專利名稱：彎曲振動(dòng)片、振子、振蕩器以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及彎曲振動(dòng)片、具有該彎曲振動(dòng)片的振子、振蕩器以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
以往，眾所周知，當(dāng)彎曲振動(dòng)片小型化時(shí)，Q值(表示振動(dòng)狀態(tài)的無(wú)量綱數(shù)，其值越大，意味著振動(dòng)越穩(wěn)定)變小，阻礙彎曲振動(dòng)。這是由熱彈性效應(yīng)造成的，所述熱彈性效應(yīng)是由于弛豫振動(dòng)與彎曲振動(dòng)片的振動(dòng)頻率相接近而引起的，其中，弛豫振動(dòng)與通過(guò)熱移動(dòng)達(dá)到溫度平衡為止的弛豫時(shí)間成反比。即，隨著彎曲振動(dòng)片進(jìn)行彎曲振動(dòng)而產(chǎn)生彈性變形， 被壓縮面的溫度上升，被拉伸面的溫度下降，所以，在彎曲振動(dòng)片的內(nèi)部產(chǎn)生溫度差。由于與通過(guò)熱傳導(dǎo)使該溫度差達(dá)到溫度平衡的弛豫時(shí)間成反比的弛豫振動(dòng)的作用，阻礙了彎曲振動(dòng)，使Q值降低。因此，在專利文獻(xiàn)1中，在彎曲振動(dòng)片的彎曲振動(dòng)部中形成了槽或貫通孔，阻止從振子的被壓縮面向被拉伸面產(chǎn)生的熱移動(dòng)，抑制了因熱彈性效應(yīng)引起的Q值變動(dòng)。并且，在專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了一種壓電同步音叉型諧振器(以下稱為彎曲振動(dòng)片)，該壓電同步音叉型諧振器具有基座(以下稱為基部)，從該基座延伸出平行的第1和第2振動(dòng)臂(以下稱為振動(dòng)臂)；鰭形狀的擴(kuò)大部分(以下稱為施重部)，其形成各振動(dòng)臂的自由端；激發(fā)電極(以下稱為激勵(lì)電極)，其使各振動(dòng)臂進(jìn)行振動(dòng)；以及槽(以下稱為槽部)，其形成在各振動(dòng)臂的正面和背面的至少一方上。專利文獻(xiàn)1日本實(shí)全平2-322 號(hào)公報(bào)(第4頁(yè)第7行 第5頁(yè)第3行)專利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2009-27711號(hào)公報(bào)(圖1、圖la)專利文獻(xiàn)1所記載的這種具有槽部的彎曲振動(dòng)片構(gòu)成為，因彎曲振動(dòng)產(chǎn)生的熱量很難通過(guò)槽部進(jìn)行擴(kuò)散(熱傳導(dǎo))，所以，能夠抑制熱彈性損失(由進(jìn)行彎曲振動(dòng)的彎曲振動(dòng)片的壓縮部與拉伸部之間產(chǎn)生的熱傳導(dǎo)引起的振動(dòng)能量的損失)。但是，在上述這種具有槽部的彎曲振動(dòng)片中，與振動(dòng)臂的其他部分相比，在振動(dòng)臂的與基部連接的連接部中具有因彎曲振動(dòng)產(chǎn)生的應(yīng)力更大的部分，因此，溫度上升和下降的溫度差也更大。而且，在位于振動(dòng)臂的與基部連接的連接部處的槽部中，從其表面的振動(dòng)臂寬度方向的一側(cè)到另一側(cè)連續(xù)地形成了激勵(lì)電極。由此，本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在位于連接部處的槽部中形成的由熱傳導(dǎo)率高的金屬構(gòu)成的激勵(lì)電極加劇了振動(dòng)臂的與基部連接的連接部處的熱傳導(dǎo)，所以，很可能導(dǎo)致熱彈性損失增加，Q值降低。此外，根據(jù)專利文獻(xiàn)2的圖1，上述彎曲振動(dòng)片在振動(dòng)臂與基部之間以如下方式設(shè)有傾斜部(錐形部分)在平面視圖中，隨著從振動(dòng)臂接近基部，從槽部到外形的間隔變寬。而且，根據(jù)專利文獻(xiàn)2的圖1和圖la，在上述彎曲振動(dòng)片中，槽部中形成的激勵(lì)電極延伸到上述連接部的范圍，并且，在槽部的內(nèi)壁上，從振動(dòng)臂寬度方向的一端側(cè)到另一端側(cè)連續(xù)地形成了激勵(lì)電極。由此，本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在上述彎曲振動(dòng)片中，在位于傾斜部處的槽部的底部形成的由熱傳導(dǎo)率高的金屬構(gòu)成的激勵(lì)電極加劇了基本對(duì)振動(dòng)臂的彎曲振動(dòng)的激勵(lì)沒(méi)有貢獻(xiàn)的傾斜部中的熱傳導(dǎo)，所以，很可能導(dǎo)致熱彈性損失增加，Q值降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，可作為以下形式或應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。[應(yīng)用例1]本應(yīng)用例的彎曲振動(dòng)片的特征在于，該彎曲振動(dòng)片具有基部；以及振動(dòng)臂，其從所述基部延伸出來(lái)，在靠所述基部的一側(cè)具有與該基部連接的連接部，該振動(dòng)臂進(jìn)行彎曲振動(dòng)，所述振動(dòng)臂在主面上具有槽部，該槽部沿著所述振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向形成，且延伸設(shè)置到所述連接部，在所述槽部中配置有激勵(lì)電極，在所述振動(dòng)臂中，所述槽部的一部分被配置在所述連接部上，并且具有未形成所述激勵(lì)電極的無(wú)電極區(qū)域。由此，在彎曲振動(dòng)片中，槽部的一部分被配置在連接部上，并且在其至少一部分上具有未形成激勵(lì)電極的無(wú)電極區(qū)域。其結(jié)果，在彎曲振動(dòng)片中，在配置于振動(dòng)臂的連接部處的槽部的無(wú)電極區(qū)域中，與形成有激勵(lì)電極的情況相比，熱傳導(dǎo)率降低，所以，例如，從彎曲振動(dòng)的壓縮部向拉伸部的熱移動(dòng)變慢，能夠抑制連接部的熱彈性損失。因此，與在配置于振動(dòng)臂的連接部處的槽部中形成有電極的情況相比，彎曲振動(dòng)片能夠提高Q值。[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例的彎曲振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，所述振動(dòng)臂在所述連接部中具有如下形狀隨著從所述振動(dòng)臂的末端側(cè)接近靠所述基部的一側(cè)，從所述主面上的所述槽部到所述振動(dòng)臂的外緣的寬度變寬。