固晶機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)，特別是涉及一種固晶機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的固晶機(jī)用于實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件與基板間的電氣連接。傳統(tǒng)固晶機(jī)可將半導(dǎo)體器件用導(dǎo)電銀漿或非導(dǎo)電膠粘固在基板上。然后進(jìn)行烘烤工藝，將導(dǎo)電銀漿或非導(dǎo)電膠粘結(jié)的半導(dǎo)體器件固化。最后在熱壓超聲作用下，通過(guò)焊線機(jī)，將基板與半導(dǎo)體器件之間通過(guò)金線(銅線或銀合金線)相連，以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件與基板間的電氣連通。
[0003]但是，傳統(tǒng)的固晶機(jī)的膠量不好控制，均勻性、一致性不太好。膠太多的話，可能會(huì)造成半導(dǎo)體電極表面粘膠，不能焊線。如果是導(dǎo)電膠的話，可能還會(huì)導(dǎo)致電氣短路問(wèn)題。對(duì)越來(lái)越小型化、精細(xì)化、緊湊化的產(chǎn)品應(yīng)用趨勢(shì)，也是一個(gè)不利因素。而膠太少的話，后續(xù)焊線容易影響半導(dǎo)體器件在基板上的牢靠性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，為了解決傳統(tǒng)的固晶機(jī)膠量不好控制的問(wèn)題，提供一種通過(guò)錫膏來(lái)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件與基板間固定，并適用于回流焊工藝的固晶機(jī)。
[0005]—種固晶機(jī)，包括:
[0006]機(jī)臺(tái)；
[0007]基板安裝機(jī)構(gòu)，用于裝載基板，所述基板安裝機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)上；
[0008]絲印機(jī)構(gòu)，用于在所述基板上通過(guò)絲網(wǎng)印刷的方式印刷錫膏；
[0009]半導(dǎo)體器件傳送機(jī)構(gòu)，用于裝載半導(dǎo)體器件，所述半導(dǎo)體器件傳送機(jī)構(gòu)設(shè)置于機(jī)臺(tái)上，并位于基板安裝機(jī)構(gòu)的一側(cè);及
[0010]器件抓取機(jī)構(gòu)，用于抓取所述半導(dǎo)體器件并將其放置于所述基板上，以使所述半導(dǎo)體器件通過(guò)所述錫膏與所述基板相固定。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述基板安裝機(jī)構(gòu)包括:
[0012]基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)上；
[0013]夾具，用于裝載基板，所述夾具可滑動(dòng)地設(shè)置于所述基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上;及
[0014]驅(qū)動(dòng)電機(jī)，與所述夾具相聯(lián)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)可驅(qū)動(dòng)所述夾具在所述基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)。
[0015]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述絲印機(jī)構(gòu)包括:
[0016]第一支架，設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)上；
[0017]鋼網(wǎng)固定架，設(shè)置于第一支架中部；
[0018]鋼網(wǎng)，固定于所述鋼網(wǎng)固定架上，并位于所述基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上方；
[0019]水平運(yùn)動(dòng)裝置，設(shè)置于所述第一支架的頂部;及
[0020]刮刀裝置，設(shè)置于所述水平運(yùn)動(dòng)裝置上，所述水平運(yùn)動(dòng)裝置可帶動(dòng)所述刮刀裝置在所述鋼網(wǎng)上水平移動(dòng)。
[0021]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述絲印機(jī)構(gòu)還包括豎直電機(jī)，所述豎直電機(jī)設(shè)置于所述第一支架上，并與所述鋼網(wǎng)固定架相聯(lián)動(dòng)，所述豎直電機(jī)可帶動(dòng)所述鋼網(wǎng)固定架運(yùn)動(dòng)，以使所述鋼網(wǎng)固定架靠近或遠(yuǎn)離所述基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌。
[0022]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述刮刀裝置包括豎直氣缸及刮刀，所述豎直氣缸設(shè)置于所述水平運(yùn)動(dòng)裝置上，并與所述刮刀相聯(lián)動(dòng)，所述豎直氣缸可驅(qū)動(dòng)所述刮刀靠近或遠(yuǎn)離所述鋼網(wǎng)。
