本發(fā)明涉及顯示制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性顯示基板剝離裝置及方法。

背景技術(shù)：

由于柔性顯示裝置具有可變形、可彎曲等特點(diǎn)，柔性顯示裝置得到越來越廣泛的應(yīng)用，柔性顯示裝置通常包括柔性顯示基板，柔性顯示基板是一種基于柔性襯底基板制作形成的顯示基板。

目前，柔性顯示基板的制備方法一般采用如下過程，即：在剛性基板(例如玻璃基板)上形成柔性襯底基板，在柔性襯底基板上制備呈陣列排布的多個(gè)像素結(jié)構(gòu)，形成位于剛性基板上的柔性顯示基板，之后再采用激光照射掃描的方法即激光剝離方法(laserlift-off，llo)對(duì)柔性顯示基板進(jìn)行剝離，激光掃描照射剛性基板，激光入射至剛性基板并透過剛性基板照射在柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上，使柔性襯底基板朝向剛性基板的表面發(fā)生分解，柔性襯底基板和剛性基板分離，然后將柔性顯示基板從剛性基板上取下，完成柔性顯示基板的制備。

在現(xiàn)有的柔性顯示基板的制備方法中，采用激光剝離方法對(duì)柔性顯示基板進(jìn)行剝離時(shí)，激光入射至剛性基板并透過剛性基板照射在柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上時(shí)，激光通常垂直照射剛性基板，當(dāng)剛性基板背向柔性襯底基板的表面上存在雜質(zhì)或灰塵等異物時(shí)，該異物會(huì)阻擋掃描至該處的激光入射至剛性基板并透過剛性基板照射在柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上，因而柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上與異物對(duì)應(yīng)的區(qū)域不能進(jìn)行有效分解，柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上與異物對(duì)應(yīng)的區(qū)域也不能與剛性基板分離，后續(xù)將柔性顯示基板從剛性基板上取下時(shí)，造成柔性顯示基板與異物對(duì)應(yīng)的區(qū)域發(fā)生形變，甚至對(duì)柔性顯示基板與異物對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)的像素結(jié)構(gòu)造成不良影響，例如，造成該區(qū)域內(nèi)的像素結(jié)構(gòu)的薄膜晶體管遺留在剛性基板上，從而引起柔性顯示裝置的畫面顯示質(zhì)量降低，例如，柔性顯示裝置顯示畫面時(shí)出現(xiàn)黑點(diǎn)或暗點(diǎn)的現(xiàn)象。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種柔性顯示基板剝離裝置，用于改善柔性顯示裝置的畫面顯示質(zhì)量。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種柔性顯示基板剝離裝置，包括：

載物臺(tái)，用于承載形成有柔性顯示基板的剛性基板，柔性顯示基板與所述載物臺(tái)接觸，所述剛性基板包括相對(duì)的第一側(cè)和第二側(cè)；

位于所述載物臺(tái)上方的激光發(fā)生器，所述激光發(fā)生器發(fā)出的激光可在所述剛性基板的第一側(cè)和所述剛性基板的第二側(cè)之間水平往復(fù)移動(dòng)；

對(duì)柔性顯示基板進(jìn)行剝離時(shí)，所述激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行至少兩次掃描照射，其中至少兩次掃描照射時(shí)，激光入射至所述剛性基板的入射方向，與所述剛性基板的第一側(cè)指向所述剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角不相同。

優(yōu)選地，所述激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行至少兩次掃描照射，其中至少兩次掃描照射時(shí)，所述激光發(fā)生器發(fā)出的激光入射至所述剛性基板的入射方向不相同。

優(yōu)選地，所述激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行至少兩次掃描照射，其中至少兩次掃描照射時(shí)，所述激光發(fā)生器發(fā)出的激光入射至所述剛性基板的入射角不相同。

進(jìn)一步地，所述激光發(fā)生器包括用于生成激光的激光生成器和供激光出射并入射至所述剛性基板的激光發(fā)射頭，所述激光發(fā)射頭可沿垂直于所述剛性基板的第一側(cè)或所述剛性基板的第二側(cè)的方向往復(fù)移動(dòng)，所述激光發(fā)生器還包括調(diào)節(jié)激光入射至所述剛性基板的入射角的角度調(diào)節(jié)裝置。