由此，彎曲振動(dòng)片在連接部中，隨著從振動(dòng)臂的末端側(cè)接近基部側(cè)，從主面上的槽部到振動(dòng)臂的外形的間隔變寬，在配置于連接部處的槽部的至少一部分中具有未形成激勵(lì)電極的無(wú)電極區(qū)域。其結(jié)果，由于上述原因，彎曲振動(dòng)片能夠抑制連接部處的熱彈性損失，能夠提高Q值。[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例的彎曲振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，所述激勵(lì)電極具有第1激勵(lì)電極部和第2激勵(lì)電極部，所述槽部的所述一部分在其內(nèi)壁的所述振動(dòng)臂的寬度方向的一側(cè)配置有所述第1激勵(lì)電極部，在另一側(cè)配置有所述第2激勵(lì)電極部，所述無(wú)電極區(qū)域被配置在所述第1激勵(lì)電極部與所述第2激勵(lì)電極部之間。由此，彎曲振動(dòng)片在槽部的一部分的內(nèi)壁上的振動(dòng)臂寬度方向的一側(cè)配置有第1 激勵(lì)電極部，在另一側(cè)配置有第2激勵(lì)電極部，所以，與在配置于連接部處的槽部中未形成激勵(lì)電極的情況相比，能夠降低CI (晶體阻抗)值(作為表示振蕩的容易程度的基準(zhǔn)的值， 其值越小，越容易振蕩)。[應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例的彎曲振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，所述槽部具有沿著所述振動(dòng)臂的所述長(zhǎng)度方向的第1側(cè)面；沿著所述振動(dòng)臂的所述長(zhǎng)度方向的第2側(cè)面；以及形成所述槽部的底的底部，其連接所述第1側(cè)面與所述第2側(cè)面，所述底部的一部分被配置于所述連接部，并且在其至少一部分中具有所述無(wú)電極區(qū)域，在平面視圖中，所述槽部在所述第 1側(cè)面和所述第2側(cè)面的整個(gè)區(qū)域中具有所述激勵(lì)電極。
由此，彎曲振動(dòng)片在槽部的第1側(cè)面和第2側(cè)面的整個(gè)區(qū)域中具有激勵(lì)電極，所以，與后述的在槽部的第1側(cè)面和第2側(cè)面的一部分中具有激勵(lì)電極的情況相比，能夠降低 CI值。因此，與在槽部的第1側(cè)面和第2側(cè)面的一部分中具有激勵(lì)電極的情況相比，彎曲振動(dòng)片能夠提高Q值。[應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例1或應(yīng)用例2的彎曲振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，所述槽部具有沿著所述振動(dòng)臂的所述長(zhǎng)度方向的第1側(cè)面；沿著所述振動(dòng)臂的所述長(zhǎng)度方向的第2 側(cè)面；以及形成所述槽部的底的底部，其連接所述第1側(cè)面與所述第2側(cè)面，所述底部的一部分被配置于所述連接部，并且在其至少一部分中具有所述無(wú)電極區(qū)域，在平面視圖中，所述槽部在所述第1側(cè)面的一部分和所述第2側(cè)面的一部分中具有所述激勵(lì)電極。由此，彎曲振動(dòng)片在槽部的第1側(cè)面和第2側(cè)面的一部分中具有激勵(lì)電極，所以， 與上述的在第1側(cè)面和第2側(cè)面的整個(gè)區(qū)域中具有激勵(lì)電極的情況相比，能夠降低負(fù)載電容敏感度(表示與負(fù)載電容的變化對(duì)應(yīng)的頻率變化的程度，其值越小，頻率的變動(dòng)越小)。因此，與在槽部的第1側(cè)面和第2側(cè)面的整個(gè)區(qū)域中具有激勵(lì)電極的情況相比，彎曲振動(dòng)片能夠抑制例如因浮游容量等引起的頻率變動(dòng)。[應(yīng)用例6]在上述應(yīng)用例的彎曲振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，被配置于所述連接部的所述底部具有以如下方式構(gòu)成的斜面隨著從靠所述基部的一側(cè)朝向所述振動(dòng)臂的所述末端側(cè)，所述槽部變深，在所述斜面上具有所述無(wú)電極區(qū)域。由此，在彎曲振動(dòng)片中，槽部的底部具有以如下方式傾斜的斜面隨著從基部側(cè)朝向振動(dòng)臂的末端側(cè)，槽部變深，在該斜面上具有無(wú)電極區(qū)域，所以，例如，能夠避免在形成無(wú)電極區(qū)域形成時(shí)進(jìn)行的電極保護(hù)膜(抗蝕劑)的光刻中、因光的反射而向非曝光部分(第 1側(cè)面和第2側(cè)面等)照射曝光用光。[應(yīng)用例7]在上述應(yīng)用例的彎曲振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，所述振動(dòng)臂具有位于靠所述基部的一側(cè)的臂部、以及比所述臂部更靠所述末端側(cè)的施重部。由此，在彎曲振動(dòng)片中，振動(dòng)臂具有位于基部側(cè)的臂部、以及比臂部更靠末端側(cè)的施重部，所以，利用因施重部的慣性質(zhì)量的增加而實(shí)現(xiàn)的Q值的提高效果，例如，既能維持Q 值又能縮短振動(dòng)臂。因此，彎曲振動(dòng)片既能維持Q值又能進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)小型化。另一方面，在彎曲振動(dòng)片具有施重部的情況下，例如與不具有施重部的情況相比， 彎曲振動(dòng)中的連接部處的變形增大(產(chǎn)生的熱量增大)。但是，在彎曲振動(dòng)片中，在位于傾斜部處的槽部的底部的無(wú)電極區(qū)域中，與形成有電極的情況相比，熱傳導(dǎo)率降低，所以，從壓縮部向拉伸部的熱移動(dòng)變慢，在具有施重部的情況下，能夠更加有效地抑制連接部的熱彈性損失。[應(yīng)用例8]在上述應(yīng)用例的彎曲振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，該彎曲振動(dòng)片具有多個(gè)所述振動(dòng)臂，且包含所述多個(gè)振動(dòng)臂和所述基部而構(gòu)成音叉。由此，彎曲振動(dòng)片包含多個(gè)振動(dòng)臂和基部而構(gòu)成音叉，所以，能夠提供起到上述應(yīng)用例1 應(yīng)用例7中的任一例的效果的音叉型彎曲振動(dòng)片。[應(yīng)用例9]本應(yīng)用例的振子的特征在于，該振子具有應(yīng)用例1 應(yīng)用例8中的任一例所述的彎曲振動(dòng)片；以及收納所述彎曲振動(dòng)片的封裝。
