一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池片(包括薄膜太陽(yáng)能電池)制造裝備、等離子刻蝕、真空反應(yīng)腔密閉技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在傳統(tǒng)的太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體內(nèi)，反應(yīng)氣體會(huì)對(duì)不銹鋼腔體刻蝕;從而降低了不銹鋼腔體的使用壽命，增加生產(chǎn)成本;另外，傳統(tǒng)的太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體內(nèi)是一個(gè)整體，不能夠拆卸，對(duì)腔體內(nèi)壁進(jìn)行清理時(shí)及其不方便，或者被刻蝕的箱體內(nèi)壁不能夠進(jìn)行更換，整個(gè)箱體結(jié)構(gòu)報(bào)廢，浪費(fèi)資源;腔體內(nèi)的正負(fù)離子不能按設(shè)計(jì)理想方向流動(dòng)，拆裝不方便，不能有效阻擋高能粒子對(duì)涂層的轟擊，不能保證腔體內(nèi)反應(yīng)環(huán)境不受金屬離子污染。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]現(xiàn)有技術(shù)難以滿足人們的需要，為了解決上述存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提出了一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)該技術(shù)目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)，包括腔體；
[0005]所述腔體由不銹鋼板材、氧化鋁鍍層、鋁板和陶瓷片組成;不銹鋼板材表面噴涂有氧化鋁鍍層，所述氧化鋁鍍層表面覆蓋可拆卸鋁板和陶瓷片，所述鋁板和陶瓷片通過(guò)鋁合金緊固件固定在氧化鋁鍍層上；
[0006]所述腔體的上端開(kāi)設(shè)有工藝化學(xué)氣體入口和電性連接有RF射頻電源，在腔體的上方內(nèi)壁上固定有等離子噴射器，所述等離子噴射器的下方設(shè)置有導(dǎo)電載板，在所述導(dǎo)電載板與等離子噴射器之間設(shè)置有等離子體，導(dǎo)電載板的上表面設(shè)置有刻蝕片，導(dǎo)電載板的底面電性連接有RF射頻直流電源，所述RF射頻直流電源的另一端接地;在所述腔體的底面的左端連接有真空栗。
[0007]進(jìn)一步，所述鋁板和陶瓷片內(nèi)部嵌入鋁合金板。
[0008]進(jìn)一步，所述RF射頻電源的另一端接有電容，通過(guò)電容接地。
[0009]進(jìn)一步，所述腔體的底面連接有接地線。
[0010]進(jìn)一步，所述不銹鋼板材為奧氏體不銹鋼材料制成。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果:在氧化鋁陶瓷板內(nèi)部嵌入鋁合金板，能讓腔體內(nèi)的正負(fù)離子按設(shè)計(jì)理想方向流動(dòng)，拆裝方便，氧化鋁陶瓷板能有效阻擋高能粒子對(duì)涂層的轟擊，保證腔體內(nèi)反應(yīng)環(huán)境不受金屬離子污染。該太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)實(shí)用性強(qiáng)，易于推廣使用。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2為本實(shí)用新型的腔體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3為本實(shí)用新型的腔體放大圖；
[0015]附圖標(biāo)記中:1_工藝化學(xué)氣體入口、2-離子噴射器、3-腔體、31-不銹鋼板材、32-氧化鋁鍍層、33-鋁板、331 -鋁合金緊固件、34-陶瓷片、4-RF射頻電源、5-RF射頻直流電源、6-等離子體、7-真空栗、8-導(dǎo)電載板、9-刻蝕片。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0017]請(qǐng)參閱說(shuō)明書附圖1-3，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)，包括腔體3 ；
[0018]所述腔體3由不銹鋼板材31、氧化鋁鍍層32、鋁板33和陶瓷片34組成；不銹鋼板材31表面噴涂有氧化鋁鍍層32，所述氧化鋁鍍層32表面覆蓋可拆卸鋁板33和陶瓷片34，所述鋁板33和陶瓷片34通過(guò)鋁合金緊固件331固定在氧化鋁鍍層32上；
[0019]所述腔體3的上端開(kāi)設(shè)有工藝化學(xué)氣體入口I和電性連接有RF射頻電源4，在腔體3的上方內(nèi)壁上固定有等離子噴射器2，所述等離子噴射器2的下方設(shè)置有導(dǎo)電載板8，在所述導(dǎo)電載板8與等離子噴射器2之間設(shè)置有等離子體6，導(dǎo)電載板8的上表面設(shè)置有刻蝕片9，導(dǎo)電載板8的底面電性連接有RF射頻直流電源5，所述RF射頻直流電源5的另一端接地;在所述腔體3的底面的左端連接有真空栗7。