進(jìn)一步地，所述激光生成器生成的激光水平入射至所述激光發(fā)射頭，所述角度調(diào)節(jié)裝置包括可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置所述激光發(fā)射頭內(nèi)的反射片，所述反射片將所述激光生成器生成的激光反射至所述剛性基板。

優(yōu)選地，所述載物臺(tái)可繞豎直方向180°轉(zhuǎn)動(dòng)。

當(dāng)利用本發(fā)明提供的柔性顯示基板剝離裝置對(duì)柔性顯示基板進(jìn)行剝離時(shí)，先將形成有柔性顯示基板的剛性基板放置在載物臺(tái)上，其中柔性顯示基板與載物臺(tái)接觸，即柔性顯示基板朝下；然后使激光發(fā)生器發(fā)出的激光沿水平方向在剛性基板的第一側(cè)和剛性基板的第二側(cè)之間移動(dòng)，利用激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)剛性基板進(jìn)行至少兩次掃描照射，在激光對(duì)剛性基板進(jìn)行的至少兩次掃描照射中，其中至少兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板的入射方向與剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角不相同，因此，當(dāng)剛性基板背向柔性顯示基板的表面上存在雜質(zhì)或灰塵等異物時(shí)，在激光對(duì)剛性基板進(jìn)行的至少兩次掃描照射中，其中至少兩次掃描照射時(shí)，異物沿激光的入射方向在柔性顯示基板的柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上投影的位置不相同，與現(xiàn)有技術(shù)中激光垂直入射至剛性基板時(shí)造成異物在柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上投影的位置不變相比，可以防止柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上與異物對(duì)應(yīng)的區(qū)域不能進(jìn)行有效分解，防止柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上與異物對(duì)應(yīng)的區(qū)域不能與剛性基板分離，從而防止后續(xù)將柔性顯示基板從剛性基板上取下時(shí)造成柔性顯示基板與異物對(duì)應(yīng)的區(qū)域發(fā)生異常，進(jìn)而改善柔性顯示裝置的畫面顯示質(zhì)量。

本發(fā)明的目的還在于提供一種柔性顯示基板剝離方法，用于改善柔性顯示裝置的畫面顯示質(zhì)量。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種柔性顯示基板剝離方法，包括：

將形成有柔性顯示基板的剛性基板放置在載物臺(tái)上；

使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行至少兩次掃描照射，其中至少兩次掃描照射時(shí)，所述激光入射至所述剛性基板的入射方向，與所述剛性基板的第一側(cè)指向所述剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角不相同。

優(yōu)選地，所述使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行至少兩次掃描照射的步驟中，使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射，使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射的步驟包括：

使激光以第一入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射；

使激光以第二入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射。

優(yōu)選地，在所述使激光以第一入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射的步驟中，激光入射至所述剛性基板的入射角為第一入射角；

在所述使激光以第二入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射的步驟中，激光入射至所述剛性基板的入射角為第二入射角，所述第二入射角與所述第一入射角不相同。

優(yōu)選地，使激光以第一入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第一掃描照射時(shí)，激光沿所述剛性基板的第一側(cè)指向所述剛性基板的第二側(cè)的方向移動(dòng)；使激光以第二入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)，激光沿所述剛性基板的第二側(cè)指向所述剛性基板的第一側(cè)的方向移動(dòng)；

或者，

使激光以第一入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第一掃描照射時(shí)，激光沿所述剛性基板的第二側(cè)指向所述剛性基板的第一側(cè)的方向移動(dòng)；使激光以第二入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)，激光沿所述剛性基板的第一側(cè)指向所述剛性基板的第二側(cè)的方向移動(dòng)。

優(yōu)選地，激光的第一入射方向與所述剛性基板的第一側(cè)指向所述剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角為銳角，激光的第二入射方向與所述剛性基板的第一側(cè)指向所述剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角為鈍角；

或者，

激光的第一入射方向與所述剛性基板的第一側(cè)指向所述剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角為鈍角，激光的第二入射方向與所述剛性基板的第一側(cè)指向所述剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角為銳角。

優(yōu)選地，所述使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行至少兩次掃描照射的步驟中，使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射，使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射的步驟包括：

