半導體設備報警處理的方法及裝置的制造方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種半導體設備報警處理的方法及裝置。
【背景技術】
[0002] 在半導體加工領域，當機臺設備發(fā)生了某些異常狀況且需耍用戶干預或者通知用 戶時，可W拋出一個告警給用戶。將這個告警稱為Alarm。當一個告警拋出時，用戶可W看 至IjAlam的序號（number)，一般情況下，這個number都沒有實際的意義，就是一個隨機的數 字，只是耍求每個Alarm與number-一對應。用戶如果耍清楚地區(qū)分是什么異常情況，需查 看告警的描述（message,discription)。有時用戶仍然無法定位問題所在，耍向開發(fā)人員求 助，由于用戶水平參差不齊，用戶和開發(fā)人員交流時不能清楚的描述究竟是哪個報警拋出， 對于開發(fā)人員定位問題帶來一定的困難。
[0003] 綜上所述，如何通過半導體設備發(fā)出的報警快速準確的區(qū)分異常情況是一個亟待 解決的問題。

【發(fā)明內容】

[0004] 基于此，有必耍提供一種能夠使工藝加工人員通過機臺設備拋出的報警準確判斷 設備發(fā)生的異常情況的半導體設備報警處理的方法及裝置。
[0005] 為實現本發(fā)明目的提供的半導體設備報警處理的方法，包括W下步驟：
[0006] 接收機臺設備的反饋信號；
[0007] 判斷所述反饋信號是否為設備異常信號；
[000引若是，則發(fā)出報警序號；
[0009] 所述報警序號包括報警部件號及報警類型號。
[0010] 作為一種半導體設備報警處理的方法的可實施方式，所述發(fā)出由報警部件號及報 警類型號構成的報警序號，包括W下步驟：
[0011] 讀取所述設備異常信號對應的預設報警序號；
[0012] 將所述預設報警序號與其他報警參數一起組成一個完整的報警，并發(fā)出；
[0013] 所述其他參數包括報警名字、簡單描述W及詳細描述中的一種或者兩種W上。
[0014] 作為一種半導體設備報警處理的方法的可實施方式，所述方法還包括W下步驟：
[0015] 將所述半導體設備中的報警部件與所述報警部件號一一對應，并存儲到數據庫 中；
[0016] 將所述報警類型號與報警類型號的含義一一對應，并存儲到數據庫中。
[0017] 作為一種半導體設備報警處理的方法的可實施方式，所述報警部件號為三位或者 三位W上的數字；
[0018] 所述報警類型號為三位或者三位W上的數字。
[0019] 作為一種半導體設備報警處理的方法的可實施方式，所述將所述半導體設備中的 報警部件與所述報警部件號一一對應，并存儲到數據庫中，包括W下步驟：
[0020] 將所述半導體設備中報警部件按照實現功能劃分為多個模塊，不同的模塊對應不 同的報警部件號段；
[0021] 根據所述報警部件所屬的模塊對應的報警部件號段確定報警部件號；
[0022] 將所述報警部件號及相應的報警部件號存儲到數據庫中。
[0023] 作為一種半導體設備報警處理的方法的可實施方式，還包括W下步驟：
[0024] 從所述數據庫中查找所述半導體設備發(fā)出的報警序號對應的報警部件及報警類 型。
[0025] 基于同一發(fā)明構思的一種半導體設備報警處理的裝置，包括信號接收模塊，異常 判斷模塊，W及報警模塊，其中：
[0026]所述信號接收模塊，用于接收機臺設備的反饋信號；
[0027] 所述異常判斷模塊，用于判斷所述反饋信號是否為設備異常信號；
[0028] 所述報警模塊，用于根據所述設備異常信號發(fā)出報警序號；
[0029] 所述報警序號包括報警部件號及報警類型號。
[0030] 作為一種半導體設備報警處理的裝置的可實施方式，所述報警模塊包括序號讀取 子模塊和組合報警子模塊，其中：
[0031] 所述序號讀取子模塊，用于讀取所述設備異常信號對應的預設報警序號；