由此，振子具有應(yīng)用例1 應(yīng)用例8中的任一例所述的振動(dòng)片，所以，能夠提供起到上述應(yīng)用例1 應(yīng)用例8中的任一例的效果的振子。[應(yīng)用例10]本應(yīng)用例的振蕩器的特征在于，該振蕩器具有應(yīng)用例1 應(yīng)用例8 中的任一例所述的彎曲振動(dòng)片；以及電路元件，其具有使所述彎曲振動(dòng)片進(jìn)行振蕩的電路。由此，振蕩器具有應(yīng)用例1 應(yīng)用例8中的任一例所述的彎曲振動(dòng)片，所以，能夠提供起到上述應(yīng)用例1 應(yīng)用例8中的任一例的效果的振蕩器。[應(yīng)用例11]本應(yīng)用例的電子設(shè)備的特征在于，該電子設(shè)備具有應(yīng)用例1 應(yīng)用例 8中的任一例所述的彎曲振動(dòng)片。由此，電子設(shè)備具有應(yīng)用例1 應(yīng)用例8中的任一例所述的彎曲振動(dòng)片，所以，能夠提供起到上述應(yīng)用例1 應(yīng)用例8中的任一例的效果的電子設(shè)備。


圖1是示出第1實(shí)施方式的彎曲振動(dòng)片的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，(a)是平面圖，(b)、 (c)是(a)的截面圖。圖2是示出彎曲振動(dòng)片的弛豫頻率與Q值的極小值之間的關(guān)系的圖。圖3是示出變形例1的彎曲振動(dòng)片的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，(a)是平面圖，(b)是(a) 的截面圖。圖4是示出變形例2的彎曲振動(dòng)片的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，(a)是平面圖，(b)是(a) 的截面圖。圖5是變形例3的彎曲振動(dòng)片的要部的截面示意圖。圖6是示出第2實(shí)施方式的振子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，(a)是平面圖，(b)是(a) 的截面圖。圖7是示出第3實(shí)施方式的振蕩器的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，(a)是平面圖，(b)是(a) 的截面圖。圖8是示出第4實(shí)施方式的電子設(shè)備的立體示意圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明1、2、3、4 作為彎曲振動(dòng)片的石英振動(dòng)片；5 作為振子的石英振子；6 作為振蕩器的石英振蕩器；IOa —個(gè)主面；IOb 另一個(gè)主面；11 基部；12 振動(dòng)臂；1加、1沘側(cè)面； 13 振動(dòng)臂;13a、13b 側(cè)面；14 切口部；15 支承部；16 臂部；17 施重部；18 槽部；18a 第1側(cè)面；18b 第2側(cè)面；18c 底部；18d、18e 連接部；18f 斜面；19 傾斜部；20,21 作為電極的激勵(lì)電極；20a、21a 第1激勵(lì)電極部；20b、21b 第2激勵(lì)電極部；20c、21c 安裝電極；22、23 連接電極；80 封裝；81 封裝基座；82 接縫環(huán)；83 外部連接端子；84 導(dǎo)電性粘接劑；85 蓋體；86 貫通孔；87 密封件；88 連接焊盤(pán)；91 作為電路元件的IC芯片；92 金屬線；700 作為電子設(shè)備的便攜電話；701 液晶顯示裝置；702 操作按鈕；703 接聽(tīng)口 ； 704 通話口。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的具體化的實(shí)施方式。(第1實(shí)施方式)
圖1是示出第1實(shí)施方式的彎曲振動(dòng)片的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，圖1(a)是平面圖， 圖1(b)是圖1(a)的A-A線處的截面圖，圖1(c)是圖1(a)的B-B線處的截面圖。另外，在圖1(a)中，為了便于說(shuō)明，針對(duì)電極部分繪上了陰影、網(wǎng)格，并且，為了不復(fù)雜化，對(duì)電極部分進(jìn)行簡(jiǎn)化并省略了其一部分。并且，在圖1(c)中，省略了結(jié)構(gòu)要素的一部分(支承部)的截面。如圖1所示，關(guān)于作為彎曲振動(dòng)片的石英振動(dòng)片1，將從石英原石等上以規(guī)定角度切出的晶片狀的石英基板作為基材，通過(guò)使用了光刻技術(shù)的濕蝕刻等形成了外形形狀。石英振動(dòng)片1具有基部11 ；從基部11延伸出來(lái)的彼此大致平行的一對(duì)振動(dòng)臂 12,13 ；一對(duì)切口部14，它們是在與振動(dòng)臂12、13的延伸方向交叉的方向(紙面左右方向) 即振動(dòng)臂12、13的寬度方向上，從兩側(cè)切挖基部11而構(gòu)成的；以及一對(duì)支承部15，它們從基部11向紙面左右方向突出，并朝向振動(dòng)臂12、13側(cè)彎折成大致直角，進(jìn)而沿著振動(dòng)臂12、 13延伸。一對(duì)振動(dòng)臂12、13具有位于基部11側(cè)的臂部16、以及比臂部16更靠末端側(cè)且寬度比臂部16寬的施重部17。而且，一對(duì)振動(dòng)臂12、13在相互面對(duì)的兩個(gè)主面10a、10b上具有槽部18，該槽部 18沿著振動(dòng)臂12、13的長(zhǎng)度方向形成，并且形成為，使得沿著一對(duì)振動(dòng)臂12、13的排列方向 (紙面左右方向)切斷的振動(dòng)臂12、13的截面形狀成為大致H字狀。石英振動(dòng)片1在振動(dòng)臂12、13的與基部11相鄰的連接部處，設(shè)有以如下方式構(gòu)成的傾斜部19，即在平面視圖中，隨著從振動(dòng)臂12、13接近基部11，從槽部18到外形的間隔變寬。石英振動(dòng)片1在一對(duì)振動(dòng)臂12、13的槽部18、一個(gè)主面10a、另一個(gè)主面10b、以及一對(duì)振動(dòng)臂12、13的相互面對(duì)的側(cè)面12a、12b、13a、13b等上，形成(配置)有激勵(lì)電極
