一種吸筆的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池制造領(lǐng)域，特別是涉及一種吸取晶圓的吸筆。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)電力、煤炭、石油等不可再生能源頻頻告急，能源問題日益成為制約國(guó)際社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展的瓶頸時(shí)，越來越多的國(guó)家開始實(shí)行“陽(yáng)光計(jì)劃”，太陽(yáng)能成為新型能源得到了大力開發(fā)，其中，我們?nèi)粘Ｉ钪惺褂米疃嗟木褪翘?yáng)能電池。太陽(yáng)能電池以半導(dǎo)體材料為主，利用光電材料吸收光能后發(fā)生光電轉(zhuǎn)換，使之產(chǎn)生電流以此作為電源供電。
[0003]在太陽(yáng)能電池的制造過程中需要?dú)v經(jīng)多道工序，在不同的工序之間轉(zhuǎn)換時(shí)，通常需要將晶圓從一個(gè)機(jī)臺(tái)搬運(yùn)到另一個(gè)機(jī)臺(tái)，具體步驟包括:工序完成后，將晶圓一片一片地從一個(gè)機(jī)臺(tái)上拿取后疊置于載具上，通過載具對(duì)晶圓進(jìn)行搬運(yùn)，再?gòu)妮d具上將晶圓一片一片拿取并放置于另一機(jī)臺(tái)上，以進(jìn)行另一道工序。
[0004]在一片一片地拿取載具上疊置的晶圓的過程中，由于相互貼靠的晶圓之間沒有空氣，再加上晶圓的重量較輕，因此容易受到大氣壓力而導(dǎo)致晶圓與晶圓之間相互吸附。換句話說，由于相鄰的幾個(gè)晶圓之間會(huì)產(chǎn)生吸附現(xiàn)象，于是拿取位于疊置晶圓最外側(cè)的晶圓時(shí)往往會(huì)有多片晶圓同時(shí)往外移動(dòng)，在受到重力作用后，晶圓開始分離，被晶圓吸附但未被工具拿取的晶圓就將脫落，造成晶圓的破片、缺角等不良品的產(chǎn)生。
[0005]因此，如何解決疊置晶圓拿取過程中因吸附現(xiàn)象導(dǎo)致的晶圓破片、缺角等不良率高的問題已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題之一。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種吸筆，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中太陽(yáng)能電池的制造過程中晶圓破損率高、良品率低、生產(chǎn)成本高等問題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種吸筆，所述吸筆至少包括:
[0008]手持件；
[0009]抽氣單元，所述抽氣單元包括連接于所述手持件的抽氣管，所述抽氣管的一端連接抽氣設(shè)備、另一端設(shè)置有抽氣口 ；
[0010]送氣單元，所述送氣單元包括連接于所述手持件的送氣管，所述送氣管的一端連接送氣設(shè)備、另一端設(shè)置有送氣口。
[0011]優(yōu)選地，所述抽氣單元還包括安裝于所述抽氣口的盤件，所述抽氣管吸取晶圓時(shí)，所述晶圓貼靠于所述盤件的表面。
[0012]更優(yōu)選地，所述盤件設(shè)置有一供所述晶圓貼靠的貼靠表面，所述抽氣管穿設(shè)于所述盤件，所述抽氣口設(shè)置于所述貼靠表面。
[0013]優(yōu)選地，所述抽氣單元還包括設(shè)置于所述抽氣管的控制空氣流通的抽氣控制閥。
[0014]更優(yōu)選地，所述抽氣管包括依次連接的第一抽氣段、第二抽氣段及第三抽氣段；所述第二抽氣段安裝于所述手持件內(nèi)；所述第一抽氣段連接于所述抽氣設(shè)備與所述第二抽氣段之間；所述第三抽氣段為所述第二抽氣段在所述手持件外的延伸段，所述第三抽氣段末端為所述抽氣口 ；所述抽氣控制閥設(shè)置于所述手持件上，并與所述第二抽氣段連接。
[0015]優(yōu)選地，所述送氣單元還包括設(shè)置于所述送氣管的控制空氣流通的送氣控制閥。
[0016]更優(yōu)選地，所述送氣管包括依次連接的第一送氣段、第二送氣段及第三送氣段；所述第二送氣段安裝于所述手持件內(nèi)；所述第一送氣段連接于所述送氣設(shè)備與所述第二送氣段之間；所述第三送氣段為所述第二送氣段在所述手持件外的延伸段，所述第三送氣段末端為所述送氣口 ；所述送氣控制閥設(shè)置于所述手持件上，并與所述第二送氣段連接。
[0017]優(yōu)選地，所述手持件呈桿狀。
[0018]優(yōu)選地，所述抽氣單元還包括設(shè)置于所述抽氣管的控制空氣流通的抽氣控制閥；所述送氣單元還包括設(shè)置于所述送氣管的控制空氣流通的送氣控制閥；所述抽氣控制閥及所述送氣控制閥通過按壓連板連接，以實(shí)現(xiàn)所述抽氣控制閥與所述送氣控制閥的同步控制。
