階梯型彈性波濾波器及使用其的雙工器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于在階梯型彈性波濾波器及使用其的雙工器中改善高溫時(shí)的通過特性。本發(fā)明的階梯型彈性波濾波器具備壓電基板、形成在壓電基板上且串聯(lián)連接在輸入端子和輸出端子之間的第一串聯(lián)彈性波諧振器、形成在壓電基板上且并聯(lián)連接在串聯(lián)彈性波諧振器和接地端子之間的并聯(lián)彈性波諧振器、在壓電基板上以覆蓋第一串聯(lián)彈性波諧振器的方式形成的電介質(zhì)膜。壓電基板由溫度系數(shù)為負(fù)的材料形成，而電介質(zhì)膜由溫度系數(shù)為正的材料形成，并且電介質(zhì)膜的膜厚形成得比第一串聯(lián)彈性波諧振器的頻率溫度系數(shù)為0的膜厚更厚。
【專利說明】階梯型彈性波濾波器及使用其的雙工器
[0001]本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2010年6月15日、題為“階梯型彈性波濾波器及使用其的雙工器”的發(fā)明專利申請(qǐng)201080026908.X的分案申請(qǐng)。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及階梯型彈性波濾波器及使用其的雙工器。

【背景技術(shù)】
[0003]如圖10所示，以往的階梯型彈性波濾波器100具備:壓電基板101、形成在壓電基板101上的串聯(lián)彈性波諧振器102a、以覆蓋串聯(lián)彈性波諧振器102a的方式形成在壓電基板101上的電介質(zhì)膜103a、形成在壓電基板101上的并聯(lián)彈性波諧振器102b、以及以覆蓋并聯(lián)彈性波諧振器102b的方式形成在壓電基板101上的電介質(zhì)膜103b。
[0004]在該結(jié)構(gòu)中，電介質(zhì)膜103a的膜厚Ha形成為使串聯(lián)彈性波諧振器102a的頻率溫度系數(shù)成為O。另外，電介質(zhì)膜103b的膜厚Hb形成為比膜厚Ha薄，且并聯(lián)彈性波諧振器102b的頻率溫度系數(shù)為O。
[0005]另外，作為關(guān)于本申請(qǐng)的發(fā)明的在先技術(shù)文獻(xiàn)信息，例如，已知有專利文獻(xiàn)I。
[0006]在以往的階梯型彈性波濾波器中，存在高溫時(shí)電阻損耗增大而通過特性劣化的問題。
[0007]【先行技術(shù)文獻(xiàn)】
[0008]【專利文獻(xiàn)】
[0009]【專利文獻(xiàn)I】日本特開2008-79227號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]在此，本發(fā)明的目的在于改善高溫時(shí)的通過特性。本發(fā)明的階梯型彈性波濾波器具備:壓電基板、形成在壓電基板上且串聯(lián)連接在輸入端子和輸出端子之間的第一串聯(lián)彈性波諧振器、形成在壓電基板上且并聯(lián)連接在串聯(lián)彈性波諧振器和接地端子之間的并聯(lián)彈性波諧振器、在壓電基板上以覆蓋第一串聯(lián)彈性波諧振器的方式形成的電介質(zhì)膜。壓電基板由溫度系數(shù)為負(fù)的材料形成，而電介質(zhì)膜由溫度系數(shù)為正的材料形成，而且電介質(zhì)膜的膜厚形成得比第一串聯(lián)彈性波諧振器的頻率溫度系數(shù)為O的膜厚更厚。
[0011]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，隨著溫度的上升，串聯(lián)彈性波諧振器的通過頻段向高頻側(cè)移動(dòng)。由此，即使高溫時(shí)電阻損耗增大，也能夠抑制通過頻段的右肩的通過特性的劣化。
[0012]另外，本發(fā)明的階梯型彈性波濾波器具備:壓電基板、形成在壓電基板上且串聯(lián)連接在輸入端子和輸出端子之間的串聯(lián)彈性波諧振器、形成在壓電基板上且并聯(lián)連接在串聯(lián)彈性波諧振器和接地端子之間的第一并聯(lián)彈性波諧振器、在壓電基板上以覆蓋所述第一并聯(lián)彈性波諧振器的方式形成的電介質(zhì)膜。壓電基板由溫度系數(shù)為負(fù)的材料形成，而電介質(zhì)膜由溫度系數(shù)為正的材料形成，并且，電介質(zhì)膜的膜厚形成得比第一并聯(lián)彈性波諧振器的頻率溫度系數(shù)為O的膜厚薄。
