一種半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置，包括：所述半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的金屬殼和比所述金屬殼更活潑的金屬件，所述金屬件的一端插入在所述水洗腔體內(nèi)的水中，所述金屬殼和所述金屬件之間連接有導(dǎo)線。本發(fā)明的半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置通過利用原電池的原理、以及進(jìn)一步利用外加電流的陰極保護(hù)原理使得需要保護(hù)的水洗腔體金屬殼始終作為電位較負(fù)的陰極，從而能夠很好地防止金屬殼因失去電子而發(fā)生腐蝕，防腐效果好，延長了水洗腔體的工作年限。此外，相對于鐵氟龍鍍層技術(shù)，本發(fā)明的半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置簡單易于實(shí)施，所使用的材料容易獲得，成本較低。
【專利說明】
一種半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體尾氣處理裝置，特別涉及一種半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體尾氣處理裝置通常用于處理半導(dǎo)體器件制造過程中會產(chǎn)生的各種強(qiáng)酸和/或強(qiáng)堿性氣體，其中，熱水洗式(Thermo-wet)或等離子水洗式(Plasma-wet)現(xiàn)場尾氣處理裝置(Local scrubber)是半導(dǎo)體生產(chǎn)線上不可缺少的尾氣處理裝置。由于處理強(qiáng)酸和/或強(qiáng)堿性氣體后的水具有很強(qiáng)的腐蝕性，該裝置中的水洗腔體通常用不銹鋼加鐵氟龍鍍層來解決腐蝕問題。但目前使用的鐵氟龍鍍層技術(shù)在使用一段時間后或者在顆粒物(PM)清理時由于機(jī)械損傷容易剝離，從而不能起到防腐的效果，使得水洗腔體工作年限縮短。
[0003]因此，需要提出一種半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置，以提高對半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體外殼的防腐效果，延長水洗腔體的工作年限。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了提高半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體外殼的防腐效果，延長水洗腔體的工作年限，本發(fā)明提出了一種半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置，包括:所述半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的金屬殼和比所述金屬殼更活潑的金屬件，所述金屬件的一端插入在所述水洗腔體內(nèi)的水中，所述金屬殼和所述金屬件之間連接有導(dǎo)線。
[0005]可選地，所述防腐裝置進(jìn)一步包括恒流電源，所述恒流電源的正極與所述金屬件相連，所述恒流電源的負(fù)極與所述水洗腔體的金屬殼相連。
[0006]可選地，所述金屬殼為不銹鋼。
[0007]可選地，所述金屬件為金屬棒、金屬片或金屬塊。
[0008]可選地，所述金屬件由鎂、鋁、鋅中的至少一種金屬制成。
[0009]可選地，所述恒流電源所提供的電流為0.1A-0.2A。
[0010]可選地，所述半導(dǎo)體尾氣處理裝置為熱水洗式或等離子水洗式現(xiàn)場尾氣處理裝置。
[0011]本發(fā)明的半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置通過利用原電池的原理、以及進(jìn)一步利用外加電流的陰極保護(hù)原理使得需要保護(hù)的水洗腔體金屬殼始終作為電位較負(fù)的陰極，從而能夠很好地防止金屬殼因失去電子而發(fā)生腐蝕，防腐效果好，延長了水洗腔體的工作年限。此外，相對于鐵氟龍鍍層技術(shù)，本發(fā)明的半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置簡單易于實(shí)施，所使用的材料容易獲得，成本較低。
【附圖說明】
[0012]本發(fā)明的下列附圖在此作為本發(fā)明的一部分用于理解本發(fā)明。附圖中示出了本發(fā)明的實(shí)施例及其描述，用來解釋本發(fā)明的原理。
[0013]附圖中:
[0014]圖1為本發(fā)明的一個實(shí)施例中的半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]在下文的描述中，給出了大量具體的細(xì)節(jié)以便提供對本發(fā)明更為徹底的理解。然而，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言顯而易見的是，本發(fā)明可以無需一個或多個這些細(xì)節(jié)而得以實(shí)施。在其他的例子中，為了避免與本發(fā)明發(fā)生混淆，對于本領(lǐng)域公知的一些技術(shù)特征未進(jìn)行描述。
[0016]為了徹底理解本發(fā)明，將在下列的描述中提出詳細(xì)的描述，以說明本發(fā)明所述半導(dǎo)體器件的制備方法。顯然，本發(fā)明的施行并不限于半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟習(xí)的特殊細(xì)節(jié)。本發(fā)明的較佳實(shí)施例詳細(xì)描述如下，然而除了這些詳細(xì)描述外，本發(fā)明還可以具有其他實(shí)施方式。
[0017]應(yīng)予以注意的是，這里所使用的術(shù)語僅是為了描述具體實(shí)施例，而非意圖限制根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式。此外，還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)在本說明書中使用術(shù)語“包含”和/或“包括”時，其指明存在所述特征、整體、步驟、操作、元件和/或組件，但不排除存在或附加一個或多個其他特征、整體、步驟、操作、元件、組件和/或它們的組合。
