柔性顯示基板及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性顯示基板及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在顯示技術(shù)領(lǐng)域，柔性顯示器的顯示技術(shù)種類(lèi)較多，例如包括傳統(tǒng)的液晶顯示技術(shù)、雙穩(wěn)態(tài)液晶顯示技術(shù)、有機(jī)發(fā)光二極管(organic light-emitting d1de，0LED)顯示技術(shù)、電泳顯示技術(shù)、電致變色(Electrochromism，EC)顯示技術(shù)與電致發(fā)光(electroluminescent, EL)顯示技術(shù)等。其中柔性有機(jī)發(fā)光二極管(flexible organiclight-emitting d1de，F(xiàn)0LED)顯示器相比其他柔性顯示器具有更多的優(yōu)點(diǎn)，例如自發(fā)光顯示、響應(yīng)速度快、亮度高、視角寬、成本低等。而且，F(xiàn)0LED顯示器是基于柔性有機(jī)材料的顯示器，可以被卷曲、折疊、甚至作為可穿戴計(jì)算機(jī)的一部分，因此在顯示效果好的便攜產(chǎn)品和軍事等特殊領(lǐng)域有非常廣泛的應(yīng)用。
[0003]傳統(tǒng)的柔性顯示器主要采用厚度小于100微米的柔性基材例如超薄玻璃、不銹鋼薄膜以及塑料基材等。其柔性顯示基板的制備方法一般包括:在承載基板上形成柔性基底，然后再形成顯示單元，最后將柔性基底與硬質(zhì)的承載基板剝離。將柔性基底上制備的顯示單元從承載基板上剝離下來(lái)后，既要保證整體可彎折、可繞曲的特性，又要能有效地阻隔水氧從基底背面侵透，腐蝕上層顯示元器件，因此針對(duì)單層結(jié)構(gòu)的采用有機(jī)聚合物基材的柔性基底需要作出改進(jìn)；在目前的工藝制程中，通常利用疊層的柔性基底(stacked flexiblesubstrate)來(lái)提高其阻隔水氧的能力，即利用“有機(jī)_無(wú)機(jī)_有機(jī)_無(wú)機(jī)”多層交疊的薄膜來(lái)作為柔性基底。在此過(guò)程中，需要解決有機(jī)-無(wú)機(jī)膜層之間黏合強(qiáng)度不夠引起的剝離過(guò)程中膜面分離的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種柔性顯示基板的制造方法，通過(guò)圖案化柔性基底的兩層有機(jī)層之間的無(wú)機(jī)阻隔層，使得兩層有機(jī)層通過(guò)無(wú)機(jī)阻隔層上的間隙直接接觸，增強(qiáng)了柔性基底內(nèi)上下膜層之間的黏合強(qiáng)度，避免剝離制程中將柔性基底內(nèi)膜層誤剝和膜面損傷的問(wèn)題，且方法簡(jiǎn)單、制程效率高。
[0005]本發(fā)明的目的還在于提供一種柔性顯示基板，柔性基底為具有四層膜層的疊層結(jié)構(gòu)，能實(shí)現(xiàn)有效阻隔水氧侵蝕的功能，且柔性基底內(nèi)兩層有機(jī)層通過(guò)無(wú)機(jī)阻隔層上的間隙直接接觸，柔性基底內(nèi)上下膜層之間的黏合強(qiáng)度高。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種柔性顯示基板的制造方法，包括如下步驟:
[0007]步驟1、提供承載基板，在所述承載基板上形成第一有機(jī)層；
[0008]步驟2、在所述第一有機(jī)層上形成圖案化的第一無(wú)機(jī)阻隔層，所述第一無(wú)機(jī)阻隔層包括數(shù)個(gè)間隔排列的無(wú)機(jī)阻隔單元；
[0009]步驟3、在所述第一有機(jī)層、及第一無(wú)機(jī)阻隔層上形成第二有機(jī)層，所述第二有機(jī)層通過(guò)所述數(shù)個(gè)無(wú)機(jī)阻隔單元之間的間隙與所述第一有機(jī)層相接觸；
[0010]步驟4、在所述第二有機(jī)層上形成第二無(wú)機(jī)阻隔層，得到包括第一有機(jī)層、第一無(wú)機(jī)阻隔層、第二有機(jī)層、及第二無(wú)機(jī)阻隔層的柔性基底；
[0011]步驟5、在所述柔性基底上形成顯示器件；
[0012]步驟6、將柔性基底從所述承載基板上剝離下來(lái)。
[0013]所述步驟2具體為:
[0014]步驟21、提供靜電紡絲裝置，所述靜電紡絲裝置包括噴頭、設(shè)于噴頭下方的工作平臺(tái)、左右導(dǎo)軌、及前后導(dǎo)軌；將所述承載基板放置于所述工作平臺(tái)上；
[0015]步驟22、啟動(dòng)靜電紡絲裝置，通過(guò)噴頭向位于其下方的承載基板上噴射靜電紡絲溶液，同時(shí)使所述承載基板隨工作平臺(tái)沿左右導(dǎo)軌、或者前后導(dǎo)軌前后左右移動(dòng)，從而在所述第一有機(jī)層上形成相互交錯(cuò)的靜電紡絲纖維，得到具有網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的聚合物纖維層；
[0016]步驟23、在所述第一有機(jī)層、及所述聚合物纖維層上沉積一層無(wú)機(jī)物膜層，該層無(wú)機(jī)物膜層一部分直接附著于所述聚合物纖維層的靜電紡絲纖維上，另一部分直接附著于所述第一有機(jī)層上，形成數(shù)個(gè)間隔分布的無(wú)機(jī)阻隔單元；所述數(shù)個(gè)無(wú)機(jī)阻隔單元被所述靜電紡絲纖維分割開(kāi)；
[0017]步驟24、將所述聚合物纖維層、及附著于所述聚合物纖維層上的無(wú)機(jī)物膜層材料去掉，得到具有數(shù)個(gè)無(wú)機(jī)阻隔單元的第一無(wú)機(jī)阻隔層。
[0018]所述步驟22中，形成的靜電紡絲纖維的直徑為lOnm-lOOO μπι。
[0019]所述步驟22中形成的聚合物纖維層為有規(guī)則排列的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，所述步驟24中形成的無(wú)機(jī)阻隔層的數(shù)個(gè)無(wú)機(jī)阻隔單元按矩陣陣列排布。
[0020]同一方向上相鄰的靜電紡絲纖維之間的距離為10nm-1000 ym
[0021]所述步驟22中形成的聚合物纖維層為不規(guī)則排列的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
[0022]所述步驟24中，利用溶液浸泡法、超聲法、或者兩者結(jié)合的方法將所述聚合物纖維層、及附著于所述聚合物纖維層上的無(wú)機(jī)物膜層材料去掉。
[0023]所述步驟1中提供的承載基板的材料為玻璃；所述步驟6中采用激光掃描的方式將所述柔性基底從所述承載基板上剝離下來(lái)。
[0024]本發(fā)明還提供一種柔性顯示基板，包括承載基板、設(shè)于所述承載基板上的柔性基底、及設(shè)于所述柔性基底上的顯示單元；
[0025]所述柔性基底包括依次形成于所述承載基板上的第一有機(jī)層、第一無(wú)機(jī)阻隔層、第二有機(jī)層、及第二無(wú)機(jī)阻隔層；
[0026]所述第一無(wú)機(jī)阻隔層包括數(shù)個(gè)間隔排列的無(wú)機(jī)阻隔單元，所述第二有機(jī)層通過(guò)所述數(shù)個(gè)無(wú)機(jī)阻隔單元之間的間隙與所述第一有機(jī)層相接觸。
[0027]所述數(shù)個(gè)無(wú)機(jī)阻隔單元按矩陣陣列排布、或者為不規(guī)則排布
[0028]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供一種柔性顯示基板及其制造方法。本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法，通過(guò)圖案化柔性基底內(nèi)的第一無(wú)機(jī)阻隔層，在第一無(wú)機(jī)阻隔層上形成數(shù)個(gè)間隔排列的無(wú)機(jī)阻隔單元，使得分別位于該無(wú)機(jī)阻隔層上下的有機(jī)層通過(guò)無(wú)機(jī)阻隔單元之間的間隙直接接觸，增強(qiáng)了柔性基底內(nèi)上下膜層之間的黏合強(qiáng)度，避免剝離制程中將柔性基底內(nèi)膜層誤剝和膜面損傷的問(wèn)題，且方法簡(jiǎn)單、制程效率高；本發(fā)明的柔性顯示基板，柔性基底為具有四層膜層的疊層結(jié)構(gòu)，能實(shí)現(xiàn)有效阻隔水氧侵蝕的功能，且柔性基底內(nèi)無(wú)機(jī)阻隔層具有數(shù)個(gè)間隔排列的無(wú)機(jī)阻隔單元，位于該無(wú)機(jī)阻隔層上下的兩層有機(jī)層通過(guò)無(wú)機(jī)阻隔單元之間的間隙直接接觸，柔性基底內(nèi)上下膜層之間的黏合強(qiáng)度高，柔性基底的可靠性高。
