外的網(wǎng)罩所用材質(zhì)都是塑料，優(yōu)點(diǎn)是容易加工，大批量生產(chǎn)中可以做到很低成本，因此，如果是低端產(chǎn)品，大部分音箱網(wǎng)罩材質(zhì)都是塑料材質(zhì)?，F(xiàn)在為了追求高控性和揚(yáng)聲器的震動(dòng)性能，高端的電腦音箱外的網(wǎng)罩都選擇了金屬材料。由于現(xiàn)在對(duì)網(wǎng)罩要求的不斷提高，除了網(wǎng)罩有不同尺寸孔徑，雙面一致的圖形外，還要求有不同圖案。對(duì)網(wǎng)罩的尺寸有嚴(yán)格要求，網(wǎng)罩表面不能有劃傷，斷絲，產(chǎn)品不可有堵孔，破孔、毛刺、變形等等，更加增加了加工的難度。而且對(duì)于用金屬材料加工網(wǎng)罩，以前大部分用沖制打孔方法，在213平方厘米的 材料上沖制多達(dá)2萬個(gè)小孔，遇到諸多困難。I、沖制的孔的孔徑大都是同一直徑，不能同時(shí)沖制不同孔徑的小孔，而且孔徑公差都控制在O. 09mm以內(nèi)，要求表面不能有深度劃痕，允許有無感劃痕，2、由于需要沖制2萬多個(gè)小孔，沖針容易斷裂。3、生產(chǎn)效率達(dá)不到要求，平均沖制ー個(gè)小孔在2秒鐘左右，加工一個(gè)產(chǎn)品需要很長時(shí)間，完全不能滿足生產(chǎn)要求。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供ー種利用光刻技術(shù)制作的半蝕刻網(wǎng)罩。本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為一種半蝕刻網(wǎng)罩，包括圓形的金屬材料板，其特征在干所述金屬材料板上具有與該金屬材料板同心設(shè)置的圓形的全蝕刻部分，以及圍繞該全蝕刻部分設(shè)置的環(huán)形半蝕刻部分，所述半蝕刻部分保留一定厚度的金屬材料。優(yōu)選地，所述全蝕刻部分上具有圓孔圖案，所述半蝕刻部分沒有圖案。所述金屬材料板的厚度為O. 2mm,所述全蝕刻部分上的圓孔圖案的直徑為O. 6mm,所述半蝕刻部分的蝕刻深度為O. 05mm-0. 07mm。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于該半蝕刻網(wǎng)罩，不但具有全蝕刻部分還具有半蝕刻部分，能夠?yàn)橐繇懱峁└玫男Ч?，而且加工方便、生產(chǎn)效率高，可以批量生產(chǎn)。

圖I為本實(shí)用新型半蝕刻網(wǎng)罩的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)ー步詳細(xì)描述。如圖I所示，為本實(shí)用新型半蝕刻網(wǎng)罩的示意圖，該網(wǎng)罩包括圓形金屬材料板1，該圓形金屬材料板I上具有與該圓形金屬材料板I同心設(shè)置的圓形的全蝕刻部分3以及圍繞該全蝕刻部分3的圓環(huán)狀的半蝕刻部分2。該全蝕刻部分3上具有圓孔圖案，直徑為O. 6mm±0. 05mm,半蝕刻部分2保留一定厚度的金屬材料,半蝕刻部分2沒有圖案。該半蝕刻網(wǎng)罩的制作方法如下所述，首先利用微機(jī)電腦上用專業(yè)的設(shè)計(jì)開發(fā)軟件設(shè)計(jì)，將全蝕刻部分3上的圓孔圖案的孔的直徑正面設(shè)計(jì)為O. 52mm,反面設(shè)計(jì)為O. 48mm，其余余量按厚度的60%正常放置。由于正面半蝕刻只有O. 06mm，所以對(duì)于直徑為O. 6mm的孔來說它的正面蝕刻深度也只能有O. 06mm。而厚度O. 2mm的金屬材料板要直徑為O. 6mm的孔蝕刻穿，所以反面孔的蝕刻深度為O. 14mm,即反面的孔的直徑設(shè)計(jì)為O. 48mm,正面孔設(shè)計(jì)為 O. 52mm。在O. 2mm厚的金屬材料板上涂敷ー層光刻膠，在100°C下烘干，然后在雙面曝光機(jī)上用同時(shí)將00.48mm和00.52mm孔的掩I旲板曝光，在專用顯影機(jī)上顯影，并于260°C下供干，供干后的顯影板上顯影出00.48mm和00.52mm孔排列好的不同孔徑網(wǎng)罩，同時(shí)在00.52mm的圖案上有O. 14mm的半蝕刻線寬。將已顯影后的金屬網(wǎng)罩在專用蝕刻機(jī)上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，00.52mm的圖案方向朝下放置，使半蝕刻部分更能更能與化學(xué)藥水充分反應(yīng)。將蝕刻機(jī)前四倉上壓力(単位為KG)調(diào)整為3. OKG-3. 5KG，后四倉壓カ為3. OKG-3. 5KG，前四倉下壓力調(diào)整為0KG，后四倉調(diào)不足為O. 5KG-0. 8KG，傳動(dòng)速度(單位為m/s)，前四倉為O. 63m/s，后四倉O. 65m/s，溫度前四倉56. 7攝氏度，后四倉為55. 8攝氏度。經(jīng)過測(cè)試，半蝕刻部分蝕刻深度達(dá)到O. 05mm-0. 07mm范圍內(nèi)。該半蝕刻網(wǎng)罩，不但具有全蝕刻部分還具有半蝕刻部分，能夠?yàn)橐繇懱峁└玫男Ч?，而且加工方便、生產(chǎn)效率高，可以批量生產(chǎn)。
權(quán)利要求1.一種半蝕刻網(wǎng)罩，包括圓形的金屬材料板(I)，其特征在干所述金屬材料板(I)上具有與該金屬材料板(I)同心設(shè)置的圓形的全蝕刻部分(3)，以及圍繞該全蝕刻部分(3)設(shè)置的環(huán)形半蝕刻部分(2)，所述半蝕刻部分(2)保留一定厚度的金屬材料。
2.如權(quán)利要求I所述的半蝕刻網(wǎng)罩，其特征在于所述全蝕刻部分(3)上具有圓孔圖案，所述半蝕刻部分(2)沒有圖案。
3.如權(quán)利要求2所述的半蝕刻網(wǎng)罩，其特征在干所述金屬材料板(I)的厚度為O.2mm，所述全蝕刻部分(3)上的圓孔圖案的直徑為O. 6mm，所述半蝕刻部分⑵的蝕刻深度為 O. 05mm-0. 07mm。
專利摘要一種半蝕刻網(wǎng)罩，包括圓形的金屬材料板，其特征在于所述金屬材料板上具有與該金屬材料板同心設(shè)置的圓形的全蝕刻部分，以及圍繞該全蝕刻部分設(shè)置的環(huán)形半蝕刻部分，所述半蝕刻部分保留一定厚度的金屬材料。該半蝕刻網(wǎng)罩，不但具有全蝕刻部分還具有半蝕刻部分，能夠?yàn)橐繇懱峁└玫男Ч?，而且加工方便、生產(chǎn)效率高，可以批量生產(chǎn)。
文檔編號(hào)H04R1/02GK202455492SQ20122004310
公開日2012年9月26日 申請(qǐng)日期2012年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月10日
發(fā)明者何公明, 史小軍, 梁泰頻, 王滿根, 陳雪堯 申請(qǐng)人:寧波東盛集成電路元件有限公司