[0019]優(yōu)選地，所述抽氣單元可通過所述抽氣設(shè)備來控制所述抽氣管的空氣流通；以及所述送氣單元可通過所述送氣設(shè)備來控制所述送氣管的空氣流通。
[0020]如上所述，本實(shí)用新型的吸筆，具有以下有益效果:
[0021]本實(shí)用新型的吸筆通過送氣管可對(duì)多個(gè)疊置晶圓進(jìn)行吹氣，以使最外側(cè)的晶圓與其余晶圓分離，避免拿取最外側(cè)晶圓時(shí)吸附其他晶圓，并在移動(dòng)過程中導(dǎo)致晶圓脫落的問題，可減少晶圓的破損機(jī)率，從而提升太陽(yáng)能電池制造中的良品率并降低生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0022]圖1顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例一中提供的吸筆的側(cè)視示意圖。
[0023]圖2顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例一中提供的吸筆的立體示意圖。
[0024]圖3?圖5顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例一中提供的吸筆工作原理示意圖。
[0025]圖6顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例二中提供的吸筆的立體示意圖。
[0026]元件標(biāo)號(hào)說明
[0027]I吸筆
[0028]2手持件
[0029]3抽氣單元
[0030]31抽氣管
[0031]310抽氣口
[0032]311第一抽氣段
[0033]312第二抽氣段
[0034]313第三抽氣段
[0035]32盤件
[0036]321貼靠表面
[0037]33抽氣控制閥
[0038]4送氣單元
[0039]41送氣管
[0040]410送氣口
[0041]411第一送氣段
[0042]412第二送氣段
[0043]413第三送氣段
[0044]42送氣控制閥
[0045]5按壓連板
[0046]7晶圓
[0047]71晶圓頂面
[0048]81抽氣設(shè)備
[0049]82送氣設(shè)備
[0050]83載具
【具體實(shí)施方式】
[0051]以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0052]請(qǐng)參閱圖1?圖6。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0053]實(shí)施例一
[0054]如圖1?圖5所示，本實(shí)用新型提供一種吸筆I，所述吸筆I連接于抽氣設(shè)備81及送氣設(shè)備82，用于一片一片地吸取多個(gè)疊置晶圓中位于最外側(cè)的晶圓7，多個(gè)疊置晶圓通常放置于一個(gè)載具83上。所述吸筆I包括:一個(gè)手持件2及安裝于所述手持件2的抽氣單元3和送氣單元4。
[0055]具體地，在本實(shí)施例中，所述手持件2呈桿狀，以方便使用者握持，但在實(shí)際操作中，所述手持件2的形狀不限于本實(shí)施例所列舉的桿狀，只要可實(shí)現(xiàn)使用者對(duì)所述吸筆I握持的結(jié)構(gòu)均可，在此不一一贅述。
[0056]所述抽氣單元3包括貫穿于所述手持件2的抽氣管31，所述抽氣管31的一端連接抽氣設(shè)備81 ;所述抽氣管31的另一端連接盤件32 ;連接于所述抽氣管31，用于控制所述抽氣管31中空氣是否流通的抽氣控制閥33。
[0057]具體地，所述抽氣管31包括抽氣口 310，以及依次連接的第一抽氣段311、第二抽氣段312和第三抽氣段313。所述第二抽氣段312安裝于所述手持件2內(nèi)；所述第一抽氣段311連接于所述抽氣設(shè)備81與所述第二抽氣段312之間；所述第三抽氣段313為所述第二抽氣段312在所述手持件2外的延伸段，所述第三抽氣段313末端為所述抽氣口 310。
[0058]具體地，所述盤件32設(shè)置于所述第三抽氣段313末端，并具有一個(gè)貼靠表面321，在本實(shí)施例中，所述盤件32與所述第三抽氣段313位于同一平面。所述第三抽氣段313穿設(shè)于所述盤件32，所述第三抽氣段313的末端呈90度彎曲，但不以此角度為限，使所述抽氣口 310位于所述貼靠表面321，所述貼靠表面321可供最外側(cè)的晶圓頂面71貼靠。
[0059]具體地，所述抽氣控制閥33設(shè)置于所述手持件2上，并且與所述抽氣管31的第二抽氣段312連接。
[0060]所述送氣單元4包括貫穿于所述手持件2的送氣管41，所述送氣管41的一端連接送氣設(shè)備82 ;以及連接于所述送氣管41，用于控制所述送氣管41中空氣是否流通的送氣控制閥42。
[0061]所述送氣管41包括送氣口 410，以及依次連接的第一送氣段411、第二送氣段412和第三送氣段413。所述第二送氣段412安裝于所述手持件2內(nèi)；所述第一送氣段411連接于所述送氣設(shè)備82與所述第二送氣段412之間；所述