[0013]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，隨著溫度上升，并聯(lián)彈性波諧振器的通過頻段向低頻側(cè)移動(dòng)。由此，即使高溫時(shí)電阻損耗增大，也能夠抑制通過頻段的左肩的通過特性的劣化。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是實(shí)施方式I的雙工器的框圖。
[0015]圖2是說明實(shí)施方式I的雙工器的通過特性的圖。
[0016]圖3A是說明覆蓋彈性波諧振器的電介質(zhì)膜的圖。
[0017]圖3B是說明覆蓋彈性波諧振器的電介質(zhì)膜的圖。
[0018]圖4是表示覆蓋彈性波諧振器的電介質(zhì)膜的膜厚與頻率溫度特性的關(guān)系的圖。
[0019]圖5A是說明實(shí)施方式I的發(fā)送濾波器的發(fā)送特性的圖。
[0020]圖5B是說明實(shí)施方式I的發(fā)送濾波器的發(fā)送特性的圖。
[0021]圖5C是說明實(shí)施方式I的發(fā)送濾波器的發(fā)送特性的圖。
[0022]圖6說明實(shí)施方式I的發(fā)送濾波器的發(fā)送特性的圖。
[0023]圖7是實(shí)施方式2的雙工器的框圖。
[0024]圖8A是說明實(shí)施方式2的發(fā)送濾波器的發(fā)送特性的圖。
[0025]圖SB是說明實(shí)施方式2的發(fā)送濾波器的發(fā)送特性的圖。
[0026]圖SC是說明實(shí)施方式2的發(fā)送濾波器的發(fā)送特性的圖。
[0027]圖9是實(shí)施方式3的雙工器的框圖。
[0028]圖10是說明以往的覆蓋彈性波諧振器的電介質(zhì)膜的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0029]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。本發(fā)明不局限于以下這些實(shí)施方式。
[0030](實(shí)施方式I)
[0031]圖1是實(shí)施方式I的W-CDMA標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的Band2用的雙工器10的框圖。
[0032]雙工器10具備:使Band2的發(fā)送頻段(1.85GHz?1.9IGHz)的信號(hào)通過的發(fā)送濾波器11、使Band2的接收頻段(1.93GHz?1.99GHz)的信號(hào)通過的接收濾波器12、與發(fā)送濾波器11的輸出端子Ilb及接收濾波器12的輸入端子12a連接的天線端子13。
[0033]發(fā)送濾波器11具備形成在壓電基板(未圖示)上且串聯(lián)連接在輸入端子Ila和輸出端子Ilb之間的四個(gè)串聯(lián)彈性波諧振器llc、lld、lle、llf。另外，在此，以電容(容量)最大的串聯(lián)彈性波諧振器Ile為第一串聯(lián)彈性波諧振器，以其它的串聯(lián)彈性波諧振器為第二串聯(lián)彈性波諧振器。另外，發(fā)送濾波器11具備并聯(lián)連接在這些串聯(lián)彈性波諧振器Ilc?f和接地端子Ilj之間的三個(gè)并聯(lián)彈性波諧振器llg、llh、lli。
[0034]圖2為橫軸表示頻率(GHz)、縱軸表示通過特性(dB)的曲線圖，其示出發(fā)送濾波器11的發(fā)送特性21及接收濾波器12的接收特性22。
[0035]發(fā)送濾波器11需要使發(fā)送頻段的信號(hào)以低損耗通過且充分抑制接收頻段的信號(hào)。另外，接收濾波器12需要使接收頻段的信號(hào)以低損耗通過且充分抑制發(fā)送頻段的信號(hào)。
[0036]在發(fā)送濾波器11中，基于充分抑制接收頻段的信號(hào)的觀點(diǎn)來考慮，W-CDMA標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的Band2的發(fā)送頻段(1.85GHz?1.9IGHz)與接收頻段(1.93GHz?1.99GHz)的間隔(交叉帶(cross band))非常狹窄乃至達(dá)到20MHz，這一點(diǎn)成為問題。因此，需要通過使發(fā)送特性21的右肩R2非常陡峭而需要確保接收頻段的衰減。在發(fā)送特性21中，R2的陡峭度(通過特性成為_3dB的頻率與通過特性最初成為衰減極的頻率的差)為15MHz，與發(fā)送頻段的左肩Rl的陡峭度22MHz相比其陡峭度更大。
[0037]另一方面，從發(fā)送濾波器11的通過頻段的低損耗化的觀點(diǎn)來考慮，發(fā)送特性21的右肩R2的特性也是重要的。在發(fā)送特性21中，發(fā)送頻段的低頻側(cè)(1.85GHz)的通過特性為1.9dB，與此相對(duì)，發(fā)送頻段的高頻側(cè)(1.91GHz)的通過特性為2.4dB。這是因?yàn)椋l(fā)送頻段的右肩R2的陡峭度設(shè)定得比左肩Rl的陡峭度大。于是，在發(fā)送濾波器11中，發(fā)送特性21的右肩R2的通過特性成為發(fā)送頻段整體的通過特性的瓶頸。
