本發(fā)明涉及印刷電路板PCB的清洗加工工藝領(lǐng)域，具體是指一種用于真空玻璃元件的清洗檢測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在印刷電路板PCB行業(yè)，清洗是包括任何與去除污染物有關(guān)的關(guān)鍵工藝，隨著微電子工藝的發(fā)展，傳統(tǒng)的濕法清洗越來(lái)越受到局限，對(duì)高厚徑比板、高頻板、剛?cè)岚宓鹊奶幚硪呀?jīng)達(dá)不到新的工藝要求，而干法清洗能夠滿足新的要求，并避免濕法清洗帶來(lái)的環(huán)境污染，同時(shí)生產(chǎn)率也大大提高，等離子清洗就是方便、高效、優(yōu)質(zhì)的干法清洗技術(shù)。等離子清洗器(Plasma Cleaner)也叫等離子清洗機(jī)、等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子清洗屬于干法清洗，采用氣相化學(xué)法去除材料表面污染物。氣相化學(xué)法主要有熱氧化法和等離子清洗法等，清洗過(guò)程就是將熱化學(xué)氣體或等離子態(tài)反應(yīng)氣體導(dǎo)入反應(yīng)室，反應(yīng)氣體與需處理的PCB板表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成易揮發(fā)性反應(yīng)產(chǎn)物被真空抽去。等離子清洗原理與超聲波原理不同，當(dāng)艙體里接近真空狀態(tài)時(shí)，開(kāi)啟等離子發(fā)生電源，這時(shí)氣體分子電離，產(chǎn)生等離子體，并且伴隨輝光放電現(xiàn)象，等離子體在電場(chǎng)下加速，從而在電場(chǎng)作用下高速運(yùn)動(dòng)，對(duì)物體表面發(fā)生物理碰撞，等離子的能量足以去除各種污染物，同時(shí)氧離子可以將有機(jī)污染物氧化為二氧化碳和水蒸氣排出真空艙體外。等離子清洗不需要其他的原料，只要空氣就能夠滿足要求，使用方便而且沒(méi)有污染，同時(shí)比超聲波清洗更具有的優(yōu)勢(shì)是等離子不但可以進(jìn)行表面清洗，更重要的是可以提高表面活性，等離子體與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)基團(tuán)，這些化學(xué)基團(tuán)有很高的活性，從而應(yīng)用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面，因此等離子清洗已經(jīng)成為清洗行業(yè)的主流趨勢(shì)。

目前PCB行業(yè)開(kāi)始應(yīng)用的等離子清洗系統(tǒng)多采用柵狀電極，在清洗過(guò)程中還存在一定的問(wèn)題：通電時(shí)等離子區(qū)間不均勻，反應(yīng)氣體也在柵極間流動(dòng)，導(dǎo)致氣流不易控制，最終的蝕刻均勻性差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種用于真空玻璃元件的清洗檢測(cè)系統(tǒng)，解決目前的等離子清洗系統(tǒng)存在的蝕刻均勻性差的問(wèn)題，提高產(chǎn)品的品質(zhì)。

本發(fā)明的目的通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種用于真空玻璃元件的清洗檢測(cè)系統(tǒng)，包括電極板本體，電極板本體具有一定的厚度，在電極板本體內(nèi)部開(kāi)設(shè)有循環(huán)管路，在電極板本體上安裝有與循環(huán)管路連通的管接頭。本發(fā)明是對(duì)等離子清洗系統(tǒng)的電極做出的改進(jìn)，現(xiàn)有技術(shù)中普遍的電極結(jié)構(gòu)為柵狀電極，采用管道焊接加工而成，柵板的兩端分別安裝端部管道作為連接件，用于管道的固定以及整體的安裝，其管道作為冷卻劑流道，其冷卻效果較好，柵狀電極主要由可通冷媒的鋁導(dǎo)管和接頭組合焊接而成，組件數(shù)量多，加工復(fù)雜，焊縫長(zhǎng)接點(diǎn)多；而且在這種電極板生產(chǎn)條件下PCB板產(chǎn)品的蝕刻均勻性不高，經(jīng)過(guò)申請(qǐng)人長(zhǎng)期的研究和分析，得到了產(chǎn)品蝕刻均勻性差的原因：由于柵板的管道之間存在一定的間隙，造成放電電場(chǎng)的不均勻。根據(jù)這樣的理論，申請(qǐng)人研制出了新的電極板結(jié)構(gòu)：采用板狀的電極，其表面平整均勻，放電過(guò)程中可以形成均勻的電場(chǎng)，避免出現(xiàn)部分位置電場(chǎng)疊加的問(wèn)題，徹底解決了現(xiàn)有的柵狀電極存在的放電不均勻的問(wèn)題，使得PCB板產(chǎn)品的蝕刻均勻性明顯提升，其內(nèi)部設(shè)置的循環(huán)管路用于冷卻水的流通，循環(huán)管路的開(kāi)口上安裝有接頭，便于與外部的冷卻循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行連接。