20,21ο這里，對(duì)形成在槽部18中的激勵(lì)電極20、21進(jìn)行說(shuō)明。如圖1(b)所示，槽部18具有底部18c ；沿著振動(dòng)臂12、13的長(zhǎng)度方向的第1側(cè)面18a，其相對(duì)于底部18c位于振動(dòng)臂12、13的寬度方向的一側(cè)；以及沿著振動(dòng)臂12、13的長(zhǎng)度方向的第2側(cè)面18b，其相對(duì)于底部18c位于振動(dòng)臂12、13的寬度方向的另一側(cè)。而且，臂部16上的槽部18的激勵(lì)電極20、21連續(xù)地形成在沿著槽部18的長(zhǎng)度方向的第1側(cè)面18a、底部18c、以及隔著底部18c與第1側(cè)面18a相對(duì)的第2側(cè)面18b上。另一方面，如圖1(c)所示，在底部18c中的位于傾斜部19處的底部18c的至少一部分(這里為位于傾斜部19處的底部18c的全部，相當(dāng)于上述應(yīng)用例中記載的“槽部的一部分”)中，在從與第1側(cè)面18a連接的連接部18d到與第2側(cè)面18b連接的連接部18e 的范圍內(nèi)，設(shè)有未形成激勵(lì)電極20、21的無(wú)電極區(qū)域(圖1(a)中引出了標(biāo)號(hào)18c的空白部分)。而且，在位于傾斜部19處的第1側(cè)面18a上形成(配置)有作為激勵(lì)電極20、21 的一部分的第1激勵(lì)電極部20a、21a，在位于傾斜部19處的第2側(cè)面18b上形成(配置) 有作為激勵(lì)電極20、21的一部分的第2激勵(lì)電極部20b、21b。另外，石英振動(dòng)片1在槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的整個(gè)區(qū)域中具有激勵(lì)電極20、21。
如圖1所示，石英振動(dòng)片1包含基部11和一對(duì)振動(dòng)臂12、13而構(gòu)成音叉，由此，成為作為音叉型彎曲振動(dòng)片的音叉型石英振動(dòng)片，且石英振動(dòng)片1在支承部15的規(guī)定位置處被固定到封裝等外部部件上。而且，對(duì)于石英振動(dòng)片1，通過(guò)從外部對(duì)形成在一對(duì)振動(dòng)臂12、13上的激勵(lì)電極 20、21施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)，由此，一對(duì)振動(dòng)臂12、13以規(guī)定頻率(例如32. 768kHz)在箭頭C方向和箭頭D方向上交替進(jìn)行彎曲振動(dòng)(諧振)。這里，對(duì)形成在一對(duì)振動(dòng)臂12、13上的激勵(lì)電極20、21進(jìn)行詳細(xì)敘述。在一對(duì)振動(dòng)臂12、13上，形成有從外部施加的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的施加電位的極性相互不同的激勵(lì)電極20和激勵(lì)電極21。因此，激勵(lì)電極20和激勵(lì)電極21以不短接的方式相互隔開(kāi)間隔地形成。如圖1(b)、圖1(c)所示，在振動(dòng)臂12的槽部18中形成有激勵(lì)電極20，在振動(dòng)臂 12的兩個(gè)側(cè)面12a、12b上形成有激勵(lì)電極21。另外，振動(dòng)臂12的兩個(gè)側(cè)面12a、12b的激勵(lì)電極21經(jīng)由形成在施重部17上的連接電極22 (參照?qǐng)D1(a))而相互連接。另一方面，在振動(dòng)臂13的槽部18中形成有激勵(lì)電極21，在振動(dòng)臂13的兩個(gè)側(cè)面 13aU3b上形成有激勵(lì)電極20。另外，振動(dòng)臂13的兩個(gè)側(cè)面13a、13b的激勵(lì)電極20經(jīng)由形成在施重部17上的連接電極23 (參照?qǐng)D1(a))而相互連接。并且，振動(dòng)臂12的槽部18的一個(gè)主面IOa側(cè)的激勵(lì)電極20與另一個(gè)主面IOb側(cè)的激勵(lì)電極20經(jīng)由形成在振動(dòng)臂13的兩個(gè)側(cè)面13a、i;3b上的激勵(lì)電極20而連接。另一方面，振動(dòng)臂13的槽部18的一個(gè)主面IOa側(cè)的激勵(lì)電極21與另一個(gè)主面 IOb側(cè)的激勵(lì)電極21經(jīng)由形成在振動(dòng)臂12的兩個(gè)側(cè)面12a、12b上的激勵(lì)電極21而連接。如圖1(a)所示，激勵(lì)電極20、21經(jīng)由基部11被引出到支承部15，引出的部分成為在固定到封裝等外部部件上時(shí)使用的安裝電極20c、21c。另外，安裝電極20c、21c形成在一個(gè)主面IOa和另一個(gè)主面IOb雙方上。這里，對(duì)激勵(lì)電極20、21的形成方法的概略進(jìn)行說(shuō)明。關(guān)于激勵(lì)電極20、21，利用蒸鍍、濺射等方法在石英振動(dòng)片1的大致整個(gè)表面上進(jìn)行M、Cr、AU、Ag、Al、CU等電極材料的成膜，以覆蓋成膜后的電極材料的方式涂布感光性的抗蝕劑，使用光刻技術(shù)等，根據(jù)期望的電極圖案形狀對(duì)抗蝕劑進(jìn)行曝光、構(gòu)圖后，利用蝕刻去除露出電極材料的無(wú)用部分，由此，形成為期望的電極圖案形狀。另外，石英的熱傳導(dǎo)率為大約6. 2 大約10.41/(!11*1()，作為激勵(lì)電極20、21的電極材料的例如Au的熱傳導(dǎo)率為大約315W/(m · K)，Au的熱傳導(dǎo)率更高，且高出到不同的位。這對(duì)于其他電極材料(Ni、Cr等)也是如此。接著，對(duì)熱彈性損失以及弛豫頻率進(jìn)行說(shuō)明。為了簡(jiǎn)便，使用1個(gè)振動(dòng)臂12進(jìn)行說(shuō)明。在石英振動(dòng)片1處于振動(dòng)狀態(tài)、且振動(dòng)臂12向其寬度方向的一側(cè)進(jìn)行振動(dòng)的期間，在振動(dòng)臂12的寬度方向的一側(cè)作用拉伸應(yīng)力， 在另一側(cè)作用壓縮應(yīng)力。一般而言，作用于振動(dòng)臂12的與基部11相鄰的連接部處的拉伸應(yīng)力和壓縮應(yīng)力大于作用于振動(dòng)臂12的末端側(cè)的各個(gè)應(yīng)力。此時(shí)，在作用了壓縮應(yīng)力的區(qū)域中，溫度上升，在作用了拉伸應(yīng)力的區(qū)域中，溫度下降。關(guān)于石英振動(dòng)片1，為了在進(jìn)行彎曲振動(dòng)的振動(dòng)臂12的承受壓縮應(yīng)力的壓縮部與承受拉伸應(yīng)力的拉伸部之間實(shí)現(xiàn)溫度平衡而產(chǎn)生熱移動(dòng)(熱傳導(dǎo))，由于該熱移動(dòng)的原因而產(chǎn)生振動(dòng)能量的損失。因這種熱傳導(dǎo)而產(chǎn)生的Q值降低被稱為熱彈性損失。對(duì)于一般因溫度差產(chǎn)生的固體的內(nèi)部摩擦，根據(jù)廣泛公知的變形與應(yīng)力的關(guān)系式，將熱彈性損失解釋為在彎曲振動(dòng)模式的振動(dòng)片中，當(dāng)頻率變化時(shí)，在弛豫頻率fm = 1/2 π τ (這里，Ji是圓周率、τ是弛豫時(shí)間)處，Q值極小。當(dāng)一般性地表達(dá)該Q值與頻率的關(guān)系時(shí)，成為示出了彎曲振動(dòng)片的弛豫頻率與Q 值的極小值之間的關(guān)系的圖2的曲線F。在該圖中，Q值為極小QO時(shí)的頻率是熱弛豫頻率