[0038]在此，發(fā)送濾波器11的發(fā)送特性21依賴于溫度。如圖1所示，發(fā)送濾波器11具備串聯(lián)彈性波諧振器llc、lld、lle、llf及并聯(lián)彈性波諧振器llg、llh、lli，在各個(gè)壓電基板的上具備以鋁或銅等金屬為主成分的梳齒電極。因此，隨著溫度上升，梳齒電極的電阻率增大，從而發(fā)送特性21的損耗增大。因此，在發(fā)送濾波器11的設(shè)計(jì)中，需要在動(dòng)作保障的溫度范圍內(nèi)的上限溫度下使發(fā)送特性的高頻側(cè)(1.91GHz)的損耗滿足設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)。
[0039]本發(fā)明的實(shí)施方式I的發(fā)送濾波器11通過使串聯(lián)彈性波諧振器llC、lld、lle、llf的頻率溫度特性為正，隨著溫度上升使發(fā)送頻段的右肩R2向高頻側(cè)移動(dòng)，從而抑制因梳齒電極的電阻損耗造成的損耗增大。
[0040]另外，即使采用該結(jié)構(gòu)，對(duì)阻止頻段的衰減量的影響也較小。這是因?yàn)?，隨著溫度上升右肩R2向高頻側(cè)移動(dòng)，但是同時(shí)電阻損耗也增大。
[0041]另一方面，在低溫時(shí)，雖然右肩R2向低頻側(cè)移動(dòng)，但是，由于梳齒電極的電阻損耗減少，所以發(fā)送頻段的高頻側(cè)(1.91GHz)的損耗的增大受到抑制。
[0042]作為調(diào)整發(fā)送濾波器11的頻率溫度特性的方法，可列舉出對(duì)在發(fā)送濾波器11具備的壓電基板上以覆蓋串聯(lián)彈性波諧振器llc、lld、lle、llf的方式形成的電介質(zhì)膜的膜厚進(jìn)行調(diào)整的方法。
[0043]利用圖3A、圖3B對(duì)電介質(zhì)膜的膜厚進(jìn)行說明。圖3A、圖3B是說明覆蓋彈性波諧振器的電介質(zhì)膜的圖。在圖3A中，例如在使用鉭酸鋰或鈮酸鋰的壓電基板31上形成有串聯(lián)彈性波諧振器32。另外，在壓電基板31上以覆蓋串聯(lián)彈性波諧振器32的方式形成有電介質(zhì)膜33a。電介質(zhì)膜33a的膜厚為Ha。另外，如圖3B所示，電介質(zhì)膜33a也可以為在上表面設(shè)置有凸形狀的電介質(zhì)膜33b。通過設(shè)置電介質(zhì)膜33b這樣的凸形狀，能夠獲得抑制瑞利雜波(Rayleigh-mode Spur1us)等不期望的雜波的效果。
[0044]使用鉭酸鋰或鈮酸鋰等的壓電基板31在頻率溫度特性中具有一般具有負(fù)的溫度特性。因此，通過以規(guī)定的膜厚形成二氧化硅等具有正的溫度特性的電介質(zhì)膜，從而能夠調(diào)整串聯(lián)彈性波諧振器32所激振的彈性波的頻率溫度特性。
[0045]圖4表示在使用鈮酸鋰作為壓電基板31的情況下以波長(zhǎng)λ分割作為電介質(zhì)膜的二氧化硅的膜厚H的標(biāo)準(zhǔn)化膜厚(Η/λ)與串聯(lián)彈性波諧振器32所激振的彈性波的頻率溫度特性(TCF) (ppm/°C)。在圖4中，以實(shí)線表示使用鈮酸鋰的壓電基板31的旋轉(zhuǎn)Y板的截止角為-5°的情況(-5YX)，以虛線表示壓電基板31的旋轉(zhuǎn)Y板的截止角為5°的情況(5YX)，以點(diǎn)線表示壓電基板的旋轉(zhuǎn)Y板的截止角為15°的情況(15YX)。根據(jù)圖4可知，對(duì)于任意截止角的壓電基板31而言，在不形成二氧化硅的情況下(Η/λ = O)，頻率溫度特性均為大約_80ppm/°C。與此相對(duì)，通過使二氧化硅的標(biāo)準(zhǔn)化膜厚(Η/ λ )為大約0.4，頻率溫度特性大致為O。
[0046]在以往的發(fā)送濾波器中，如此以對(duì)應(yīng)于壓電基板31的溫度特性而使頻率溫度特性大致為O的方式調(diào)整二氧化硅等的電介質(zhì)膜的膜厚。
[0047]然而，對(duì)于本發(fā)明的實(shí)施方式I的發(fā)送濾波器11而言，通過使覆蓋串聯(lián)彈性波諧振器的二氧化硅等的電介質(zhì)膜的膜厚比頻率溫度特性為O的膜厚更厚，而強(qiáng)行使頻率溫度特性為正。具體而言，將覆蓋串彈性波諧振器IlC?Ilf的電介質(zhì)膜的膜厚形成得比串聯(lián)彈性波諧振器Ilc?Ilf的頻率溫度特性為O的膜厚更厚。