所述的循環(huán)管路包括開(kāi)設(shè)在電極板本體內(nèi)部相互垂直的多條橫向管道、縱向管道、以及安裝在橫向管道和/或縱向管道上的堵頭，堵頭將橫向管道與縱向管道連接形成循環(huán)管道。為了便于加工，利用現(xiàn)有的機(jī)加工設(shè)備可以對(duì)電極板本體進(jìn)行打孔加工，在電極板本體的內(nèi)部形成相互垂直的兩租管道，分別為橫向管道和縱向管道，每一組都包括一根或一根以上的管道，管道之間基本相互平行，而兩租管道之間相互連通，通過(guò)在管道內(nèi)安裝堵頭，將局部管道進(jìn)行封堵，將相互連通的管道封堵形成單向的循環(huán)管道，如此，根據(jù)設(shè)置的管道數(shù)量和進(jìn)出接管的位置，可以形成不同長(zhǎng)度的循環(huán)管路。

所述橫向管道、縱向管道的直徑為電極板本體厚度的60～80%。經(jīng)過(guò)多次的實(shí)驗(yàn)和分析，申請(qǐng)人發(fā)現(xiàn)橫向管道、縱向管道的直徑會(huì)影響電極電場(chǎng)的均勻性，在眾多的可能性中找到了較為合適的直徑與厚度比例，同時(shí)滿足冷卻要求與均勻度的要求。

所述的管接頭為焊接接頭。保證了管道的密封性和循環(huán)管路的連接，方便電極板的安裝，而且便于拆卸，容易更換和檢修。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下的優(yōu)點(diǎn)和有益效果：

1本發(fā)明一種用于真空玻璃元件的清洗檢測(cè)系統(tǒng)，采用板狀的電極，其表面均勻平穩(wěn)，放電過(guò)程中可以形成均勻的電場(chǎng)，避免出現(xiàn)部分位置電場(chǎng)疊加的問(wèn)題，徹底解決了現(xiàn)有的柵板電極存在的放電不均勻的問(wèn)題，使得產(chǎn)品的蝕刻較為均勻，其內(nèi)部設(shè)置的循環(huán)管路用于冷卻水的流通，從而進(jìn)行降溫，循環(huán)管路的開(kāi)口上安裝有接頭，便于與外部的冷卻循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行連接；

2本發(fā)明一種用于真空玻璃元件的清洗檢測(cè)系統(tǒng)，在電極板本體的內(nèi)部形成相互垂直的兩租管道，分別為橫向管道和縱向管道，每一組都包括一根或一根以上的管道，管道之間基本相互平行，而兩組管道之間相互連通，通過(guò)在管道內(nèi)安裝堵頭，將局部管道進(jìn)行封堵，將相互連通的管道封堵形成單向的循環(huán)管道，如此，根據(jù)設(shè)置的管道數(shù)量和進(jìn)出接管的位置，可以形成不同長(zhǎng)度的循環(huán)管路。

附圖說(shuō)明

此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的限定。在附圖中：

圖1為本發(fā)明半剖結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標(biāo)記及相應(yīng)的零部件名稱：

1-電極板本體，2-管接頭，3-橫向管道，4-縱向管道，5-堵頭。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，下面結(jié)合實(shí)施例和附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，本發(fā)明的示意性實(shí)施方式及其說(shuō)明僅用于解釋本發(fā)明，并不作為對(duì)本發(fā)明的限定。

實(shí)施例

如圖1所示，本發(fā)明一種用于真空玻璃元件的清洗檢測(cè)系統(tǒng)，包括電極板本體1，電極板本體1長(zhǎng)為180cm，寬150cm，厚度為2cm，在電極板本體1內(nèi)部開(kāi)設(shè)有兩條相互平行的橫向管道3、與橫向管道3垂直的四條縱向管道4，四條縱向管道4和兩條橫向管道3相互連通，縱向管道4和橫向管道3在電極板本體1的側(cè)面形成12個(gè)開(kāi)口，在適當(dāng)?shù)奈恢脤⑵渲?0個(gè)開(kāi)口用堵頭5進(jìn)行密封，然后在電極板本體1的內(nèi)部利用堵頭5將橫向管道3和/或縱向管道4進(jìn)行分割，形成單向的流通通道作為循環(huán)管道，根據(jù)實(shí)際的生產(chǎn)需要，循環(huán)管道的形式和流動(dòng)方向可以變化組合，橫向管道3和縱向管道4的數(shù)量、間距都可以更改，橫向管道3和縱向管道4的直徑在3～4cm，在電極板本體1的側(cè)面剩余兩個(gè)開(kāi)口用于焊接接頭作為管接頭2，作為其內(nèi)部循環(huán)管道與外部循環(huán)系統(tǒng)的連接接口。

以上所述的具體實(shí)施方式，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式而已，并不用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。