一種用于低應(yīng)力低氧化處理的高溫高真空退火裝置的制造方法
【專利摘要】一種用于低應(yīng)力低氧化處理的高溫高真空退火裝置，包括氮氣裝置、真空冷卻箱、排真空回收和發(fā)散裝置，所述氮氣裝置包括氮氣儲存裝置、氮氣解壓裝置、調(diào)壓排送裝置，三者依次串聯(lián)在氮氣輸送管上，氮氣裝置和排真空回收和發(fā)散裝置連接在真空冷卻箱上；真空冷卻箱包括至少兩只真空箱，兩者并列設(shè)置，兩者之間設(shè)置進氣分氣管，所述真空箱還設(shè)置有排氣管和交換管，一只真空箱與另一只并列設(shè)置的真空箱的交換管都連接在它們之間的氣體交換裝置中；排真空回收和發(fā)散泵組其中至少2組為氮氣排真空回收和發(fā)散泵，3組為空氣排真空回收和發(fā)散泵，所述排真空回收和發(fā)散泵的所有進出氣管都串聯(lián)在主抽氣管和主排放管上。
【專利說明】
一種用于低應(yīng)力低氧化處理的高溫高真空退火裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及熱處理裝置領(lǐng)域，具體為一種用于低應(yīng)力低氧化處理的高溫高真空退火裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]高溫高真空退火裝置是晶振制造過程中的一種冷卻裝置，它能滿足該冷卻要求，但真空加工下還是應(yīng)密封度和溫度等原因產(chǎn)生真空環(huán)境需要大量的限制條件，從而造成的成本上升，所以我們需要能多批量生產(chǎn)的真空退火裝置。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的是設(shè)計一種用于低應(yīng)力低氧化處理的高溫高真空退火裝置，擁有兩個或兩個以上的真空箱，能輪流或共同進行冷卻處理，并且可以更加節(jié)約的利用冷卻氣體。
[0004]本實用新型是通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)的:一種用于低應(yīng)力低氧化處理的高溫高真空退火裝置，包括氮氣裝置、真空冷卻箱、排真空回收和發(fā)散裝置，所述氮氣裝置包括氮氣儲存裝置、氮氣解壓裝置、調(diào)壓排送裝置，三者依次串聯(lián)在氮氣輸送管上，氮氣裝置和排真空回收和發(fā)散裝置連接在真空冷卻箱上；
[0005]真空冷卻箱包括至少兩只真空箱，兩者并列設(shè)置，兩者之間設(shè)置進氣分氣管，所述真空箱還設(shè)置有排氣管和交換管，一只真空箱與另一只并列設(shè)置的真空箱的交換管都連接在它們之間的氣體交換裝置中，所述氣體交換裝置，包括氣栗和氣體暫存?zhèn)}，所述氣體交換裝置也設(shè)置有排氣管；
[0006]所述排氣管連接排真空回收和發(fā)散裝置，所述排氣管和交換管、進氣分氣管上都設(shè)置有氣栗；
[0007]所述真空回收和發(fā)散裝置包括若干組排真空回收和發(fā)散栗組、氮氣適力裝置，所述氮氣適力裝置設(shè)置連接在輸送真空冷卻箱和排真空回收和發(fā)散栗組之間，氮氣適力裝置包括T形分氣管和設(shè)置在T型輸氣管左邊的壓力栗，以及右邊的適壓栗組成，適壓栗通過內(nèi)排送管連接到真空回收和發(fā)散裝置上，壓力栗通過單循環(huán)管連接到適壓栗；
[0008]排真空回收和發(fā)散栗組其中至少2組為氮氣排真空回收和發(fā)散栗，3組為空氣排真空回收和發(fā)散栗，所述排真空回收和發(fā)散栗的所有進出氣管都串聯(lián)在主抽氣管和主排放管上。
[0009]作為優(yōu)選所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗由調(diào)壓栗、解壓栗、氮氣過濾裝置、氮氣儲存筒組成，所述空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗由空氣調(diào)壓栗、空氣解壓栗，空氣過濾裝置、空氣排出栗組成。
[0010]作為優(yōu)選所述真空冷卻箱和排真空回收和發(fā)散裝置之間還設(shè)置有冷壓縮機。
[0011]本實用新型與【背景技術(shù)】相比，具有的有益的效果是:擁有兩個或兩個以上的真空箱，能輪流或共同進行冷卻處理，并且可以更加節(jié)約的利用冷卻氣體，可以任一控制一個真空箱進行使用，也可以控制2個真空箱進行使用，2個或2個真空箱進行使用的時候是一定會有一定時間間隔進行開箱和進料的，所以本裝置能解除這個空隙時間中的同步排氣和進氣的問題，也能降多于的氣體補氣到旁邊的一個真空箱中。
【附圖說明】

[0012]圖1為本實用新型整體組合圖。
【具體實施方式】
[0013]下面通過實施例，結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案作進一步具體的說明:
[0014]如圖1所示，一種用于低應(yīng)力低氧化處理的高溫高真空退火裝置，包括氮氣裝置
(1)、真空冷卻箱(2)、排真空回收和發(fā)散裝置(3)，所述氮氣裝置包括氮氣儲存裝置(4)、氮氣解壓裝置(5)、調(diào)壓排送裝置(6)，三者依次串聯(lián)在氮氣輸送管(7)上，氮氣裝置和排真空回收和發(fā)散裝置連接在真空冷卻箱上；