[0048]使用圖5Α、圖5Β對(duì)通過形成為上述結(jié)構(gòu)而獲得的效果進(jìn)行說明。圖5Α表示常溫時(shí)(25°C)的以往的發(fā)送濾波器的發(fā)送特性51和高溫時(shí)(85°C)的以往的發(fā)送濾波器的發(fā)送特性52。對(duì)于高溫時(shí)的以往的發(fā)送特性52而言，由于梳齒電極的電阻損耗增大，所以與常溫時(shí)的以往的發(fā)送特性51相比其損耗進(jìn)一步增大。其結(jié)果是，發(fā)送頻段的高頻側(cè)的通過特性在常溫時(shí)為2.4dB (點(diǎn)51a)，高溫時(shí)劣化為2.8dB (點(diǎn)52a)。
[0049]圖5B表示本實(shí)施方式I的發(fā)送濾波器11的常溫時(shí)(25°C )的發(fā)送特性53和高溫時(shí)(85°C )的發(fā)送特性54。與圖5A同樣，對(duì)于高溫時(shí)的發(fā)送特性54而言，由于梳齒電極的電阻損耗增大，所以損耗比常溫時(shí)的發(fā)送特性53有所增大。然而，決定發(fā)送特性的高頻側(cè)的特性的串聯(lián)彈性波諧振器llc、lld、lle、llf即第一串聯(lián)彈性波諧振器及第二串聯(lián)彈性波諧振器的頻率溫度特性為正。即，由于覆蓋第一串聯(lián)彈性波諧振器及第二串聯(lián)彈性波諧振器的電介質(zhì)膜的膜厚分別形成得比頻率溫度特性為O的膜厚更厚，所以串聯(lián)彈性波諧振器的頻率溫度特性為正。因此，高溫時(shí)的發(fā)送特性54比常溫時(shí)的發(fā)送特性53更向高頻側(cè)移動(dòng)。其結(jié)果是，發(fā)送頻段的高頻側(cè)的通過特性在常溫時(shí)為2.4dB(點(diǎn)53a)，在高溫時(shí)為2.6dB(點(diǎn)54a)。于是，與以往的發(fā)送濾波器相比，本實(shí)施方式I的發(fā)送濾波器11的高溫時(shí)的通過特性得到進(jìn)一步改善。另外，在本實(shí)施方式I中，雖然串聯(lián)彈性波諧振器串聯(lián)連接Ilc?f這四個(gè)彈性波諧振器，但是對(duì)于串聯(lián)彈性波諧振器的數(shù)量沒有特殊限制。例如，僅通過第一串聯(lián)彈性波諧振器構(gòu)成也能夠獲得同樣的效果。另外，第一及第二串聯(lián)彈性波諧振器的數(shù)量不特殊局限于上述的例子。
[0050](變形例)
[0051]接下來，使用圖5C說明實(shí)施方式I的變形例。圖5C表示僅將對(duì)發(fā)送濾波器11所具備的串聯(lián)彈性波諧振器llc、lld、lle、llf中的、電容最大的串聯(lián)彈性波諧振器lie (第一串聯(lián)彈性波諧振器)進(jìn)行覆蓋的電介質(zhì)膜的膜厚形成得比頻率溫度特性為O的膜厚更厚的情況下的常溫時(shí)(25°C)的發(fā)送特性55和高溫時(shí)(85°C)的發(fā)送特性56。另外，諧振器的電容，與梳齒電極的電極指的交差幅和電極指的對(duì)數(shù)的積成比例。
[0052]在圖5C中，對(duì)于高溫時(shí)的發(fā)送特性56而言，與圖5B的發(fā)送特性54(在圖5C中以點(diǎn)線表示)相比，雖然發(fā)送頻段的高頻側(cè)的通過特性56是同等的，但是阻止頻段57的衰減量增大。
[0053]使用圖6對(duì)圖5C所示的本實(shí)施方式的發(fā)送特性進(jìn)行詳細(xì)地說明。圖6的發(fā)送特性60表示發(fā)送濾波器11的發(fā)送特性。另外，發(fā)送特性61C、61d、61e、61f分別表示發(fā)送濾波器11所具備的串聯(lián)彈性波諧振器llc、lld、lle、llf的發(fā)送特性。如上述那樣，對(duì)于發(fā)送濾波器11而言，僅將對(duì)電容最大的串聯(lián)彈性波諧振器lie (第一串聯(lián)彈性波諧振器)進(jìn)行覆蓋的電介質(zhì)膜的膜厚形成得比頻率溫度特性為O的膜厚更厚。因此，隨著溫度的上升，串聯(lián)彈性波諧振器He (第一串聯(lián)彈性波諧振器)的反共振頻率62e向高頻側(cè)移動(dòng)，其他串聯(lián)彈性波諧振器llc、lld、llf (第二串聯(lián)彈性波諧振器)的反共振頻率62c、62d、62f不移動(dòng)。發(fā)送濾波器11的高頻側(cè)的衰減特性的斜度較大依存于電容最大的串聯(lián)彈性波諧振器He。因此，對(duì)于由這些發(fā)送特性61c、61d、61e、61f構(gòu)成的整體的發(fā)送特性60而言，隨著溫度的上升，僅右肩部向高頻側(cè)移動(dòng)，從而維持阻止頻段的衰減量。