使激光以第三入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射；

使所述載物臺(tái)繞豎直方向轉(zhuǎn)動(dòng)180°；

使激光以第三入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射。

優(yōu)選地，使激光以第三入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射和對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)，激光均沿所述剛性基板的第一側(cè)指向所述剛性基板的第二側(cè)的方向移動(dòng)，或者，激光均沿所述剛性基板的第二側(cè)指向所述剛性基板的第一側(cè)的方向移動(dòng)。

優(yōu)選地，所述使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行至少兩次掃描照射的步驟中，使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射，使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)所述剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射的步驟包括：

使激光以第四入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射；

使所述載物臺(tái)繞豎直方向轉(zhuǎn)動(dòng)180°；

使激光以第五入射方向入射至所述剛性基板，對(duì)所述剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射，其中，激光以第四入射方向入射至所述剛性基板時(shí)對(duì)應(yīng)的入射角與激光以第五入射方向入射至所述剛性基板時(shí)對(duì)應(yīng)的入射角不相同。

所述柔性顯示基板剝離方法與上述柔性顯示基板剝離裝置相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)所具有的優(yōu)勢(shì)相同，在此不再贅述。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本發(fā)明的一部分，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置的示意圖；

圖2為圖1中a區(qū)放大圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置剝離柔性顯示基板的一種方式中對(duì)剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射時(shí)的示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置剝離柔性顯示基板的一種方式中對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)的示意圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置剝離柔性顯示基板的另一種方式中對(duì)剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射時(shí)的示意圖；

圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置剝離柔性顯示基板的另一種方式中對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)的示意圖；

圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置剝離柔性顯示基板的又一種方式中對(duì)剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射時(shí)的示意圖；

圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置剝離柔性顯示基板的又一種方式中對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)的示意圖；

圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置剝離柔性顯示基板的再一種方式中對(duì)剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射時(shí)的示意圖；

圖10為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置剝離柔性顯示基板的再一種方式中對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)的示意圖；

圖11為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離方法的流程圖一；

圖12為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離方法的流程圖二；

圖13為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離方法的流程圖三；

圖14為本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離方法的流程圖四。

附圖標(biāo)記：

10-載物臺(tái)，20-激光發(fā)生器，

21-激光生成器，22-激光發(fā)射頭，

23-反射片，30-剛性基板，

31-第一側(cè)，32-第二側(cè)，

33-柔性顯示基板，40-異物，

41-第一異物投影，42-第二異物投影。

具體實(shí)施方式

為了進(jìn)一步說明本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置及方法，下面結(jié)合說明書附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。

請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置包括載物臺(tái)10和激光發(fā)生器20，載物臺(tái)10用于承載形成有柔性顯示基板33的剛性基板30，柔性顯示基板33與載物臺(tái)10接觸，剛性基板30包括相對(duì)的第一側(cè)31和第二側(cè)32；激光發(fā)生器20位于載物臺(tái)10的上方，激光發(fā)生器20發(fā)出的激光可在剛性基板30的第一側(cè)31和剛性基板30的第二側(cè)32之間水平往復(fù)移動(dòng)；當(dāng)對(duì)柔性顯示基板33進(jìn)行剝離時(shí)，激光發(fā)生器20發(fā)出的激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行至少兩次掃描照射，其中至少兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向，與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角不相同。

舉例來說，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1，本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置包括載物臺(tái)10和激光發(fā)生器20，載物臺(tái)10用于承載形成有柔性顯示基板33的剛性基板30，當(dāng)形成有柔性顯示基板33的剛性基板30放置在載物臺(tái)10上時(shí)，剛性基板30朝上，柔性顯示基板33朝下，柔性顯示基板33與載物臺(tái)10接觸，剛性基板30包括相對(duì)的第一側(cè)31和第二側(cè)32，例如，可以認(rèn)為圖1中剛性基板30的左側(cè)為剛性基板30的第一側(cè)31，圖1中剛性基板30的右側(cè)為剛性基板30的第二側(cè)32；激光發(fā)生器20位于載物臺(tái)10的上方，激光發(fā)生器20用于發(fā)出激光，激光發(fā)生器20發(fā)出的激光出射后照射在剛性基板30上，激光入射至剛性基板30并透過剛性基板30照射在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上，使柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面分解，激光發(fā)生器20發(fā)出的激光可在剛性基板30的第一側(cè)31和剛性基板30的第二側(cè)32之間水平往復(fù)移動(dòng)，也就是說，如圖1所示，激光發(fā)生器20發(fā)出的激光可在圖1中剛性基板30的左側(cè)和右側(cè)之間水平往復(fù)移動(dòng)，以對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射。