[0015]真空冷卻箱包括至少兩只真空箱(8)，兩者并列設(shè)置，兩者之間設(shè)置進氣分氣管
(9)，所述真空箱還設(shè)置有排氣管(10)和交換管(11)，一只真空箱與另一只并列設(shè)置的真空箱的交換管都連接在它們之間的氣體交換裝置(12)中，所述氣體交換裝置，包括氣栗(13)和氣體暫存?zhèn)}(14)，所述氣體交換裝置也設(shè)置有排氣管；
[0016]所述排氣管連接排真空回收和發(fā)散裝置，所述排氣管、交換管、進氣分氣管上都設(shè)置有氣栗(15);
[0017]所述真空回收和發(fā)散裝置包括若干組排真空回收和發(fā)散栗組(16)、氮氣適力裝置
[17]，所述氮氣適力裝置設(shè)置連接在輸送真空冷卻箱和排真空回收和發(fā)散栗組之間，氮氣適力裝置包括T形分氣管(18)和設(shè)置在T型輸氣管左邊的壓力栗(19)，以及右邊的適壓栗
(20)組成，適壓栗通過內(nèi)排送管(21)連接到真空回收和發(fā)散裝置上，壓力栗通過單循環(huán)管
(22)連接到適壓栗；
[0018]排真空回收和發(fā)散栗組其中至少2組為氮氣排真空回收和發(fā)散栗(23)，3組為空氣排真空回收和發(fā)散栗(24)，所述排真空回收和發(fā)散栗的所有進出氣管都串聯(lián)在主抽氣管
(25)和主排放管(26)上。
[0019]作為優(yōu)選所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗由調(diào)壓栗、解壓栗、氮氣過濾裝置、氮氣儲存筒組成，所述空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗由空氣調(diào)壓栗、空氣解壓栗，空氣過濾裝置、空氣排出栗組成。
[0020]作為優(yōu)選所述真空冷卻箱和排真空回收和發(fā)散裝置之間還設(shè)置有冷壓縮機(27)。
[0021]本文中所描述的具體實施例僅僅是對本實用新型精神作舉例說明。本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似的方式替代，但并不會偏離本實用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種用于低應(yīng)力低氧化處理的高溫高真空退火裝置，其特征是:包括氮氣裝置(I)、真空冷卻箱(2)、排真空回收和發(fā)散裝置(3)，所述氮氣裝置包括氮氣儲存裝置(4)、氮氣解壓裝置(5)、調(diào)壓排送裝置(6)，三者依次串聯(lián)在氮氣輸送管(7)上，氮氣裝置和排真空回收和發(fā)散裝置連接在真空冷卻箱上； 真空冷卻箱包括至少兩只真空箱(8)，兩者并列設(shè)置，兩者之間設(shè)置進氣分氣管(9)，所述真空箱還設(shè)置有排氣管(10)和交換管(11)，一只真空箱與另一只并列設(shè)置的真空箱的交換管都連接在它們之間的氣體交換裝置(12)中，所述氣體交換裝置，包括氣栗(13)和氣體暫存?zhèn)}(14)，所述氣體交換裝置也設(shè)置有排氣管； 所述排氣管連接排真空回收和發(fā)散裝置，所述排氣管、交換管、進氣分氣管上都設(shè)置有氣栗(15); 所述真空回收和發(fā)散裝置包括若干組排真空回收和發(fā)散栗組(16)、氮氣適力裝置(17)，所述氮氣適力裝置設(shè)置連接在輸送真空冷卻箱和排真空回收和發(fā)散栗組之間，氮氣適力裝置包括T形分氣管(18)和設(shè)置在T型輸氣管左邊的壓力栗(19)，以及右邊的適壓栗(20)組成，適壓栗通過內(nèi)排送管(21)連接到真空回收和發(fā)散裝置上，壓力栗通過單循環(huán)管(22)連接到適壓栗； 排真空回收和發(fā)散栗組其中至少2組為氮氣排真空回收和發(fā)散栗(23)，3組為空氣排真空回收和發(fā)散栗(24)，所述排真空回收和發(fā)散栗的所有進出氣管都串聯(lián)在主抽氣管(25)和主排放管(26)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低應(yīng)力低氧化處理的高溫高真空退火裝置，其特征是:所述所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗由調(diào)壓栗、解壓栗、氮氣過濾裝置、氮氣儲存筒組成，所述空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗由空氣調(diào)壓栗、空氣解壓栗，空氣過濾裝置、空氣排出栗組成。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低應(yīng)力低氧化處理的高溫高真空退火裝置，其特征是:所述真空冷卻箱和排真空回收和發(fā)散裝置之間還設(shè)置有冷壓縮機(27)。
【文檔編號】H03H3/02GK205725675SQ201620593867
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月18日
【發(fā)明人】湯海燕
【申請人】匯隆電子（金華）有限公司