[0032] 所述組合報警子模塊，用于將所述預設報警序號與其他報警參數一起組成一個完 整的報警，并發(fā)出；
[0033] 所述其他參數包括報警名字、簡單描述W及詳細描述中的一種或者兩種W上。
[0034] 作為一種半導體設備報警處理的裝置的可實施方式，所述裝置還包括報警部件存 儲模塊和報警類型存儲模塊，其中：
[0035] 所述報警部件存儲模塊，用于將所述半導體設備中的報警部件與所述報警部件號 一一對應，并存儲到數據庫中；
[0036] 所述報警類型存儲模塊，用于將所述報警類型號與報警類型號的含義一一對應， 并存儲到數據庫中。
[0037] 作為一種半導體設備報警處理的裝置的可實施方式，所述報警部件存儲模塊包括 模塊劃分子模塊、報警部件號確定子模塊和存儲子模塊，其中：
[0038] 所述模塊劃分子模塊，用于將所述半導體設備中報警部件按照實現功能劃分為多 個模塊，不同的模塊對應不同的報警部件號段；
[0039] 所述報警部件號確定子模塊，用于根據所述報警部件所屬的模塊對應的報警部件 號段確定報警部件號；
[0040] 所述存儲子模塊，用于將所述報警部件號及相應的報警部件號存儲到數據庫中。
[0041] 作為一種半導體設備報警處理的裝置的可實施方式，還包括查找模塊，用于從所 述數據庫中查找所述半導體設備發(fā)出的報警序號對應的報警部件及報警類型。
[0042] 本發(fā)明的有益效果包括：
[0043] 本發(fā)明提供的一種半導體設備報警處理的方法及裝置，通過定義每一報警對應的 部件的編號，及不同類型的報警對應的報警類型編號，使設備在拋出故障報警時，拋出特定 的帶有含義的報警序號。工藝加工人員可根據報警序號直接定位到發(fā)生故障的設備的機械 部件，如是冷卻器，溫控器或者是干粟出現了問題。省去了傳統(tǒng)技術中查看報警的詳細描述 的步驟。更避免了由于工藝加工人員和控制軟件開發(fā)人員之間的溝通問題。使工藝加工人 員可快速定位并解決設備異常情況，提高工藝加工生產的效率。
【附圖說明】
[0044] 圖1為本發(fā)明一種半導體設備報警處理的方法的一具體實施例的流程圖；
[0045] 圖2為本發(fā)明一種半導體設備報警處理的裝置的一具體實施例的系統(tǒng)結構示意 圖；
[0046] 圖3為本發(fā)明一種半導體設備報警處理的裝置的一具體實施例的報警部件存儲 模塊構成示意圖。
【具體實施方式】
[0047]為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，W下結合附圖對本發(fā)明的 半導體設備報警處理的方法的【具體實施方式】進行說明。應當理解，此處所描述的具體實施 例僅僅用W解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0048] 本發(fā)明實施例的半導體設備報警處理的方法，如圖1所示，包括W下步驟：
[0049] SlOO,接收機臺設備的反饋f目號。
[0050] S200,判斷反饋信號是否為設備異常信號。如給冷卻器通訊時冷卻器沒有反應，貝U 可斷定工藝設備出現了故障。此時，冷卻器無反應的空反饋信號，或者連接中斷的反饋信號 則為設備異常信號?？刂瞥绦驊l(fā)出故障報警。
[0051] S300,當收到設備異常信號時，則發(fā)出包括報警部件號及報警類型號的報警序號。
[0052]當然，半導體設備工藝加工過程無設備故障時，設備無需拋出報警，按照既定程序 執(zhí)行工藝加工，直至工藝加工完成。
[0053] 本發(fā)明實施例采用報警部件號+報警類型號的方式來組合報警?？蒞根據實際的 情況選取幾位數字代表報警部件號，根據實際情況選取幾位數字代表報警類型號。
[0054] 其中，報警部件號，采用唯一的IDddentification，身份驗證）號對應唯一軟件的 部件號。軟件的部件號與設備的機械部件號不同，由軟件定義和維護，只記錄會拋出報警部 件。