當(dāng)使用本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置時(shí)，首先將形成有柔性顯示基板33的剛性基板30按照剛性基板30朝上、柔性顯示基板33朝下地規(guī)則放置在載物臺(tái)10上，柔性顯示基板33與載物臺(tái)10接觸；然后使激光發(fā)生器20發(fā)出的激光，并使激光發(fā)生器20發(fā)出的激光在剛性基板30的第一側(cè)31和剛性基板30的第二側(cè)32之間水平往復(fù)移動(dòng)，以對(duì)剛性基板30進(jìn)行至少兩次掃描照射，在對(duì)剛性基板30進(jìn)行至少兩次掃描照射中，其中至少兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向，與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角不相同，例如，以激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行兩次掃描照射為例進(jìn)行說明，請(qǐng)參閱圖3，在第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向?yàn)閳D3中斜向右下的方向，剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向?yàn)閳D3中由左側(cè)指向右側(cè)的方向，此時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角為α1，圖3中存在于剛性基板30的上表面上的雜質(zhì)、灰塵等異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上的投影即第一異物投影41位于異物40正下方的右側(cè)，請(qǐng)參閱圖4，在第二次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向?yàn)閳D4中斜向左下的方向，剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向?yàn)閳D4中由左側(cè)指向右側(cè)的方向，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角為α2，圖4中存在于剛性基板30的上表面上的雜質(zhì)、灰塵等異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上的投影即第二異物投影42位于異物40正下方的左側(cè)，與第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)圖3中第一異物投影41的位置不同。

由上述可知，當(dāng)利用本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示基板剝離裝置對(duì)柔性顯示基板33進(jìn)行剝離時(shí)，先將形成有柔性顯示基板33的剛性基板30放置在載物臺(tái)10上，其中柔性顯示基板33與載物臺(tái)10接觸，即柔性顯示基板33朝下；然后使激光發(fā)生器20發(fā)出的激光在剛性基板30的第一側(cè)31和剛性基板30的第二側(cè)32之間水平往復(fù)移動(dòng)，利用激光發(fā)生器20發(fā)出的激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行至少兩次掃描照射，在激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行的至少兩次掃描照射中，其中至少兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角不相同，因此，當(dāng)剛性基板30背向柔性顯示基板33的表面上存在雜質(zhì)或灰塵等異物40時(shí)，在激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行的至少兩次掃描照射中，其中至少兩次掃描照射時(shí)，異物40沿激光的入射方向在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上投影的位置不相同，與現(xiàn)有技術(shù)中激光垂直入射至剛性基板30時(shí)造成異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上投影的位置不變相比，可以防止柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上與異物40對(duì)應(yīng)的區(qū)域不能進(jìn)行有效分解，防止柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上與異物40對(duì)應(yīng)的區(qū)域不能與剛性基板30分離，從而防止后續(xù)將柔性顯示基板33從剛性基板30上取下時(shí)造成柔性顯示基板33與異物40對(duì)應(yīng)的區(qū)域發(fā)生異常，進(jìn)而改善柔性顯示裝置的畫面顯示質(zhì)量。

在上述實(shí)施例中，對(duì)柔性顯示基板33進(jìn)行剝離時(shí)，激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射的次數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)定，例如，激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射的次數(shù)可以為兩次，此時(shí)，在第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射和第二次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向，與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角不相同；或者，激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射的次數(shù)可以為三次或三次以上，此時(shí)，任意兩次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向，與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角不相同，或者，在每次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向，與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角均不相同。在本發(fā)明實(shí)施例中，以對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射的次數(shù)為兩次為例進(jìn)行說明。

