第一圓形通孔5311和第二方形通孔5312，所述第一圓形通孔5311和第二方形通孔5312相連通，所述第一圓形通孔5311的直徑小于所述第二方形通孔5312寬度。所述第一圓形通孔5311的長度小于所述第二方形通孔5312的長度，在一個(gè)實(shí)施例中，所述第一圓形通孔5311的長度約為所述第二方形通孔5312長度的六分之一至五分之一。在該實(shí)施例中，所述若干個(gè)通孔531在承載板530上等間隔均勻分布。在其他實(shí)施例中，對(duì)所述若干個(gè)通孔531在承載板530上分布情況不做限制，可根據(jù)實(shí)際需要調(diào)整而定。
[0074]圖12為圖8中所述容槽板的結(jié)構(gòu)示意圖，圖13為所述容槽板卡合于所述承載板的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖8至圖13所示。所述容槽板540包括容槽541、位于容槽兩側(cè)的第一沿臂542和第二沿臂543，所述第一沿臂542的寬度小于所述第二沿臂543的寬度，所述第二沿臂543的寬度與所述容槽541的深度相對(duì)應(yīng)，這樣能夠使得所述容槽板540能夠牢固的卡合于所述承載板530的槽道532中。其中，所述容槽板540垂直卡合于所述承載板530的槽道532中，從所述通孔531中流出來的液體進(jìn)入容槽541。本發(fā)明的容槽板540是可活動(dòng)的卡合于承載板的溝槽中的，不需要外部連接件，容易拆卸，易于維護(hù)。本發(fā)明在所述承載板530的下方設(shè)置一個(gè)容槽板540，用于收集從所述電子控制閥550的流通孔553漏出的液體，避免對(duì)其他部件造成影響。
[0075]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖14，其為圖8中所述電子控制閥的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖8和圖14所示。所述電子控制閥550，其包括第一閥部551和第二閥部552，所述第一閥部551的形狀與所述承載板530的第一圓形通孔5311的形狀相對(duì)應(yīng)，所述第二閥部552的形狀與所述承載板530的第二方形通孔5312的形狀相對(duì)應(yīng)。
[0076]所述第一閥部551呈圓柱形，在圓柱形的側(cè)面具有多個(gè)流通孔553，根據(jù)外部控制所述電子控制閥550可以選擇性的將其兩個(gè)流通孔553連通。所述泵560的一端部上設(shè)置有一個(gè)吸入液體的吸入口(未圖示)和一個(gè)排出液體的排出口(未圖示)。所述第二閥部552呈棱柱狀，其端部連接有電性線纜(未圖示)，在棱柱狀的一側(cè)面開設(shè)有第一螺絲孔554。在該實(shí)施例中，所述第一螺絲孔554的數(shù)量為三個(gè)。
[0077]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖8。在使用時(shí)，可以利用管道將所述泵560的吸入口、所述泵560的排出口、所述電子控制閥550的流通孔553、所述微腔室的入口(未圖示)、所述微腔室的出口(未圖示)和/或所述流體承載模塊30的流體連通。這樣，在泵560的驅(qū)動(dòng)下可以將所述流體承載模塊30的流體通過管道和/或所述電子控制閥550輸送至所述微腔室內(nèi)，從所述微腔室流出的流體通過管道和/或所述電子控制閥550輸送至所述流體承載模塊30或預(yù)定流體排出管道內(nèi)。
[0078]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖8。在所述底板510上開設(shè)有連通所述流體空間的下開口 590，該下開口 221供連接用的管道穿過。舉例來說，假如各個(gè)模塊10、20、30和40的位置關(guān)系圖1所示，那么從所述下開口 221穿過的管道將連通至所述流體承載模塊30。
[0079]請(qǐng)參閱圖15，其為本發(fā)明托板的結(jié)構(gòu)示意圖，圖16為圖15的托板固定于電子控制閥上的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖14至16所示。所述電子控制閥還包括托板610，所述托板610上對(duì)應(yīng)所述第一螺絲孔554的位置開設(shè)有第二螺絲孔611，通過所述第一螺絲孔554和第二螺絲孔611將所述托板610固定于所述電子控制閥550的第一閥部551上。圖17為本發(fā)明的電子控制閥卡合于所述承載板上的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖10、11和圖17所示，所述電子控制閥550自所述第二方形通孔5312的一端卡入并伸出所述第一圓形通孔5311，使得所述電子控制閥550的第一閥部551伸出所述第一圓形通孔5311，第二閥部552及托板610卡入所述第二方形通孔5312中。