f0( = 1/2 π τ )。并且，以f/fO = 1為界，頻率較高的區(qū)域(1 < f/fO)是絕熱區(qū)域，頻率較低的區(qū)域(f/fO < 1)是等溫區(qū)域。在石英振動(dòng)片1的振動(dòng)臂12、13上形成了槽部18時(shí)，壓縮部與拉伸部之間的熱傳導(dǎo)路徑因槽部而中途變窄，所以，在石英振動(dòng)片1中，到達(dá)壓縮部與拉伸部的溫度成為平衡狀態(tài)為止的弛豫時(shí)間τ變長(zhǎng)。由此，石英振動(dòng)片1通過(guò)在圖2所示的絕熱區(qū)域中形成槽部18，由此，曲線F自身的形狀未發(fā)生變化，而是隨著熱弛豫頻率f0的降低，曲線F在頻率降低的方向上移位至曲線Fl的位置。另外，曲線Fl表示在槽部18中完全未形成電極(激勵(lì)電極20、21)的狀態(tài)。其結(jié)果，如箭頭a所示，石英振動(dòng)片1的Q值提高。但是，石英振動(dòng)片1通過(guò)在槽部18中形成激勵(lì)電極20、21，由此，曲線F移位至曲線F2的位置，如箭頭b所示，Q值降低。作為其原因，認(rèn)為是由于激勵(lì)電極20、21形成了熱傳導(dǎo)路徑。S卩，如上所述，電極材料那樣的具有導(dǎo)電性的材料的熱傳導(dǎo)率比作為石英振動(dòng)片1 的基材的壓電體即石英的熱傳導(dǎo)率大。對(duì)于這種具有導(dǎo)電性的材料，除了金屬的聲子以外， 電子也傳輸熱能。S卩，在石英振動(dòng)片1中，除了石英以外，還經(jīng)由形成在槽部18中的激勵(lì)電極20、21 進(jìn)行熱傳導(dǎo)，所以，弛豫時(shí)間τ變短，隨著熱弛豫頻率f0的上升，曲線F在頻率上升的方向上移位至曲線F2的位置。在第1實(shí)施方式的石英振動(dòng)片1中，熱彈性損失是以絕熱區(qū)域?yàn)閷?duì)象的，該絕熱區(qū)域是振動(dòng)體的機(jī)械諧振頻率fr除以振動(dòng)體單體的熱弛豫頻率fO而得到的值fr/ 滿足1 < fr/f0的關(guān)系的高頻區(qū)域。這里，振動(dòng)體單體是指完全未配置激勵(lì)電極20、21等金屬膜等的振動(dòng)體。例如，在使用石英作為振動(dòng)體材料的情況下，是指完全未配置石英以外的材料的狀態(tài)的振動(dòng)體。另外，一般公知，通過(guò)下式來(lái)求出熱弛豫振動(dòng)頻率fm。fm = π k/(2 P Cpa2) — (1)這里，π是圓周率，k是振動(dòng)臂的振動(dòng)方向的熱傳導(dǎo)率，P是振動(dòng)臂的質(zhì)量密度， Cp是振動(dòng)臂的熱容量，a是振動(dòng)臂的振動(dòng)方向的寬度。在對(duì)式(1)的熱傳導(dǎo)率k、質(zhì)量密度P、熱容量Cp代入振動(dòng)臂的材料本身的常數(shù)的情況下，所求出的熱弛豫振動(dòng)頻率fm成為在振動(dòng)臂上未設(shè)置槽部時(shí)的弛豫振動(dòng)頻率。如上所述，第1實(shí)施方式的石英振動(dòng)片1在槽部18的位于傾斜部19處的底部18c 的至少一部分中，在從與第1側(cè)面18a連接的連接部18d到與第2側(cè)面18b連接的連接部 18e的范圍內(nèi)，具有未形成激勵(lì)電極20、21的無(wú)電極區(qū)域。其結(jié)果，對(duì)于在絕熱區(qū)域中動(dòng)作的石英振動(dòng)片1，在位于傾斜部19處的槽部18的底部18c的無(wú)電極區(qū)域中，與形成有激勵(lì)電極20、21的情況相比，熱傳導(dǎo)率降低，所以，從彎曲振動(dòng)的壓縮部(例如第1側(cè)面18a側(cè))向拉伸部(例如第2側(cè)面18b側(cè))的熱移動(dòng)變慢， 能夠抑制傾斜部19處的熱彈性損失。因此，與在位于傾斜部19處的槽部18的底部18c形成有激勵(lì)電極20、21的情況相比，石英振動(dòng)片1能夠提高Q值。另外，為了石英振動(dòng)片1更加可靠地發(fā)揮該效果，如圖1(a)所示，優(yōu)選使槽部18 的位于傾斜部19處的底部18c的全部范圍成為無(wú)電極區(qū)域。并且，石英振動(dòng)片1在槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的整個(gè)區(qū)域中具有激勵(lì)電極20、21，所以，與后述的在槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的一部分中具有激勵(lì)電極20、21的情況相比，能夠降低CI值。因此，與在槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的一部分中具有激勵(lì)電極20、 21的情況相比，石英振動(dòng)片1能夠提高Q值。并且，在石英振動(dòng)片1中，振動(dòng)臂12、13具有位于基部11側(cè)的臂部16、以及比臂部 16更靠末端側(cè)且寬度比臂部16寬的施重部17，所以，利用因施重部17的慣性質(zhì)量的增加而實(shí)現(xiàn)的Q值的提高效果，例如既能維持Q值又能縮短振動(dòng)臂12、13。因此，石英振動(dòng)片1既能維持Q值又能進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)小型化。另一方面，在石英振動(dòng)片1具有施重部17的情況下，與不具有施重部17的情況相比，彎曲振動(dòng)中的傾斜部19處的變形增大(產(chǎn)生的熱量增大)。但是，在石英振動(dòng)片1中，在位于傾斜部19處的槽部18的底部18c的無(wú)電極區(qū)域中，與形成有激勵(lì)電極20、21的情況相比，熱傳導(dǎo)率降低，所以，從壓縮部向拉伸部的熱移動(dòng)變慢，在具有施重部17的結(jié)構(gòu)中，能夠更加有效地抑制傾斜部19的熱彈性損失。并且，石英振動(dòng)片1包含一對(duì)0個(gè))振動(dòng)臂12、13和基部11而構(gòu)成音叉，所以， 能夠提供起到上述效果的音叉型石英振動(dòng)片。這里，對(duì)第1實(shí)施方式的變形例進(jìn)行說(shuō)明。