上述實(shí)施例中，在對(duì)剛性基板30進(jìn)行至少兩次掃描照射中，其中至少兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向，與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角不相同，在實(shí)際應(yīng)用中，可以采用多種方式實(shí)現(xiàn)在至少兩次掃描照射時(shí)激光入射至剛性基板30的入射方向，與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角不相同。例如，激光發(fā)生器20發(fā)出的激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行至少兩次掃描照射，其中至少兩次掃描照射時(shí)，激光發(fā)生器20發(fā)出的激光入射至剛性基板30的入射方向不相同，即通過改變激光發(fā)生器20發(fā)出的激光入射至剛性基板30的入射方向，實(shí)現(xiàn)在至少兩次掃描照射時(shí)激光入射至剛性基板30的入射方向，與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角不相同。

在實(shí)際應(yīng)用中，改變激光發(fā)生器20發(fā)出的激光入射至剛性基板30的入射方向時(shí)，可以僅改變激光發(fā)生器20發(fā)出的激光入射至剛性基板30的入射方向，而不改變激光發(fā)生器20發(fā)出的激光入射至剛性基板30的入射角，以激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行兩次掃描照射為例進(jìn)行說明，請(qǐng)參閱圖3，在第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向?yàn)閳D3中斜向右下θ1的方向，激光入射至剛性基板30的入射角為θ1，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角為α1，圖3中存在于剛性基板30的上表面上的雜質(zhì)、灰塵等異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上的投影即第一異物投影41位于異物40正下方的右側(cè)；請(qǐng)參閱圖4，在第二次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向?yàn)閳D4中斜向左下θ1的方向，激光入射至剛性基板30的入射角為θ1，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角為α2，圖4中存在于剛性基板30的上表面上的雜質(zhì)、灰塵等異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上的投影即第二異物投影42位于異物40正下方的左側(cè)，與第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)第一異物投影41的位置不同。

改變激光發(fā)生器20發(fā)出的激光入射至剛性基板30的入射方向時(shí)，還可以通過改變激光發(fā)生器20發(fā)出的激光入射至剛性基板30的入射角來實(shí)現(xiàn)，即，激光發(fā)生器20發(fā)出的激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行至少兩次掃描照射，其中至少兩次掃描照射時(shí)，激光發(fā)生器20發(fā)出的激光入射至剛性基板30的入射角不相同。以激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行兩次掃描照射為例進(jìn)行說明，請(qǐng)參閱圖5，在第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射角為θ2，激光入射至剛性基板30的入射方向?yàn)閳D5中斜向右下θ2的方向，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角為α3，圖5中存在于剛性基板30的上表面上的雜質(zhì)、灰塵等異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上的投影即第一異物投影41位于異物40正下方的右側(cè)；請(qǐng)參閱圖6，在第二次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射角為θ3，激光入射至剛性基板30的入射方向?yàn)閳D6中斜向右下θ3的方向，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角為α4，圖6中存在于剛性基板30的上表面上的雜質(zhì)、灰塵等異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上的投影即第二異物投影42位于異物40正下方的右側(cè)，由于第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)激光入射至剛性基板30的入射角θ2與第二次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)激光入射至剛性基板30的入射角θ3不相同，因而，第二異物投影42的位置與第一異物投影41的位置不相同。

在上述實(shí)施例中，改變激光發(fā)生器20發(fā)出的激光入射至剛性基板30的入射角時(shí)，可以通過角度調(diào)節(jié)裝置來實(shí)現(xiàn)，舉例來說，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1，激光發(fā)生器20包括用于生成激光的激光生成器21和供激光出射并入射至剛性基板30的激光發(fā)射頭22，激光發(fā)射頭22可沿垂直于剛性基板30的第一側(cè)31或剛性基板30的第二側(cè)32的方向往復(fù)移動(dòng)，激光發(fā)生器20還包括調(diào)節(jié)激光入射至剛性基板30的入射角的角度調(diào)節(jié)裝置。通過角度調(diào)節(jié)裝置，以調(diào)節(jié)激光入射至剛性基板30的入射角，以改變激光發(fā)生器20發(fā)出的激光入射至剛性基板30的入射方向，進(jìn)而改變激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角，實(shí)現(xiàn)在對(duì)剛性基板30進(jìn)行至少兩次掃描照射中，其中至少兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射方向，與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角不相同。