[0023]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述水平運(yùn)動(dòng)裝置包括:
[0024]水平導(dǎo)軌，設(shè)置于所述第一支架的頂部，所述刮刀裝置可滑動(dòng)地設(shè)置于所述水平導(dǎo)軌上；
[0025]傳動(dòng)電機(jī)，設(shè)置于所述水平導(dǎo)軌的一端
[0026]傳動(dòng)輪，與所述傳動(dòng)電機(jī)相連，所述傳動(dòng)電機(jī)可驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng);及
[0027]傳動(dòng)帶，與所述刮刀裝置相連接，所述傳動(dòng)輪通過(guò)所述傳動(dòng)帶與所述刮刀裝置相聯(lián)動(dòng)，所述傳動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，以使所述刮刀裝置在所述水平導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)。
[0028]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體器件傳送機(jī)構(gòu)包括:
[0029]器件移動(dòng)平臺(tái)，設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)上；
[0030]器件藍(lán)膜，用于承載半導(dǎo)體器件，設(shè)置于所述器件移動(dòng)平臺(tái)，所述器件移動(dòng)平臺(tái)可帶動(dòng)所述器件藍(lán)膜運(yùn)動(dòng)；
[0031]器件視覺(jué)模塊，用于對(duì)所述器件藍(lán)膜上的所述半導(dǎo)體器件進(jìn)行識(shí)別分析，所述器件移動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)所述器件藍(lán)膜運(yùn)動(dòng)，可使所述器件視覺(jué)模塊正對(duì)于所述器件藍(lán)膜;及
[0032]頂針，設(shè)置于所述器件藍(lán)膜中部。
[0033]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述器件抓取機(jī)構(gòu)包括:
[0034]擺臂，架設(shè)于所述基板安裝機(jī)構(gòu)及所述半導(dǎo)體器件傳送機(jī)構(gòu)之間，所述擺臂可擺動(dòng);及
[0035]吸嘴，設(shè)置于所述擺臂的端部。
[0036]在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括用于吹氣或吸氣的氣路裝置，所述氣路裝置與所述吸嘴相連通。
[0037]在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括工控機(jī)構(gòu)，所述工控機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)內(nèi)，并與基板安裝機(jī)構(gòu)、絲印機(jī)構(gòu)、半導(dǎo)體器件傳送機(jī)構(gòu)及器件抓取機(jī)構(gòu)通信連接。
[0038]上述固晶機(jī)，通過(guò)在基板上絲印錫膏，通過(guò)錫膏來(lái)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件與基板之間電極的金屬鍵合，解決傳統(tǒng)的固晶機(jī)膠量不好控制的問(wèn)題，提高了產(chǎn)品的良率。
[0039]并且，上述固晶機(jī)可自動(dòng)識(shí)別基板及半導(dǎo)體器件，以精確地印刷錫膏，并精確抓取并固放半導(dǎo)體器件，進(jìn)一步提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。
【附圖說(shuō)明】
[0040]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他實(shí)施例的附圖。
[0041 ]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中固晶機(jī)的結(jié)構(gòu)圖；[0042 ]圖2為圖1所示固晶機(jī)中絲印機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；及
[0043]圖3為圖1所示固晶機(jī)中A處的局部放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0044]為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本發(fā)明的較佳實(shí)施方式。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來(lái)實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施方式。相反地，提供這些實(shí)施方式的目的是使對(duì)本發(fā)明的公開(kāi)內(nèi)容理解的更加透徹全面。