[0054]另外，在本實(shí)施方式I的說明中，對(duì)發(fā)送濾波器11所具備的串聯(lián)彈性波諧振器IlcUldUleUlf中的、串聯(lián)彈性波諧振器lie的電容最大的情況進(jìn)行了說明。然而，并不局限于此，也可以構(gòu)成為其他串聯(lián)彈性波諧振器的電容最大，并僅將對(duì)該串聯(lián)彈性波諧振器進(jìn)行覆蓋的電介質(zhì)膜的膜厚形成得比頻率溫度特性為O的膜厚更厚。另外，電容最大的串聯(lián)彈性波諧振器(第一串聯(lián)彈性波諧振器)也可以為多個(gè)。
[0055]另外，例如，利用梳齒電極的電極指交差幅、電極指的對(duì)數(shù)等能夠調(diào)整彈性波諧振器的電容。
[0056]另外，通過使用本實(shí)施方式I的發(fā)送濾波器11構(gòu)成雙工器，能夠獲得可確保交叉帶的衰減特性且抑制高溫時(shí)的發(fā)送特性劣化的雙工器。
[0057]另外，本實(shí)施方式I的發(fā)送濾波器11可以為在壓電基板31的表面進(jìn)行傳播的表面彈性波，也可以為在波的傳播速度不同的介質(zhì)的邊界面進(jìn)行傳播的邊界彈性波。
[0058](實(shí)施方式2)
[0059]關(guān)于實(shí)施方式2的特征部分，以與實(shí)施方式I的區(qū)別點(diǎn)為中心進(jìn)行說明。
[0060]圖7表示Band2用的雙工器70，與圖1的雙工器10同樣，階梯型的發(fā)送濾波器71和DMS型的接收濾波器72構(gòu)成為與天線端子13連接。
[0061]通過使覆蓋該發(fā)送濾波器71的并聯(lián)彈性波諧振器71g、71h、71i的電介質(zhì)膜的膜厚形成得比頻率溫度特性為O的膜厚薄，強(qiáng)行使頻率溫度特性為負(fù)。另外，以電容最小的并聯(lián)彈性波諧振器71i為第一并聯(lián)彈性波諧振器，以其以外的并聯(lián)彈性波諧振器為第二并聯(lián)彈性波諧振器。由此，使并聯(lián)彈性波諧振器71g、71h、71i的頻率溫度特性為負(fù)，能夠改善高溫時(shí)的發(fā)送特性的左肩的通過特性。
[0062]使用圖8對(duì)本實(shí)施方式2的發(fā)送濾波器71的發(fā)送特性進(jìn)行說明。
[0063]圖8A表示常溫時(shí)(25°C)的以往的發(fā)送特性81和高溫時(shí)(85°C )的以往的發(fā)送特性82。對(duì)于高溫時(shí)的以往的發(fā)送特性82而言，由于電阻損耗增大，從而損耗比常溫時(shí)的以往的發(fā)送特性81有所增大。其結(jié)果是，發(fā)送頻段的低頻側(cè)的通過特性在常溫時(shí)為1.9dB (點(diǎn)81a)，在高溫時(shí)劣化為2.3dB (點(diǎn)82a)。
[0064]圖8B表示本實(shí)施方式2的發(fā)送濾波器71的常溫時(shí)(25°C )的發(fā)送特性83和高溫時(shí)(85°C )的發(fā)送特性84。與圖8A同樣，對(duì)于高溫時(shí)的發(fā)送特性84而言，由于電阻損耗增大，所以損耗比常溫時(shí)的發(fā)送特性83有所增大。然而，決定發(fā)送特性的低頻側(cè)的特性的并聯(lián)彈性波諧振器71g、71h、71i的頻率溫度特性為負(fù)。即，由于覆蓋第一并聯(lián)彈性波諧振器及第二并聯(lián)彈性波諧振器的電介質(zhì)膜的膜厚分別形成得比頻率溫度特性為O的膜厚薄，所以并聯(lián)彈性波諧振器的頻率溫度特性為負(fù)。因此，高溫時(shí)的發(fā)送特性84比常溫時(shí)的發(fā)送特性83向低頻側(cè)移動(dòng)。其結(jié)果是，發(fā)送頻段的低頻側(cè)的通過特性在常溫時(shí)為1.9dB (點(diǎn)83a)，在高溫時(shí)為2.2dB(點(diǎn)84a)。于是，本實(shí)施方式2的發(fā)送濾波器71與以往的發(fā)送濾波器相比能夠改善高溫時(shí)的低頻側(cè)的通過特性。另外，在本實(shí)施方式2中，雖然并聯(lián)彈性波諧振器并聯(lián)連接有71g?71i這三個(gè)彈性波諧振器，但是并聯(lián)彈性波諧振器的數(shù)量不局限于此。例如，僅由第一并聯(lián)彈性波諧振器構(gòu)成也可獲得同樣的效果。另外，第一及第二并聯(lián)彈性波諧振器的數(shù)量也不特殊局限于上述的例子。
[0065](變形例)