上述實(shí)施例中，角度調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)激光入射至剛性基板30的入射角的實(shí)現(xiàn)形式可以有多種，例如，可以將激光發(fā)射頭22可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在激光生成器21上，角度調(diào)節(jié)裝置也設(shè)置在激光生成器21上，當(dāng)需要調(diào)節(jié)激光入射至剛性基板30的入射角時(shí)，角度調(diào)節(jié)裝置驅(qū)動(dòng)激光發(fā)射頭22轉(zhuǎn)動(dòng)，以調(diào)節(jié)激光發(fā)射頭22的轉(zhuǎn)動(dòng)角度，調(diào)節(jié)激光由激光發(fā)射頭22出射時(shí)的方向，從而調(diào)節(jié)激光入射至剛性基板30的入射角；或者，在本發(fā)明實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖1和圖2，激光發(fā)射頭22位于激光生成器21的一側(cè)，激光生成器21生成的激光水平入射至激光發(fā)射頭22，角度調(diào)節(jié)裝置包括可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在激光發(fā)射頭22內(nèi)的反射片23，反射片23位于水平入射至激光發(fā)射頭22的激光的傳播方向前，激光生成器21生成的激光水平入射至激光發(fā)射頭22，并入射至反射片23，反射片23將激光反射，經(jīng)反射片23反射后的激光由激光發(fā)射頭22的出光口出射，并入射至剛性基板30，即反射片23將激光生成器21生成的激光反射至剛性基板30，激光發(fā)射頭22沿垂直于剛性基板30的第一側(cè)31或剛性基板30的第二側(cè)32的方向往復(fù)移動(dòng)時(shí)，對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射，當(dāng)需要調(diào)節(jié)激光入射至剛性基板30的入射角時(shí)，使反射片23轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)節(jié)反射片23的角度，從而調(diào)節(jié)經(jīng)反射片23反射后的激光由激光發(fā)射頭22的出光口出射的角度，調(diào)節(jié)激光由激光發(fā)射頭22出射時(shí)的方向，從而調(diào)節(jié)激光入射至剛性基板30的入射角。

在本發(fā)明實(shí)施例中，改變激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角時(shí)，還可以通過調(diào)節(jié)剛性基板30的第一側(cè)31和剛性基板30的第二側(cè)32所在的位置，具體地，請(qǐng)參閱圖1，載物臺(tái)10可繞豎直方向180°轉(zhuǎn)動(dòng)。舉例來說，以激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行兩次掃描照射為例進(jìn)行說明，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖7，在第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射角為θ4，激光入射至剛性基板30的入射方向?yàn)閳D7中斜向右下θ4的方向，剛性基板30的第一側(cè)31為圖7中剛性基板30的左側(cè)，剛性基板30的第二側(cè)32為圖7中剛性基板30的右側(cè)，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角為α5，圖7中存在于剛性基板30的上表面上的雜質(zhì)、灰塵等異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上的投影即第一異物投影41位于異物40正下方的右側(cè)，并相對(duì)異物40的正下方靠近剛性基板30的第二側(cè)32；完成對(duì)剛性基板30的第一次掃描照射后，轉(zhuǎn)動(dòng)載物臺(tái)10，使載物臺(tái)10繞豎直方向轉(zhuǎn)動(dòng)180°，請(qǐng)參閱圖8，剛性基板30的第一側(cè)31為圖8中剛性基板30的右側(cè)，剛性基板30的第二側(cè)32為圖8中剛性基板30的左側(cè)；然后對(duì)剛性基板30進(jìn)行第二次掃描照射，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖8，在第二次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射角仍然為θ4，激光入射至剛性基板30的入射方向?yàn)閳D8中斜向右下θ4的方向，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角為α6，圖8中存在于剛性基板30的上表面上的雜質(zhì)、灰塵等異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上的投影即第二異物投影42位于異物40正下方的右側(cè)，并相對(duì)異物40的正下方靠近剛性基板30的第一側(cè)31，與圖7中第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)第一異物投影41的位置不同。