[0045]需要說(shuō)明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。本文所使用的術(shù)語(yǔ)“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說(shuō)明的目的，并不表示是唯一的實(shí)施方式。
[0046]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說(shuō)明書(shū)中所使用的術(shù)語(yǔ)只是為了描述具體的實(shí)施方式的目的，不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語(yǔ)“及/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。
[0047]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明較佳實(shí)施例中的固晶機(jī)10，包括機(jī)臺(tái)100、基板安裝機(jī)構(gòu)200、絲印機(jī)構(gòu)300、半導(dǎo)體器件傳送機(jī)構(gòu)400及器件抓取機(jī)構(gòu)500。
[0048]基板安裝機(jī)構(gòu)200用于裝載基板，基板安裝機(jī)構(gòu)200設(shè)置于機(jī)臺(tái)100上。具體在本實(shí)施例中，基板安裝機(jī)構(gòu)200包括基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌210、夾具230及驅(qū)動(dòng)電機(jī)250。
[0049]基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌210設(shè)置于機(jī)臺(tái)100上。夾具230用于裝載基板(圖未標(biāo))。夾具230可滑動(dòng)地設(shè)置于基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌210上。工作時(shí)，操作人員可在夾具230上裝卸基板。驅(qū)動(dòng)電機(jī)250與夾具230相聯(lián)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)250可驅(qū)動(dòng)夾具230在基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌210上運(yùn)動(dòng)。
[0050]此外，該基板安裝機(jī)構(gòu)200還可包括基板視覺(jué)模塊270，基板裝載于夾具230上，并隨夾具230可運(yùn)動(dòng)，以使基板視覺(jué)模塊270正對(duì)。基板視覺(jué)模塊270用于對(duì)基板進(jìn)行拍照，并由主控系統(tǒng)對(duì)拍照進(jìn)行分析，以定位基板上需要印刷錫膏的位置。
[0051]絲印機(jī)構(gòu)300用于在基板上通過(guò)絲網(wǎng)印刷的方式印刷錫膏。請(qǐng)一并參閱圖2，絲印機(jī)構(gòu)300包括第一支架310、鋼網(wǎng)固定架320、鋼網(wǎng)330、水平運(yùn)動(dòng)裝置340及刮刀裝置350。
[0052]第一支架310設(shè)置于機(jī)臺(tái)100上。鋼網(wǎng)固定架320設(shè)置于第一支架310中部。鋼網(wǎng)330固定于鋼網(wǎng)固定架320上，并位于基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌210上方。鋼網(wǎng)330具體為鏤空結(jié)構(gòu)。水平運(yùn)動(dòng)裝置340設(shè)置于第一支架310的頂部。刮刀裝置350設(shè)置于水平運(yùn)動(dòng)裝置340上，水平運(yùn)動(dòng)裝置340可帶動(dòng)刮刀裝置350在鋼網(wǎng)330上水平移動(dòng)。刮刀裝置350設(shè)置于水平運(yùn)動(dòng)裝置340上，水平運(yùn)動(dòng)裝置340可帶動(dòng)刮刀裝置350在鋼網(wǎng)330上水平移動(dòng)。
[0053]具體的，絲印機(jī)構(gòu)300還包括豎直電機(jī)360。豎直電機(jī)360設(shè)置于第一支架310上，并與鋼網(wǎng)固定架320相聯(lián)動(dòng)，豎直電機(jī)360可帶動(dòng)鋼網(wǎng)固定架320運(yùn)動(dòng)，以使鋼網(wǎng)固定架320靠近或遠(yuǎn)離基板運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌210。
[0054]刮刀裝置350包括豎直氣缸352及刮刀354。豎直氣缸352設(shè)置于水平運(yùn)動(dòng)裝置340上，并與刮刀354相聯(lián)動(dòng)。豎直氣缸352可驅(qū)動(dòng)刮刀354靠近或遠(yuǎn)離鋼網(wǎng)330。
[0055]水平運(yùn)動(dòng)裝置340包括水平導(dǎo)軌342、傳動(dòng)電機(jī)344、傳動(dòng)輪346及傳動(dòng)帶348。水平導(dǎo)軌342設(shè)置于第一