半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗設(shè)備，普遍采用的是去離子水+高溫氮氣兩道工序完成清洗，該傳統(tǒng)清洗方式對盒子表面較小顆粒及油劑性顆粒無法徹底清洗，清洗質(zhì)量不高，且高溫氮氣對盒子的吹掃烘干時間過長，浪費大量氮氣。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的是提供一種半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置，能夠有效清潔盒子表面較小顆粒及油劑性顆粒，節(jié)省氮氣使用。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案是:所述清洗裝置包括流通去離子水的清洗管路一和流通氮氣的清潔管路，還包括流通異丙醇的清洗管路二，清洗管路一與清洗管路二在進(jìn)行清洗前匯流，清潔管路用于清洗后對殘留的去離子水和異丙醇吹掃清除。
[0005]所述清洗管路一與清洗管路二匯流部位設(shè)有三通閥門，清洗管路一還包括用于感應(yīng)液體流速的流量感應(yīng)器，清洗管路二包括提供異丙醇的供液桶和用于控制異丙醇流量的第二流量計量器，流量感應(yīng)器控制第二流量計量器自動開啟和閉合。
[0006]所述清洗管路二還包括第二過濾器，第二過濾器設(shè)于第二流量計量器與三通閥門之間。
[0007]所述清洗管路一還包括第一流量計量器、第一過濾器和第一閥門，按照去離子水流動方向，第一流量計量器設(shè)于流量感應(yīng)器的前端，第一過濾器和第一閥門分別設(shè)于流量感應(yīng)器的后端。
[0008]按照氮氣流動方向，所述清潔管路上依次設(shè)有第三過濾器、第二閥門和加熱器，加熱器用于對氮氣加熱。
[0009]采用上述技術(shù)方案后，本實用新型具有以下積極效果:
[0010](I)本實用新型加裝清洗管路二，用于通入異丙醇，通過異丙醇與去離子水的混合對盒子表面清洗，由于異丙醇為有機(jī)溶劑，能夠有效清潔盒子表面較小顆粒及油劑性顆粒，提高清洗質(zhì)量，且異丙醇具有易揮發(fā)、脫水性強的特點，可有效縮短高溫氮氣對殘留物的吹掃時間，節(jié)省氮氣的使用；
[0011](2)本實用新型的清洗管路一上設(shè)有流量感應(yīng)器，所述清洗裝置開始清洗時，用于感知清洗管路一上去離子水的流量，有去離子水流過時，流量感應(yīng)器將信號傳遞給清洗管路二上的第二流量計量器使之開啟，使異丙醇通過與去離子水混合，對盒子清洗，通過上述控制，能夠準(zhǔn)確感知信號，使所述清洗裝置更加準(zhǔn)確無誤進(jìn)行；
[0012](3)本實用新型在清潔管路上設(shè)有加熱器，對氮氣加熱，能夠提高氮氣的吹掃效率;
[0013](4)本實用新型總體工藝時間縮短，降低氮氣、電力等消耗，并延長加熱器使用壽命，簡單易行，具有較高的實用價值，便于推廣應(yīng)用。
【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0015]圖1為本實用新型的半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]其中:1、清洗管路一，101、三通閥門，102、流量感應(yīng)器，103、第一流量計量器，104、第一過濾器，105、第一閥門，2、清洗管路，201、第三過濾器，202、第二閥門，203、加熱器，3、清洗管路二，301、供液桶，302、第二流量計量器，303、第二過濾器，4、清洗室。
【具體實施方式】
[0017]如圖1所示，為本實用新型的半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置，包括清洗管路一 1、清潔管路2和清洗管路二 3，清洗管路一 I流通去離子水，清潔管路2流通高溫氮氣，清洗管路二 3流通異丙醇，清洗管路一 I與清洗管路二 3用于對半導(dǎo)體六寸線盒子進(jìn)行清洗，清潔管路2用于清洗工作結(jié)束后對殘留的去離子水或異丙醇進(jìn)行吹掃清除。
[0018]在清洗管路一 I上，按照去離子水流動方向，依次設(shè)有第一流量計量器103、流量感應(yīng)器102、第一過濾器104、第一閥門105和三通閥門101，第一流量計量器103用于控制去離子水的流動速度，流量感應(yīng)器102用于感知去離子水的流速。