在本發(fā)明中，所述第二閥部552的長度遠(yuǎn)大于所述第二方形通孔5312的長度，所述第二閥部552和托板610的厚度總和與所述第二方形通孔5312的高度相適應(yīng)，通過將所述托板610鎖附于所述電子控制閥的第二閥部552進(jìn)而將電子控制閥550固定于所述承載板530上。本發(fā)明的托板610，其同所述電子控制閥550 —起卡入所述承載板530的第二方形通孔5312中，進(jìn)而對(duì)所述電子控制閥550起到一個(gè)支撐作用，使得所述電子控制閥550能夠牢固的卡合于所述承載板530上，當(dāng)需要將所述電子控制閥550從所述承載板530上卸下時(shí)，只需手動(dòng)接觸所述電子控制閥550的第二閥部552連通托板562 一起從所述第二方形通孔5312中拔出即可，既方便又不易損壞各部件。
[0080]本發(fā)明中的流體傳送模塊20的一個(gè)特點(diǎn)或優(yōu)點(diǎn)在于:本發(fā)明中的流體傳送裝置，不僅具有結(jié)構(gòu)簡單，易于制造、組裝和拆卸，而且流體傳送效率高。
[0081]上述說明已經(jīng)充分揭露了本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】。需要指出的是，熟悉該領(lǐng)域的技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】所做的任何改動(dòng)均不脫離本發(fā)明的權(quán)利要求書的范圍。相應(yīng)地，本發(fā)明的權(quán)利要求的范圍也并不僅僅局限于前述【具體實(shí)施方式】。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種流體傳送裝置，其特征在于，其包括底板、位于底板上的放置器及、垂直設(shè)置于所述底板并位于所述放置器一側(cè)的承載板、垂直卡合于所述承載板上的容槽板和電子控制閥。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體傳送裝置，其特征在于，所述底板上開設(shè)有若干個(gè)第一圓孔。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流體傳送裝置，其特征在于，所述放置器，其架設(shè)于所述第一圓孔的上方，所述放置器上開設(shè)有第二圓孔，所述第二圓孔和第一圓孔相對(duì)應(yīng)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體傳送裝置，其特征在于，所述承載板，其通過凹槽座垂直安裝于所底板上，所述凹槽座是自所述底板的表面向上延伸形成的。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的流體傳送裝置，其特征在于，所述凹槽座的凹槽的寬度與所述承載板的厚度相對(duì)應(yīng)，通過該凹槽將承載板固定于所述底板上。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的流體傳送裝置，其特征在于，所述承載板上開設(shè)有若干個(gè)通孔及位于承載板正面的槽道，所述電子控制閥卡合于所述承載板上的通孔中，所述容槽板垂直卡合于所述承載板的槽道中。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體傳送裝置，其特征在于，所述容槽板包括容槽、位于容槽兩側(cè)的第一沿臂和第二沿臂，所述第一沿臂的寬度小于所述第二沿臂的寬度，所述第二沿臂的寬度與所述容槽的深度相對(duì)應(yīng)。8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流體傳送裝置，其特征在于，所述底板，其上安裝有“山”字形的泵座，所述若干個(gè)第一圓孔設(shè)置于所述泵座的周圍，所述泵座具有第一臂、第二臂和第三臂，所述第一臂和第二臂上相對(duì)開設(shè)有第一卡槽，所述第二臂和第三臂上相對(duì)開設(shè)有第二卡槽，通過所述第一卡槽和第二卡槽可將所述泵安裝于所述底板上。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種流體傳送裝置，其包括底板、位于底板上的放置器及、垂直設(shè)置于所述底板并位于所述放置器一側(cè)的承載板、垂直卡合于所述承載板上的容槽板和電子控制閥。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明中的流體傳送裝置，不僅具有結(jié)構(gòu)簡單，易于制造、組裝和拆卸，而且流體傳送效率高。
【IPC分類】H01L21/677
【公開號(hào)】CN104979255
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510332974
【發(fā)明人】王吉, 溫子瑛
【申請(qǐng)人】無錫華瑛微電子技術(shù)有限公司
【公開日】2015年10月14日
【申請(qǐng)日】2015年6月16日