(變形例1)圖3是示出變形例1的彎曲振動(dòng)片的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，圖3(a)是平面圖，圖 3(b)是圖3(a)的E-E線處的截面圖。另外，對(duì)與第1實(shí)施方式相同的部分標(biāo)注同一標(biāo)號(hào)而省略詳細(xì)的說(shuō)明，以與第1實(shí)施方式不同的部分為中心進(jìn)行說(shuō)明。如圖3所示，關(guān)于變形例1的作為彎曲振動(dòng)片的石英振動(dòng)片2，在槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的位于傾斜部19處的范圍Ll中未形成激勵(lì)電極20、21。換言之，石英振動(dòng)片2在槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的一部分中具有激勵(lì)電極20、21。由此，石英振動(dòng)片2在槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的一部分中具有激勵(lì)電極20、21，所以，與上述的在第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的整個(gè)區(qū)域中具有激勵(lì)電極20,21的情況相比，槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b上的激勵(lì)電極20、21的面積減因此，石英振動(dòng)片2主要減小了動(dòng)態(tài)電容，所以，能夠降低負(fù)載電容敏感度。因此，與在槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的整個(gè)區(qū)域中具有激勵(lì)電極 20,21的情況相比，石英振動(dòng)片2能夠抑制例如因浮游電容等引起的頻率變動(dòng)。(變形例2)圖4是示出變形例2的彎曲振動(dòng)片的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，圖4(a)是平面圖，圖 4(b)是圖4(a)的F-F線處的截面圖。另外，對(duì)與第1實(shí)施方式相同的部分標(biāo)注同一標(biāo)號(hào)而省略詳細(xì)的說(shuō)明，以與第1實(shí)施方式不同的部分為中心進(jìn)行說(shuō)明。如圖4所示，關(guān)于變形例2的作為彎曲振動(dòng)片的石英振動(dòng)片3，除了變形例1所述的槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的位于傾斜部19處的范圍Ll以外，在槽部18 的施重部17側(cè)的一部分的范圍L2中的第1側(cè)面18a、第2側(cè)面18b和底部18c上，也未形成激勵(lì)電極20、21。由此，石英振動(dòng)片3與第1實(shí)施方式和變形例1相比，槽部18的第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b的激勵(lì)電極20、21的面積進(jìn)一步減小。因此，石英振動(dòng)片3的動(dòng)態(tài)電容進(jìn)一步減小，所以，能夠進(jìn)一步降低負(fù)載電容敏感度。因此，石英振動(dòng)片3與第1實(shí)施方式和變形例1相比，能夠進(jìn)一步抑制例如因浮游電容等引起的頻率變動(dòng)。而且，石英振動(dòng)片3在槽部18的施重部17側(cè)的一部分的范圍L2中的底部18c中未形成激勵(lì)電極20、21，所以，從范圍L2中的彎曲振動(dòng)的壓縮部(例如第1側(cè)面18a側(cè))向拉伸部(例如第2側(cè)面18b側(cè))的熱移動(dòng)變慢，能夠抑制熱彈性損失。因此，石英振動(dòng)片3與第1實(shí)施方式和變形例1相比，能夠進(jìn)一步提高Q值。(變形例3)圖5是變形例3的彎曲振動(dòng)片的要部的截面示意圖。圖5是沿著振動(dòng)臂12、13的延伸方向切斷變形例3的作為彎曲振動(dòng)片的石英振動(dòng)片4的槽部18的基部11側(cè)的要部后的截面圖。另外，圖5所示的石英振動(dòng)片4的除槽部18以外的結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施方式和各變形例中的任一方相同。如圖5所示，例如在通過(guò)濕蝕刻形成槽部18的情況下，石英振動(dòng)片4的槽部18的位于傾斜部19處的底部18c具有以如下方式傾斜的斜面18f 隨著從基部11側(cè)朝向振動(dòng)臂12、13的末端側(cè)，槽部18變深。而且，石英振動(dòng)片4的槽部18的位于傾斜部19處的底部18c在斜面18f上具有無(wú)電極區(qū)域。另外，在與振動(dòng)臂12、13的延伸方向交叉的方向進(jìn)行切斷時(shí)，該斜面18f未向第1 側(cè)面18a側(cè)和第2側(cè)面18b側(cè)中的任意一側(cè)傾斜。由此，在石英振動(dòng)片4中，槽部18的位于傾斜部19處的底部18c具有以如下方式傾斜的斜面18f 隨著從基部11側(cè)朝向振動(dòng)臂12、13的末端側(cè)，槽部18變深，在斜面ISfi 具有無(wú)電極區(qū)域，所以，能夠避免形成激勵(lì)電極20、21的電極圖案時(shí)使用光刻對(duì)抗蝕劑進(jìn)行構(gòu)圖時(shí)、因光的反射而向非曝光部分(第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b等)照射曝光用光。具體而言，當(dāng)從槽部18的上方朝向斜面18f照射的曝光用光0被底部18c的斜面 18f反射時(shí)，由于以隨著從基部11側(cè)朝向振動(dòng)臂12、13的末端側(cè)、槽部18變深的方式傾斜的斜面18f的傾斜，曝光用光0沿著振動(dòng)臂12、13的延伸方向，以與入射角對(duì)應(yīng)的角度被反射到振動(dòng)臂12、13的末端側(cè)。其結(jié)果，石英振動(dòng)片4能夠避免形成激勵(lì)電極20、21的電極圖案形成時(shí)使用光刻對(duì)抗蝕劑進(jìn)行構(gòu)圖時(shí)、因光的反射而向非曝光部分(第1側(cè)面18a和第2側(cè)面18b等)照射曝光用光0。另外，底部18c的斜面18f的圖5中紙面左右方向的兩端部的位置不需要與傾斜部19的兩端部的位置一致。例如，底部18c的斜面18f的靠振動(dòng)臂12、13的末端側(cè)(紙面左側(cè))的端部既可以越過(guò)傾斜部19，也可以收納在傾斜部19內(nèi)。(第2實(shí)施方式)接著，作為第2實(shí)施方式，對(duì)具有上述說(shuō)明的石英振動(dòng)片的振子進(jìn)行說(shuō)明。