上述實(shí)施例中，通過調(diào)節(jié)激光入射至剛性基板30的入射方向，或者，通過調(diào)節(jié)剛性基板30的第一側(cè)31和剛性基板30的第二側(cè)32所在的位置，改變激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角。在實(shí)際應(yīng)用中，還可以通過同時(shí)調(diào)節(jié)激光入射至剛性基板30的入射方向、以及剛性基板30的第一側(cè)31和剛性基板30的第二側(cè)32所在的位置，改變激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角。舉例來說，以激光對(duì)剛性基板30進(jìn)行兩次掃描照射為例進(jìn)行說明，請(qǐng)參閱圖9，在第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射角為θ5，剛性基板30的第一側(cè)31為圖9中剛性基板30的左側(cè)，剛性基板30的第二側(cè)32為圖9中剛性基板30的右側(cè)，激光入射至剛性基板30的入射方向?yàn)閳D9中斜向右下θ5的方向，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角為α7，圖9中存在于剛性基板30的上表面上的雜質(zhì)、灰塵等異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上的投影即第一異物投影41位于異物40正下方的右側(cè)，并相對(duì)異物40正下方靠近剛性基板30的第二側(cè)32；完成對(duì)剛性基板30的第一次掃描照射后，轉(zhuǎn)動(dòng)載物臺(tái)10，使載物臺(tái)10繞豎直方向轉(zhuǎn)動(dòng)180°，請(qǐng)參閱圖10，此時(shí)，剛性基板30的第一側(cè)31為圖10中剛性基板30的右側(cè)，剛性基板30的第二側(cè)32為圖10中剛性基板30的左側(cè)；然后對(duì)剛性基板30進(jìn)行第二次掃描照射，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖10，在第二次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板30的入射角為θ6，激光入射至剛性基板30的入射方向?yàn)閳D10中斜向左下θ6的方向，激光入射至剛性基板30的入射方向與剛性基板30的第一側(cè)31指向剛性基板30的第二側(cè)32的方向之間的夾角為α8，圖10中存在于剛性基板30的上表面上的雜質(zhì)、灰塵等異物40在柔性顯示基板33朝向剛性基板30的表面上的投影即第二異物投影42位于異物40正下方的左側(cè)，第二異物投影42也相對(duì)異物40正下方靠近剛性基板30的第二側(cè)32，由于第一次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)激光入射至剛性基板30的入射角θ6與第二次對(duì)剛性基板30進(jìn)行掃描照射時(shí)激光入射至剛性基板30的入射角θ5不相同，因而，第二異物投影42的位置與第一異物投影41的位置不相同。

請(qǐng)參閱圖11，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種柔性顯示基板剝離方法，應(yīng)用于如上述實(shí)施例所述的柔性顯示基板剝離裝置，所述柔性顯示基板剝離裝置包括：

步驟s100、將形成有柔性顯示基板的剛性基板放置在載物臺(tái)上。

步驟s200、使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)剛性基板進(jìn)行至少兩次掃描照射，其中至少兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板的入射方向，與剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角不相同。

本說明書中的各個(gè)實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見即可，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處。尤其，對(duì)于方法實(shí)施例而言，由于其基本相似于裝置實(shí)施例，所以描述得比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見裝置實(shí)施例的部分說明即可。

在上述實(shí)施例中，對(duì)柔性顯示基板進(jìn)行剝離時(shí)，激光對(duì)剛性基板進(jìn)行掃描照射的次數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)定，在本發(fā)明實(shí)施例中，以激光對(duì)剛性基板進(jìn)行掃描照射的次數(shù)為兩次為例進(jìn)行說明，此時(shí)，在兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板的入射方向，與剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角不相同。

激光對(duì)剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射時(shí)，可以通過調(diào)節(jié)兩次對(duì)剛性基板進(jìn)行掃描照射時(shí)激光入射至剛性基板的入射方向，實(shí)現(xiàn)在兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板的入射方向與剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角不相同，具體地，請(qǐng)參閱圖12，使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射的步驟可以包括：

步驟s210、使激光以第一入射方向入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射。

步驟s220、使激光以第二入射方向入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射。

在步驟s210中激光入射至剛性基板的入射角可以設(shè)定為第一入射角，在步驟s220中激光入射至剛性基板的入射角可以設(shè)定為第二入射角，第一入射角與第二入射角可以相同，也可以不同，優(yōu)選地，第一入射角與第二入射角不同。