[0066]使用圖SC說明本實(shí)施方式2的變形例。圖SC表示僅將對(duì)發(fā)送濾波器71所具備的并聯(lián)彈性波諧振器71g、71h、71i中的、電容最小的并聯(lián)彈性波諧振器71i(第一并聯(lián)彈性波諧振器)進(jìn)行覆蓋的電介質(zhì)膜的膜厚形成得比頻率溫度特性為O的膜厚薄的情況下的常溫時(shí)(25°C )的發(fā)送特性85和高溫時(shí)(85°C )的發(fā)送特性86。
[0067]在圖8C中，對(duì)于高溫時(shí)的發(fā)送特性86而言，與圖8B的發(fā)送特性84 (在圖8C中由點(diǎn)線表示)相比，雖然發(fā)送頻段的低頻側(cè)的通過特性86a是同等的，但是阻止頻段87的衰減量有所增大。這是因?yàn)?，隨著溫度的上升，只有對(duì)發(fā)送特性的左肩的影響最大的并聯(lián)彈性波諧振器71i的共振頻率向低頻側(cè)移動(dòng)，其他并聯(lián)彈性波諧振器71g、71h的共振頻率不移動(dòng)。
[0068]另外，在圖SC的說明中，對(duì)發(fā)送濾波器71所具備的并聯(lián)彈性波諧振器71g、71h、71i中的、與天線端子13最近的并聯(lián)彈性波諧振器71i作為電容最小的第一并聯(lián)彈性波諧振器的情況進(jìn)行了說明。然而，并不局限于此，也可以構(gòu)成為其他并聯(lián)彈性波諧振器的共振頻率的電容最小，并將覆蓋該并聯(lián)彈性波諧振器的電介質(zhì)膜的膜厚形成得可以比頻率溫度特性為O的膜厚薄。
[0069]另外，例如，通過梳齒電極的電極指交差幅、電極指的對(duì)數(shù)等能夠調(diào)整彈性波諧振器的電容。
[0070]另外，通過使用本實(shí)施方式2的發(fā)送濾波器71構(gòu)成雙工器，能夠獲得在確保與發(fā)送頻段相比為低頻側(cè)的衰減特性的同時(shí)抑制高溫時(shí)的發(fā)送特性的劣化的雙工器。
[0071]另外，如在實(shí)施方式I中說明的那樣，可以將覆蓋發(fā)送濾波器71的串聯(lián)彈性波諧振器71c、71d、71e、71f的電介質(zhì)的膜厚形成得比頻率溫度特性為O的膜厚更厚。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，隨著溫度的上升，發(fā)送頻段的右肩向高頻側(cè)移動(dòng)，發(fā)送頻段的左肩向低頻側(cè)移動(dòng)。由此，即使因溫度上升而導(dǎo)致電阻損耗增大，從而能夠抑制損耗的劣化。
[0072]另外，本實(shí)施方式2的發(fā)送濾波器71可以是在壓電基板的表面進(jìn)行傳播的表面彈性波，也可以是在波的傳播速度不同的介質(zhì)的邊界面?zhèn)鞑サ倪吔鐝椥圆ā?br> [0073](實(shí)施方式3)
[0074]關(guān)于實(shí)施方式3的特征部分，以與實(shí)施方式I的區(qū)別點(diǎn)為中心進(jìn)行說明。
[0075]圖9所示的雙工器90構(gòu)成為階梯型的發(fā)送濾波器91和階梯型的接收濾波器92與天線端子13連接。
[0076]通過將覆蓋該接收濾波器92的并聯(lián)彈性波諧振器92g、92h、92i的電介質(zhì)膜的膜厚形成得比頻率溫度特性為O的膜厚薄，強(qiáng)行使頻率溫度特性為負(fù)。由此，使并聯(lián)彈性波諧振器91g、91h、91i的頻率溫度特性為負(fù)，能夠改善高溫時(shí)的接收特性的左肩的通過特性。
[0077]另外，也可以僅將對(duì)并聯(lián)彈性波諧振器92g、92h、92i中的、電容最小的并聯(lián)彈性波諧振器進(jìn)行覆蓋的電介質(zhì)膜的膜厚形成得比頻率溫度特性為O的膜厚薄。由此，能夠在維持交叉帶的衰減特性的同時(shí)改善高溫時(shí)的接收特性的左肩的通過特性。
[0078]另外，可以通過將覆蓋接收濾波器92的串聯(lián)彈性波諧振器92c、92d、92e、92f的電介質(zhì)膜的膜厚形成得比頻率溫度特性為O的膜厚更厚，強(qiáng)行使頻率溫度特性為正。由此，使串聯(lián)彈性波諧振器92C、92d、92e、92f的頻率溫度特性為正，能夠改善高溫時(shí)的接收特性的右肩的通過特性。
[0079]另外，也可以僅將對(duì)串聯(lián)彈性波諧振器92c、92d、92e、92f中的、電容最大的串聯(lián)彈性波諧振器進(jìn)行覆蓋的電介質(zhì)膜的膜厚形成得比頻率溫度特性為O的膜厚更厚。由此，在維持與接收頻段相比為高頻側(cè)的衰減特性的情況下改善高溫時(shí)的接收特性的右肩的通過特性。
[0080]另外，本實(shí)施方式3的接收濾波器92可以為在壓電基板的表面進(jìn)行傳播的表面彈性波，也可以為在波的傳播速度不同的介質(zhì)的邊界面進(jìn)行傳播的邊界彈性波。