[0020]作為本實(shí)用新型的優(yōu)化技術(shù)方案:所述鋁板33和陶瓷片34內(nèi)部嵌入鋁合金板。
[0021]作為本實(shí)用新型的優(yōu)化技術(shù)方案:所述RF射頻電源4的另一端接有電容，通過(guò)電容接地。
[0022]作為本實(shí)用新型的優(yōu)化技術(shù)方案:所述腔體3的底面連接有接地線。
[0023]工作原理:
[0024]本實(shí)用新型從工藝化學(xué)氣體入口I進(jìn)入腔體3內(nèi)部的化學(xué)氣體產(chǎn)生的自由基可能會(huì)對(duì)腔體3內(nèi)壁產(chǎn)生腐蝕和對(duì)刻蝕片9產(chǎn)生腐蝕;因腔體3內(nèi)產(chǎn)生的污染物、析出物等都會(huì)對(duì)內(nèi)壁造成傷害。
[0025]腔體3主體為奧氏體不銹鋼材料，不銹鋼腔體31表面噴涂氧化鋁鍍層32，氧化鋁鍍層32表面覆蓋可拆卸的鋁板33和陶瓷片34，在鋁板33和陶瓷片34內(nèi)部嵌入鋁合金板，本實(shí)用新型通過(guò)反應(yīng)腔獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能讓腔體3內(nèi)的正負(fù)離子按設(shè)計(jì)理想方向流動(dòng)，拆裝方便，陶瓷片34能有效阻擋高能粒子對(duì)涂層的轟擊，保證腔體3內(nèi)反應(yīng)環(huán)境不受金屬離子污染。
[0026]以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何細(xì)微修改、等同替換和改進(jìn)，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)，包括腔體(3);其特征是； 所述腔體(3)由不銹鋼板材(31)、氧化鋁鍍層(32)、鋁板(33)和陶瓷片(34)組成；不銹鋼板材(31)表面噴涂有氧化鋁鍍層(32)，所述氧化鋁鍍層(32)表面覆蓋可拆卸鋁板(33)和陶瓷片(34)，所述鋁板(33)和陶瓷片(34)通過(guò)鋁合金緊固件(331)固定在氧化鋁鍍層(32)上； 所述腔體(3)的上端開(kāi)設(shè)有工藝化學(xué)氣體入口(I)和電性連接有RF射頻電源(4)，在腔體(3)的上方內(nèi)壁上固定有等離子噴射器(2)，所述等離子噴射器(2)的下方設(shè)置有導(dǎo)電載板(8)，在所述導(dǎo)電載板(8)與等離子噴射器(2)之間設(shè)置有等離子體(6)，導(dǎo)電載板(8)的上表面設(shè)置有刻蝕片(9)，導(dǎo)電載板(8)的底面電性連接有RF射頻直流電源(5)，所述RF射頻直流電源(5)的另一端接地;在所述腔體(3)的底面的左端連接有真空栗(7)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)，其特征是:所述鋁板(33)和陶瓷片(34)內(nèi)部嵌入鋁合金板。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)，其特征是:所述RF射頻電源(4)的另一端接有電容，通過(guò)電容接地。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)，其特征是:所述腔體(3)的底面連接有接地線。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)，其特征是:所述不銹鋼板材(31)為奧氏體不銹鋼材料制成。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種太陽(yáng)能電池片工藝用的反應(yīng)腔的腔體結(jié)構(gòu)，包括腔體；所述腔體由不銹鋼板材、氧化鋁鍍層、鋁板和陶瓷片組成；不銹鋼板材表面噴涂有氧化鋁鍍層，所述氧化鋁鍍層表面覆蓋可拆卸鋁板和陶瓷片，所述鋁板和陶瓷片通過(guò)鋁合金緊固件固定在氧化鋁鍍層上；所述腔體的上端開(kāi)設(shè)有工藝化學(xué)氣體入口和電性連接有RF射頻電源，在腔體的上方內(nèi)壁上固定有等離子噴射器，所述等離子噴射器的下方設(shè)置有導(dǎo)電載板；所述鋁板和陶瓷片內(nèi)部嵌入鋁合金板。在氧化鋁陶瓷板內(nèi)部嵌入鋁合金板，能讓腔體內(nèi)的正負(fù)離子按設(shè)計(jì)理想方向流動(dòng)，拆裝方便，氧化鋁陶瓷板能有效阻擋高能粒子對(duì)涂層的轟擊，保證腔體內(nèi)反應(yīng)環(huán)境不受金屬離子污染。
【IPC分類】H01L21/67, H01L31/18
【公開(kāi)號(hào)】CN205355018
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620070162
【發(fā)明人】張俞
【申請(qǐng)人】張俞
【公開(kāi)日】2016年6月29日
【申請(qǐng)日】2016年1月21日