在步驟s210和步驟s220中，激光對(duì)剛性基板進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光的移動(dòng)方向可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定，例如，在第一次對(duì)剛性基板進(jìn)行掃描照射時(shí)，即，使激光以第一入射方向入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第一掃描照射時(shí)，激光沿剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向移動(dòng)，在第二次對(duì)剛性基板進(jìn)行掃描照射時(shí)，即，使激光以第二入射方向入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)，激光沿剛性基板的第二側(cè)指向剛性基板的第一側(cè)的方向移動(dòng)；或者，在第一次對(duì)剛性基板進(jìn)行掃描照射時(shí)，即，使激光以第一入射方向入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第一掃描照射時(shí)，激光沿剛性基板的第二側(cè)指向剛性基板的第一側(cè)的方向移動(dòng)，在第二次對(duì)剛性基板進(jìn)行掃描照射時(shí)，即，使激光以第二入射方向入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)，激光沿剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向移動(dòng)。如此設(shè)計(jì)，在完成對(duì)剛性基板的第一次掃描照射后，對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)，激光發(fā)生器的激光發(fā)射頭不用返回至第一次掃描照射之前的位置，因而可以簡(jiǎn)化柔性顯示基板剝離的步驟和時(shí)間，提高效率，節(jié)約成本。

在上述實(shí)施例中，激光以第一入射方向入射至剛性基板時(shí)，第一入射方向與剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角為銳角，激光以第二入射角入射至剛性基板時(shí)，第二入射方向與剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角為鈍角；或者，激光以第一入射角入射至剛性基板時(shí)，第一入射方向與剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角為鈍角，激光以第二入射角入射至剛性基板時(shí)，第二入射方向與剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角為銳角。如此設(shè)計(jì)，可以使得在兩次對(duì)剛性基板掃描照射時(shí)，異物沿激光的入射方向在柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上的投影的位置的距離較大，防止在兩次對(duì)剛性基板掃描照射時(shí)，異物沿激光的入射方向在柔性襯底基板朝向剛性基板的表面上的投影的位置出現(xiàn)重疊，從而可以進(jìn)一步改善柔性顯示裝置的畫面顯示質(zhì)量。

激光對(duì)剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射時(shí)，可以通過調(diào)節(jié)兩次對(duì)剛性基板進(jìn)行掃描照射時(shí)剛性基板的第一側(cè)和第二側(cè)的位置，即通過使剛性基板的第一側(cè)和第二側(cè)的位置對(duì)調(diào)，實(shí)現(xiàn)在兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板的入射方向與剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角不相同，具體地，請(qǐng)參閱圖13，使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射的步驟可以包括：

步驟s230、使激光以第三入射方向入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射。

步驟s240、使載物臺(tái)繞豎直方向轉(zhuǎn)動(dòng)180°。

步驟s250、使激光以第三入射方向入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射。

在步驟s230和步驟s250中，激光對(duì)剛性基板進(jìn)行掃描照射時(shí)，激光的移動(dòng)方向可以為：使激光以第三入射角入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射和對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)，激光均沿剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向移動(dòng)，或者，激光均沿剛性基板的第二側(cè)指向剛性基板的第一側(cè)的方向移動(dòng)。如此設(shè)計(jì)，在完成對(duì)剛性基板的第一次掃描照射后，對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射時(shí)，激光發(fā)生器的激光發(fā)射頭不用返回至第一次掃描照射之前的位置，因而可以簡(jiǎn)化柔性顯示基板剝離的步驟和時(shí)間，提高效率，節(jié)約成本。

激光對(duì)剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射時(shí)，可以通過同時(shí)調(diào)節(jié)激光入射至剛性基板時(shí)的入射發(fā)現(xiàn)、以及剛性基板的第一側(cè)和第二側(cè)的位置，實(shí)現(xiàn)在兩次掃描照射時(shí)，激光入射至剛性基板的入射方向與剛性基板的第一側(cè)指向剛性基板的第二側(cè)的方向之間的夾角不相同，具體地，請(qǐng)參閱圖14，使激光發(fā)生器發(fā)出的激光對(duì)剛性基板進(jìn)行兩次掃描照射的步驟可以包括：

步驟s260、使激光以第四入射方向入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第一次掃描照射。

步驟s270、使載物臺(tái)繞豎直方向轉(zhuǎn)動(dòng)180°。

步驟s280、使激光以第五入射方向入射至剛性基板，對(duì)剛性基板進(jìn)行第二次掃描照射，其中，激光以第四入射方向入射至剛性基板時(shí)對(duì)應(yīng)的入射角與激光以第五入射方向入射至剛性基板時(shí)對(duì)應(yīng)的入射角不相同。

以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。