[0029]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，然而附圖僅提供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加以限制。
【附圖說(shuō)明】
[0030]下面結(jié)合附圖，通過(guò)對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見(jiàn)。
[0031]附圖中，
[0032]圖1為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的流程圖；
[0033]圖2為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟1的示意圖；
[0034]圖3為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟22的示意圖；
[0035]圖4為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟23的示意圖；
[0036]圖5為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟24的示意圖；
[0037]圖6為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟3的示意圖；
[0038]圖7為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟4的示意圖；
[0039]圖8為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟22的立體示意圖；
[0040]圖9為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟22中得到的聚合物纖維層的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0041]圖10為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟24中得到的第一無(wú)機(jī)阻隔層的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0042]圖11為本發(fā)明的柔性顯示基板的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0043]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0044]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明提供一種柔性顯示基板的制造方法，包括如下步驟:
[0045]步驟1、如圖2所示，提供承載基板10，在所述承載基板10上涂布形成第一有機(jī)層21 ；
[0046]具體的，所述承載基板10為玻璃基板。
[0047]步驟2、在所述第一有機(jī)層21上形成圖案化的第一無(wú)機(jī)阻隔層22，所述第一無(wú)機(jī)阻隔層22包括數(shù)個(gè)間隔排列的無(wú)機(jī)阻隔單元221 ;
[0048]具體的，請(qǐng)參閱圖3-5、及圖8，該步驟2具體包括如下步驟:
[0049]步驟21、提供靜電紡絲裝置50，所述靜電紡絲裝置包括噴頭51、設(shè)于噴頭下方的工作平臺(tái)52、左右導(dǎo)軌53、及前后導(dǎo)軌54 ;待所述第一有機(jī)層21固化后，將所述承載基板10放置于所述工作平臺(tái)52上；
[0050]步驟22、如圖3、圖8所示，啟動(dòng)靜電紡絲裝置50，通過(guò)噴頭51向位于其下方的承載基板10上噴射靜電紡絲溶液，同時(shí)使所述承載基板10隨工作平臺(tái)52沿左右導(dǎo)軌53、或者前后導(dǎo)軌54前后左右移動(dòng)，從而在所述第一有機(jī)層21上形成相互交錯(cuò)的靜電紡絲纖維，得到具有網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的聚合物纖維層30 ;
[0051]具體的，所述步驟22中形成的靜電紡絲纖維的直徑為lOnm-lOOO μπι ;
[0052]步驟23、如圖4所示，在所述第一有機(jī)層21、及所述聚合物纖維層30上沉積一層無(wú)機(jī)物膜層，該層無(wú)機(jī)物膜層一部分直接附著于所述聚合物纖維層3