圖6是示出第2實(shí)施方式的振子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，圖6(a)是平面圖，圖6 (b) 是圖6(a)的G-G線處的截面圖。另外，為了避免復(fù)雜化，省略了石英振動(dòng)片的電極類部件。如圖6所示，作為振子的石英振子5具有第1實(shí)施方式的石英振動(dòng)片1、以及收納石英振動(dòng)片1的封裝80。封裝80由封裝基座81、接縫環(huán)82、蓋體85等構(gòu)成。封裝基座81以能夠收納石英振動(dòng)片1的方式形成有凹部，在該凹部中設(shè)有與石英振動(dòng)片1的未圖示的安裝電極20c、21c(參照?qǐng)D1)連接的連接焊盤(pán)88。連接焊盤(pán)88構(gòu)成為與封裝基座81內(nèi)的布線連接，且能夠與設(shè)置在封裝基座81的外周部的外部連接端子83導(dǎo)通。在封裝基座81的凹部的周?chē)O(shè)有接縫環(huán)82。而且，在封裝基座81的底部設(shè)有貫通孔86。石英振動(dòng)片1經(jīng)由導(dǎo)電性粘接劑84粘接固定在封裝基座81的連接焊盤(pán)88上。而且，關(guān)于封裝80，對(duì)覆蓋封裝基座81的凹部的蓋體85與接縫環(huán)82進(jìn)行了縫焊。在封裝基座81的貫通孔86中填充有由金屬材料等構(gòu)成的密封件87。該密封件 87在減壓環(huán)境中溶融后固化，將貫通孔86氣密性地密封，使得封裝基座81內(nèi)能夠保持減壓狀態(tài)。石英振子5根據(jù)經(jīng)由外部連接端子83得到的來(lái)自外部的驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)石英振動(dòng)片 1進(jìn)行激勵(lì)，以規(guī)定頻率(例如32. 768kHz)進(jìn)行振蕩(諧振)。如上所述，石英振子5具有石英振動(dòng)片1，所以，能夠提供起到與第1實(shí)施方式相同的效果⑴值的提高等)的石英振子。另外，石英振子5通過(guò)使用石英振動(dòng)片2、3、4中的任一方來(lái)代替石英振動(dòng)片1，能夠起到與石英振動(dòng)片2、3、4對(duì)應(yīng)的效果。(第3實(shí)施方式)接著，作為第3實(shí)施方式，對(duì)具有上述說(shuō)明的石英振動(dòng)片的振蕩器進(jìn)行說(shuō)明。圖7是示出第3實(shí)施方式的振蕩器的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，圖7(a)是平面圖，圖 7(b)是圖7(a)的H-H線處的截面圖。另外，為了避免復(fù)雜化，省略了石英振動(dòng)片的電極類部件。作為振蕩器的石英振蕩器6構(gòu)成為，在上述石英振子5的結(jié)構(gòu)中還具有電路元件。 另外，對(duì)與石英振子5相同的部分標(biāo)注了同一標(biāo)號(hào)而省略詳細(xì)的說(shuō)明。如圖7所示，石英振蕩器6具有第1實(shí)施方式的石英振動(dòng)片1、具有使石英振動(dòng)片1進(jìn)行振蕩的振蕩電路的作為電路元件的IC芯片91、以及收納石英振動(dòng)片1和IC芯片 91的封裝80。IC芯片91被固定在封裝基座81的底部，通過(guò)Au、Al等金屬線92與其他配線連接。石英振蕩器6根據(jù)來(lái)自IC芯片91的振蕩電路的驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)石英振動(dòng)片1進(jìn)行激勵(lì)，以規(guī)定頻率(例如32. 768kHz)進(jìn)行振蕩(諧振)。如上所述，石英振蕩器6具有石英振動(dòng)片1，所以，能夠提供起到與第1實(shí)施方式相同的效果⑴值的提高等)的石英振蕩器。另外，石英振蕩器6通過(guò)使用石英振動(dòng)片2、3、4中的任一方來(lái)代替石英振動(dòng)片1， 能夠起到與石英振動(dòng)片2、3、4對(duì)應(yīng)的效果。(第4實(shí)施方式)接著，作為第4實(shí)施方式，對(duì)具有上述說(shuō)明的石英振動(dòng)片的電子設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。圖8是示出第4實(shí)施方式的電子設(shè)備的示意立體圖。如圖8所示，作為電子設(shè)備的便攜電話700例如具備具有上述石英振動(dòng)片(1等) 的石英振子5或石英振蕩器6作為定時(shí)器件，還具有液晶顯示裝置701、多個(gè)操作按鈕702、 接聽(tīng)口 703以及通話口 704。上述石英振子5或石英振蕩器6不限于上述便攜電話，也非常適合用作電子書(shū)、個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視、數(shù)字靜止照相機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、車(chē)載導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本、計(jì)算器、文字處理器、工作站、視頻電話、POS終端、具有觸摸面板的設(shè)備等的定時(shí)器件，在任意一種情況下，均能夠發(fā)揮上述各實(shí)施方式和各變形例中說(shuō)明的效果，由此，有助于提高這些電子設(shè)備的動(dòng)作特性等。另外，在上述各實(shí)施方式和各變形例中，也可以不具有石英振動(dòng)片1、2、3、4的支承部15和施重部17。并且，在上述各實(shí)施方式和各變形例中，石英振動(dòng)片1、2、3、4的施重部17采用了比一對(duì)振動(dòng)臂12、13的臂部16更靠末端側(cè)且寬度比臂部16寬的構(gòu)造，但不限于此，也可以應(yīng)用具有其他構(gòu)造的施重部17。例如，也可以應(yīng)用比一對(duì)振動(dòng)臂12、13的臂部16更靠末端側(cè)且厚度比臂部16厚的構(gòu)造的施重部、以及比臂部16更靠末端側(cè)且固定或嵌設(shè)有由質(zhì)量密度比構(gòu)成石英振動(dòng)片1、2、3、4的基材高的材料構(gòu)成的部件(例如由Au或Cu等金屬構(gòu)成的部件)的構(gòu)造的施重部。另外，支承部15不限于一對(duì)，也可以僅為一個(gè)。另外，在上述各實(shí)施方式和各變形例中，槽部18具有底部18c、第1側(cè)面18a和第 2側(cè)面18b，具有所謂H字型的截面形狀，但不限于此，例如，也可以是具有所謂的V字型的截面形狀的槽部，即不存在底部，第1側(cè)面與第2側(cè)面以呈銳角的方式連接。另外，在上述各實(shí)施方式和各變形例中，在振動(dòng)臂12、13的兩個(gè)主面10a、IOb上均設(shè)置了槽部18，但不限于此，也可以僅在任意一個(gè)主面(IOa或IOb)上設(shè)置槽部18。另外，在上述各實(shí)施方式和各變形例中，振動(dòng)臂12、13的數(shù)量為一對(duì)0個(gè))，但不限于此，也可以是1個(gè)或3個(gè)以上。另外，在上述各實(shí)施方式和各變形例中，振動(dòng)片為石英，但不限于此，例如也可以是鉭酸鋰(LiTaO3)、四硼酸鋰(Li2B4O7)、鈮酸鋰(LiNbO3)、鋯鈦酸鉛(PZT)、氧化鋅(SiO)、氮化鋁(AlN)等壓電體、或者具有氧化鋅(ZnO)、氮化鋁(AlN)等壓電體作為覆膜的硅等。