[0019]在清洗管路二 3上，按照異丙醇流動方向，依次設(shè)有供液桶301、第二流量計量器302和第二過濾器303，第二流量計量器302與流量感應(yīng)器102連接，流量感應(yīng)器102能夠控制第二流量計量器302自動開啟和閉合，以此控制異丙醇是否在清洗管路二 3上流通。清洗管路二 3的末端與三通閥門101連通，清洗管路一 I與清洗管路二 3在三通閥門101處匯流，匯流完成在進(jìn)行清洗工作之前。
[0020]在清潔管路2上，按照氮氣流動方向，依次設(shè)有第三過濾器201、第二閥門202和加熱器203，加熱器203用于對流通的氮氣加熱，使氮氣溫度升高，提高吹掃效率。
[0021]本實用新型的半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置工作時，首先去離子水流動到清洗管路一 1，流量感應(yīng)器102感應(yīng)到有液體流量的同時，給清洗管路二 3上的第二流量計量器302 一信號，使原本閉合的第二流量計量器302開啟，異丙醇流經(jīng)第二過濾器303和三通閥門101與清洗管路一 I上的去離子水匯合，混合的去離子水與異丙醇對放置于清洗室4內(nèi)噴頭下面的六寸線盒子進(jìn)行清洗。清洗完畢后，開啟第二閥門202，清潔管路2上的氮氣對殘留的去離子水和異丙醇進(jìn)行吹掃清除。
[0022]對本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本實用新型要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置，包括流通去離子水的清洗管路一(I)和流通氮氣的清潔管路(2)，其特征在于:還包括流通異丙醇的清洗管路二(3)，清洗管路一(I)與清洗管路二(3)在進(jìn)行清洗前匯流，清潔管路(2)用于清洗后對殘留的去離子水和異丙醇吹掃清除。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置，其特征在于:清洗管路一(I)與清洗管路二(3)匯流部位設(shè)有三通閥門(101)，清洗管路一(I)還包括用于感應(yīng)液體流速的流量感應(yīng)器(102)，清洗管路二(3)包括提供異丙醇的供液桶(301)和用于控制異丙醇流量的第二流量計量器(302)，流量感應(yīng)器(102)控制第二流量計量器(302)自動開啟和閉入口 ο
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置，其特征在于:清洗管路二(3)還包括第二過濾器(303)，第二過濾器(303)設(shè)于第二流量計量器(302)與三通閥門(101)之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置，其特征在于:清洗管路一(I)還包括第一流量計量器(103)、第一過濾器(104)和第一閥門(105)，按照去離子水流動方向，第一流量計量器(103)設(shè)于流量感應(yīng)器(102)的前端，第一過濾器(104)和第一閥門(105)分別設(shè)于流量感應(yīng)器(102)的后端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置，其特征在于:按照氮氣流動方向，清潔管路(2)上依次設(shè)有第三過濾器(201)、第二閥門(202)和加熱器(203)，加熱器(203)用于對氮氣加熱。
【專利摘要】本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體六寸線盒子的清洗裝置，包括流通去離子水的清洗管路一和流通氮氣的清潔管路，還包括流通異丙醇的清洗管路二，清洗管路一與清洗管路二在進(jìn)行清洗前匯流，清潔管路用于對殘留的去離子水和異丙醇吹掃清潔。本實用新型能夠有效清潔盒子表面較小顆粒及油劑性顆粒，節(jié)省氮氣使用，降低電力消耗。
【IPC分類】H01L21-67
【公開號】CN204464247
【申請?zhí)枴緾N201520081236
【發(fā)明人】宋紅安
【申請人】蘇州同冠微電子有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年2月5日