[0081]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0082]本發(fā)明的彈性波濾波器及使用其的雙工器能夠在確保與通過頻段相比為低域側(cè)的衰減特性的情況下改善高溫時(shí)的通過特性，其可用于各種電子設(shè)備等。
[0083]【符號(hào)說明】
[0084]10、70、90 雙工器
[0085]11、71、91發(fā)送濾波器
[0086]I la、12a 輸入端子
[0087]11b、12b、12c 輸出端子
[0088]IlcUldUleUlf串聯(lián)彈性波諧振器
[0089]llg、I lh、lli并聯(lián)彈性波諧振器
[0090]llj、92j 接地端子
[0091]12、72、92接收濾波器
[0092]13天線端子
[0093]21發(fā)送特性
[0094]22接收特性
[0095]31壓電基板
[0096]32串聯(lián)彈性波諧振器
[0097]33a、33b 電介質(zhì)膜
[0098]51、52、53、54、55、56、60 發(fā)送特性
[0099]71c、71d、71e、71f串聯(lián)彈性波諧振器
[0100]71g、71h、71i并聯(lián)彈性波諧振器
[0101]81、82、83、84、85、86 發(fā)送特性
[0102]92c、92d、92e、92f串聯(lián)彈性波諧振器
[0103]92g、92h、92i并聯(lián)彈性波諧振器
[0104]100階梯型彈性波濾波器
[0105]101壓電基板
[0106]102a串聯(lián)彈性波諧振器
[0107]102b并聯(lián)彈性波諧振器
[0108] 103a、103b 電介質(zhì)膜
【權(quán)利要求】
1.一種階梯型彈性波濾波器，包括: 壓電基板； 第一串聯(lián)彈性波諧振器，其形成在所述壓電基板上，且連接在輸入端子和輸出端子之間，所述第一串聯(lián)彈性波諧振器具有第一電容；以及 第二串聯(lián)彈性波諧振器，其與所述第一串聯(lián)彈性波諧振器串聯(lián)連接在所述輸入端子和所述輸出端子之間，且具有第二電容，所述第一串聯(lián)彈性波諧振器的第一電容大于所述第二串聯(lián)彈性波諧振器的第二電容。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述壓電基板由負(fù)溫度系數(shù)的材料形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的階梯型彈性波濾波器，還包括電介質(zhì)膜，其形成在所述壓電基板上且覆蓋所述第一串聯(lián)彈性波諧振器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述電介質(zhì)膜由正溫度系數(shù)的材料形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的階梯型彈性波濾波器，還包括并聯(lián)彈性波諧振器，其形成在所述壓電基板上，且并聯(lián)連接在所述第一串聯(lián)彈性波諧振器和接地端子之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述第一串聯(lián)彈性波諧振器的通過頻段隨著溫度上升而向高頻側(cè)移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述第一串聯(lián)彈性波諧振器的反諧振頻率隨著溫度上升而移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述第二串聯(lián)彈性波諧振器的反諧振頻率不隨溫度上升而移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的階梯型彈性波濾波器，還包括形成在所述壓電基板上的電介質(zhì)膜，所述電介質(zhì)膜覆蓋所述第一串聯(lián)彈性波諧振器和所述第二串聯(lián)彈性波諧振器，所述電介質(zhì)膜由正溫度系數(shù)的材料形成，所述電介質(zhì)膜的厚度比所述第一串聯(lián)彈性波諧振器的通過特性的頻率溫度系數(shù)為O的膜厚更厚。
10.根據(jù)權(quán)利要求3或9所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述電介質(zhì)膜包括形成在所述電介質(zhì)膜的頂部表面上的凸部。