權(quán)利要求
1.一種彎曲振動(dòng)片，其特征在于，該彎曲振動(dòng)片具有 基部；以及振動(dòng)臂，其從所述基部延伸出來(lái)，在靠所述基部的一側(cè)具有與該基部連接的連接部，該振動(dòng)臂進(jìn)行彎曲振動(dòng)，所述振動(dòng)臂在主面上具有槽部，該槽部沿著所述振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向形成，且延伸設(shè)置到所述連接部，在所述槽部中配置有激勵(lì)電極，所述槽部的一部分被配置在所述連接部上，并且具有未形成所述激勵(lì)電極的無(wú)電極區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彎曲振動(dòng)片，其特征在于，所述振動(dòng)臂在所述連接部中具有如下形狀隨著從所述振動(dòng)臂的末端側(cè)接近靠所述基部的一側(cè)，從所述主面上的所述槽部到所述振動(dòng)臂的外緣的寬度變寬。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彎曲振動(dòng)片，其特征在于， 所述激勵(lì)電極具有第1激勵(lì)電極部和第2激勵(lì)電極部，所述槽部的所述一部分在其內(nèi)壁的所述振動(dòng)臂的寬度方向的一側(cè)配置有所述第1激勵(lì)電極部，在另一側(cè)配置有所述第2激勵(lì)電極部，所述無(wú)電極區(qū)域被配置在所述第1激勵(lì)電極部與所述第2激勵(lì)電極部之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彎曲振動(dòng)片，其特征在于， 所述槽部具有沿著所述振動(dòng)臂的所述長(zhǎng)度方向的第1側(cè)面；沿著所述振動(dòng)臂的所述長(zhǎng)度方向的第2側(cè)面；以及形成所述槽部的底的底部，其連接所述第1側(cè)面與所述第2側(cè)面，所述底部的一部分被配置于所述連接部，并且在其至少一部分中具有所述無(wú)電極區(qū)域，在平面視圖中，所述槽部在所述第1側(cè)面和所述第2側(cè)面的整個(gè)區(qū)域中具有所述激勵(lì)電極。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彎曲振動(dòng)片，其特征在于， 所述槽部具有沿著所述振動(dòng)臂的所述長(zhǎng)度方向的第1側(cè)面；沿著所述振動(dòng)臂的所述長(zhǎng)度方向的第2側(cè)面；以及形成所述槽部的底的底部，其連接所述第1側(cè)面與所述第2側(cè)面，所述底部的一部分被配置于所述連接部，并且在其至少一部分中具有所述無(wú)電極區(qū)域，在平面視圖中，所述槽部在所述第1側(cè)面的一部分和所述第2側(cè)面的一部分中具有所述激勵(lì)電極。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彎曲振動(dòng)片，其特征在于，被配置于所述連接部的所述底部具有以如下方式構(gòu)成的斜面隨著從靠所述基部的一側(cè)朝向所述振動(dòng)臂的所述末端側(cè)，所述槽部變深， 在所述斜面上具有所述無(wú)電極區(qū)域。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中的任一項(xiàng)所述的彎曲振動(dòng)片，其特征在于，所述振動(dòng)臂具有位于靠所述基部的一側(cè)的臂部、以及比所述臂部更靠所述末端側(cè)的施重部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 6中的任一項(xiàng)所述的彎曲振動(dòng)片，其特征在于，該彎曲振動(dòng)片具有多個(gè)所述振動(dòng)臂，且包含所述多個(gè)振動(dòng)臂和所述基部而構(gòu)成音叉。
9.一種振子，其特征在于，該振子具有權(quán)利要求1 6中的任一項(xiàng)所述的彎曲振動(dòng)片；以及收納所述彎曲振動(dòng)片的封裝。
10.一種振蕩器，其特征在于，該振蕩器具有權(quán)利要求1 6中的任一項(xiàng)所述的彎曲振動(dòng)片；以及電路元件，其具有使所述彎曲振動(dòng)片進(jìn)行振蕩的電路。
11.一種電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具有權(quán)利要求1 6中的任一項(xiàng)所述的彎曲振動(dòng)片。
全文摘要
本發(fā)明提供彎曲振動(dòng)片、振子、振蕩器以及電子設(shè)備，它們能夠提高Q值。石英振動(dòng)片(1)具有基部(11)和從基部延伸出來(lái)的一對(duì)振動(dòng)臂(12、13)，振動(dòng)臂在相對(duì)的兩個(gè)主面(10a、10b)上具有沿著振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向形成的槽部(18)，在振動(dòng)臂的與基部連接的連接部處設(shè)有如下構(gòu)成的傾斜部(19)在平面視圖中，隨著從振動(dòng)臂接近基部，從槽部到外形的間隔變寬，槽部在位于傾斜部處的底部(18c)的至少一部分中，在從與沿著槽部的長(zhǎng)度方向的第1側(cè)面(18a)連接的連接部(18d)到與隔著底部(18c)與第1側(cè)面(18a)相對(duì)的第2側(cè)面(18b)連接的連接部(18e)的范圍內(nèi)，具有未形成激勵(lì)電極(20、21)的無(wú)電極區(qū)域。
文檔編號(hào)H03H9/125GK102340291SQ20111019171
公開(kāi)日2012年2月1日 申請(qǐng)日期2011年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月9日
發(fā)明者山田明法 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社