[0018]現(xiàn)在，將參照附圖更詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例。然而，這些示例性實(shí)施例可以多種不同的形式來實(shí)施，并且不應(yīng)當(dāng)被解釋為只限于這里所闡述的實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解的是，提供這些實(shí)施例是為了使得本發(fā)明的公開徹底且完整，并且將這些示例性實(shí)施例的構(gòu)思充分傳達(dá)給本領(lǐng)域普通技術(shù)人員。在附圖中，為了清楚起見，夸大了層和區(qū)域的厚度，并且使用相同的附圖標(biāo)記表示相同的元件，因而將省略對它們的描述。
[0019]為了提高半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體外殼的防腐效果，延長水洗腔體的工作年限，本發(fā)明提出了一種半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置，所述防腐裝置基于原電池的原理，通過犧牲陽極來保護(hù)所述水洗腔體的金屬殼。
[0020]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，所述防腐裝置包括:所述半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的金屬殼和比所述金屬殼更活潑的金屬件，所述金屬件的一端插入在所述水洗腔體內(nèi)的水中，所述金屬殼和所述金屬件之間連接有導(dǎo)線。
[0021]利用原電池原理將水洗腔體的金屬殼作為正極，金屬件作為負(fù)極，水洗腔體內(nèi)的水作為連通溶液。所述水洗腔體內(nèi)的水由于處理了強(qiáng)酸和/或強(qiáng)堿性氣體，因此具有很強(qiáng)的腐蝕性，而所述金屬件由于比所述水洗腔體的金屬殼更活潑、更容易被所述水洗腔體內(nèi)的水腐蝕，使得所述金屬件作為原電池的負(fù)極失去電子被氧化，即代替所述被保護(hù)的金屬殼被腐蝕消耗。失去的電子通過所述金屬殼和所述金屬件之間的導(dǎo)線移向作為原電池的正極的所述金屬殼，使所述金屬殼處于一個較負(fù)的電位，抑制所述金屬殼發(fā)生氧化腐蝕，從而通過犧牲陽極的金屬件保護(hù)了所述水洗腔體的金屬殼。
[0022]進(jìn)一步地，為了確保所述被保護(hù)的水洗腔體的金屬殼處于足夠負(fù)的電位，在本發(fā)明的另一個實(shí)施例中，基于外加電流的陰極保護(hù)原理，所述防腐裝置進(jìn)一步包括一個恒流電源，如圖1所示，恒流電源2的正極與金屬件I的未伸入水洗腔4內(nèi)的水5中的另一端相連，強(qiáng)制形成陽極區(qū)，恒流電源2的負(fù)極與水洗腔體的金屬殼3相連，強(qiáng)制形成陰極區(qū)。通電后，大量的電子被強(qiáng)制從水5中流向被保護(hù)的金屬殼3，使得金屬殼3與水5接觸的全部表面產(chǎn)生更多電子的積累，電位更負(fù)。從而使得所述金屬殼3成為整個環(huán)境中的陰極，抑制金屬殼3失去電子，防止了需要保護(hù)的金屬殼3因?yàn)槭ル娮佣l(fā)生腐蝕。
[0023]具體地，在本發(fā)明的防腐裝置中，恒流電源2所提供的電流為0.1A-0.2A。
[0024]本發(fā)明中，可以使用所述防腐裝置的半導(dǎo)體尾氣處理裝置可以為燃燒水洗式(Thermo-wet)或等離子水洗式(Plasma-wet)的現(xiàn)場尾氣處理裝置(Local scrubber)，所述現(xiàn)場尾氣處理裝置的水洗腔體的金屬殼通常為不銹鋼，相應(yīng)地，在本發(fā)明中，所述金屬件可以為金屬棒、金屬片、金屬塊。金屬件可以為由鎂、鋁、鋅中的至少一種金屬制成。具體地，在本發(fā)明的防腐裝置的一個實(shí)施例中，所述現(xiàn)場尾氣處理裝置的水洗腔體的金屬殼3為不銹鋼，金屬件I為鎂棒。
[0025]本發(fā)明的半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置通過利用原電池的原理、以及進(jìn)一步利用外加電流的陰極保護(hù)原理使得需要保護(hù)的水洗腔體金屬殼始終作為電位較負(fù)的陰極，從而能夠很好地防止金屬殼因失去電子而發(fā)生腐蝕，延長了所述水洗腔體工作年限。此外，相對于鐵氟龍鍍層技術(shù)，本發(fā)明的半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置簡單易于實(shí)施，所使用的材料容易獲得，成本較低。
[0026]本發(fā)明已經(jīng)通過上述實(shí)施例進(jìn)行了說明，但應(yīng)當(dāng)理解的是，上述實(shí)施例只是用于舉例和說明的目的，而非意在將本發(fā)明限制于所描述的實(shí)施例范圍內(nèi)。此外本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是，本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例，根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)還可以做出更多種的變型和修改，這些變型和修改均落在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍以內(nèi)。本發(fā)明的保護(hù)范圍由附屬的權(quán)利要求書及其等效范圍所界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的防腐裝置，包括:所述半導(dǎo)體尾氣處理裝置水洗腔體的金屬殼和比所述金屬殼更活潑的金屬件，所述金屬件的一端插入在所述水洗腔體內(nèi)的水中，所述金屬殼和所述金屬件之間連接有導(dǎo)線。2.如權(quán)利要求1所述的防腐裝置，其特征在于，所述防腐裝置進(jìn)一步包括恒流電源，所述恒流電源的正極與所述金屬件相連，所述恒流電源的負(fù)極與所述水洗腔體的金屬殼相連。3.如權(quán)利要求1或2所述的防腐裝置，其特征在于，所述金屬殼為不銹鋼。4.如權(quán)利要求1或2所述的防腐裝置，其特征在于，所述金屬件為金屬棒、金屬片或金屬塊。5.如權(quán)利要求1或2所述的防腐裝置，其特征在于，所述金屬件由鎂、鋁、鋅中的至少一種金屬制成。6.如權(quán)利要求2所述的防腐裝置，其特征在于，所述恒流電源所提供的電流為0.1A-0.2A07.如權(quán)利要求1所述的防腐裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體尾氣處理裝置為熱水洗式或等離子水洗式現(xiàn)場尾氣處理裝置。
【文檔編號】H01L21/00GK105845542SQ201510018348
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2015年1月14日
【發(fā)明人】潘家榮, 孫建華, 何亮, 崔益龍
【申請人】無錫華潤上華科技有限公司