11.一種階梯型彈性波濾波器，包括: 壓電基板； 多個(gè)串聯(lián)彈性波諧振器，其形成在所述壓電基板上，且串聯(lián)連接在輸入端子和輸出端子之間； 第一并聯(lián)彈性波諧振器，其形成在所述壓電基板上，且并聯(lián)連接在所述多個(gè)串聯(lián)彈性波諧振器和接地端子之間，所述第一并聯(lián)彈性波諧振器具有第一電容； 第二并聯(lián)彈性波諧振器，其并聯(lián)連接在所述多個(gè)串聯(lián)彈性波諧振器和所述接地端子之間，且具有第二電容，所述第一并聯(lián)彈性波諧振器的第一電容小于所述第二并聯(lián)彈性波諧振器的第二電容。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述壓電基板由負(fù)溫度系數(shù)的材料形成。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的階梯型彈性波濾波器，還包括電介質(zhì)膜，其形成在所述壓電基板上且覆蓋所述第一并聯(lián)彈性波諧振器。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述電介質(zhì)膜由正溫度系數(shù)的材料形成。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的階梯型彈性波濾波器，還包括形成在所述壓電基板上的電介質(zhì)膜，所述電介質(zhì)膜覆蓋所述多個(gè)串聯(lián)彈性波諧振器，所述電介質(zhì)膜由正溫度系數(shù)的材料形成，所述電介質(zhì)膜的厚度比所述多個(gè)串聯(lián)彈性波諧振器的通過特性的頻率溫度系數(shù)為O的膜厚更厚。
16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述第一并聯(lián)彈性波諧振器的通過頻段隨著溫度上升而向低頻側(cè)移動(dòng)。
17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述第一并聯(lián)彈性波諧振器的諧振頻率隨著溫度上升而移動(dòng)。
18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的階梯型彈性波濾波器，其中，所述第二并聯(lián)彈性波諧振器的諧振頻率不隨溫度上升而移動(dòng)。
19.根據(jù)權(quán)利要求11所述的階梯型彈性波濾波器，還包括形成在所述壓電基板上的電介質(zhì)膜，所述電介質(zhì)膜覆蓋所述第一并聯(lián)彈性波諧振器和所述第二并聯(lián)彈性波諧振器，所述電介質(zhì)膜由正溫度系數(shù)的材料形成，所述電介質(zhì)膜的厚度比所述第一并聯(lián)彈性波諧振器的通過特性的頻率溫度系數(shù)為O的膜厚更薄。
20.一種階梯型彈性波濾波器，包括: 壓電基板； 第一串聯(lián)彈性波諧振器，其形成在所述壓電基板上，且連接在輸入端子和輸出端子之間，所述第一串聯(lián)彈性波諧振器具有第一電容； 第二串聯(lián)彈性波諧振器，其與所述第一串聯(lián)彈性波諧振器串聯(lián)連接在所述輸入端子和所述輸出端子之間，且具有第二電容，所述第一串聯(lián)彈性波諧振器的第一電容大于所述第二串聯(lián)彈性波諧振器的第二電容； 第一并聯(lián)彈性波諧振器，其形成在所述壓電基板上，且并聯(lián)連接在所述第一串聯(lián)彈性波諧振器和接地端子之間，所述第一并聯(lián)彈性波諧振器具有第三電容； 第二并聯(lián)彈性波諧振器，其并聯(lián)連接在所述第一串聯(lián)彈性波諧振器和所述接地端子之間，且具有第四電容，所述第一并聯(lián)彈性波諧振器的第三電容小于所述第二并聯(lián)彈性波諧振器的第四電容。
21.—種雙工器，包括: 權(quán)利要求ι-?ο中的任一項(xiàng)所述的階梯型彈性波濾波器；以及 濾波器，其使具有比所述階梯型彈性波濾波器的通過頻段更高的頻率的信號(hào)通過。
22.—種雙工器，包括: 權(quán)利要求11-19中的任一項(xiàng)所述的階梯型彈性波濾波器；以及 濾波器，其使具有比所述階梯型彈性波濾波器的通過頻段更低的頻率的信號(hào)通過。
23.一種電子設(shè)備，包括權(quán)利要求21或22所述的雙工器。
【文檔編號(hào)】H03H9/64GK104485918SQ201410789454
【公開日】2015年4月1日 申請(qǐng)日期:2010年6月15日 優(yōu)先權(quán)日:2009年6月18日
【發(fā)明者】鶴成哲也, 后藤令, 中村弘幸 申請(qǐng)人:天工松下濾波方案日本有限公司